JPH026835A - 制御機能付きバルブ及び減圧室の排気方法 - Google Patents
制御機能付きバルブ及び減圧室の排気方法Info
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- JPH026835A JPH026835A JP15658588A JP15658588A JPH026835A JP H026835 A JPH026835 A JP H026835A JP 15658588 A JP15658588 A JP 15658588A JP 15658588 A JP15658588 A JP 15658588A JP H026835 A JPH026835 A JP H026835A
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- pressure
- gas
- decompression chamber
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Lift Valve (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
大気圧状態の減圧室の気体を排気して減圧状態にする機
器及び減圧室の排気方法に関し、減圧室から気体を排気
する際にパーティクルの浮遊が生じない、排気する気体
の流量を自動的に変化させることにより減圧室の室内圧
の変動をなくすことが可能な、自己制御型バルブ及び減
圧室の排気方法の提供を目的とし、 減圧室の気体を排気するのに用いるパルプであって、排
気気体の排気量を規制する弁体と、該弁体の開閉を自己
制御する手段とを具備よう構成する。
器及び減圧室の排気方法に関し、減圧室から気体を排気
する際にパーティクルの浮遊が生じない、排気する気体
の流量を自動的に変化させることにより減圧室の室内圧
の変動をなくすことが可能な、自己制御型バルブ及び減
圧室の排気方法の提供を目的とし、 減圧室の気体を排気するのに用いるパルプであって、排
気気体の排気量を規制する弁体と、該弁体の開閉を自己
制御する手段とを具備よう構成する。
本発明は、真空を利用する装置に係り、特に大気圧状態
の減圧室の気体を排気して減圧状態にする機器及び減圧
室の排気方法に関するものである。
の減圧室の気体を排気して減圧状態にする機器及び減圧
室の排気方法に関するものである。
近年、真空を利用する装置において、大気圧状態の減圧
室の気体を排気して減圧状態にする場合に、パーティク
ルが浮遊しないように種々の異径オリフィスによる多段
排気を行うため、オリフィスの切り換え時点において大
きな圧力変動が生じる障害が発生し、更にこの減圧室か
ら排気する気体の配管系統に多くの継手を用いるために
リークの発生する確率が高くなる障害が発生している。
室の気体を排気して減圧状態にする場合に、パーティク
ルが浮遊しないように種々の異径オリフィスによる多段
排気を行うため、オリフィスの切り換え時点において大
きな圧力変動が生じる障害が発生し、更にこの減圧室か
ら排気する気体の配管系統に多くの継手を用いるために
リークの発生する確率が高くなる障害が発生している。
以上のような状況から減圧室からの排気に際して圧力変
動が生じない、配管系統にリークが発生しないようにす
ることが可能な機器及び方法が要望されている。
動が生じない、配管系統にリークが発生しないようにす
ることが可能な機器及び方法が要望されている。
従来の減圧室の気体を排気するのに用いる機器及び排気
方法について第３図及び第５図により説明する。
方法について第３図及び第５図により説明する。
減圧室１０の排気系統に何も対策を講じないで減圧室１
０内の空気を排気ポンプ１１によって排気する場合、減
圧室１０の室内圧は、第３図に点線にて示すような圧力
変化をする。
０内の空気を排気ポンプ１１によって排気する場合、減
圧室１０の室内圧は、第３図に点線にて示すような圧力
変化をする。
この場合には、室内圧の急激な変化のためにパーティク
ルが浮遊する障害が発生する。
ルが浮遊する障害が発生する。
このため、従来の真空を用いる装置の減圧室の排気は、
第５図に示すような気体を多段排気により行う排気方法
を採用している。
第５図に示すような気体を多段排気により行う排気方法
を採用している。
大気圧状態の減圧室１０内の気体を排気する場合には、
図に示すように排気側にそれぞれ異なる配管径を有する
複数の排気配管を設けて真空ポンプ１１と接続し、それ
ぞれの排気配管にニードルバルブ２１，２２．２３を設
け、まず第３図にＡで示す期間には配管径の最も細いニ
ードルバルブ２１を開き、つぎに第３図にＢで示す期間
にはニードルバルブ２１と配管径が中位のニードルバル
ブ２２、更に第３図にＣで示す期間にはニードルバルブ
２３を加えてニードルバルブ２１，２２．２３のすべて
を開く多段排気法によって減圧室１０の気体を排気して
いる。
図に示すように排気側にそれぞれ異なる配管径を有する
複数の排気配管を設けて真空ポンプ１１と接続し、それ
ぞれの排気配管にニードルバルブ２１，２２．２３を設
け、まず第３図にＡで示す期間には配管径の最も細いニ
ードルバルブ２１を開き、つぎに第３図にＢで示す期間
にはニードルバルブ２１と配管径が中位のニードルバル
ブ２２、更に第３図にＣで示す期間にはニードルバルブ
２３を加えてニードルバルブ２１，２２．２３のすべて
を開く多段排気法によって減圧室１０の気体を排気して
いる。
このように順次ニードルバルブを開いて排気量を増加さ
せてゆくと、第３図に一点鎖線にて示すように、開くニ
ードルバルブを追加する度に減圧室１０内の圧力が大き
く変動し、また、この減圧室から排気する気体の配管系
統に多くの継手を用いるためにリークの生じる確率が高
くなる障害が発生している。
せてゆくと、第３図に一点鎖線にて示すように、開くニ
ードルバルブを追加する度に減圧室１０内の圧力が大き
く変動し、また、この減圧室から排気する気体の配管系
統に多くの継手を用いるためにリークの生じる確率が高
くなる障害が発生している。
Ｃ発明が解決しようとする課題〕
以上説明の従来の減圧室の気体を排気するのに用いる機
器及び方法ににおいては、ニードルバルブを追加して開
く度に減圧室内の圧力が大きく変動するという問題点が
あり、また、この減圧室から排気する気体の配管系統に
多くの継手を用いるためにリークの生じる確率が高くな
る障害が発生するという問題点があった。
器及び方法ににおいては、ニードルバルブを追加して開
く度に減圧室内の圧力が大きく変動するという問題点が
あり、また、この減圧室から排気する気体の配管系統に
多くの継手を用いるためにリークの生じる確率が高くな
る障害が発生するという問題点があった。
本発明は以上のような状況から、減圧室から気体を排気
する際に、パーティクルの浮遊が生じない、排気する気
体の流量を自動的に変化させることにより減圧室の室内
圧の変動をなくすことが可能な、自己制御型バルブ及び
減圧室の排気方法の提供を目的としたものである。
する際に、パーティクルの浮遊が生じない、排気する気
体の流量を自動的に変化させることにより減圧室の室内
圧の変動をなくすことが可能な、自己制御型バルブ及び
減圧室の排気方法の提供を目的としたものである。
上記問題点は、排気気体の排気量を規制する弁体と、こ
の弁体の開閉を自己制御する手段とを具備し、減圧室の
気体を排気するのに用いる本発明による自己制御型バル
ブと、この弁体の開閉の制御により、この減圧室の気体
の排気時の室内圧の変動をなくす本発明による減圧室の
排気方法によって解決される。
の弁体の開閉を自己制御する手段とを具備し、減圧室の
気体を排気するのに用いる本発明による自己制御型バル
ブと、この弁体の開閉の制御により、この減圧室の気体
の排気時の室内圧の変動をなくす本発明による減圧室の
排気方法によって解決される。
室内の気体を排気する場合のパーティクルの浮遊の物理
的条件は、パーティクルの付着力をρ、排気圧力をＰと
すると、ρ〉Ｐの場合はパーティクルが浮遊しない。
的条件は、パーティクルの付着力をρ、排気圧力をＰと
すると、ρ〉Ｐの場合はパーティクルが浮遊しない。
つまり排気の初期から完了迄の間にこの条件が維持でき
れば、パーティクルの浮遊を防止することが可能となる
。
れば、パーティクルの浮遊を防止することが可能となる
。
本発明においては、排気気体の排気量を規制する弁体と
、この弁体の開閉を自己制御する手段とを具備する自己
制御型バルブを用いてこの弁体の開閉の制御を行うので
、上記の条件を満足する状態で、この減圧室の気体の排
気時の室内圧の変動をなくして排気することが可能とな
る。
、この弁体の開閉を自己制御する手段とを具備する自己
制御型バルブを用いてこの弁体の開閉の制御を行うので
、上記の条件を満足する状態で、この減圧室の気体の排
気時の室内圧の変動をなくして排気することが可能とな
る。
以下第１図〜第４図について本発明の一実施例を説明す
る。
る。
第１図は本発明による一実施例の自己制御型バルブの動
作状態を示している。
作状態を示している。
第２図は本発明による一実施例の減圧室の排気方法を示
しており、減圧室１０には第１図の自己制御型バルブ及
びバルブｌｌａが接続され、バルブｌｌａには真空、ポ
ンプ１１が接続されている。
しており、減圧室１０には第１図の自己制御型バルブ及
びバルブｌｌａが接続され、バルブｌｌａには真空、ポ
ンプ１１が接続されている。
減圧室１０の室内圧が大気圧で未だ真空ポンプ１１が作
動していない場合には、第１図（ａｌに示すように弁体
２はスプリング４により弁座１から離れている。
動していない場合には、第１図（ａｌに示すように弁体
２はスプリング４により弁座１から離れている。
真空ポンプ１１が作動して排気が始まる排気初期の状態
では、第１図（ｂ）に示すように圧力差がスプリング３
の圧縮力よりも大なる間は、弁体２が弁座１と接触して
弁座１と弁体２との間隔が零となり、小口径のボートｌ
ａを通る気体のみが徐々に排気される。
では、第１図（ｂ）に示すように圧力差がスプリング３
の圧縮力よりも大なる間は、弁体２が弁座１と接触して
弁座１と弁体２との間隔が零となり、小口径のボートｌ
ａを通る気体のみが徐々に排気される。
減圧室１０の室内圧が低下する排気中期の状態では、第
１図（Ｃ）に示すようにスプリング３の圧縮力が弁体２
の両側の圧力差よりも大になると、弁体２が弁座１から
徐々に離れ始め、その間隔が増加し始める。
１図（Ｃ）に示すようにスプリング３の圧縮力が弁体２
の両側の圧力差よりも大になると、弁体２が弁座１から
徐々に離れ始め、その間隔が増加し始める。
弁体２の両側の圧力差が殆どなくなる排気後期の状態で
は、第１図（ａ）の状態と同様になり弁体２はスプリン
グ３により弁座１から離れ、弁体２と弁座ｌとの間隔は
最大となる。
は、第１図（ａ）の状態と同様になり弁体２はスプリン
グ３により弁座１から離れ、弁体２と弁座ｌとの間隔は
最大となる。
このように減圧室１０の室内圧と弁座１の真空ポンプ１
１の側の圧力との差と、スプリング３の圧縮力との相対
関係により自己制御が行われ、減圧室１０の中の気体を
圧力の急激な変動が起こらぬように、連続的に排気する
ことが可能となる。
１の側の圧力との差と、スプリング３の圧縮力との相対
関係により自己制御が行われ、減圧室１０の中の気体を
圧力の急激な変動が起こらぬように、連続的に排気する
ことが可能となる。
第４図に本発明による他の実施例の自己制御型バルブの
構造を示し、この実施例の自己制御バルブを排気配管に
設けた場合の排気方法について説明する。
構造を示し、この実施例の自己制御バルブを排気配管に
設けた場合の排気方法について説明する。
まず駆動エアをシリンダ６のスプリング４を収容してい
ないピストン７の下部の部分に流入させる。
ないピストン７の下部の部分に流入させる。
この駆動エアの圧力は徐々に高くなりピストン７を押し
上げる。このピストン７の動作に伴いピストン７に連結
されている弁体８も徐々に押し上げられて弁座９から離
れ、その間に隙間が生じる。
上げる。このピストン７の動作に伴いピストン７に連結
されている弁体８も徐々に押し上げられて弁座９から離
れ、その間に隙間が生じる。
油圧制御器５を設けているので、弁体８の動作が一層円
滑になっている。
滑になっている。
このように弁体８と弁座９の隙間が徐々に変化するので
、排気する気体の減圧室１０からの良好な流出が可能に
なる。
、排気する気体の減圧室１０からの良好な流出が可能に
なる。
このような自己制御バルブを用いて減圧室１０の中の気
体を排気すると、第３図に実線にて示す逆Ｓ字形の排気
曲線のように、室内圧の初期の圧力の降下が非常に小さ
く、一定時間経過後の中期には急速に室内圧が降下し、
後期には緩やかに室内圧を変化させる排気を行うことが
可能となる。
体を排気すると、第３図に実線にて示す逆Ｓ字形の排気
曲線のように、室内圧の初期の圧力の降下が非常に小さ
く、一定時間経過後の中期には急速に室内圧が降下し、
後期には緩やかに室内圧を変化させる排気を行うことが
可能となる。
以上の説明から明らかなように本発明によれば、簡単な
構造の自己制御型バルブを減圧室の排気配管に接続して
配設するので、排気初期にはパーティクルの浮遊が生じ
ないようにすることができ、排気中期には減圧室の室内
圧を急速に降下させることができ、排気後期には室内圧
を緩やかに変化させて排気を行うことが可能となる等の
利点があり、著しい経済的及び、信頼性向上の効果が期
待でき工業的には極めて有用なものである。
構造の自己制御型バルブを減圧室の排気配管に接続して
配設するので、排気初期にはパーティクルの浮遊が生じ
ないようにすることができ、排気中期には減圧室の室内
圧を急速に降下させることができ、排気後期には室内圧
を緩やかに変化させて排気を行うことが可能となる等の
利点があり、著しい経済的及び、信頼性向上の効果が期
待でき工業的には極めて有用なものである。
第１図は本発明による一実施例の自己制御型バルブの動
作状態を示す側断面図、 第２図は本発明による一実施例の減圧室の排気方法を示
す図、 第３図は減圧室の室内圧の推移を示す図、第４図は本発
明による他の実施例の自己制御型バルブの構造を示す側
断面図、 第５図は従来の減圧室の排気方法を示す図、である。 図において、 ■は弁座、 １ａはボート、 ２は弁体、 ３はスプリング、 ４はスプリング、 ５は油圧制御器、 ６はシリンダ、 ７ピストン、 ８弁体、 ９弁座、 １０は減圧室、 １１は真空ポンプ、 １１ａはバルブ、 を示す。 本発明による一実施例の減圧室の排気方法を示す２第２
図 減圧室の室内圧の推移を示す図 第３図 ＋ａ） 作動開始時及び排気後期 ＋ｂｌ 排気初期 ｃｌ 排気中期 本発明による一実施例の自己制御型バルブの動作状態を
示す１Ｗ１１断面図第 ｌ 図 本発明による他の実施例の自己制御型バルブの構造を示
す側断面図書４図 従来の減圧室の排気方法を示す図 第５図
作状態を示す側断面図、 第２図は本発明による一実施例の減圧室の排気方法を示
す図、 第３図は減圧室の室内圧の推移を示す図、第４図は本発
明による他の実施例の自己制御型バルブの構造を示す側
断面図、 第５図は従来の減圧室の排気方法を示す図、である。 図において、 ■は弁座、 １ａはボート、 ２は弁体、 ３はスプリング、 ４はスプリング、 ５は油圧制御器、 ６はシリンダ、 ７ピストン、 ８弁体、 ９弁座、 １０は減圧室、 １１は真空ポンプ、 １１ａはバルブ、 を示す。 本発明による一実施例の減圧室の排気方法を示す２第２
図 減圧室の室内圧の推移を示す図 第３図 ＋ａ） 作動開始時及び排気後期 ＋ｂｌ 排気初期 ｃｌ 排気中期 本発明による一実施例の自己制御型バルブの動作状態を
示す１Ｗ１１断面図第 ｌ 図 本発明による他の実施例の自己制御型バルブの構造を示
す側断面図書４図 従来の減圧室の排気方法を示す図 第５図
Claims (2)
- （１）減圧室（１０）の気体を排気するのに用いるバル
ブであって、 排気気体の排気量を規制する弁体（２、８）と、該弁体
（２、８）の開閉を自己制御する手段（３、４、５）と
、 を具備することを特徴とする自己制御型バルブ。 - （２）請求項１記載の自己制御型バルブにより前記弁体
（２、８）の開閉を制御し、前記減圧室（１０）の気体
の排気時の減圧室の室内圧の変動をなくすことを特徴と
する減圧室の排気方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63156585A JPH0815542B2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 制御機能付きバルブ及び減圧室の排気方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63156585A JPH0815542B2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 制御機能付きバルブ及び減圧室の排気方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH026835A true JPH026835A (ja) | 1990-01-11 |
| JPH0815542B2 JPH0815542B2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=15630982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63156585A Expired - Lifetime JPH0815542B2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 制御機能付きバルブ及び減圧室の排気方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815542B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0245136U (ja) * | 1988-09-24 | 1990-03-28 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62179029U (ja) * | 1986-04-30 | 1987-11-13 |
-
1988
- 1988-06-24 JP JP63156585A patent/JPH0815542B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62179029U (ja) * | 1986-04-30 | 1987-11-13 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0245136U (ja) * | 1988-09-24 | 1990-03-28 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0815542B2 (ja) | 1996-02-21 |
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