JPH024579A - 追記型レーザービーム記録部材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は小孔形成型の追記型レーザービーム記録部材に
おいて、記録媒体の経時劣化を防ぐための保護層に関す
るものである。

〔従来技術〕

近年、光ディスク等のレーザービーム記録部材は高密度
記録、ランダムアクセスが可能であり、しかも可搬であ
るというフロッピーディスク、固定磁気ディスク、磁気
テープなどの従来の情報記録用部材にはない特長をもつ
記録媒体としてコンピューター用、ビデオ用等の情報記
録の分野で注目されている。

光ディスクは、その記録・再生の特徴から再生専用型、
追記型、消去可能型に大まかに分類できる。この中で追
記型光ディスクは、−回のみ記録が可能であるものを指
す。この型の光ディスクは一度記録した情報の消去はで
きないが、逆に長期間の保存が必要であったり、消去す
ると困る情報等の記録の分野での使用が期待されている
。

追記型光ディスクでは書込みレーザーパルス照射部分の
記録媒体の昇華、融解により小孔を形成せしめ記録部分
と未記録部分との光の反射率や透過率の違いから情報の
読み出しを行う小孔形成型光ディスクがよく知られてい
る。小孔形成型の光ディスクの記録媒体としてはＡβ、
Ｂｉ、、Ｔｅ、Ｐｂ、Ｍｏ等の金属、半金属、半導体の
単体の薄膜が使用可能であることが知られているが、な
、かてもＴｅが記録・再生特性において優れている。

さらに、Ｔｅと有機化合物のプラズマ重合物を含有する
記録媒体においては記録感度が向上することが特開昭５
７−９８３９４号公報に記載されている。しかし、これ
らの記録媒体は経時劣化が起こり易く、情報の保存安定
性に問題のあることも知られている。

小孔形成型の媒体における記録膜の経時劣化としては主
に次の２つを挙げることができる。

■記録膜が巨視的に化学的な変化を起こすことで、記録
膜の光学的な性質が変化し、これにより記録特性の変化
や再生信号レベルの変化などを生じるもの、■記録膜に
微視的なりラック等の欠陥が生じ、再生時に信号の欠落
や不必要な信号を発生するもの、である。

■の化学的変化については、その対策としては媒体自身
を化学的に安定化させることで対応するのが最も一般的
である。

例えば、特公昭６０−２３９９７号公報にはＴｅを含む
記録媒体にＳｅを加える方法が提案されている。

また、本発明者らも有機化合物のプラズマ重合物を保護
層として設けることを提案した。（特願昭６１−３１４
２６１号）。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、上記の方法により保存安定性の改良を行った
場合には元の記録媒体に比べ感度が低下してしまい、よ
り高いパワーのレーザー光を当てないと必ずしも満足の
いく記録特性が得られないことが判った。

本発明の目的は保存安定性に優れ、高感度を有する追記
型レーザービーム記録部材を提供することにある。

〔課題を解決するための手段］ すなわち、本発明は少なくともＴｅと有機化合物のプラ
ズマ重合物を含有する記録媒体を用いた小孔形成型追記
型レーザービーム記録部材において、該記録媒体の上に
膜厚が平均で１人〜１００人のＳｅ薄膜を設けたことを
特徴とする追記型レーザービーム記録部材を提供するも
のである。

本発明は酸化劣化等を起こし易いＴｅ含有層を化学的に
より安定なＳｅ層で覆うことによりＴｅ含有層の化学的
な変化を抑制すること、およびＳｅＯ熱的性質から小孔
形成に対し５ｅＪｉｉが記録感度に悪影響を及ぼしにく
いとの知見を元に行ったものであるが、驚くべきことに
Ｓｅ層の膜厚が平均で１人とＳｅの単分子層にも満たな
い厚みでも保存安定性に効果があることが判った。

以下本発明について具体的に説明する。

本発明で用いられる記録媒体は少なくともＴｅと有機化
合物のプラズマ重合物を含有するものである。

本発明に用いられる有機化合物のプラズマ重合物として
はメタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタンなどの
飽和炭化水素、エチレン、プロピレン、ブテン、ペンテ
ンなどの不飽和炭化水素、メタノール、エタノール、プ
ロパツールなどのアルコール類、アセトン、メチルエチ
ルケトンなどのケトン類、ベンゼン、トルエンなどの芳
香族化合物などが挙げられる。また、二硫化炭素、メル
カプタンなどの含硫化合物、テトラフルオロエチレン、
ヘキサフルオロプロピレン、オクタフルオロシクロブタ
ンなどの含フツ素化合物、メチルアミン、エチルアミン
、プロピルアミン、ジメチルアミン、ジエチルアミン、
ピリジンなどの含窒素化合物などの有機化合物を１〜１
Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度の真空度で、高周波放電あるいは直
流放電により重合させることにより得ることができる。

このプラズマ重合をＴｅの真空蒸着またはスパッタリン
グと同時に行うことによりＴｅと有機化合物のプラズマ
重合物を含有する記録媒体を作成することができる。

これらの記録媒体層は真空蒸着、スパッツクリング法等
の公知の方法によりガラス基板、ポリカーボネート、ポ
リメチルメタクリレート等の樹脂基板上に薄膜状に形成
される。

上記記録媒体層は基板上に直接に、または薄膜状に形成
された重合物のような有機物層を介して基板上に形成し
てもよい。

以上のように従来技術で作成された記録媒体上にＳｅの
薄膜を設けることにより本発明の目的である保存安定性
に優れ、高感度を有する小孔形成型追記型レーザービー
ム記録部材が得られる。

Ｓｅの薄膜は真空蒸着、スパンツタリング法等の公知の
方法により上記記録媒体上に形成することができる。

一般にＳｅ層の膜厚が厚くなるにしたがって保存安定性
は向上するが、記録感度は若干低下する。

Ｓｅ層が平均で１人未満の場合には保存安定性向上の効
果が少なく、一方１００人を超えてもそれ以上の保存安
定性の向上が期待できず、記録感度が幾分低下する。こ
のためＳｅの膜厚は平均で１〜１００人が用いられるが
、好ましくは平均で１〜３０人、より好まし°くは平均
で３〜２０人の範囲である。

また、Ｔｅと有機化合物のプラズマ重合物を含有する記
録媒体の記録・再生特性を安定化させるためＴｅの結晶
化を５０〜８０°Ｃに加熱して行うことがよく行われて
いるが、この加熱処理については５ｅｆｆ膜を成膜する
前に行ってもよいし、また成膜後に行ってもよい。

〔発明の効果〕

本発明によれば保存安定性に優れ、高感度な小孔形成型
追記型レーザビーム記録部材を提供することができる。

〔実施例〕

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発
明はこれらに限定されるものではない。

実施例　１ １３０ｍｍ　φのプリグループ付ポリカーボネート基板
を真空蒸着装置内にセットし、Ｃ３２ガスを導入し、高
周波コイルを用いてプラズマ重合膜を基板上に形成した
。さらにプラズマ重合を続けながらＴｅを抵抗加熱方式
のボートより蒸発させ、Ｔｅ・Ｃ８２系膜を形成した。

なお、この記録媒体の膜厚は約２５０人であった。つい
で別のボートよりＳｅを蒸発させ前記記録媒体上に約１
０人のＳｅ薄膜を成膜した。このようにして得られたレ
ーザー記録部材（以下ディスク単板と略す）を真空蒸着
装置から取り出し、相対湿度４０％以下のオーブンに入
れて７０″Ｃで１時間Ｔｅの結晶化を行った。得られた
ディスク単板の記録・再生特性を８３０ｎｍのレーザー
光を用い、再生時のレーザーパワーを０．８ｍＷとし、
記録時のレーザーパワーを変化させて測定した。なお、
記録位置は半径４０ｍｍ、回転数１８０Ｏｒ　ｐ　ｍ、
周波数５ＭＨｚでレーザー光照射パルスは５０ｎｓであ
った。その結果、キャリヤ一対ノイズ比（Ｃ／Ｎ）５０
ｄＢ以上になるレーザーパワーは５．８ｍＷであった。

このディスク単板を８０°Ｃ１相対湿度８０％の恒温槽
に２０日間入れて保存安定性の加速試験を行った。

その後、このディスク単板の記録・再生特性は加速試験
前と差は認められず、一方レーザー光の反射率は加速試
験前の９７％を保っていた。

比較例　ｌ Ｓｅの薄膜を成膜しなかった以外は実施例１と同様にし
て上層にＴｅとＣ３２とのプラズマ重合物を含み、下層
がＣ３２のプラズマ重合膜を設けたディスク単板を得、
次いでＴｅの結晶化を行った。このディスク単板を実施
例１と同様に記録・再生特性を測定すると共に保存安定
性の加速試験を行ったところ、加速試験前に５０ｄＢを
超える記録時レーザーパワーは５．８ｍＷであった。ま
た、加速試験後には最高Ｃ／Ｎが約１０ｄＢ低下すると
ともに反射率は加速試験前の６０％にまで低下していた
。

実施例　２〜５および比較例　２ 実施例１と同様にしてＣ８２とのプラズマ重合膜とＴｅ
とＣＳ　ｚとのプラズマ重合膜を有する２層構造の記録
部材を作成した。ただし、プラズマ重合条件を変化させ
たため本記録部材の組成比は実施例１と若干具なってお
り、また膜厚は約３００人であった。得られたディスク
単板５枚は同時に７０°Ｃで１時間加熱処理を行った後
、１枚はそのまま、他の４枚はその上に第１表に示す膜
厚にＳｅ薄膜を真空蒸着法により成膜し、保存安定性加
速試験前後での記録・再生特性、反射率変化をみたとこ
ろ第１表に示すように本発明のレーザー記録部材は高感
度で、且つ保存安定性に優れていた。

比較例　３ 真空蒸着装置内にポリカーボネート基板をセットし、Ｔ
ｅとＳｅを別々のボートから同時に蒸発させ、ＴｅとＳ
ｅを含む記録層を有するディスク単板を作成した。なお
、記録層中のＴ　ｅ　／　Ｓ　ｅの体積比は８１／１９
であった。このディスク単板の記録・再生特性を測定し
たところ、レーザーパワーを７ｍＷに上げてもＣ／Ｎは
５０ｄＢ以下であり、非常に感度が低かった。

実施例　６ 真空蒸着装置内にポリカーボネート基板をセットし、六
フッ化プロピレン（以下６ＦＰと略す）ガスを導入し、
高周波コイルを用いて６ＦＰプラズマ重合膜を形成した
。次に導入ガスをＣ８２とし、プラズマ重合を行いなが
らＴｅを抵抗加熱方式のボートから蒸発させＴｅ−Ｃ３
２膜を作成した。この記録媒体の膜厚は約２５０人であ
った。プラズマ重合とＴｅの蒸発を止めた後、別のボー
トよりＳｅを蒸発させ約１０人のＳｅ薄膜をつけた。

得られたディスク単板を実施例１と同様にしてＴｅの結
晶化を行った後記録・再生特性および保存安定性加速試
験を実施例１と同様におこなったところ、Ｃ／Ｎ≧５０
ｄＢとなる記録時レーザーパワーは　５．８　ｍＷであ
り、加速試験後の反射率はもとの９７％を保っており、
高感度、優れた保存安定性を示した。

実施例　７ 導入ガスを６ＦＰのみとしたこと以外は実施例６と同様
にして６ＦＰプラズマ重合膜−Ｔｅ・６ＦＰプラズマ重
合膜−３ｅ膜の３層構造を有するディスク単板を作製し
た。実施例１と同様に記録・再生特性および保存安定性
加速試験を行ったところ実施例６と類似の結果が得られ
、高感度、保存安定性に優れていることが判った。

実施例　日 導入ガスをオクタフルオロシクロブタン（以下ＰＣＢと
略す）とした他は実施例７と同様にして成膜し、ＰＣＢ
プラズマ重合膜−Ｔｅ　−ＰＣＢプラズマ重合膜−Ｓｅ
膜の３層構造を有するディスク単板を作製した。実施例
１と同様に記録・再生特性および保存安定性加速試験を
行ったところ、このディスク単板は高感度であり、保存
安定性に優れていた。

実施例　８ ＲＦ電源および直流電源を有するスパッタリング装置内
にグループ付ポリカーボネート基板をセットし、ターゲ
ットとしてＲＦ電源にはＴｅを、直流電源にはＳｅを用
いた。系内を真空排気後テトラフルオロエチレン（以下
ＴＦＥと略す）を３０％を含有するＡｒを導入し、ＲＦ
電源を入れスパッタリングを行い、Ｔｅ−ＴＦＥプラズ
マ重合物からなる記録媒体を作成した。次にＴＦＥの導
入を停止し、Ａｒ単独ガスを導入すると共に電源を直流
電源に変えＳｅのスパッタリングを行った。

このようにしてＴｅ−ＴＦＥプラズマ重合物層約２００
人、Ｓｅ層約１０人の２層構造をもつディスク単板を得
た。実施例１と同様に記録・再生特性および保存安定性
加速試験を行ったところ、このディスク単板は高感度で
あり、かつ保存安定性に優れていることを確認した。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 少なくともＴｅと有機化合物のプラズマ重合物を含有す
   る記録媒体を用いた小孔形成型追記型レーザービーム記
   録部材において、該記録媒体の上に膜厚が平均で１Å〜
   １００ÅのＳｅ薄膜を設けたことを特徴とする追記型レ
   ーザービーム記録部材。