JPH0248900U - - Google Patents

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JPH0248900U
JPH0248900U JP12746488U JP12746488U JPH0248900U JP H0248900 U JPH0248900 U JP H0248900U JP 12746488 U JP12746488 U JP 12746488U JP 12746488 U JP12746488 U JP 12746488U JP H0248900 U JPH0248900 U JP H0248900U
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electron beam
workpiece
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processing chamber
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の１実施例である電子線照射装
置に使用する鉛板の概略断面及びその表面に衝突
したＸ線の進路を示す図、第２図は本考案の１実
施例である電子線照射装置の中間Ｘ線漏出防止部
に使用する鉛板の概略断面及び侵入したＸ線の進
路を示す図、第３図及び第４図は鉛板の変形例を
示す概略断面図、第５図は電子線照射装置の概略
図、第６図は従来の電子線照射装置に使用される
平板状鉛板の概略断面及び平板状鉛板に入射した
Ｘ線の進路を示す図、第７図は従来の電子線照射
装置の中間漏出部３４に使用する鉛板の概略断面
及び侵入したＸ線の進路を示す図、第８図はＸ線
漏出防止部の概略斜視図である。 １……鉛板、１１，２１，３１……凸状部、２
……上部鉛板、２ａ，２ｂ……鋸歯面、３……下
部鉛板、３ａ，３ｂ……鋸歯面、４……通路、１
０……電子線発生部、１１……線状陰極、１２…
…電子銃、１３……シールド電極、１４……グリ
ツド、１５……箔、２０……処理室、２１……搬
入口、２２……照射部、２３……搬出口、３０…
…Ｘ線漏出防止部、３１……入口Ｘ線漏出防止部
、３２……出口Ｘ線漏出防止部、３３，３４……
中間Ｘ線漏出防止部、Ａ……被処理物。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 被処理物の搬入口と被処理物に電子線を照
    射する照射部と被処理物の搬出口とを有する処理
    室と、該処理室内の照射部を通過する被処理物に
    電子線を照射するための電子線を発生する電子線
    発生手段と、少なくとも平板状鉛板が被処理物を
    介して対向配置され、被処理物への電子線の照射
    の際に発生するＸ線が前記処理室内から外部へ漏
    出するのを防止するために被処理物の搬送路に設
    けられたＸ線漏出防止部とを有する電子線照射装
    置において、前記Ｘ線漏出防止部に用いられる鉛
    板の内側表面に、被処理物の搬送方向に対して略
    直角な方向に延びる複数の凸状部を形成したこと
    を特徴とする電子線照射装置。 (2) 前記凸状部は、その断面が鋸歯状に形成さ
    れ、かつ該鋸歯状の鋸歯面のうち、少なくとも前
    記照射部に近い方の面が被処理物の進行方向に対
    して略垂直になるように形成されている請求項１
    記載の電子線照射装置。
JP12746488U 1988-09-29 1988-09-29 Pending JPH0248900U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017101309A (ja) * 2015-12-04 2017-06-08 Ｊｆｅスチール株式会社 電子ビーム照射装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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