JPH0244206A - レジスト膜厚検査装置 - Google Patents
レジスト膜厚検査装置Info
- Publication number
- JPH0244206A JPH0244206A JP63195111A JP19511188A JPH0244206A JP H0244206 A JPH0244206 A JP H0244206A JP 63195111 A JP63195111 A JP 63195111A JP 19511188 A JP19511188 A JP 19511188A JP H0244206 A JPH0244206 A JP H0244206A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- turntable
- stage
- generates
- rotation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野」
本発明はレジスト膜厚検査装置、特に、光デイスク原盤
作成時のレジス）［厚検査装置に関する。
作成時のレジス）［厚検査装置に関する。
従来のレジス）［［厚検査装置は、ターンテーブルと、
前記ターンテーブルを回転するターンテーブル回転駆動
部と、前記ターンテーブルの半径方向へ移動できるステ
ージと、前記ステージを駆動するステージ駆動部と、レ
ーザビームを発生するレーザと、前記レーザビームを前
記ターンテーブルへ導く光学系と、前記ターンテーブル
へ入射するレーザビームと反射するレーザビームを検出
し入射信号と反射信号を発生する２つの光検出器と、前
記反射信号を前記入射信号で除算し反射率信号を発生す
る除算部とを含んで構成される。
前記ターンテーブルを回転するターンテーブル回転駆動
部と、前記ターンテーブルの半径方向へ移動できるステ
ージと、前記ステージを駆動するステージ駆動部と、レ
ーザビームを発生するレーザと、前記レーザビームを前
記ターンテーブルへ導く光学系と、前記ターンテーブル
へ入射するレーザビームと反射するレーザビームを検出
し入射信号と反射信号を発生する２つの光検出器と、前
記反射信号を前記入射信号で除算し反射率信号を発生す
る除算部とを含んで構成される。
次に従来のレジスト膜厚検査装置について図面を参照し
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
第６図は、従来のレジスト膜厚検査装置の一例を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
第６図に示すレジスト膜厚検査装置は、ターンテーブル
ｌと、ターンテーブル回転駆動部２と、ステージ４と、
ステージ駆動部５と、レーザ７と、光学系８と、光検出
器９．１０と、除算部１１とを含んでいる。
ｌと、ターンテーブル回転駆動部２と、ステージ４と、
ステージ駆動部５と、レーザ７と、光学系８と、光検出
器９．１０と、除算部１１とを含んでいる。
ここでターンテーブルｌＶｉ、 被測定物のレジストを
コーティングした光デイスク原盤を載せる台である。タ
ーンテーブル回転駆動！１１２Ｆｉ、ターンテーブル１
を回転する。ステージ４Ｆｉ、光学系８が固定される。
コーティングした光デイスク原盤を載せる台である。タ
ーンテーブル回転駆動！１１２Ｆｉ、ターンテーブル１
を回転する。ステージ４Ｆｉ、光学系８が固定される。
ステージ駆動部５は、ターンテーブルｌの半径方向へス
テージ４を移動する◇レーザ７は、レーザビームＣを発
生する。光学系８ｆｌ、レーザビームＣを２本のビーム
に分離し、１本をターンテーブル１上の被測定物に導く
。被測定物に導かれたビームは、被測定物で反射し、反
射ビームｅになる。もう一方は、被測定物に入射したビ
ームの光量を検出するために用いられる入射ビームｄに
なる。
テージ４を移動する◇レーザ７は、レーザビームＣを発
生する。光学系８ｆｌ、レーザビームＣを２本のビーム
に分離し、１本をターンテーブル１上の被測定物に導く
。被測定物に導かれたビームは、被測定物で反射し、反
射ビームｅになる。もう一方は、被測定物に入射したビ
ームの光量を検出するために用いられる入射ビームｄに
なる。
光検出器９ 、１０Ｆｉ、入射ビームｄと反射ビームＣ
を各々電気１ｇ号に変換し、入射信号ｆと反射信号ｇを
発生する。
を各々電気１ｇ号に変換し、入射信号ｆと反射信号ｇを
発生する。
除算部１７ｄ、反射堡号ｇを入射信号ｆで除算し反射率
信号りを発生する。レジスト膜厚によって反射率が変化
するので反射率１ｄ号ｌを測定することによってレジス
ト膜厚を検査することができる。
信号りを発生する。レジスト膜厚によって反射率が変化
するので反射率１ｄ号ｌを測定することによってレジス
ト膜厚を検査することができる。
上述した従来のレジスト膜厚検査装置ハ、測定値が測定
時限りで消えてしまうのでデータの蓄積、分析が困難で
あるといり次点があった。−１ｆｃ、膜厚に相当する反
射率信号を生成するとき、ハード的に除算を行っている
ために、除算部の入力信号である反射信号と入射信号が
除算部の入力範囲内であるかどうかチエツクできないと
いう欠点があったＯ 〔課題を解決するための手段〕 本発明のレジスト膜厚検査装置は、ターンテーブルと、
前記ターンテーブルを回転するターンテーブル回転駆動
部と、前記ターンテーブルの回転角を等角度に分割する
回転角信号を発生するエンコーダと、前記ターンテーブ
ルの半径方向へ移動できるステージと、前記ステージを
駆動するステージ駆動部と、前記ターンテーブルの回転
中心から前記ステージまでの距離を検出し位ｉｔ洛号を
発生する位置検出器と、レーザビームを発生するレーザ
と、前記レーザビームを前記ターンテーブルへ導く光学
系と、前記ターンテーブルへ入射するレーザビームと反
射するレーザビームを検出し入射信号と反射信号を発生
する２つの光検出器と、前記人ＩＲ信号と前記反射信号
の中から１つを選択する選択器と、前記選択器の出力を
ディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器と、前記ディジ
タル信号を記憶する記憶部と、入出力装置を備え、位置
信号と回転角信号を記憶する制御部とを含んで構成され
る。
時限りで消えてしまうのでデータの蓄積、分析が困難で
あるといり次点があった。−１ｆｃ、膜厚に相当する反
射率信号を生成するとき、ハード的に除算を行っている
ために、除算部の入力信号である反射信号と入射信号が
除算部の入力範囲内であるかどうかチエツクできないと
いう欠点があったＯ 〔課題を解決するための手段〕 本発明のレジスト膜厚検査装置は、ターンテーブルと、
前記ターンテーブルを回転するターンテーブル回転駆動
部と、前記ターンテーブルの回転角を等角度に分割する
回転角信号を発生するエンコーダと、前記ターンテーブ
ルの半径方向へ移動できるステージと、前記ステージを
駆動するステージ駆動部と、前記ターンテーブルの回転
中心から前記ステージまでの距離を検出し位ｉｔ洛号を
発生する位置検出器と、レーザビームを発生するレーザ
と、前記レーザビームを前記ターンテーブルへ導く光学
系と、前記ターンテーブルへ入射するレーザビームと反
射するレーザビームを検出し入射信号と反射信号を発生
する２つの光検出器と、前記人ＩＲ信号と前記反射信号
の中から１つを選択する選択器と、前記選択器の出力を
ディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器と、前記ディジ
タル信号を記憶する記憶部と、入出力装置を備え、位置
信号と回転角信号を記憶する制御部とを含んで構成され
る。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
第１図に示すレジスト膜厚検査装置は、ターンテーブル
１と、ターンテーブル回転駆動部２と、エンコーダ３と
、ステージ４と、ステージ５と、位置検出器６と、レー
ザ７と、光学系８と、光検出器９，１０と、選択器１１
と、Ａ／Ｄ変換部１２と、記憶部１３と、制（至）部１
４と、キーボード１５と、表示出力部１６とを含んでい
る口 ここでターンテーブルｌは、被測定物のレジストをコー
ティングした光デイスク原盤を載せる台である。ターン
テーブル回転駆動１２＃：ｔ、ターンテーブルｌを回転
する＠エンコーダ３は、ターンテーブル１回転角を等角
度に分割する回転角１号ａを発生する０ステージ４は、
光学系８が固定される。ステージ駆動部５は、ターンテ
ーブル１の半径方向へステージ４を移動する。位置検出
器６は、ターンテーブル１０回転中心からステージ４ま
での距離を検出し位置（ｉ号すを発生する。
１と、ターンテーブル回転駆動部２と、エンコーダ３と
、ステージ４と、ステージ５と、位置検出器６と、レー
ザ７と、光学系８と、光検出器９，１０と、選択器１１
と、Ａ／Ｄ変換部１２と、記憶部１３と、制（至）部１
４と、キーボード１５と、表示出力部１６とを含んでい
る口 ここでターンテーブルｌは、被測定物のレジストをコー
ティングした光デイスク原盤を載せる台である。ターン
テーブル回転駆動１２＃：ｔ、ターンテーブルｌを回転
する＠エンコーダ３は、ターンテーブル１回転角を等角
度に分割する回転角１号ａを発生する０ステージ４は、
光学系８が固定される。ステージ駆動部５は、ターンテ
ーブル１の半径方向へステージ４を移動する。位置検出
器６は、ターンテーブル１０回転中心からステージ４ま
での距離を検出し位置（ｉ号すを発生する。
レーザ７は、レーザビームＣを発生する。光学系８は、
レーザビームＣを２本のビームに分離し、１本をターン
デープル１上の被測定物に導く。被測定物に導かれたビ
ームは、被測定物で反射し、反射ビームｅになる。もう
一方は、被測定物に入射したビームの光量を検出するた
めに用いられる入射ビームベンこなる。
レーザビームＣを２本のビームに分離し、１本をターン
デープル１上の被測定物に導く。被測定物に導かれたビ
ームは、被測定物で反射し、反射ビームｅになる。もう
一方は、被測定物に入射したビームの光量を検出するた
めに用いられる入射ビームベンこなる。
光検出器９．１０ｒｉ、入射ビームｄと反射ビームｅを
各々区気信号に変換し入射信号ｆと反射信号ｇを発生す
る。
各々区気信号に変換し入射信号ｆと反射信号ｇを発生す
る。
選択器１１Ｔｒｉ、後記セレクト信号りに従い、入射信
号ｆと反射信号ｇの中から１つを選択し出力する。
号ｆと反射信号ｇの中から１つを選択し出力する。
λ／Ｄ変換部１２は、選択器１１の出力を後記タイミン
グ信号にのタイミングでＡ／Ｄ変換し、Ａ／Ｄデータｉ
を発生する〇 記憶部１３はＡ／Ｄデータｉを記憶する。
グ信号にのタイミングでＡ／Ｄ変換し、Ａ／Ｄデータｉ
を発生する〇 記憶部１３はＡ／Ｄデータｉを記憶する。
制御１１１１４Ｈ１人出力装置としてキーボード１５と
表示出力部１６を備えている。キーボード１５によって
人力された測定条件に基づいて回転角信ｇａと位１１５
号すからセレクト１５号りとタイミング１ｄ号ｋｔ−発
生する。ｌた測定終了後、キーボード１５によって人力
された出力形式に基ついて測定結果から膜厚１直を算出
し表示出力部１６ＶＣ出力する。
表示出力部１６を備えている。キーボード１５によって
人力された測定条件に基づいて回転角信ｇａと位１１５
号すからセレクト１５号りとタイミング１ｄ号ｋｔ−発
生する。ｌた測定終了後、キーボード１５によって人力
された出力形式に基ついて測定結果から膜厚１直を算出
し表示出力部１６ＶＣ出力する。
第２図〜第５図σ出力形式の例である。
第２図は、被測定物の半径方向における膜厚値変化を折
れ腺グラフで表示している。
れ腺グラフで表示している。
第３図は、仮測定物の円周方向におけるＩＡ厚直値変化
折れ巌グラフで表示している。
折れ巌グラフで表示している。
第４図は、測定結果が規格外であった位置を分布図とし
て表示している。
て表示している。
第５図は、測定結果が規格外であった位置と膜厚データ
を表示している。
を表示している。
本発明のレジスト遍厚検査装置１ＩＬｒｉ、測定値をデ
ィジタル化し蓄積することによシ、データの分析が容易
になシ、グラフ、分布図等を作成でさるという効果があ
る。また、膜厚値を反射信号と入射信号から算出してい
るので反射信号と入射信号が正常な範囲内であるかどう
かチエ、りできるという効果がある〇 レフト信号、ｉ・・・・・・Ａ／Ｄデータ、ｋ・・・・
・・タイばング信号、！・・・・・・反射率信号。
ィジタル化し蓄積することによシ、データの分析が容易
になシ、グラフ、分布図等を作成でさるという効果があ
る。また、膜厚値を反射信号と入射信号から算出してい
るので反射信号と入射信号が正常な範囲内であるかどう
かチエ、りできるという効果がある〇 レフト信号、ｉ・・・・・・Ａ／Ｄデータ、ｋ・・・・
・・タイばング信号、！・・・・・・反射率信号。
Claims (1)
- ターンテーブルと、前記ターンテーブルを回転するター
ンテーブル回転駆動部と、前記ターンテーブルの回転角
を等角度に分割する回転角信号を発生するエンコーダと
、前記ターンテーブルの半径方向へ移動できるステージ
と、前記ステージを駆動するステージ駆動部と、前記タ
ーンテーブルの回転中心から前記ステージまでの距離を
検出し位置信号を発生する位置検出器と、レーザビーム
を発生するレーザと、前記レーザビームを前記ターンテ
ーブルへ導く光学系と、前記ターンテーブルへ入射する
レーザビームと反射するレーザビームを検出し入射信号
と反射信号を発生する２つの光検出器と、前記入射信号
と前記反射信号の中から１つを選択する選択器と、前記
選択器の出力をディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器
と、前記ディジタル信号を記憶する記憶部と、入出力装
置を備え位置信号と回転角信号を記憶する制御部とを含
むことを特徴とするレジスト膜厚検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63195111A JPH06103172B2 (ja) | 1988-08-03 | 1988-08-03 | レジスト膜厚検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63195111A JPH06103172B2 (ja) | 1988-08-03 | 1988-08-03 | レジスト膜厚検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0244206A true JPH0244206A (ja) | 1990-02-14 |
| JPH06103172B2 JPH06103172B2 (ja) | 1994-12-14 |
Family
ID=16335681
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63195111A Expired - Fee Related JPH06103172B2 (ja) | 1988-08-03 | 1988-08-03 | レジスト膜厚検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06103172B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021032896A (ja) * | 2019-08-26 | 2021-03-01 | シュトゥルム マシーネン ウント アラゲンバウ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＳｔｕｒｍ Ｍａｓｃｈｉｎｅｎ− ＆ Ａｎｌａｇｅｎｂａｕ ＧｍｂＨ | センサ・デバイス |
-
1988
- 1988-08-03 JP JP63195111A patent/JPH06103172B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021032896A (ja) * | 2019-08-26 | 2021-03-01 | シュトゥルム マシーネン ウント アラゲンバウ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＳｔｕｒｍ Ｍａｓｃｈｉｎｅｎ− ＆ Ａｎｌａｇｅｎｂａｕ ＧｍｂＨ | センサ・デバイス |
| US11549802B2 (en) | 2019-08-26 | 2023-01-10 | Sturm Maschinen- & Anlagenbau Gmbh | Sensor device for examining the coating of a disc |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06103172B2 (ja) | 1994-12-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |