JPH0244953Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0244953Y2 JPH0244953Y2 JP1985203779U JP20377985U JPH0244953Y2 JP H0244953 Y2 JPH0244953 Y2 JP H0244953Y2 JP 1985203779 U JP1985203779 U JP 1985203779U JP 20377985 U JP20377985 U JP 20377985U JP H0244953 Y2 JPH0244953 Y2 JP H0244953Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- holder
- sensor
- workpiece
- locking portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
本考案は、ノズル先端とワーク間の距離をセン
サによつて検出し、その距離を一定に保つように
ノズル高さを移動調整するレーザ加工機のノズル
移動装置に関する。
サによつて検出し、その距離を一定に保つように
ノズル高さを移動調整するレーザ加工機のノズル
移動装置に関する。
従来の技術
レーザ加工においては、一般的にワークに対す
るレーザ光の焦点位置を一定に保つことが必要で
ある。
るレーザ光の焦点位置を一定に保つことが必要で
ある。
このため、従来からノズル先端或はその付近に
取付けたセンサによつてノズル先端とワーク間の
距離を検出し、この距離が一定となるように、レ
ンズを一体に保持したノズルを上下移動し、ワー
ク表面にレーザ光の焦点位置を合わせる方法がと
られたきた。
取付けたセンサによつてノズル先端とワーク間の
距離を検出し、この距離が一定となるように、レ
ンズを一体に保持したノズルを上下移動し、ワー
ク表面にレーザ光の焦点位置を合わせる方法がと
られたきた。
このとき、ワークの形状によつて連続的に高低
が変化するワーク表面に対応するためには速かに
ノズルを移動させる必要が生じる。しかしなが
ら、従来の方法ではレンズの移動のための駆動源
としてサーボモータを使用しており、モータのロ
ータイナーシヤ、加減速時定数、またモータと連
結する駆動部材のイナーシヤ等により、センサの
信号が出てから実際にノズルが動くまでに時間が
かかり、非常に応答性が悪かつた。このため、ノ
ズルの動きに時間的なずれが生じ、加工上問題点
を有していた。
が変化するワーク表面に対応するためには速かに
ノズルを移動させる必要が生じる。しかしなが
ら、従来の方法ではレンズの移動のための駆動源
としてサーボモータを使用しており、モータのロ
ータイナーシヤ、加減速時定数、またモータと連
結する駆動部材のイナーシヤ等により、センサの
信号が出てから実際にノズルが動くまでに時間が
かかり、非常に応答性が悪かつた。このため、ノ
ズルの動きに時間的なずれが生じ、加工上問題点
を有していた。
考案の目的およびその解決手段
ここに、本考案の目的は、センサの信号からノ
ズルが動くまでの時間を要せず、レンズの動きに
時間のずれを生じることのない優れた応答性を有
する装置を提供することにある。
ズルが動くまでの時間を要せず、レンズの動きに
時間のずれを生じることのない優れた応答性を有
する装置を提供することにある。
このために、本考案はノズル移動に駆動源とし
て永久磁石とコイルで形成される磁気回路を用い
たものである。
て永久磁石とコイルで形成される磁気回路を用い
たものである。
考案の構成
以下、本考案装置の構成を図に基づき具体的に
説明する。
説明する。
1はプログラム指令等により上下動するホルダ
ー本体で、2はこのホルダー本体1に対し光軸に
沿つて上下動自在に保持されたノズルホルダーで
ある。上記ホルダー本体1の内部に、レーザ光の
光路を囲むようにして断面逆L字形リング状の鉄
芯3およびこの鉄芯3と向きあうように断面L字
形リング状の永久磁石4がそれぞれ固定されてい
る。そして、上記ノズルホルダー2上端に取り付
けたコイル5と上記永久磁石4および鉄芯3とで
図中破線で示す磁気回路6が形成されている。な
お、上記ホルダー本体1は磁気もれ防止のため非
磁性体で形成されている。
ー本体で、2はこのホルダー本体1に対し光軸に
沿つて上下動自在に保持されたノズルホルダーで
ある。上記ホルダー本体1の内部に、レーザ光の
光路を囲むようにして断面逆L字形リング状の鉄
芯3およびこの鉄芯3と向きあうように断面L字
形リング状の永久磁石4がそれぞれ固定されてい
る。そして、上記ノズルホルダー2上端に取り付
けたコイル5と上記永久磁石4および鉄芯3とで
図中破線で示す磁気回路6が形成されている。な
お、上記ホルダー本体1は磁気もれ防止のため非
磁性体で形成されている。
ノズルホルダー2は絶縁体よりなり、内部に集
光レンズ7を一体に保持し、先端には静電容量セ
ンサ8を兼用したノズル9が取り付けられてい
る。
光レンズ7を一体に保持し、先端には静電容量セ
ンサ8を兼用したノズル9が取り付けられてい
る。
このノズルホルダー2はホルダー本体1内に取
付けられた上下2枚のフラツパー10,10によ
つて上下動自在にかつ弾発的に支持されている。
このフラツパー10は例えば断面波形のリング状
に形成され、その外縁部をホルダー本体1に内縁
部をノズルホルダー2にそれぞれ止着している。
付けられた上下2枚のフラツパー10,10によ
つて上下動自在にかつ弾発的に支持されている。
このフラツパー10は例えば断面波形のリング状
に形成され、その外縁部をホルダー本体1に内縁
部をノズルホルダー2にそれぞれ止着している。
そして、このノズルホルダー2上端に取付けら
れた上記コイル5が磁気回路6内に挿入され、上
記静電容量センサ8からの検出信号は容量検出器
11、DCアンプ12を通つて、ホルダー本体1
に取り付けたプラグ13およびリード線14を介
してコイル5に流れ込み、この電流値に応じてホ
ルダー2が上下移動されるようになつている。
れた上記コイル5が磁気回路6内に挿入され、上
記静電容量センサ8からの検出信号は容量検出器
11、DCアンプ12を通つて、ホルダー本体1
に取り付けたプラグ13およびリード線14を介
してコイル5に流れ込み、この電流値に応じてホ
ルダー2が上下移動されるようになつている。
また、ノズルホルダー2の外周部にフランジ状
の係止部2aが一体に突出形成され、この係止部
2aより下方に対向するように上記ホルダー本体
1にストツパー15が設けられている。このスト
ツパー15はホルダー本体1下部に形成されてい
るシリンダ16内に上下摺動自在に嵌合されたピ
ストン17と一体に形成され、かつばね受け座2
0との間に縮設させた圧縮スプリング18に付勢
されて常時は図のように係止部2aとは或る程度
離間した後退限位置に保持されており、ノズルホ
ルダー2はノズル9先端とワークW間の距離hを
一定に保つために上下動可能となつている。
の係止部2aが一体に突出形成され、この係止部
2aより下方に対向するように上記ホルダー本体
1にストツパー15が設けられている。このスト
ツパー15はホルダー本体1下部に形成されてい
るシリンダ16内に上下摺動自在に嵌合されたピ
ストン17と一体に形成され、かつばね受け座2
0との間に縮設させた圧縮スプリング18に付勢
されて常時は図のように係止部2aとは或る程度
離間した後退限位置に保持されており、ノズルホ
ルダー2はノズル9先端とワークW間の距離hを
一定に保つために上下動可能となつている。
一方、ワークWの切断経路テイーチング時或は
ワークWに孔があいている上をノズル9が通過す
る場合などは、センサ8がOFFされ、同時にシ
リンダ16内にエアーが供給されるようになつて
いる。このため、ピストン17はスプリング18
に抗して上昇されストツパー15の肩部がばね受
け座20で係止されることにより前進限位置に保
持される。したがつてストツパー15は係止部2
aにより接近した位置に保持されるため、磁気回
路6によつてノズルホルダー2が孔の中などに急
下降しようとしてもストツパー15に弾発的に係
止されてホルダー2の下降限が規制される。これ
により、ホルダー2を安全な下降位置に確実に保
持することができる。なお、19はホルダー本体
1の側面に開口されたエアー抜き孔である。
ワークWに孔があいている上をノズル9が通過す
る場合などは、センサ8がOFFされ、同時にシ
リンダ16内にエアーが供給されるようになつて
いる。このため、ピストン17はスプリング18
に抗して上昇されストツパー15の肩部がばね受
け座20で係止されることにより前進限位置に保
持される。したがつてストツパー15は係止部2
aにより接近した位置に保持されるため、磁気回
路6によつてノズルホルダー2が孔の中などに急
下降しようとしてもストツパー15に弾発的に係
止されてホルダー2の下降限が規制される。これ
により、ホルダー2を安全な下降位置に確実に保
持することができる。なお、19はホルダー本体
1の側面に開口されたエアー抜き孔である。
考案の作用
上記構成により、加工時センサ8がワークWと
の間の静電容量を検知すると、その信号は容量検
出器11、DCアンプ12を通つてコイル5に流
れ、磁気回路6によつてホルダー2はギヤツプh
を一定に保つように瞬時に上昇または下降され
る。このように、センサ8による検出とホルダー
2移動のタイミングはほとんど一致しており、す
ばやく応答できる。
の間の静電容量を検知すると、その信号は容量検
出器11、DCアンプ12を通つてコイル5に流
れ、磁気回路6によつてホルダー2はギヤツプh
を一定に保つように瞬時に上昇または下降され
る。このように、センサ8による検出とホルダー
2移動のタイミングはほとんど一致しており、す
ばやく応答できる。
また、テイーチング時などセンサ8がOFFさ
れると自動的にシリンダ16にエアーが流入さ
れ、ストツパー15は突き上げられ、ホルダー2
の係止部2aと当接する。よつて、センサ8によ
る容量がゼロになつてもホルダー2は急下降する
ことなくホルダーは安全な下降限位置に保持され
る。
れると自動的にシリンダ16にエアーが流入さ
れ、ストツパー15は突き上げられ、ホルダー2
の係止部2aと当接する。よつて、センサ8によ
る容量がゼロになつてもホルダー2は急下降する
ことなくホルダーは安全な下降限位置に保持され
る。
なお、上記実施例ではセンサ8に静電容量型セ
ンサを用いたが、これに限らず磁気センサーや他
のセンサーを用いてギヤツプhを検出する方法も
可能である。
ンサを用いたが、これに限らず磁気センサーや他
のセンサーを用いてギヤツプhを検出する方法も
可能である。
考案の効果
以上説明したように、本考案はノズル先端とワ
ークとの間の距離を一定に保つためのノズル移動
の駆動源に、永久磁石とコイルで形成される磁気
回路を用いたので、センサの信号からノズルが動
くまでに時間的ずれが全くなく、優れた応答性を
有し、しかも永久磁石をホルダー本体内に組み込
んだので、構造的および外観的にもコンパクトと
なる効果がある。
ークとの間の距離を一定に保つためのノズル移動
の駆動源に、永久磁石とコイルで形成される磁気
回路を用いたので、センサの信号からノズルが動
くまでに時間的ずれが全くなく、優れた応答性を
有し、しかも永久磁石をホルダー本体内に組み込
んだので、構造的および外観的にもコンパクトと
なる効果がある。
さらに、センサのOFF時に働くノズルホルダ
ーの下降限を規制するストツパーを設けることに
より、ノズルホルダーの急下降が防止され衝突な
どを未然に防止でき、テイーチング時やまたノズ
ルが加工ワークの孔上を通過する時などノズルを
下降限位置に確保し安全な状態に保持させておく
ことができる。
ーの下降限を規制するストツパーを設けることに
より、ノズルホルダーの急下降が防止され衝突な
どを未然に防止でき、テイーチング時やまたノズ
ルが加工ワークの孔上を通過する時などノズルを
下降限位置に確保し安全な状態に保持させておく
ことができる。
図は本考案の装置を示す垂直断面図である。
1……ホルダー本体、2……ノズルホルダー、
2a……係止部、4……永久磁石、5……コイ
ル、6……磁気回路、7……集光レンズ、8……
静電容量センサ、9……ノズル、15……ストツ
パー。
2a……係止部、4……永久磁石、5……コイ
ル、6……磁気回路、7……集光レンズ、8……
静電容量センサ、9……ノズル、15……ストツ
パー。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ノズル先端にワークとの距離を検出するセン
サを有し、このセンサによる検出信号に基づい
て、ノズル高さを調整し、ノズル先端とワーク
間の距離を一定に保つようにしたレーザ加工機
において、内部に集光レンズを一体に保持しか
つ先端に上記ノズルを有するノズルホルダー
を、ホルダー本体に対し上下移動自在に保持す
るとともに、このノズルホルダーの上端部に上
記センサと電気的に接続されたコイルを設け、
このコイルと磁気回路を形成する永久磁石を上
記ホルダー本体内に組み込み、上記磁気回路に
よりノズルホルダーを上下駆動することを特徴
とするレーザ加工機のノズル移動装置。 (2) ノズルホルダーの外周部に係止部を設け、ヘ
ツド本体に常時は上記係止部に対し下方に離間
した位置に保持され、センサのオフ時に上昇し
て上記係止部に当接しノズルホルダーの下降限
を規制するストツパーを有することを特徴とす
る実用新案登録請求の範囲範囲第1項記載のレ
ーザ加工機のノズル移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985203779U JPH0244953Y2 (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985203779U JPH0244953Y2 (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62109888U JPS62109888U (ja) | 1987-07-13 |
| JPH0244953Y2 true JPH0244953Y2 (ja) | 1990-11-28 |
Family
ID=31169427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985203779U Expired JPH0244953Y2 (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0244953Y2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2751766B2 (ja) * | 1992-11-30 | 1998-05-18 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置 |
| US7886449B2 (en) * | 2007-02-20 | 2011-02-15 | Electro Scientific Industries, Inc. | Flexure guide bearing for short stroke stage |
| JP5941087B2 (ja) | 2014-03-25 | 2016-06-29 | ファナック株式会社 | 電源障害時に加工ノズルを退避するレーザ加工装置 |
| WO2020194444A1 (ja) * | 2019-03-25 | 2020-10-01 | 株式会社ニコン | 加工システム |
-
1985
- 1985-12-27 JP JP1985203779U patent/JPH0244953Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62109888U (ja) | 1987-07-13 |
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