JPH0244738B2 - Hakubanjobutsutainotoridashisochi - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は薄板状物体の取出し装置に関するもの
であり、更に詳しくは、キヤリヤ内に層状に収納
されたウエハ等の複数の薄板状物体を、発光部お
よび受光部を有する取出しアームによつて薄板状
物体の有無を確認しつつ順次取出すようにしたも
のである。

［従来の技術］ 薄板状物体としての例えばウエハ１は、第４図
に示す如く取扱いに便利なように箱形のキヤリヤ
２内に層状に収納される。このように収納された
ウエハ１は、キヤリヤ２内に水平に挿入される取
出しアーム（不図示）の上に載せてキヤリヤ２外
に取出される。この取出しアームは例えば同図で
破線にて示す如く左右方向に往復移動しつつ下側
から上側へと駆動制御され、ウエハ１を順次キヤ
リヤ２外に取出すように構成されている。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、従来の薄板状物体の取出し装置
では、キヤリヤ２内におけるウエハ１の有無に関
わりなく取出しアームが駆動されるため、ウエハ
１が無いところでも取出しアームが無駄に動いて
しまい、ウエハ１の取出し作業に時間がかかつて
いた。

本発明は、このような事情に鑑みなされたもの
で、その目的は、キヤリヤ内に層状に収納された
複数の溌板状物体を該キヤリヤから効率よく順次
取出すことが可能で、且つ装置本体を小型にする
ことが可能な薄板状物体の取出し装置を提供する
ことにある。

［問題点を解決するための手段］ 上述の目的を達成するため、本発明は、キヤリ
ヤ内に層状に収納された複数の薄板状物体を前記
キヤリヤから順次取出す取出し装置において、前
記薄板状物体を支持するアームと、前記アームを
前記キヤリヤに対する進退方向と前記薄板状物体
の積層方向に沿つて移動する駆動機構と、前記薄
板状物体の前記アームによつて支持されるアーム
支持面側に光を照射するために一端が発光部とし
て前記アームに設けられている発光側フアイバ
と、前記薄板状物体のアーム支持面側で反射され
た光を受光するために一端が受光部として前記ア
ームに設けられている受光側フアイバと、前記ア
ームが前記キヤリヤ内に進入している際、前記薄
板状物体のアーム支持面側で反射された前記発光
側フアイバの発光部からの光を前記受光側フアイ
バの受光部を介して検出することにより、前記キ
ヤリヤ内に進入している前記アームの近傍に前記
薄板状物体があるかないかを検出する検出器を有
すると共に、前記検出器の検出結果に基づいて前
記駆動機構の動作を制御することを特徴としてい
る。

［作 用］ 上述のように構成された本発明の薄板状物体の
取出し装置においては、キヤリヤ内の薄板状物体
が無いところが取出しアームの受光部を通して検
出され、この検出結果に基づいて取出しアームが
スキツプ駆動されるので、取出しアームの無駄な
動きがなくなり、薄板状物体の取出しをスピーデ
イに完了することができる。

［実施例］ 以下、具体的に図面を用いて実施例を説明す
る。

第１図および第２図は、本発明に従つて構成し
たウエハの取出し装置を示したものであつて、同
図に示す如く水平な取出しアーム３の中にはその
長手方向に沿つて発光側フアイバ４と受光側フア
イバ５が上下２段で束になつて配設されている。
これらフアイバ４，５の先端の発光部４ａおよび
受光部５ａはプリズム６に接続され、発光部４ａ
から発した光がプリズム６を通して真上に屈折さ
れるとともに、ウエハ１からの反射光がプリズム
６を通して受光部５ａに導入されるようになつて
いる。このようにフアイバ４，５のプリズム６を
用いているので、取出しアーム３の厚さは従来と
同程度に構成できる。

取出しアーム３の基端部は第２図に示す如く昇
降部材７に支持されており、昇降部材７の内部に
配設された垂直駆動装置および水平駆動装置によ
つて取出しアーム３が上下方向および左右方向に
自在に駆動されるようになつている。また上記発
光側フアイバ４および受光側フアイバ５はセンサ
ーアンプ８に接続され、ウエハ１からの反射光は
受光側フアイバ５を通してセンサーアンプ８に導
入され検出されるようになつている。なお、取出
しアーム３の上方にウエハ１があるか否かの検出
可能距離は、センサーアンプ８の調節により適切
に設定される。

センサーアンプ８の検出結果は、前述した垂直
駆動装置および水平駆動装置のコントローラ（図
示せず。）に入力され、取出しアーム３のすぐ上
にウエハ１がないときは、第３図に示す如く取出
しアーム３が上方に向つてスキツプ駆動され、ウ
エハ１があるところで再びもとのように駆動され
るようになつている。

以上のような構成を有する本発明の取出し装置
において、第３図に示す如くキヤリヤ２内のウエ
ハ１があるところでは、取出しアーム３の発光部
４ａから発した光がウエハ１の下面に反射されて
受光部５ａに導入され、受光側フアイバ５を通つ
てセンサーアンプ８に検出される。そしてこの検
出結果に基づいて取出しアーム３が左右方向に往
復移動しつつ下側から上側へと駆動制御され、ウ
エハ１が順次取出される。

一方、キヤリヤ２内のウエハ１がないところで
は、取出しアーム３の発光部４ａから発した光が
受光部５ａに戻つてこないので、これをセンサー
アンプ８が検出し、この検出結果に基づいて取出
しアーム３が上方に向つてスキツプ駆動される。

以上、本発明の一実施例につき説明したが、本
発明は上記実施例に限定されることなく種々の変
形が可能である。例えば上記実施例ではプリズム
６を用いたが、反射鏡を用いてもよい。またフア
イバ４，５の発光部４ａおよび受光部５ａを上方
に向けてもよい。また、本発明はウエハ１に限ら
ず各種薄板状物体の取出し装置に適用可能であ
る。

［発明の効果］ 本発明の薄板状物体の取出し装置は、ウエハの
ないところでは取出しアームがスキツプ駆動され
るので、取出しアームの無駄な動きがなく、ウエ
ハの取出しをスピーデイに完了することができ
る。また、本発明によれば、取出しアームを大型
化することなく、上述の機能を可能にできる。こ
のため、本発明によれば、取出しアームの駆動機
構を大掛かりなものとする必要がないので、コン
パクトでスピーデイな薄板状物体の取出し装置の
提供が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に従つて構成したウエハの取出
し装置の取出しアームの側面図、第２図は取出し
装置全体の概略側面図、第３図は取出しアームの
移動軌跡を示す側面図、第４図は従来のウエハの
取出し装置における第３図と同様の側面図であ
る。 １……ウエハ、２……キヤリヤ、３……取出し
アーム、４……発光側フアイバ、４ａ……発光
部、５……受光側フアイバ、５ａ……受光部、６
……プリズム、８……センサーアンプ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ キヤリヤ内に層状に収納された複数の薄板状
   物体を前記キヤリヤから順次取出す取出し装置に
   おいて、前記薄板状物体を支持するアームと、前
   記アームを前記キヤリヤに対する進退方向と前記
   薄板状物体の積層方向に沿つて移動する駆動機構
   と、前記薄板状物体の前記アームによつて支持さ
   れるアーム支持面側に光を照射するために一端が
   発光部として前記アームに設けられている発光側
   フアイバと、前記薄板状物体のアーム支持面側で
   反射された光を受光するために一端が受光部とし
   て前記アームに設けられている受光側フアイバ
   と、前記アームが前記キヤリヤ内に進入している
   際、前記薄板状物体のアーム支持面側で反射され
   た前記発光側フアイバの発光部からの光を前記受
   光側フアイバの受光部を介して検出することによ
   り、前記キヤリヤ内に進入している前記アームの
   近傍に前記薄板状物体があるかないかを検出する
   検出器を有すると共に、前記検出器の検出結果に
   基づいて前記駆動機構の動作を制御することを特
   徴とする薄板状物体の取出し装置。