JPH0247157U - - Google Patents

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JPH0247157U
JPH0247157U JP12629088U JP12629088U JPH0247157U JP H0247157 U JPH0247157 U JP H0247157U JP 12629088 U JP12629088 U JP 12629088U JP 12629088 U JP12629088 U JP 12629088U JP H0247157 U JPH0247157 U JP H0247157U
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JP
Japan
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workpiece
polisher
main surface
polishing
conveyance direction
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JP12629088U
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  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る研摩装置の一実施例を示
す一部破断正面図、第２図は第１図Ａ矢視図、第
３図は第１図−線断面図、第４図は第１図
−線拡大断面図、第５図はガラス基板の斜視図
、第６図ａ，ｂは本考案の他の実施例を示す正面
図および平面図である。 １……ガラス基板、１０……自動研摩装置、１
２，１３……水槽、２０Ａ，２０Ｂ……主表面、
２１Ａ〜２１Ｄ……側面、２５……カセツト、２
７……台座、３０……搬送装置、３１……第１搬
送路、３５……第１の側面研摩機、３７……方向
変換部、３８……搬送装置、４０……第２搬送路
、４７……第２の側面研摩機、４８……主表面研
摩機、５５……搬送装置、５９……搬出装置、６
０……搬出用カセツト、６５……台座、８０……
回転機構。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. フオトマスク用ガラス基板等の被加工物を研摩
    位置に搬送する搬送装置と、搬送路中にそれぞれ
    設けられ前記被加工物の表裏面を研摩する主表面
    研摩機、前記被加工物の移動方向と平行な側面を
    研摩する側面研摩機および被加工物を所定角度回
    転させ搬送方向と直交していた側面を前記側面研
    摩機に対応するよう搬送方向と平行にする変換部
    とを備え、前記主表面研摩機と前記側面研摩機に
    よつて前記被加工物の６面全てを連続的に研摩す
    ることを特徴とする自動研摩装置。
JP12629088U 1988-09-29 1988-09-29 Pending JPH0247157U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011126028A1 (ja) * 2010-04-08 2011-10-13 旭硝子株式会社 ガラス板の製造方法及び製造装置

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