JPH06103172B2 - レジスト膜厚検査装置 - Google Patents
レジスト膜厚検査装置Info
- Publication number
- JPH06103172B2 JPH06103172B2 JP63195111A JP19511188A JPH06103172B2 JP H06103172 B2 JPH06103172 B2 JP H06103172B2 JP 63195111 A JP63195111 A JP 63195111A JP 19511188 A JP19511188 A JP 19511188A JP H06103172 B2 JPH06103172 B2 JP H06103172B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- turntable
- film thickness
- incident
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレジスト膜厚検査装置、特に、光ディスク原盤
作成時のレジスト膜厚検査装置に関する。
作成時のレジスト膜厚検査装置に関する。
従来のレジスト膜厚検査装置は、ターンテーブルと、前
記ターンテーブルを回転するターンテーブル回転駆動部
と、前記ターンテーブルの半径方向へ移動できるステー
ジと、前記ステージを駆動するステージ駆動部と、レー
ザビームを発生するレーザと、前記レーザビームを前記
ターンテーブルへ導く光学系と、前記ターンテーブルへ
入射するレーザビームと反射するレーザビームを検出し
入射信号と反射信号を発生する２つの光検出器と、前記
反射信号を前記入射信号で除算し反射率信号を発生する
除算部とを含んで構成される。
記ターンテーブルを回転するターンテーブル回転駆動部
と、前記ターンテーブルの半径方向へ移動できるステー
ジと、前記ステージを駆動するステージ駆動部と、レー
ザビームを発生するレーザと、前記レーザビームを前記
ターンテーブルへ導く光学系と、前記ターンテーブルへ
入射するレーザビームと反射するレーザビームを検出し
入射信号と反射信号を発生する２つの光検出器と、前記
反射信号を前記入射信号で除算し反射率信号を発生する
除算部とを含んで構成される。
次に従来のレジスト膜厚検査装置について図面を参照し
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
第６図は、従来のレジスト膜厚検査装置の一例を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
第６図に示すレジスト膜厚検査装置は、ターンテーブル
１と、ターンテーブル回転駆動部２と、ステージ４と、
ステージ駆動部５と、レーザ７と、光学系８と、光検出
器9,10と、除算部11とを含んでいる。
１と、ターンテーブル回転駆動部２と、ステージ４と、
ステージ駆動部５と、レーザ７と、光学系８と、光検出
器9,10と、除算部11とを含んでいる。
ここでターンテーブル１は、被測定物のレジストをコー
ティングした光ディスク原盤を載せる台である。ターン
テーブル回転駆動部２は、ターンテーブル１を回転す
る。ステージ４は、光学系８が固定される。ステージ駆
動部５は、ターンテーブル１の半径方向へステージ４を
移動する。
ティングした光ディスク原盤を載せる台である。ターン
テーブル回転駆動部２は、ターンテーブル１を回転す
る。ステージ４は、光学系８が固定される。ステージ駆
動部５は、ターンテーブル１の半径方向へステージ４を
移動する。
レーザ７は、レーザビームｃを発生する。光学系８は、
レーザビームｃを２本のビームに分離し、１本をターン
テーブル１上の被測定物に導く。被測定物に導かれたビ
ームは、被測定物で反射し、反射ビームｅになる。もう
一方は、被測定物に入射したビームの光量を検出するた
めに用いられる入射ビームｄになる。
レーザビームｃを２本のビームに分離し、１本をターン
テーブル１上の被測定物に導く。被測定物に導かれたビ
ームは、被測定物で反射し、反射ビームｅになる。もう
一方は、被測定物に入射したビームの光量を検出するた
めに用いられる入射ビームｄになる。
光検出器9,10は、入射ビームｄと反射ビームｅを各々電
気信号に変換し、入射信号ｆと反射信号ｇを発生する。
気信号に変換し、入射信号ｆと反射信号ｇを発生する。
除算部17は、反射信号ｇを入射信号ｆで除算し反射率信
号ｈを発生する。レジスト膜厚によって反射率が変化す
るので反射率信号ｌを測定することによってレジスト膜
厚を検査することができる。
号ｈを発生する。レジスト膜厚によって反射率が変化す
るので反射率信号ｌを測定することによってレジスト膜
厚を検査することができる。
上述した従来のレジスト膜厚検査装置は、測定値が測定
時限りで消えてしまうのでデータの蓄積、分析が困難で
あるという欠点があった。また、膜厚に相当する反射率
信号を生成するとき、ハード的に除算を行っているため
に、除算部の入力信号である反射信号と入射信号が除算
部の入力範囲内であるかどうかチエックできないという
欠点があった。
時限りで消えてしまうのでデータの蓄積、分析が困難で
あるという欠点があった。また、膜厚に相当する反射率
信号を生成するとき、ハード的に除算を行っているため
に、除算部の入力信号である反射信号と入射信号が除算
部の入力範囲内であるかどうかチエックできないという
欠点があった。
本発明のレジスト膜厚検査装置は、ターンテーブルと、
前記ターンテーブルを回転するターンテーブル回転駆動
部と、前記ターンテーブルの回転角を等角度に分割する
回転信号を発生するエンコーダと、前記ターンテーブル
の半径方向へ移動できるステージと、前記ステージを駆
動するステージ駆動部と、前記ターンテーブルの回転中
心から前記ステージまでの距離を検出し位置信号を発生
する位置検出器と、レーザビームを発生するレーザと、
前記レーザビームを前記ターンテーブルへ導く光学系
と、前記ターンテーブルへ入射するレーザビームと反射
するレーザビームを検出し、入射信号と反射信号を発生
する２つの光検出器と、前記入射信号と前記反射信号の
中から１つを選択する選択器と、前記選択器の出力をデ
ィジタル信号に変換するA/D変換器と、前記ディジタル
信号を記憶する記憶部と、入出力装置を備え位置信号と
回転角信号を記憶し、前記反射信号の前記ディジタル信
号を前記入射信号の前記ディジタル信号で除算し膜厚値
を算出する制御部とを含んで構成される。
前記ターンテーブルを回転するターンテーブル回転駆動
部と、前記ターンテーブルの回転角を等角度に分割する
回転信号を発生するエンコーダと、前記ターンテーブル
の半径方向へ移動できるステージと、前記ステージを駆
動するステージ駆動部と、前記ターンテーブルの回転中
心から前記ステージまでの距離を検出し位置信号を発生
する位置検出器と、レーザビームを発生するレーザと、
前記レーザビームを前記ターンテーブルへ導く光学系
と、前記ターンテーブルへ入射するレーザビームと反射
するレーザビームを検出し、入射信号と反射信号を発生
する２つの光検出器と、前記入射信号と前記反射信号の
中から１つを選択する選択器と、前記選択器の出力をデ
ィジタル信号に変換するA/D変換器と、前記ディジタル
信号を記憶する記憶部と、入出力装置を備え位置信号と
回転角信号を記憶し、前記反射信号の前記ディジタル信
号を前記入射信号の前記ディジタル信号で除算し膜厚値
を算出する制御部とを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
第１図に示すレジスト膜厚検査装置は、ターンテーブル
１と、ターンテーブル回転駆動部２と、エンコーダ３
と、ステージ４と、ステージ５と、位置検出器６と、レ
ーザ７と、光学系８と、光検出器9,10と、選択器11と、
A/D変換部12と、記憶部13と、制御部14と、キーボード1
5と、表示出力部16とを含んでいる。
１と、ターンテーブル回転駆動部２と、エンコーダ３
と、ステージ４と、ステージ５と、位置検出器６と、レ
ーザ７と、光学系８と、光検出器9,10と、選択器11と、
A/D変換部12と、記憶部13と、制御部14と、キーボード1
5と、表示出力部16とを含んでいる。
ここでターンテーブル１は、被測定物のレジストをコー
ティングした光ディスク原盤を載せる台である。ターン
テーブル回転駆動部２は、ターンテーブル１を回転す
る。エンコーダ３は、ターンテーブル１回転角を等角度
に分割する回転角信号ａを発生する。ステージ４は、光
学系８が固定される。ステージ駆動部５は、ターンテー
ブル１の半径方向へステージ４を移動する。位置検出器
６は、ターンテーブル１の回転中心からステージ４まで
の距離を検出し位置信号ｂを発生する。
ティングした光ディスク原盤を載せる台である。ターン
テーブル回転駆動部２は、ターンテーブル１を回転す
る。エンコーダ３は、ターンテーブル１回転角を等角度
に分割する回転角信号ａを発生する。ステージ４は、光
学系８が固定される。ステージ駆動部５は、ターンテー
ブル１の半径方向へステージ４を移動する。位置検出器
６は、ターンテーブル１の回転中心からステージ４まで
の距離を検出し位置信号ｂを発生する。
レーザ７は、レーザビームｃを発生する。光学系８は、
レーザビームｃを２本のビームに分離し、１本をターン
テーブル１上の被測定物に導く。被測定物に導かれたビ
ームは、被測定物で反射し、反射ビームｅになる。もう
一方は、被測定物に入射したビームの光量を検出するた
めに用いられる入射ビームｄになる。
レーザビームｃを２本のビームに分離し、１本をターン
テーブル１上の被測定物に導く。被測定物に導かれたビ
ームは、被測定物で反射し、反射ビームｅになる。もう
一方は、被測定物に入射したビームの光量を検出するた
めに用いられる入射ビームｄになる。
光検出器9,10は、入射ビームｄと反射ビームｅを各々電
気信号に変換し入射信号ｆと反射信号ｇを発生する。
気信号に変換し入射信号ｆと反射信号ｇを発生する。
選択器11は、後記セレクト信号ｈに従い、入射信号ｆと
反射信号ｇの中から１つを選択し出力する。
反射信号ｇの中から１つを選択し出力する。
A/D変換部12は、選択器11の出力を後記タイミング信号
ｋのタイミングでA/D変換し、A/Dデータｉを発生する。
ｋのタイミングでA/D変換し、A/Dデータｉを発生する。
記憶部13はA/Dデータｉを記憶する。
制御部14は、入出力装置としてキーボード15と表示出力
部16を備えている。キーボード15によって入力された測
定条件に基づいて回転角信号ａと位置信号ｂからセレク
ト信号ｈとタイミング信号ｋを発生する。また測定終了
後、キーボード15によって入力された出力形式に基づい
て測定結果から膜厚値を算出し表示出力部16に出力す
る。
部16を備えている。キーボード15によって入力された測
定条件に基づいて回転角信号ａと位置信号ｂからセレク
ト信号ｈとタイミング信号ｋを発生する。また測定終了
後、キーボード15によって入力された出力形式に基づい
て測定結果から膜厚値を算出し表示出力部16に出力す
る。
第２図〜第５図は出力形式の例である。
第２図は、被測定物の半径方向における膜厚値変化を折
れ線グラフで表示している。
れ線グラフで表示している。
第３図は、被測定物の円周方向における膜厚値変化を折
れ線グラフで表示している。
れ線グラフで表示している。
第４図は、測定結果が規格外であった位置を分布図とし
て表示している。
て表示している。
第５図は、測定結果が規格外であった位置と膜厚データ
を表示している。
を表示している。
本発明のレジスト膜厚検査装置は、測定値をディジタル
化し蓄積することにより、データの分析が容易になり、
グラフ、分布図等を作成できるという効果がある。ま
た、膜厚値を反射信号と入射信号から算出しているので
反射信号と入射信号が正常な範囲内であるかどうかチエ
ックできるという効果がある。
化し蓄積することにより、データの分析が容易になり、
グラフ、分布図等を作成できるという効果がある。ま
た、膜厚値を反射信号と入射信号から算出しているので
反射信号と入射信号が正常な範囲内であるかどうかチエ
ックできるという効果がある。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第2,3,4,
5図は、測定結果の出力形式例を示すグラフ、第６図は
従来の一例を示すブロック図である。 １……ターンテーブル、２……ターンテーブル回転駆動
部、３……エンコーダ、４……ステージ、５……ステー
ジ駆動部、６……位置検出器、７……レーザ、８……光
学系、9,10……光検出器、11……選択器、12…A/D変換
部、13……記憶部、14……制御部、15……キーボード、
16……表示出力部、17……除算部、 ａ……回転角信号、ｂ……位置信号、ｃ……レーザビー
ム、ｄ……入射ビーム、ｅ……反射ビーム、ｆ……入射
信号、ｇ……反射信号、ｈ……セレクト信号、ｉ……A/
Dデータ、ｋ……タイミング信号、ｌ……反射率信号。
5図は、測定結果の出力形式例を示すグラフ、第６図は
従来の一例を示すブロック図である。 １……ターンテーブル、２……ターンテーブル回転駆動
部、３……エンコーダ、４……ステージ、５……ステー
ジ駆動部、６……位置検出器、７……レーザ、８……光
学系、9,10……光検出器、11……選択器、12…A/D変換
部、13……記憶部、14……制御部、15……キーボード、
16……表示出力部、17……除算部、 ａ……回転角信号、ｂ……位置信号、ｃ……レーザビー
ム、ｄ……入射ビーム、ｅ……反射ビーム、ｆ……入射
信号、ｇ……反射信号、ｈ……セレクト信号、ｉ……A/
Dデータ、ｋ……タイミング信号、ｌ……反射率信号。
Claims (1)
- 【請求項１】ターンテーブルと、前記ターンテーブルを
回転するターンテーブル回転駆動部と、前記ターンテー
ブルの回転角を等角度に分割する回転角信号を発生する
エンコーダと、前記ターンテーブルの半径方向へ移動で
きるステージと、前記ステージを駆動するステージ駆動
部と、前記ターンテーブルの回転中心から前記ステージ
までの距離を検出して位置信号を発生する位置検出器
と、レーザビームを発生するレーザと、前記レーザビー
ムを前記ターンテーブルへ導く光学系と、前記ターンテ
ーブルへ入射するレーザビームと反射するレーザビーム
を検出し、入射信号と反射信号を発生する２つの光検出
器と、前記入射信号と前記反射信号の中から１つを選択
する選択器と、前記選択器の出力をディジタル信号に変
換するA/D変換器と、前記ディジタル信号を記憶する記
憶部と、入出力装置を備え位置信号と回転角信号を記憶
し、前記反射信号の前記ディジタル信号を前記入射信号
の前記ディジタル信号で除算し膜厚値を算出する制御部
とを含むことを特徴とするレジスト膜厚検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63195111A JPH06103172B2 (ja) | 1988-08-03 | 1988-08-03 | レジスト膜厚検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63195111A JPH06103172B2 (ja) | 1988-08-03 | 1988-08-03 | レジスト膜厚検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0244206A JPH0244206A (ja) | 1990-02-14 |
| JPH06103172B2 true JPH06103172B2 (ja) | 1994-12-14 |
Family
ID=16335681
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63195111A Expired - Fee Related JPH06103172B2 (ja) | 1988-08-03 | 1988-08-03 | レジスト膜厚検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06103172B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| HUE070094T2 (hu) * | 2019-08-26 | 2025-05-28 | Sturm Maschinen & Anlagenbau Gmbh | Érzékelõkészülék |
-
1988
- 1988-08-03 JP JP63195111A patent/JPH06103172B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0244206A (ja) | 1990-02-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |