JPH0817015A - 薄膜積層型磁気ヘッド - Google Patents
薄膜積層型磁気ヘッドInfo
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- JPH0817015A JPH0817015A JP16891894A JP16891894A JPH0817015A JP H0817015 A JPH0817015 A JP H0817015A JP 16891894 A JP16891894 A JP 16891894A JP 16891894 A JP16891894 A JP 16891894A JP H0817015 A JPH0817015 A JP H0817015A
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- magnetic
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- film
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ホール素子の性能を劣化させることなく製造
でき、さらにホール素子に均一に磁束をかけることがで
き、再生出力やＳ／Ｎの比を高め、特に、記録媒体に高
密度で記録された高周波信号の記録再生に対応できる薄
膜積層型磁気ヘッドを提供する。 【構成】 薄膜積層型磁気ヘッド１は、磁性膜４が積層
された薄膜積層構造体からなり、記録媒体と対向する側
に磁気感知ギャップ１０が形成されたコア部材６Ａ、８
Ａと、薄膜ホール素子２０を備え、この薄膜ホール素子
２０の両面を絶縁膜２２、２４を介して挟持する態様で
磁性膜４ａ、４ｂが設けられたコア部材２０とを有す
る。各コア部材６Ａ、８Ａ、３０は磁性膜４と磁性膜４
ａ、４ｂとが直交する方向で、かつ薄膜ホール素子２０
を接合部に挟まないように一体に接合されて磁気回路を
形成し、この磁気回路を通る磁束は、ホール素子２０の
薄膜面を垂直に通過する。
でき、さらにホール素子に均一に磁束をかけることがで
き、再生出力やＳ／Ｎの比を高め、特に、記録媒体に高
密度で記録された高周波信号の記録再生に対応できる薄
膜積層型磁気ヘッドを提供する。 【構成】 薄膜積層型磁気ヘッド１は、磁性膜４が積層
された薄膜積層構造体からなり、記録媒体と対向する側
に磁気感知ギャップ１０が形成されたコア部材６Ａ、８
Ａと、薄膜ホール素子２０を備え、この薄膜ホール素子
２０の両面を絶縁膜２２、２４を介して挟持する態様で
磁性膜４ａ、４ｂが設けられたコア部材２０とを有す
る。各コア部材６Ａ、８Ａ、３０は磁性膜４と磁性膜４
ａ、４ｂとが直交する方向で、かつ薄膜ホール素子２０
を接合部に挟まないように一体に接合されて磁気回路を
形成し、この磁気回路を通る磁束は、ホール素子２０の
薄膜面を垂直に通過する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、一般には薄膜磁気ヘッ
ドに関し、特に、記録媒体に高密度で記録された高周波
信号の記録再生に対応できるホール素子を備えた薄膜積
層型磁気ヘッドに関するものである。
ドに関し、特に、記録媒体に高密度で記録された高周波
信号の記録再生に対応できるホール素子を備えた薄膜積
層型磁気ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】高周波用で且つ高いＳ／Ｎ比が要求され
る高密度記録用ヘッドとして、例えばＦｅ−Ｓｉ−Ａｌ
合金磁性膜（センダスト）などの高飽和磁束密度の磁性
薄膜を用いた積層型磁気ヘッドが知られており、例えば
ビデオヘッド、コンピュータ用ヘッドなどとして好適に
使用されている。
る高密度記録用ヘッドとして、例えばＦｅ−Ｓｉ−Ａｌ
合金磁性膜（センダスト）などの高飽和磁束密度の磁性
薄膜を用いた積層型磁気ヘッドが知られており、例えば
ビデオヘッド、コンピュータ用ヘッドなどとして好適に
使用されている。
【０００３】しかしながら、斯る薄膜積層型磁気ヘッド
と巻き線コイルとの組合せでは、将来的に見るとその再
生能力に関しては限界がある。
と巻き線コイルとの組合せでは、将来的に見るとその再
生能力に関しては限界がある。
【０００４】従って、最近、特に、高周波信号の再生に
有効な再生用磁気ヘッドとして、磁気抵抗（ＭＲ）効果
やホール効果を利用した磁気ヘッドが注目を浴びてい
る。ＭＲ効果を利用した磁気ヘッドは専ら再生専用とし
て使用されているが、ホール効果を利用した磁気ヘッド
には、薄膜磁気ヘッドにホール素子を組合わせ、再生及
び記録兼用のものなど種々提案され、実用化されつつあ
る（特公昭６３−９２８３号公報、特公平４−５９６８
４号公報、特開昭６３−２５７９１１号公報、特開昭６
３−２６１５１１号公報、特開平４−３５６７０６号公
報参照せよ）。
有効な再生用磁気ヘッドとして、磁気抵抗（ＭＲ）効果
やホール効果を利用した磁気ヘッドが注目を浴びてい
る。ＭＲ効果を利用した磁気ヘッドは専ら再生専用とし
て使用されているが、ホール効果を利用した磁気ヘッド
には、薄膜磁気ヘッドにホール素子を組合わせ、再生及
び記録兼用のものなど種々提案され、実用化されつつあ
る（特公昭６３−９２８３号公報、特公平４−５９６８
４号公報、特開昭６３−２５７９１１号公報、特開昭６
３−２６１５１１号公報、特開平４−３５６７０６号公
報参照せよ）。
【０００５】そこで、本発明者らは、記録能力に優れた
薄膜積層型磁気ヘッドにＭＲ素子或いはホール素子を組
合せ、積層型磁気ヘッドの再生能力を高める方法につい
て検討した。
薄膜積層型磁気ヘッドにＭＲ素子或いはホール素子を組
合せ、積層型磁気ヘッドの再生能力を高める方法につい
て検討した。
【０００６】その結果、ＭＲ素子は、磁化容易軸が薄膜
面内にあり、そのために磁束が面内を有効に通るように
素子薄膜面を、磁束と平行となるように配置することが
必要であり、従って、ＭＲ素子は、磁気感知ギャップ、
即ち、磁気ヘッドの記録媒体と対向したフロントギャッ
プに挟む形の構造となり、記録媒体との摩擦によって或
いは組立時に発生する静電気によって破損したり、更に
は、素子がフロント側の露出部分から腐食し易い等の問
題があり、好ましくないことが分かった。
面内にあり、そのために磁束が面内を有効に通るように
素子薄膜面を、磁束と平行となるように配置することが
必要であり、従って、ＭＲ素子は、磁気感知ギャップ、
即ち、磁気ヘッドの記録媒体と対向したフロントギャッ
プに挟む形の構造となり、記録媒体との摩擦によって或
いは組立時に発生する静電気によって破損したり、更に
は、素子がフロント側の露出部分から腐食し易い等の問
題があり、好ましくないことが分かった。
【０００７】一方、ホール素子は、磁束が素子薄膜面に
対して垂直の場合に最大のホール出力を与えるので、磁
気ヘッドの、所謂リアギャップに挟む構造とすることが
でき、上述したＭＲ素子を組合せた場合のような問題は
発生しないことが分かった。
対して垂直の場合に最大のホール出力を与えるので、磁
気ヘッドの、所謂リアギャップに挟む構造とすることが
でき、上述したＭＲ素子を組合せた場合のような問題は
発生しないことが分かった。
【０００８】従って、本発明者らは、ホール素子を用い
た、特に高周波信号の再生に有効な薄膜積層型磁気ヘッ
ドを更に改良することとした。
た、特に高周波信号の再生に有効な薄膜積層型磁気ヘッ
ドを更に改良することとした。
【０００９】図２に従来のホール素子を用いた薄膜積層
型磁気ヘッドの一例を示す。本例によると、薄膜積層型
磁気ヘッド１は、例えば一つのセラミックス基板２ａ上
にＦｅ−Ｓｉ−Ａｌ合金磁性膜４を堆積し、更にこの磁
性膜４を他のセラミックス基板２ｂで挟持することによ
り形成された薄膜積層構造体から作製される一対の磁気
コア半体、即ち、例えばＩコア６とＣコア８とを有し、
このＩコア６とＣコア８とは、その突合せ面がギャップ
部、即ち、記録媒体に対向した一方のフロントギャップ
（磁気感知ギャップ）１０及び他方のリアギャップ１８
を介して一体に接合される。このとき、一般に、フロン
トギャップ１０においては、磁束を集中させるために、
ギャップ部に隣接して機械加工により面取り部、即ち、
アペックス部１４を形成し、更に接合強度を増大させる
ために、この部分にアペックスガラス１６が充填され
る。更に、コンピュータ用やビデオ用などの用途に応じ
た加工が施される。
型磁気ヘッドの一例を示す。本例によると、薄膜積層型
磁気ヘッド１は、例えば一つのセラミックス基板２ａ上
にＦｅ−Ｓｉ−Ａｌ合金磁性膜４を堆積し、更にこの磁
性膜４を他のセラミックス基板２ｂで挟持することによ
り形成された薄膜積層構造体から作製される一対の磁気
コア半体、即ち、例えばＩコア６とＣコア８とを有し、
このＩコア６とＣコア８とは、その突合せ面がギャップ
部、即ち、記録媒体に対向した一方のフロントギャップ
（磁気感知ギャップ）１０及び他方のリアギャップ１８
を介して一体に接合される。このとき、一般に、フロン
トギャップ１０においては、磁束を集中させるために、
ギャップ部に隣接して機械加工により面取り部、即ち、
アペックス部１４を形成し、更に接合強度を増大させる
ために、この部分にアペックスガラス１６が充填され
る。更に、コンピュータ用やビデオ用などの用途に応じ
た加工が施される。
【００１０】ホール素子２０は、フロントギャップ１０
に配置することもできるが、一般には、図示するように
リアギャップ１８に配置される。
に配置することもできるが、一般には、図示するように
リアギャップ１８に配置される。
【００１１】尚、この薄膜積層型磁気ヘッド１は、図２
にて左側のＣコア８の部分に巻き線を施して、記録、再
生兼用の磁気ヘッドにすることも可能である。
にて左側のＣコア８の部分に巻き線を施して、記録、再
生兼用の磁気ヘッドにすることも可能である。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】上記構成の磁気ヘッド
を研究する過程において、本発明らは、ホール素子２０
をリアギャップ１８或いはフロントギャップ１０のいず
れに配置した場合においても、ホール素子２０をギャッ
プ部に配置する構成では、寸法、組立工程等から素子の
設計に制約を受ける上に、更に、各コアをガラス等で溶
着しギャップ形成を行う際、ホール素子２０に高温高圧
がかかり、特性が劣化することがあり、好ましくないこ
とを見出した。
を研究する過程において、本発明らは、ホール素子２０
をリアギャップ１８或いはフロントギャップ１０のいず
れに配置した場合においても、ホール素子２０をギャッ
プ部に配置する構成では、寸法、組立工程等から素子の
設計に制約を受ける上に、更に、各コアをガラス等で溶
着しギャップ形成を行う際、ホール素子２０に高温高圧
がかかり、特性が劣化することがあり、好ましくないこ
とを見出した。
【００１３】更に又、このような構成の積層型磁気ヘッ
ドでは、磁気ヘッドのトラック幅、即ち、磁性膜４の厚
さ（ｔ）は６μｍ程度とされるのに対して、ホール素子
２０の大きさは、その膜面積が少なくとも１００μｍ×
１００μｍ程度必要とされ、磁性膜４の厚さ（ｔ）に比
して極めて大きい。そのために、磁束がホール素子２０
の一部分を不均一に通過し、再生出力やＳ／Ｎ比が低い
という問題があることが分かった。
ドでは、磁気ヘッドのトラック幅、即ち、磁性膜４の厚
さ（ｔ）は６μｍ程度とされるのに対して、ホール素子
２０の大きさは、その膜面積が少なくとも１００μｍ×
１００μｍ程度必要とされ、磁性膜４の厚さ（ｔ）に比
して極めて大きい。そのために、磁束がホール素子２０
の一部分を不均一に通過し、再生出力やＳ／Ｎ比が低い
という問題があることが分かった。
【００１４】この問題を解決するために、ホール素子２
０の膜面の大きさを磁性膜厚さに対応する程度にまで小
さくすることも考えられるが、この方法では、再生出力
が更に低下したり、電流密度が大きくなり、発熱した
り、電極の設計が困難となり、そのために、ホール素子
を小さくするのも自ずと限界がある。
０の膜面の大きさを磁性膜厚さに対応する程度にまで小
さくすることも考えられるが、この方法では、再生出力
が更に低下したり、電流密度が大きくなり、発熱した
り、電極の設計が困難となり、そのために、ホール素子
を小さくするのも自ずと限界がある。
【００１５】従って、本発明の目的は、記録媒体に対向
したフロントギャップ（磁気感知ギャップ）を構成する
部分とホール素子を形成した部分とをそれぞれ独立した
構造にすることにより、ホール素子をコアの接合部に挟
まなくして、コア接合時のガラス溶着での高温高圧によ
るホール素子の性能劣化を防止でき、またホール素子の
形状等に関する設計が制約を受けず、ホール素子に均一
に磁束をかけることができ、再生出力やＳ／Ｎの比を高
め、特に、記録媒体に高密度で記録された高周波信号の
記録再生に対応できる薄膜積層型磁気ヘッドを提供する
ことである。
したフロントギャップ（磁気感知ギャップ）を構成する
部分とホール素子を形成した部分とをそれぞれ独立した
構造にすることにより、ホール素子をコアの接合部に挟
まなくして、コア接合時のガラス溶着での高温高圧によ
るホール素子の性能劣化を防止でき、またホール素子の
形状等に関する設計が制約を受けず、ホール素子に均一
に磁束をかけることができ、再生出力やＳ／Ｎの比を高
め、特に、記録媒体に高密度で記録された高周波信号の
記録再生に対応できる薄膜積層型磁気ヘッドを提供する
ことである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記目的は本発明に係る
ホール素子を備えた薄膜積層型磁気ヘッドによって達成
される。要約すれば、本発明は、膜厚がトラック幅とさ
れる磁性膜を有する薄膜積層構造体からなり、記録媒体
と対向する側に磁気感知ギャップが形成されたギャップ
側コア部材と、薄膜ホール素子を備え、この薄膜ホール
素子の両面を絶縁膜を介して挟持する態様で磁性膜が設
けられたホール素子側コア部材とを有し、前記各コア部
材はそれぞれの磁性膜が直交する方向で、かつ前記薄膜
ホール素子を接合部に挟まないように一体に接合されて
磁気回路を形成し、この磁気回路を通る磁束は前記ホー
ル素子の薄膜面を垂直に通過するようにしたことを特徴
とする薄膜積層型磁気ヘッドである。
ホール素子を備えた薄膜積層型磁気ヘッドによって達成
される。要約すれば、本発明は、膜厚がトラック幅とさ
れる磁性膜を有する薄膜積層構造体からなり、記録媒体
と対向する側に磁気感知ギャップが形成されたギャップ
側コア部材と、薄膜ホール素子を備え、この薄膜ホール
素子の両面を絶縁膜を介して挟持する態様で磁性膜が設
けられたホール素子側コア部材とを有し、前記各コア部
材はそれぞれの磁性膜が直交する方向で、かつ前記薄膜
ホール素子を接合部に挟まないように一体に接合されて
磁気回路を形成し、この磁気回路を通る磁束は前記ホー
ル素子の薄膜面を垂直に通過するようにしたことを特徴
とする薄膜積層型磁気ヘッドである。
【００１７】好ましくは、磁気感知ギャップが形成され
たギャップ側コア部材は、対をなすコア部材を突き合
せ、この突合せ面が磁気感知ギャップとなるように接合
することにより構成される。又、磁性膜は、Ｆｅ−Ｓｉ
−Ａｌ合金、アモルファス磁性体又は窒化鉄磁性体とさ
れる。
たギャップ側コア部材は、対をなすコア部材を突き合
せ、この突合せ面が磁気感知ギャップとなるように接合
することにより構成される。又、磁性膜は、Ｆｅ−Ｓｉ
−Ａｌ合金、アモルファス磁性体又は窒化鉄磁性体とさ
れる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明のホール素子を備えた薄膜積層
型磁気ヘッドを図面に即して更に詳しく説明する。
型磁気ヘッドを図面に即して更に詳しく説明する。
【００１９】図１は、本発明のホール素子を備えた薄膜
積層型磁気ヘッドの一実施例を示す。本実施例にて、薄
膜積層型磁気ヘッド１Ａは、左右２つのコア部分、即
ち、この実施例ではＩコア６ＡとＬコア８Ａ、及び、磁
束検出素子として薄膜ホール素子２０を備えた連結コア
３０の３つ部材から構成される。
積層型磁気ヘッドの一実施例を示す。本実施例にて、薄
膜積層型磁気ヘッド１Ａは、左右２つのコア部分、即
ち、この実施例ではＩコア６ＡとＬコア８Ａ、及び、磁
束検出素子として薄膜ホール素子２０を備えた連結コア
３０の３つ部材から構成される。
【００２０】Ｉコア６ＡとＬコア８Ａとは、従来と同様
に、例えば一方のセラミックス基板２ａ上にＦｅ−Ｓｉ
−Ａｌ合金磁性膜４を堆積し、更にこの磁性膜４を他の
セラミックス基板２ｂで挟持することにより形成された
薄膜積層構造体から作製される磁気コアであり、その突
合せ面である記録媒体に対向したフロントギャップ（磁
気感知ギャップ）を介して一体に接合される。このと
き、一般に、フロントギャップにおいては、磁束を集中
させるために、ギャップ部に隣接して機械加工によりア
ペックス部１４を形成し、更に接合強度を増大させるた
めに、この部分にアペックスガラス１６が充填される。
更に、コンピュータ用やビデオ用などの用途に応じた加
工が施される。
に、例えば一方のセラミックス基板２ａ上にＦｅ−Ｓｉ
−Ａｌ合金磁性膜４を堆積し、更にこの磁性膜４を他の
セラミックス基板２ｂで挟持することにより形成された
薄膜積層構造体から作製される磁気コアであり、その突
合せ面である記録媒体に対向したフロントギャップ（磁
気感知ギャップ）を介して一体に接合される。このと
き、一般に、フロントギャップにおいては、磁束を集中
させるために、ギャップ部に隣接して機械加工によりア
ペックス部１４を形成し、更に接合強度を増大させるた
めに、この部分にアペックスガラス１６が充填される。
更に、コンピュータ用やビデオ用などの用途に応じた加
工が施される。
【００２１】ホール素子２０を備えた連結コア３０は、
基本的には、例えば上記セラミックス基板２ａ、２ｂと
同様のセラミックス基板２ｃ上にＦｅ−Ｓｉ−Ａｌ合金
磁性膜４を堆積して形成された薄膜積層構造体から作製
される磁気コアとされるが、磁性膜４はその中間部分に
て断続され、一方の磁性膜４ａの上にホール素子２０が
絶縁膜２２を介して積層され、そして他方の磁性膜４ｂ
の一部はホール素子２０の他側面上にも絶縁膜２４を介
して積層される。即ち、ホール素子２０は上下から磁性
膜にて挟持された態様にて、基板２ｃに設けられる。
又、基板２ｃ、ホール素子２０及び磁性膜４ｂにて画成
される空間部には、これら薄膜及び基板間の接合強度を
向上させるために接合ガラス２６などが充填される。
基本的には、例えば上記セラミックス基板２ａ、２ｂと
同様のセラミックス基板２ｃ上にＦｅ−Ｓｉ−Ａｌ合金
磁性膜４を堆積して形成された薄膜積層構造体から作製
される磁気コアとされるが、磁性膜４はその中間部分に
て断続され、一方の磁性膜４ａの上にホール素子２０が
絶縁膜２２を介して積層され、そして他方の磁性膜４ｂ
の一部はホール素子２０の他側面上にも絶縁膜２４を介
して積層される。即ち、ホール素子２０は上下から磁性
膜にて挟持された態様にて、基板２ｃに設けられる。
又、基板２ｃ、ホール素子２０及び磁性膜４ｂにて画成
される空間部には、これら薄膜及び基板間の接合強度を
向上させるために接合ガラス２６などが充填される。
【００２２】斯る構成の連結コア３０は、その両端部に
て、前記Ｉコア６Ａ及びＬコア８Ａの端部と例えば接合
ガラス３２などを用いて一体に接合される。
て、前記Ｉコア６Ａ及びＬコア８Ａの端部と例えば接合
ガラス３２などを用いて一体に接合される。
【００２３】又、本発明の磁気ヘッド１Ａにてホール素
子２０には更に、ホールバイアス電流端子及びホール出
力電圧端子のための電極が形成されるが、図面を簡単と
するために図２では省略されている。
子２０には更に、ホールバイアス電流端子及びホール出
力電圧端子のための電極が形成されるが、図面を簡単と
するために図２では省略されている。
【００２４】尚、本実施例の薄膜積層型磁気ヘッド１Ａ
は、図１にて左側のＬコア８Ａの部分に巻き線を施し
て、記録、再生兼用の磁気ヘッドにすることも可能であ
る。
は、図１にて左側のＬコア８Ａの部分に巻き線を施し
て、記録、再生兼用の磁気ヘッドにすることも可能であ
る。
【００２５】ホール素子２０としては、当業者には周知
の、例えばＧａＡｓ、ＩｎＳｂなどの半導体、又はＧｄ
Ｆｅ、ＣｄＣｏなどの磁性体などを好適に使用すること
ができ、その寸法は任意に設定し得るが、通常厚さ１μ
ｍ、膜面積は少なくとも１００μｍ×１００μｍ程度必
要とされる。絶縁膜２２、２４としては例えばＳｉＯ2
などが好適に使用される。
の、例えばＧａＡｓ、ＩｎＳｂなどの半導体、又はＧｄ
Ｆｅ、ＣｄＣｏなどの磁性体などを好適に使用すること
ができ、その寸法は任意に設定し得るが、通常厚さ１μ
ｍ、膜面積は少なくとも１００μｍ×１００μｍ程度必
要とされる。絶縁膜２２、２４としては例えばＳｉＯ2
などが好適に使用される。
【００２６】上記説明にて理解されるように、上記構成
の本発明の磁気ヘッド１Ａによれば、フロントギャップ
１０を形成しているＩコア６Ａ及びＬコア８Ａと、ホー
ル素子２０が形成された連結コア３０とを一体に接合す
ることにより、閉じた磁気回路が形成され、従って、フ
ロントギャップ１０にて受信された記録媒体の磁化信号
（磁束）は、薄膜ホール素子２０の両面に積層された磁
性膜４ａ、４ｂにより、ホール素子薄膜面に対して垂直
に且つ均一に通過することとなる。
の本発明の磁気ヘッド１Ａによれば、フロントギャップ
１０を形成しているＩコア６Ａ及びＬコア８Ａと、ホー
ル素子２０が形成された連結コア３０とを一体に接合す
ることにより、閉じた磁気回路が形成され、従って、フ
ロントギャップ１０にて受信された記録媒体の磁化信号
（磁束）は、薄膜ホール素子２０の両面に積層された磁
性膜４ａ、４ｂにより、ホール素子薄膜面に対して垂直
に且つ均一に通過することとなる。
【００２７】又、本発明によれば、ホール素子２０を備
えた連結コア３０は、他のＩコア６Ａ及びＬコア８Ａの
ようなコア部材と磁気回路的に繋がっておれば良く、ホ
ール素子２０の形状は任意に設計することができ、設計
上の制約を受けることがない。
えた連結コア３０は、他のＩコア６Ａ及びＬコア８Ａの
ようなコア部材と磁気回路的に繋がっておれば良く、ホ
ール素子２０の形状は任意に設計することができ、設計
上の制約を受けることがない。
【００２８】又、ホール素子２０の部分は、組立工程に
おける各コアのガラス溶着箇所、即ち、フロントギャッ
プ部１０、及びＩコア６Ａ、Ｌコア８Ａと連結コア３０
との接合部などから離れた所に配置することができ、ガ
ラス溶着に伴う高温高圧による性能劣化が避けられる。
おける各コアのガラス溶着箇所、即ち、フロントギャッ
プ部１０、及びＩコア６Ａ、Ｌコア８Ａと連結コア３０
との接合部などから離れた所に配置することができ、ガ
ラス溶着に伴う高温高圧による性能劣化が避けられる。
【００２９】上記実施例では、本発明の磁気ヘッド１Ａ
の磁性膜４は、Ｆｅ−Ｓｉ−Ａｌ合金磁性膜（センダス
ト）に関連して説明したが、アモルファス磁性体或いは
窒化鉄磁性体なども同様に使用することができる。又、
フロントギャップ１０を形成するコア部材は、Ｉコア６
Ａ及びＬコア８Ａの非対称形状のコア部材にて形成され
るものとして説明したが、これに限定されるものではな
く、同じ形状のコア部材を使用しても良く、更に他の任
意の形状のコア部材を使用することができる。
の磁性膜４は、Ｆｅ−Ｓｉ−Ａｌ合金磁性膜（センダス
ト）に関連して説明したが、アモルファス磁性体或いは
窒化鉄磁性体なども同様に使用することができる。又、
フロントギャップ１０を形成するコア部材は、Ｉコア６
Ａ及びＬコア８Ａの非対称形状のコア部材にて形成され
るものとして説明したが、これに限定されるものではな
く、同じ形状のコア部材を使用しても良く、更に他の任
意の形状のコア部材を使用することができる。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る薄膜
積層型磁気ヘッドは、磁性膜が積層された薄膜積層構造
体からなり、記録媒体と対向する側に磁気感知ギャップ
が形成されたギャップ側コア部材と、薄膜ホール素子を
備え、この薄膜ホール素子の両面を絶縁膜を介して挟持
する態様で磁性膜が設けられたホール素子側コア部材と
を有し、前記各コア部材はそれぞれの磁性膜が直交する
方向で、かつ前記薄膜ホール素子を接合部に挟まないよ
うに一体に接合されて磁気回路を形成し、この磁気回路
を通る磁束は前記ホール素子の薄膜面を垂直に通過する
ように構成されるので、記録媒体に対向したフロントギ
ャップ（磁気感知ギャップ）を構成する部分とホール素
子を形成した部分とがそれぞれ独立した構造とされ、ホ
ール素子をコア接合部に挟まなくして、コア接合時のガ
ラス溶着での高温高圧によるホール素子の性能劣化を防
止でき、またホール素子の形状等に関する設計が制約を
受けず、ホール素子に均一に磁束をかけることができ、
それによって、再生出力やＳ／Ｎの比を高め、特に、記
録媒体に高密度で記録された高周波信号の記録再生に対
応できる。
積層型磁気ヘッドは、磁性膜が積層された薄膜積層構造
体からなり、記録媒体と対向する側に磁気感知ギャップ
が形成されたギャップ側コア部材と、薄膜ホール素子を
備え、この薄膜ホール素子の両面を絶縁膜を介して挟持
する態様で磁性膜が設けられたホール素子側コア部材と
を有し、前記各コア部材はそれぞれの磁性膜が直交する
方向で、かつ前記薄膜ホール素子を接合部に挟まないよ
うに一体に接合されて磁気回路を形成し、この磁気回路
を通る磁束は前記ホール素子の薄膜面を垂直に通過する
ように構成されるので、記録媒体に対向したフロントギ
ャップ（磁気感知ギャップ）を構成する部分とホール素
子を形成した部分とがそれぞれ独立した構造とされ、ホ
ール素子をコア接合部に挟まなくして、コア接合時のガ
ラス溶着での高温高圧によるホール素子の性能劣化を防
止でき、またホール素子の形状等に関する設計が制約を
受けず、ホール素子に均一に磁束をかけることができ、
それによって、再生出力やＳ／Ｎの比を高め、特に、記
録媒体に高密度で記録された高周波信号の記録再生に対
応できる。
【図１】本発明に係る薄膜積層型磁気ヘッドの一実施例
の概略斜視図である。
の概略斜視図である。
【図２】ホール素子をリアギャップに挟んだ従来の薄膜
積層型磁気ヘッドの斜視図である。
積層型磁気ヘッドの斜視図である。
２（２ａ、２ｂ、２ｃ） セラミックス基板 ４（４ａ、４ｂ） 磁性膜 ６Ａ、８Ａ コア部材 １０ フロントギャップ（磁気
感知ギャップ） ２０ 薄膜ホール素子 ２２、２４ 絶縁膜 ３０ 連結コア部材
感知ギャップ） ２０ 薄膜ホール素子 ２２、２４ 絶縁膜 ３０ 連結コア部材
【手続補正書】
【提出日】平成７年５月２６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
Claims (3)
- 【請求項１】 膜厚がトラック幅とされる磁性膜を有す
る薄膜積層構造体からなり、記録媒体と対向する側に磁
気感知ギャップが形成されたギャップ側コア部材と、薄
膜ホール素子を備え、この薄膜ホール素子の両面を絶縁
膜を介して挟持する態様で磁性膜が設けられたホール素
子側コア部材とを有し、前記各コア部材はそれぞれの磁
性膜が直交する方向で、かつ前記薄膜ホール素子を接合
部に挟まないように一体に接合されて磁気回路を形成
し、この磁気回路を通る磁束は前記ホール素子の薄膜面
を垂直に通過するようにしたことを特徴とする薄膜積層
型磁気ヘッド。 - 【請求項２】 前記ギャップ側コア部材は、対をなすコ
ア部材を突き合せ、この突合せ面が磁気感知ギャップと
なるように接合することにより構成される請求項１の薄
膜積層型磁気ヘッド。 - 【請求項３】 前記磁性膜は、Ｆｅ−Ｓｉ−Ａｌ合金、
アモルファス磁性体又は窒化鉄磁性体とされる請求項１
又は２の薄膜積層型磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16891894A JPH0817015A (ja) | 1994-06-28 | 1994-06-28 | 薄膜積層型磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16891894A JPH0817015A (ja) | 1994-06-28 | 1994-06-28 | 薄膜積層型磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0817015A true JPH0817015A (ja) | 1996-01-19 |
Family
ID=15876976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16891894A Pending JPH0817015A (ja) | 1994-06-28 | 1994-06-28 | 薄膜積層型磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0817015A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8431255B2 (en) | 2007-12-27 | 2013-04-30 | HGST Netherlands BV | Galvanomagnetic device and magnetic sensor |
-
1994
- 1994-06-28 JP JP16891894A patent/JPH0817015A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8431255B2 (en) | 2007-12-27 | 2013-04-30 | HGST Netherlands BV | Galvanomagnetic device and magnetic sensor |
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