JPS63159703A - レジスト膜厚検査装置 - Google Patents
レジスト膜厚検査装置Info
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- JPS63159703A JPS63159703A JP31490186A JP31490186A JPS63159703A JP S63159703 A JPS63159703 A JP S63159703A JP 31490186 A JP31490186 A JP 31490186A JP 31490186 A JP31490186 A JP 31490186A JP S63159703 A JPS63159703 A JP S63159703A
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- JP
- Japan
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- turntable
- stage
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- Pending
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 14
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 238000007405 data analysis Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレジスト膜厚検査装置、特に、光デイスク原盤
作成時のレジスト膜厚検査装置に関する。
作成時のレジスト膜厚検査装置に関する。
従来のレジスト膜厚検査装置は、ターンテーブルと、前
記ターンテーブルを回転するターンテーブル回転駆動部
と、前記ターンテーブルの半径方向へ移動できるステー
ジと、前記ステージを駆動するステージ駆動部と、レー
ザビームを発生するレーザと、前記レーザビームを前記
ターンテーブルへ導く光学系と、前記ターンテーブルへ
入射するレーザビームと反射するレーザビームを検出し
入射信号と反射信号を発生する２つの光検出器と、前記
反射信号を前記入射信号で除算し反射率信号を発生する
除算部とを含んで構成される。
記ターンテーブルを回転するターンテーブル回転駆動部
と、前記ターンテーブルの半径方向へ移動できるステー
ジと、前記ステージを駆動するステージ駆動部と、レー
ザビームを発生するレーザと、前記レーザビームを前記
ターンテーブルへ導く光学系と、前記ターンテーブルへ
入射するレーザビームと反射するレーザビームを検出し
入射信号と反射信号を発生する２つの光検出器と、前記
反射信号を前記入射信号で除算し反射率信号を発生する
除算部とを含んで構成される。
次に従来のレジスト膜厚検査装置について図面を参照し
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
第６図は、従来のレジスト膜厚検査装置の一例を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
第６図に示すレジスト膜厚検査装置は、ターンテーブル
１と、ターンテーブル回転駆動部２と、ステージ４と、
ステージ駆動部５と、レーザ７と、光学系８と、光検出
器９，１０と、除算部１１とを含んでいる。ここでター
ンテーブル１は、被測定物のレジストをコーティングし
た光デイスク原盤を載せる台である。
１と、ターンテーブル回転駆動部２と、ステージ４と、
ステージ駆動部５と、レーザ７と、光学系８と、光検出
器９，１０と、除算部１１とを含んでいる。ここでター
ンテーブル１は、被測定物のレジストをコーティングし
た光デイスク原盤を載せる台である。
ターンテーブル回転駆動部２は、ターンテーブル１を回
転する。
転する。
ステージ４は、光学系８が固定される。
ステージ駆動部５は、ターンテーブル１０半径方向へス
テージ４を移動する。
テージ４を移動する。
レーザ７は、レーザビームＣを発生する。
光学系８は、レーザビームＣを２本のビームに分離し、
１本をターンテーブル１上の被測定物に導く。被測定物
に導かれたビームは、被測定物で反射し、反射ビームｅ
になる。もう一方は、被測定物に入射したビームの光量
を検出するために用いられる入射ビームｄになる。
１本をターンテーブル１上の被測定物に導く。被測定物
に導かれたビームは、被測定物で反射し、反射ビームｅ
になる。もう一方は、被測定物に入射したビームの光量
を検出するために用いられる入射ビームｄになる。
光検出器９．工０は、入射ビームｄと反射ビームｅを各
々電気信号に変換し、入射信号ｆと反射信号ｇを発生す
る。
々電気信号に変換し、入射信号ｆと反射信号ｇを発生す
る。
除算部１１は、反射信号ｇを入射信号ｆで除算し反射率
信号りを発生する。
信号りを発生する。
レジスト膜厚によって反射率が変化するので反射率信号
りを測定することによってレジスト膜厚を検査すること
ができる。
りを測定することによってレジスト膜厚を検査すること
ができる。
上述した従来のレジスト膜厚検査装置は、測定値が測定
時限シで消えてしまうのでデータの蓄積、分析が困難で
あるという欠点があった。
時限シで消えてしまうのでデータの蓄積、分析が困難で
あるという欠点があった。
本発明のレジスト膜厚検査装置は、ターンテーブルと、
前記ターンテーブルを回転するターンテーブル回転駆動
部と、前記ターンテーブルの回転角を等角度に分割する
回転角信号を発生するエンコーダと、前記ターンテーブ
ルの半径方向へ移動できるステージと、前記ステージを
駆動するステージ駆動部と、前記ターンテーブルの回転
中心から前記ステージまでの距離を検出し位ｗ、信号を
発生する位置検出器と、レーザビームを発生するレーザ
と、前記レーザビームを前記ターンテーブルへ導く光学
系と、前記ターンテーブルへ入射するレーザビームと反
射するレーザビームを検出し入射信号と反射信号を発生
する２つの光検出器と、前記反射信号を前記入射信号で
除算し反射率信号をディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変
換部と、前記ディジタル信号を記憶する記憶部と、入出
力装置を備え、位置信号と回転角信号を記憶する制御部
とを含んで構成される。
前記ターンテーブルを回転するターンテーブル回転駆動
部と、前記ターンテーブルの回転角を等角度に分割する
回転角信号を発生するエンコーダと、前記ターンテーブ
ルの半径方向へ移動できるステージと、前記ステージを
駆動するステージ駆動部と、前記ターンテーブルの回転
中心から前記ステージまでの距離を検出し位ｗ、信号を
発生する位置検出器と、レーザビームを発生するレーザ
と、前記レーザビームを前記ターンテーブルへ導く光学
系と、前記ターンテーブルへ入射するレーザビームと反
射するレーザビームを検出し入射信号と反射信号を発生
する２つの光検出器と、前記反射信号を前記入射信号で
除算し反射率信号をディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変
換部と、前記ディジタル信号を記憶する記憶部と、入出
力装置を備え、位置信号と回転角信号を記憶する制御部
とを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
第１図に示すレジスト膜厚検査装置は、ターンテーブル
１と、ターンテーブル回転駆動部２と、エンコーダ３と
、ステージ４と、ステージ５と、位置検出器６と、レー
ザ７と、光学系８と、光検出器９．１０と、除算器１１
と、Ａ／Ｄ変換部１２と、記憶部１３と、制御部１４と
、キーボード１５と、表示出力部１６とを含んでいる。
１と、ターンテーブル回転駆動部２と、エンコーダ３と
、ステージ４と、ステージ５と、位置検出器６と、レー
ザ７と、光学系８と、光検出器９．１０と、除算器１１
と、Ａ／Ｄ変換部１２と、記憶部１３と、制御部１４と
、キーボード１５と、表示出力部１６とを含んでいる。
ここでターンテーブル１は、被測定物のレジストをコー
ティングした光デイスク原盤を載せる台である。
ティングした光デイスク原盤を載せる台である。
ターンテーブル回転駆動部２は、ターンテーブル１を回
転する。
転する。
エンコーダ３は、ターンテーブル１回転角を等角度に分
割する回転角信号ａを発生する、。
割する回転角信号ａを発生する、。
ステージ４は、光学系８が固定される。
ステージ駆動部５は、ターンテーブル１の半径方向へス
テージ４を移動する。
テージ４を移動する。
位置検出器６は、ターンテーブル１の回転中心からステ
ージ４までの距離を検出し位置信号すを発生する。
ージ４までの距離を検出し位置信号すを発生する。
レーザ７は、レーザビームＣを発生する。
光学系８は、レーザビームＣを２本のビームに分離し、
１本をターンテーブル１上の被測定物に導く。被測定物
に導かれたビームは、被測定物で反射し、反射ビームｅ
になる。もう一方は、被測定物に入射したビームの光量
を検出するために用いられる入射ビームｄになる。
１本をターンテーブル１上の被測定物に導く。被測定物
に導かれたビームは、被測定物で反射し、反射ビームｅ
になる。もう一方は、被測定物に入射したビームの光量
を検出するために用いられる入射ビームｄになる。
光検出器９，１０は、入射ビームｄと反射ビームｅを各
々電気信号に変換し入射信号ｆと反射信号ｇを発生する
。
々電気信号に変換し入射信号ｆと反射信号ｇを発生する
。
除算部１１は、反射信号ｇを入射信号ｆで除算し反射率
信号りを発生する。レジスト膜厚によりて反射率が変化
するので反射率信号りが膜厚に相当する。
信号りを発生する。レジスト膜厚によりて反射率が変化
するので反射率信号りが膜厚に相当する。
Ａ／Ｄ変換部１２は、反射率信号りを後記タイミング信
号にのタイミングでＡ／Ｄ変換し、膜厚データｉを発生
する。
号にのタイミングでＡ／Ｄ変換し、膜厚データｉを発生
する。
記憶部１３は膜厚データｉを記憶する。
制御部１４は、入出力装置としてキーボード１５と表示
出力部１６を備えている。キーボード１５によって入力
された測定条件に基づいて回転角信号ａと位置信号すか
らタイミング信号ｋを発生する。また測定終了後、キー
ボード１５によって入力された出力形式に基づいて測定
結果を表示出力部１６に出力する。
出力部１６を備えている。キーボード１５によって入力
された測定条件に基づいて回転角信号ａと位置信号すか
らタイミング信号ｋを発生する。また測定終了後、キー
ボード１５によって入力された出力形式に基づいて測定
結果を表示出力部１６に出力する。
第２図〜第５図は出力形式の例である。
第２図は、被測定物の半径方向における膜厚値変化を折
れ線グラフで表示している。
れ線グラフで表示している。
第３図は、被測定物の円周方向における膜厚値変化を折
れ線グラフで表示している。
れ線グラフで表示している。
第４図は、測定結果が規格外であった位ｆｉｔを分布図
として表示している。
として表示している。
第５図は、測定結果が規格外であった位置と膜厚データ
を表示している。
を表示している。
本発明のレジスト膜厚検査装置は、測定値をディジタル
化し蓄積することによシ、データの分析が容易になシ、
グラフ、分布図等を作成できるという効果がある。
化し蓄積することによシ、データの分析が容易になシ、
グラフ、分布図等を作成できるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２．３
，４．５図は、測定結果の出力形式例を示すグラフ、第
６図は、従来の一例を示すブロック図である。 １・・・・・・ターンチー７’ル、２・・・・・・ター
ンテーブル回転駆動部、３・−・・・・エンコーダ、４
・・・・・・ステージ、５・・・・・・ステージ駆動部
、６・・・・・・位置検出器、７・・・・・・レーザ、
８・・・・・・光学系、９，１０・・・・・・光検出器
、１１・・・・・・除算部、１２・・・・・・Ａ／Ｄ変
換部、１３・・・・・・記憶部、１４・・・・・・制御
部、１５・・・・・・キーボード、１６・・・・・・表
示出力部、ａ・・・・・・回転角信号、ｂ・・・・・・
位置信号、Ｃ・・・・・・レーザビーム、ｄ・・・・・
・入射ビーム、ｅ・・・・・・反射ビーム、ｆ・・・・
・・入射信号、ｇ・・・・・・〕う”乙図
，４．５図は、測定結果の出力形式例を示すグラフ、第
６図は、従来の一例を示すブロック図である。 １・・・・・・ターンチー７’ル、２・・・・・・ター
ンテーブル回転駆動部、３・−・・・・エンコーダ、４
・・・・・・ステージ、５・・・・・・ステージ駆動部
、６・・・・・・位置検出器、７・・・・・・レーザ、
８・・・・・・光学系、９，１０・・・・・・光検出器
、１１・・・・・・除算部、１２・・・・・・Ａ／Ｄ変
換部、１３・・・・・・記憶部、１４・・・・・・制御
部、１５・・・・・・キーボード、１６・・・・・・表
示出力部、ａ・・・・・・回転角信号、ｂ・・・・・・
位置信号、Ｃ・・・・・・レーザビーム、ｄ・・・・・
・入射ビーム、ｅ・・・・・・反射ビーム、ｆ・・・・
・・入射信号、ｇ・・・・・・〕う”乙図
Claims (1)
- ターンテーブルと、前記ターンテーブルを回転するター
ンテーブル回転駆動部と、前記ターンテーブルの回転角
を等角度に分割する回転角信号を発生するエンコーダと
、前記ターンテーブルの半径方向へ移動できるステージ
と、前記ステージを駆動するステージ駆動部と、前記タ
ーンテーブルの回転中心から前記ステージまでの距離を
検出し位置信号を発生する位置検出器と、レーザビーム
を発生するレーザと、前記レーザビームを前記ターンテ
ーブルへ導く光学系と、前記ターンテーブルへ入射する
レーザビームと反射するレーザビームを検出し入射信号
と反射信号を発生する２つの光検出器と、前記反射信号
を前記入射信号で除算し反射率信号を発生する除算部と
、前記反射率信号をディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変
換部と、前記ディジタル信号を記憶する記憶部と、入出
力装置を備え、位置信号と回転角信号を記憶する制御部
とを含むことを特徴とするレジスト膜厚検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31490186A JPS63159703A (ja) | 1986-12-23 | 1986-12-23 | レジスト膜厚検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31490186A JPS63159703A (ja) | 1986-12-23 | 1986-12-23 | レジスト膜厚検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63159703A true JPS63159703A (ja) | 1988-07-02 |
Family
ID=18059000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31490186A Pending JPS63159703A (ja) | 1986-12-23 | 1986-12-23 | レジスト膜厚検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63159703A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0478036A (ja) * | 1990-07-12 | 1992-03-12 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | ディスク欠陥検査装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59200911A (ja) * | 1983-04-28 | 1984-11-14 | Toshiba Corp | デイスク寸法測定装置 |
| JPS61108903A (ja) * | 1984-11-01 | 1986-05-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 液体膜の厚み分布測定装置 |
-
1986
- 1986-12-23 JP JP31490186A patent/JPS63159703A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59200911A (ja) * | 1983-04-28 | 1984-11-14 | Toshiba Corp | デイスク寸法測定装置 |
| JPS61108903A (ja) * | 1984-11-01 | 1986-05-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 液体膜の厚み分布測定装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0478036A (ja) * | 1990-07-12 | 1992-03-12 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | ディスク欠陥検査装置 |
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