JPH0248171U - - Google Patents

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JPH0248171U
JPH0248171U JP12910988U JP12910988U JPH0248171U JP H0248171 U JPH0248171 U JP H0248171U JP 12910988 U JP12910988 U JP 12910988U JP 12910988 U JP12910988 U JP 12910988U JP H0248171 U JPH0248171 U JP H0248171U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す概略構成図、
第２図は本考案の他の実施例を示す概略構成図、
第３図は従来の装置例を示す概略構成図である。 図中、１は液体の例示であるレジスト液、２は
第１容器、４は濾過手段としてのフイルタ、７は
滴下手段としてのノズル、１１は第２容器、１６
，１７は往路、１５，１８は復路、２１，２２は
第２弁としての二方弁、２３，２４及び７０はそ
れぞれ第１弁としての逆止弁及び三方弁、３１，
３２，３３，５１，５２，５３は液量検出手段と
しての液面センサ、５０は往復路、４１，４２は
圧送手段としての不活性ガスを注入するための配
管、６０は制御装置である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 濾過すべき液体を収容する第１及び第２の容器
    と、これら第１容器と第２容器との間を前記液体
    が往復移送する往路及び復路と、前記液体を往復
    移送させるために前記液体をガス圧により圧送す
    るための手段と、前記往路と前記復路との間に設
    けられ、往路と復路とを共通する往復路と、この
    往復路中又はこの往復路より上流側でかつ後記す
    る第１の弁より下流側の往路及び復路中に設けら
    れ、往復移送される液体を濾過する手段と、この
    濾過手段によつて濾過された液体を滴下する手段
    と、前記濾過手段の上流側の往路中及び復路中に
    設けられ第１容器又は第２容器から移送される前
    記液体を前記濾過手段に選択的に送るべく制御す
    る第１の弁と、前記濾過手段の下流側の往路中及
    び復路中に設けられ濾過手段によつて濾過された
    液体を第１容器と第２容器とに選択的に送るべく
    制御する第２の弁と、前記第１容器及び第２容器
    に収容される液体の液量をそれぞれ検出する手段
    と、前記液量検出手段からの検出信号を受けて、
    前記滴下手段の滴下により減少する液体のく往復
    移送の切替えを行うべく前記圧送手段及び第１弁
    、第２弁を制御する制御装置とを備えたことを特
    徴とする滴下装置。
JP12910988U 1988-09-30 1988-09-30 滴下装置 Expired - Lifetime JPH0614831Y2 (ja)

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JPH0248171U true JPH0248171U (ja) 1990-04-03
JPH0614831Y2 JPH0614831Y2 (ja) 1994-04-20

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04294538A (ja) * 1991-03-22 1992-10-19 Rohm Co Ltd 薬液塗布装置における薬液供給装置
JPH0520853U (ja) * 1991-08-30 1993-03-19 株式会社アツギユニシア 切削機械のドリルユニツト構造
JP2013098479A (ja) * 2011-11-04 2013-05-20 Tokyo Electron Ltd 処理液供給方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び処理液供給装置
JP2017220547A (ja) * 2016-06-07 2017-12-14 東京エレクトロン株式会社 処理液供給装置、機器ユニット、処理液供給方法及び記憶媒体

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JPH0614831Y2 (ja) 1994-04-20

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