JPH0247537U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0247537U JPH0247537U JP12594888U JP12594888U JPH0247537U JP H0247537 U JPH0247537 U JP H0247537U JP 12594888 U JP12594888 U JP 12594888U JP 12594888 U JP12594888 U JP 12594888U JP H0247537 U JPH0247537 U JP H0247537U
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- pressure
- strain
- strain gauge
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- generating part
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- Pending
Links
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- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 2
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 1
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図及び第２図は本考案の実施例に係り、第
１図は圧力センサの縦断面図、第２図は第１図中
の―矢示方向断面図、第３図及び第４図は従
来技術に係り、第３図は圧力センサの縦断面図、
第４図は第３図中の―矢示方向断面図である
。 ２１……ダイヤフラム、２１Ｂ……起歪部、２
１Ｂ１……受圧面、２１Ｂ２……シリコン貼着面
、２２……拡散型歪ゲージ、２３……単結晶シリ
コンウエハ。
１図は圧力センサの縦断面図、第２図は第１図中
の―矢示方向断面図、第３図及び第４図は従
来技術に係り、第３図は圧力センサの縦断面図、
第４図は第３図中の―矢示方向断面図である
。 ２１……ダイヤフラム、２１Ｂ……起歪部、２
１Ｂ１……受圧面、２１Ｂ２……シリコン貼着面
、２２……拡散型歪ゲージ、２３……単結晶シリ
コンウエハ。
Claims (1)
- 一側が流体圧を受ける受圧面になり、他側がシ
リコン貼着面になつた起歪部を有する受圧ダイヤ
フラムと、該受圧ダイヤフラムの起歪部に固着さ
れた歪ゲージとからなり、該歪ゲージは前記シリ
コン貼着面に貼着した単結晶シリコンウエハに不
純物を拡散した拡散型歪ゲージに構成してなる圧
力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12594888U JPH0247537U (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12594888U JPH0247537U (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0247537U true JPH0247537U (ja) | 1990-03-30 |
Family
ID=31377009
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12594888U Pending JPH0247537U (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0247537U (ja) |
-
1988
- 1988-09-27 JP JP12594888U patent/JPH0247537U/ja active Pending