JPH0246762B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0246762B2 JPH0246762B2 JP58087185A JP8718583A JPH0246762B2 JP H0246762 B2 JPH0246762 B2 JP H0246762B2 JP 58087185 A JP58087185 A JP 58087185A JP 8718583 A JP8718583 A JP 8718583A JP H0246762 B2 JPH0246762 B2 JP H0246762B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- steam
- turbine
- rotational speed
- valve
- series
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01D—NON-POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, e.g. STEAM TURBINES
- F01D19/00—Starting of machines or engines; Regulating, controlling, or safety means in connection therewith
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Control Of Turbines (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
主蒸気止め弁と蒸気加減弁とを1対とする蒸気
供給系を2系列配し、蒸気源から供給される蒸気
をそれぞれの系列の蒸気加減弁により制御して運
転を行なう蒸気タービンの起動方法に関する。
供給系を2系列配し、蒸気源から供給される蒸気
をそれぞれの系列の蒸気加減弁により制御して運
転を行なう蒸気タービンの起動方法に関する。
一般に蒸気タービンの起動は通常主蒸気止め弁
が先きに開き、次いで蒸気加減弁を開いて該蒸気
加減弁の開度を操作してタービンの昇速を行なつ
ている。ところが、地熱タービンように入口圧力
の低い入口弁では、弁の口径が300〜700mmとなる
ため蒸気加減弁としてバタフライ弁を採用するこ
とが多く、バタフライ弁は弁体が回動することか
ら弁胴と弁体との間に隙間が生じ、主蒸気止め弁
が開いた時点で蒸気加減弁としてのバタフライ弁
からリークによつて蒸気がタービン内に流入し、
該タービンの回転速度を上昇させてしまうことか
ら、より安定したタービンの速度制御のできる起
動方法が要望される。
が先きに開き、次いで蒸気加減弁を開いて該蒸気
加減弁の開度を操作してタービンの昇速を行なつ
ている。ところが、地熱タービンように入口圧力
の低い入口弁では、弁の口径が300〜700mmとなる
ため蒸気加減弁としてバタフライ弁を採用するこ
とが多く、バタフライ弁は弁体が回動することか
ら弁胴と弁体との間に隙間が生じ、主蒸気止め弁
が開いた時点で蒸気加減弁としてのバタフライ弁
からリークによつて蒸気がタービン内に流入し、
該タービンの回転速度を上昇させてしまうことか
ら、より安定したタービンの速度制御のできる起
動方法が要望される。
第1図ないし第3図は従来の実施例を示し、第
1図は蒸気タービンの要部の制御系統図、第2図
は第1図の入口弁要部の断面図、第3図は第1図
に示すタービンの起動特性を示す線図である。図
において1が蒸気タービンで、蒸気タービン1に
は主蒸気止め弁と蒸気加減弁とが対になる蒸気供
給系統が2系列配され、10は蒸気供給系統の第
1系列を示し、20は第2系列を示す。11は第
1系列10に設けられた主蒸気止め弁、12は主
蒸気止め弁11と対になる蒸気加減弁で、13は
その管路である。21は第2系列20に設けられ
た主蒸気止め弁、22は主蒸気止め弁21と対に
なる蒸気加減弁で、23はその管路である。2は
蒸気タービン1のロータ軸に直結された回転速度
検出器のガバナインペラ、3は回転速度設定装
置、4は蒸気加減弁12の二次油圧設定装置、5
は蒸気加減弁22の二次油圧設定装置である。な
お、6は発電機、7は復水器を示す。
1図は蒸気タービンの要部の制御系統図、第2図
は第1図の入口弁要部の断面図、第3図は第1図
に示すタービンの起動特性を示す線図である。図
において1が蒸気タービンで、蒸気タービン1に
は主蒸気止め弁と蒸気加減弁とが対になる蒸気供
給系統が2系列配され、10は蒸気供給系統の第
1系列を示し、20は第2系列を示す。11は第
1系列10に設けられた主蒸気止め弁、12は主
蒸気止め弁11と対になる蒸気加減弁で、13は
その管路である。21は第2系列20に設けられ
た主蒸気止め弁、22は主蒸気止め弁21と対に
なる蒸気加減弁で、23はその管路である。2は
蒸気タービン1のロータ軸に直結された回転速度
検出器のガバナインペラ、3は回転速度設定装
置、4は蒸気加減弁12の二次油圧設定装置、5
は蒸気加減弁22の二次油圧設定装置である。な
お、6は発電機、7は復水器を示す。
次にこの装置での蒸気タービン1の起動方法に
ついて説明する。図示しない蒸気源から供給され
る蒸気は、第1系列の管路13および第2系列の
管路23を流れ、同時に開操作で全開した主蒸気
止め弁11,12から蒸気加減弁12,22に導
かれる。蒸気加減弁12,22を微開可能なよう
に回転速度設定装置3を手動操作する。これによ
り、二次油圧設定装置4,5の管路14,15は
二次油圧が設定され、該油圧により蒸気加減弁1
2,22が微開し、タービン1は回転を始める。
タービン1の回転速度が約1000rpmに上昇した時
点で回転速度設定装置3の操作を一旦停止し、タ
ービン1の暖機運転を行なう。暖機運転終了後さ
らにタービン1の回転速度を上昇させる。これ
は、上述したように回転速度設定装置3を再度操
作して行ない、タービン1の回転数が定格(50Hz
の場合は約3000rpm、60Hzの場合は約3600rpm)
の90%になるまで上昇させ、その後は蒸気加減弁
の制御運転を移行する。これにより、ロータ軸に
直結されたガバナインペラによる回転速度検出器
2を介して管路16に一次油圧が設立し、一次油
圧は回転速度設定装置3に伝達される。タービン
1の負荷が増大して回転速度が低下すると一次油
圧が下がり、レバー3aを介して二次油圧設定装
置4,5が操作され、二次油圧の管路14,15
の油圧が上がり蒸気加減弁12,22の開き角度
を大きくする。また、タービンの負荷が減少し回
転速度が上昇すると、上述とは逆の動きとなり。
二次油圧は下がつて蒸気加減弁12,22の開き
角度は小さくなる。
ついて説明する。図示しない蒸気源から供給され
る蒸気は、第1系列の管路13および第2系列の
管路23を流れ、同時に開操作で全開した主蒸気
止め弁11,12から蒸気加減弁12,22に導
かれる。蒸気加減弁12,22を微開可能なよう
に回転速度設定装置3を手動操作する。これによ
り、二次油圧設定装置4,5の管路14,15は
二次油圧が設定され、該油圧により蒸気加減弁1
2,22が微開し、タービン1は回転を始める。
タービン1の回転速度が約1000rpmに上昇した時
点で回転速度設定装置3の操作を一旦停止し、タ
ービン1の暖機運転を行なう。暖機運転終了後さ
らにタービン1の回転速度を上昇させる。これ
は、上述したように回転速度設定装置3を再度操
作して行ない、タービン1の回転数が定格(50Hz
の場合は約3000rpm、60Hzの場合は約3600rpm)
の90%になるまで上昇させ、その後は蒸気加減弁
の制御運転を移行する。これにより、ロータ軸に
直結されたガバナインペラによる回転速度検出器
2を介して管路16に一次油圧が設立し、一次油
圧は回転速度設定装置3に伝達される。タービン
1の負荷が増大して回転速度が低下すると一次油
圧が下がり、レバー3aを介して二次油圧設定装
置4,5が操作され、二次油圧の管路14,15
の油圧が上がり蒸気加減弁12,22の開き角度
を大きくする。また、タービンの負荷が減少し回
転速度が上昇すると、上述とは逆の動きとなり。
二次油圧は下がつて蒸気加減弁12,22の開き
角度は小さくなる。
上記の起動方法において、蒸気加減弁12,2
2は第2図に示すように弁体が25矢視方向に回
動する直径が約700mmもあるバタフライ弁である
ために、主蒸気止め弁11,21が24矢視方向
に移動し蒸気26が胴体27内に通流されると、
バタフライ弁は弁体が閉じていても弁体と弁胴と
の隙間δから蒸気がリークし、蒸気はタービン1
内に流入してタービン1の回転速度を上昇させ
る。この上昇速度は第3図の点線31に示すよう
に約2000rpmとなり、暖機運転に必要な32で示
すヒートソーク回転速度1000rpmを超えてしま
い、ヒートソーク回転速度の制御ができないこと
が欠点であつた。
2は第2図に示すように弁体が25矢視方向に回
動する直径が約700mmもあるバタフライ弁である
ために、主蒸気止め弁11,21が24矢視方向
に移動し蒸気26が胴体27内に通流されると、
バタフライ弁は弁体が閉じていても弁体と弁胴と
の隙間δから蒸気がリークし、蒸気はタービン1
内に流入してタービン1の回転速度を上昇させ
る。この上昇速度は第3図の点線31に示すよう
に約2000rpmとなり、暖機運転に必要な32で示
すヒートソーク回転速度1000rpmを超えてしま
い、ヒートソーク回転速度の制御ができないこと
が欠点であつた。
本発明は上記のような欠点を除去し、ヒートソ
ーク回転速度が得られ確実な暖機運転を行なうこ
とのできる安定したタービンの速度制御を行なう
ことのできる蒸気タービンの起動方法を提供する
ことを目的とする。
ーク回転速度が得られ確実な暖機運転を行なうこ
とのできる安定したタービンの速度制御を行なう
ことのできる蒸気タービンの起動方法を提供する
ことを目的とする。
本発明によれば上記の目的は、主蒸気止め弁と
蒸気加減弁とを1対とする蒸気供給系を2系列配
し、蒸気源から供給される蒸気をそれぞれの系列
の蒸気加減弁により制御して運転を行う蒸気ター
ビンにおいて、第1系列の主蒸気止め弁を全開操
作するとともにこの系列の蒸気加減弁をタービン
の回転速度が定格回転速度より低い暖機運転速度
に達するように微開して暖機運転を行い、暖機運
転の終了後に前記蒸気加減弁をさらに開操作して
前記タービンの回転速度を上昇させ、前記タービ
ンの回転速度が所定値を超えたとき第2系列の主
蒸気止め弁を全開操作し、この主蒸気止め弁の全
開操作後は前記第1系列及び第2系列の蒸気加減
弁を開操作して前記タービンの回転速度を上昇さ
せ蒸気加減弁による制御運転に移行することによ
つて達せられる。
蒸気加減弁とを1対とする蒸気供給系を2系列配
し、蒸気源から供給される蒸気をそれぞれの系列
の蒸気加減弁により制御して運転を行う蒸気ター
ビンにおいて、第1系列の主蒸気止め弁を全開操
作するとともにこの系列の蒸気加減弁をタービン
の回転速度が定格回転速度より低い暖機運転速度
に達するように微開して暖機運転を行い、暖機運
転の終了後に前記蒸気加減弁をさらに開操作して
前記タービンの回転速度を上昇させ、前記タービ
ンの回転速度が所定値を超えたとき第2系列の主
蒸気止め弁を全開操作し、この主蒸気止め弁の全
開操作後は前記第1系列及び第2系列の蒸気加減
弁を開操作して前記タービンの回転速度を上昇さ
せ蒸気加減弁による制御運転に移行することによ
つて達せられる。
以下本発明の実施例を図面にもとづいて説明す
る。第4図および第5図は本発明の実施例を示
し、第4図は蒸気タービンの要部の制御系統図、
第5図は第4図に示す蒸気タービンの起動特性を
示す線図である。図において第1図に示すものと
同じ構成要素のものには同じ符号を付してその説
明を省略する。蒸気タービン1には蒸気供給系統
が2系列配され、10は第1系列、30は第2系
列を示し、31が第2系列の主蒸気止め弁であ
る。32は第2系列の主蒸気止め弁切換装置で、
主蒸気止め弁切換装置32は、回転速度検出器2
からの信号によりタービン1がヒートソーク回転
速度の1000rpmより若干高い回転速度になると主
蒸気止め弁31を開操作可能なように設定されて
いる。34,35は二次油圧設定装置で、この二
次油圧設定装置34,35にそれぞれ内蔵されて
いる図示しないばね力に差が設けられており、蒸
気加減弁22の二次油圧設定装置35は、主蒸気
止め弁切換装置32が第2系列の主蒸気止め弁3
1を開操作した時点で二次油圧を設定するように
調節されている。
る。第4図および第5図は本発明の実施例を示
し、第4図は蒸気タービンの要部の制御系統図、
第5図は第4図に示す蒸気タービンの起動特性を
示す線図である。図において第1図に示すものと
同じ構成要素のものには同じ符号を付してその説
明を省略する。蒸気タービン1には蒸気供給系統
が2系列配され、10は第1系列、30は第2系
列を示し、31が第2系列の主蒸気止め弁であ
る。32は第2系列の主蒸気止め弁切換装置で、
主蒸気止め弁切換装置32は、回転速度検出器2
からの信号によりタービン1がヒートソーク回転
速度の1000rpmより若干高い回転速度になると主
蒸気止め弁31を開操作可能なように設定されて
いる。34,35は二次油圧設定装置で、この二
次油圧設定装置34,35にそれぞれ内蔵されて
いる図示しないばね力に差が設けられており、蒸
気加減弁22の二次油圧設定装置35は、主蒸気
止め弁切換装置32が第2系列の主蒸気止め弁3
1を開操作した時点で二次油圧を設定するように
調節されている。
上記の構成により、第1系列の主蒸気止め弁1
1の開操作をする。図示しない蒸気源からの蒸気
は、主蒸気止め弁11の開により蒸気加減弁12
に導かれる。蒸気加減弁12を微開可能なように
回転速度設定装置3を手動操作する。これによ
り、第1系列の二次油圧設定装置34の管路14
は二次油圧が設定され、該圧油により蒸気加減弁
12が微開し、タービン1は回転を始める。ター
ビン1の回転速度が約1000rpmのヒートソークス
ピードに上昇した時点で回転速度設定装置3の操
作を一旦停止し、タービン1の暖機運転を行な
う。暖機運転終了後さらに回転速度設定装置3を
操作してタービン1の回転速度を上昇させる。こ
の際には、第1系列の二次油圧設定装置の管路1
4に二次油圧が設定され、タービン1の回転速度
が上昇し、ヒートソーク回転速度1000rpmより若
干高い時点になると、回転速度検出器2が予め設
定されたその回転速度を検出し、管路37の一次
油圧が確立されて第2系列の主蒸気止め弁切換装
置32の管路36に二次油圧が設定され、該圧油
により第2系列の主蒸気止め弁31が全開する。
主蒸気止め弁31の全開後はさらに回転速度設定
装置3を操作してタービン1の回転速度を上昇さ
せる。このときには、蒸気加減弁の二次油圧設定
装置35の管路15にも二次油圧が設定され、蒸
気加減弁12,22がともに開動作してタービン
1の回転速度を上昇させるようになる。タービン
1の回転速度が定格の90%を超えると蒸気加減弁
の制御運転に移行する。
1の開操作をする。図示しない蒸気源からの蒸気
は、主蒸気止め弁11の開により蒸気加減弁12
に導かれる。蒸気加減弁12を微開可能なように
回転速度設定装置3を手動操作する。これによ
り、第1系列の二次油圧設定装置34の管路14
は二次油圧が設定され、該圧油により蒸気加減弁
12が微開し、タービン1は回転を始める。ター
ビン1の回転速度が約1000rpmのヒートソークス
ピードに上昇した時点で回転速度設定装置3の操
作を一旦停止し、タービン1の暖機運転を行な
う。暖機運転終了後さらに回転速度設定装置3を
操作してタービン1の回転速度を上昇させる。こ
の際には、第1系列の二次油圧設定装置の管路1
4に二次油圧が設定され、タービン1の回転速度
が上昇し、ヒートソーク回転速度1000rpmより若
干高い時点になると、回転速度検出器2が予め設
定されたその回転速度を検出し、管路37の一次
油圧が確立されて第2系列の主蒸気止め弁切換装
置32の管路36に二次油圧が設定され、該圧油
により第2系列の主蒸気止め弁31が全開する。
主蒸気止め弁31の全開後はさらに回転速度設定
装置3を操作してタービン1の回転速度を上昇さ
せる。このときには、蒸気加減弁の二次油圧設定
装置35の管路15にも二次油圧が設定され、蒸
気加減弁12,22がともに開動作してタービン
1の回転速度を上昇させるようになる。タービン
1の回転速度が定格の90%を超えると蒸気加減弁
の制御運転に移行する。
上記の起動方法において、主蒸気止め弁11が
開き蒸気が蒸気加減弁12に導かれると、蒸気加
減弁12の弁体と弁胴との隙間からリークする蒸
気はタービン1に流入する。しかしながら、第1
系列の主蒸気止め弁11のみが開操作されるだけ
であるためにタービン1への流入蒸気量は少な
く、タービン1の上昇速度は第5図の点線51で
示すように約800rpmとなり、符号32で示すヒ
ートソーク回転速度の1000rpmよりは低くするこ
とができる。さらに、第2系列の主蒸気止め弁3
1が開操作されると、同様に該系列の蒸気加減弁
22の弁体と弁胴との隙間からの洩れ蒸気はター
ビン1に流入するが、すでにタービン1の回転速
度は比較的高く、比較的多量の蒸気がタービン1
へ流入しているので、第2系列の蒸気加減弁22
からの洩れ蒸気はタービン1の回転速度の上昇に
は殆んど影響しない。したがつて、主蒸気止め弁
31が全開後は、回転速度設定装置3を操作して
蒸気加減弁12,22の開度を開き、タービン1
の回転速度が定格の90%になるまでタービン1を
昇速して蒸気加減弁制御運転に移行することがで
きる。
開き蒸気が蒸気加減弁12に導かれると、蒸気加
減弁12の弁体と弁胴との隙間からリークする蒸
気はタービン1に流入する。しかしながら、第1
系列の主蒸気止め弁11のみが開操作されるだけ
であるためにタービン1への流入蒸気量は少な
く、タービン1の上昇速度は第5図の点線51で
示すように約800rpmとなり、符号32で示すヒ
ートソーク回転速度の1000rpmよりは低くするこ
とができる。さらに、第2系列の主蒸気止め弁3
1が開操作されると、同様に該系列の蒸気加減弁
22の弁体と弁胴との隙間からの洩れ蒸気はター
ビン1に流入するが、すでにタービン1の回転速
度は比較的高く、比較的多量の蒸気がタービン1
へ流入しているので、第2系列の蒸気加減弁22
からの洩れ蒸気はタービン1の回転速度の上昇に
は殆んど影響しない。したがつて、主蒸気止め弁
31が全開後は、回転速度設定装置3を操作して
蒸気加減弁12,22の開度を開き、タービン1
の回転速度が定格の90%になるまでタービン1を
昇速して蒸気加減弁制御運転に移行することがで
きる。
本発明は上記のように第1系列の主蒸気止め弁
を全開操作するとともにこの系列の蒸気加減弁を
タービンの回転速度が定格回転速度より低い暖機
運転速度に達するように微開して暖機運転を行
い、暖機運転の終了後に前記蒸気加減弁をさらに
開操作して前記タービンの回転速度を上昇させ、
前記タービンの回転速度が所定値を超えたとき第
2系列の主蒸気止め弁を全開操作し、該弁の開動
作後は前記第1および第2系列の蒸気加減弁をと
もに開操作して前記タービンの回転速度を上昇さ
せ蒸気加減弁による制御運転を移行するようにし
たことにより、従来の起動方法に比べてより安定
したタービンの速度制御が可能となり、ヒートソ
ーク回転速度が得られ確実に暖機運転を行なうこ
とのできる蒸気タービンの起動方法を提供するこ
とができる。
を全開操作するとともにこの系列の蒸気加減弁を
タービンの回転速度が定格回転速度より低い暖機
運転速度に達するように微開して暖機運転を行
い、暖機運転の終了後に前記蒸気加減弁をさらに
開操作して前記タービンの回転速度を上昇させ、
前記タービンの回転速度が所定値を超えたとき第
2系列の主蒸気止め弁を全開操作し、該弁の開動
作後は前記第1および第2系列の蒸気加減弁をと
もに開操作して前記タービンの回転速度を上昇さ
せ蒸気加減弁による制御運転を移行するようにし
たことにより、従来の起動方法に比べてより安定
したタービンの速度制御が可能となり、ヒートソ
ーク回転速度が得られ確実に暖機運転を行なうこ
とのできる蒸気タービンの起動方法を提供するこ
とができる。
第1図ないし第3図は従来の実施例を示し、第
1図は蒸気タービンの要部の制御系統図、第2図
は第1図の入口弁要部の断面図、第3図は第1図
に示すタービンの起動特性を示す線図、第4図お
よび第5図は本発明の実施例を示し、第4図は蒸
気タービンの要部の制御系統図、第5図は第4図
に示す蒸気タービンの起動特性を示す線図であ
る。 1……蒸気タービン、10……第1系列、1
1,13……主蒸気止め弁、12,22……蒸気
加減弁、30……第2系列。
1図は蒸気タービンの要部の制御系統図、第2図
は第1図の入口弁要部の断面図、第3図は第1図
に示すタービンの起動特性を示す線図、第4図お
よび第5図は本発明の実施例を示し、第4図は蒸
気タービンの要部の制御系統図、第5図は第4図
に示す蒸気タービンの起動特性を示す線図であ
る。 1……蒸気タービン、10……第1系列、1
1,13……主蒸気止め弁、12,22……蒸気
加減弁、30……第2系列。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 主蒸気止め弁と蒸気加減弁とを1対とする蒸
気供給系を2系列配し、蒸気源から供給される蒸
気をそれぞれの系列の蒸気加減弁により制御して
運転を行う蒸気タービンにおいて、第1系列の主
蒸気止め弁を全開操作するとともにこの系列の蒸
気加減弁をタービンの回転速度が定格回転速度よ
り低い暖機運転速度に達するように微開して暖機
運転を行い、暖機運転の終了後に前記蒸気加減弁
をさらに開操作して前記タービンの回転速度を上
昇させ、前記タービンの回転速度が所定値を超え
たとき第2系列の主蒸気止め弁を全開操作し、こ
の主蒸気止め弁の全開操作後は前記第1系列及び
第2系列の蒸気加減弁を開操作して前記タービン
の回転速度を上昇させ蒸気加減弁による制御運転
に移行することを特徴とする蒸気タービンの起動
方法。 2 特許請求の範囲第1項に記載の起動方法にお
いて、蒸気加減弁がバタフライ弁であることを特
徴とする蒸気タービンの起動方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8718583A JPS59213906A (ja) | 1983-05-18 | 1983-05-18 | 蒸気タ−ビンの起動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8718583A JPS59213906A (ja) | 1983-05-18 | 1983-05-18 | 蒸気タ−ビンの起動方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59213906A JPS59213906A (ja) | 1984-12-03 |
| JPH0246762B2 true JPH0246762B2 (ja) | 1990-10-17 |
Family
ID=13907924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8718583A Granted JPS59213906A (ja) | 1983-05-18 | 1983-05-18 | 蒸気タ−ビンの起動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59213906A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7008873B2 (en) | 2002-05-14 | 2006-03-07 | Hrl Laboratories, Llc | Integrated circuit with reverse engineering protection |
| US7049667B2 (en) | 2002-09-27 | 2006-05-23 | Hrl Laboratories, Llc | Conductive channel pseudo block process and circuit to inhibit reverse engineering |
| US7166515B2 (en) | 2000-10-25 | 2007-01-23 | Hrl Laboratories, Llc | Implanted hidden interconnections in a semiconductor device for preventing reverse engineering |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4885299B1 (ja) * | 2010-10-14 | 2012-02-29 | 川崎重工業株式会社 | 蒸気タービン発電システムの起動方法、蒸気タービン発電システム |
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|---|---|---|---|---|
| JPS5879607A (ja) * | 1981-11-05 | 1983-05-13 | Toshiba Corp | 蒸気タ−ビンの制御装置 |
-
1983
- 1983-05-18 JP JP8718583A patent/JPS59213906A/ja active Granted
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59213906A (ja) | 1984-12-03 |
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