JPH0249715Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は半導体装置の製造工程に於いて半導体
ウエハーを高温熱処理、化学気相成長等を行うに
際し、ウエハープロセスキヤリヤからウエハーボ
ートに移載するとき及びウエハーボートからウエ
ハープロセスキヤリヤに移載するときに使用され
るウエハー移載装置に関する。

背景技術とその問題点 一般に半導体装置の製造工程に於いて半導体ウ
エハーを高温熱処理、拡散、化学気相成長等を行
うに際し、このウエハーを持ち運んだり、一時的
に貯蔵したりするウエハープロセスキヤリヤから
この高温熱処理、拡散、化学気相成長等を行う炉
に耐え得る例えば石英より成るウエハーボートに
移載しており、又この高温熱処理、拡散、化学気
相成長等を行つた後にこのウエハーボートからウ
エハープロセスキヤリヤに移載することが行なわ
れている。この高温熱処理、拡散、化学気相成長
等を行うに工程上ウエハーボートにピツチ変換を
して移載する場合がある。

従来このウエハーボートにバツチ式でピツチ変
換をして移載する場合、予めピツチ変換されたキ
ヤリヤへ収納するか、エレベータ機構等を用いて
プロセスキヤリヤから一度バツフアキヤリヤへピ
ツチ変換し、その後ウエハーボートに移載してい
た。

斯る従来のバツチ式のピツチ変換は機構上複雑
になり、ピツチ変換機構を有していないウエハー
の移載装置に於いては別の治工具を必要とし工程
数が増える不都合があつた。

考案の目的 本考案は斯る点に鑑み簡単な構成で良好にピツ
チ変換を行うことができる様にすることを目的と
する。

考案の概要 本考案は開閉自在な一対のウエハーハンドリン
グ用チヤツク板を有したバツチ式のウエハー移載
装置に於いて、このチヤツク板はその内側に複数
のウエハーの厚みよりも幅広の溝を等間隔に有
し、且つこの複数の溝をこの一対のチヤツク板が
閉状態でこの一対のチヤツク板の対応する溝の先
端部の谷部間の間隔がこのウエハーの径よりも小
さくなし、このウエハーを補捉できる第１の溝
と、この一対のチヤツク板が閉状態でこの一対の
チヤツク板の対応する溝の先端部の谷部間の間隔
がこのウエハーの径よりも大きくなし、このウエ
ハーを補捉できない第２の溝とで構成し、この第
１の溝と第２の溝とを一定比一定間隔で設け、ウ
エハー移載時にこのウエハーのピツチ変換を容易
としたものである。斯る本考案によれば簡単な構
成でウエハーの移載時に良好にピツチ変換を行う
ことができる。

実施例 以下図面を参照しながら本考案ウエハー移載装
置の一実施例につき説明しよう。

第１図は半導体ウエハーの例えば熱処理炉に対
応して設けられているウエハー移載装置の要部を
示し、１はこのウエハー移載装置本体で、このウ
エハー移載装置本体１はその所定位置にウエハー
ボート２及びウエハープロセスキヤリヤ３に配す
る如く構成されている。本例に於けるウエハーボ
ート２は３本の支持杆２ａを固定枠２ｂで固定し
たもので、このウエハーボート２は略円形の半導
体ウエハー４の略90゜角範囲を支持する様したも
のであり、このウエハーボート２は例えば3/32イ
ンチピツチに100枚の半導体ウエハー４が載置可
能に構成されている。またこのウエハープロセス
キヤリヤ３は例えば3/16インチピツチで25枚の半
導体ウエハー４が収納できる如く構成している。

第１図に於いて５はウエハーハンドリング装置
を示し、このウエハーハンドリング装置５は所定
範囲に亘つてＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸方向に操作に従
つて自動的に移動できる如くなされている。

このウエハーハンドリング装置５は第２図及び
第３図に示す如く互に対向する面の下部に夫々複
数例えば3/32インチピツチの50個の縦溝６を有す
る一対のチヤツク板５ａ及び５ｂより成り、この
一対のチヤツク板５ａ及び５ｂは周知の平行開閉
機構により対向する方向に開閉自在に構成する。
この場合この一対のチヤツク板５ａ及び５ｂが閉
状態に於いてこの50個の縦溝６の一つおきの対向
した縦溝６ａの間でウエハー４の側端を挾持する
如くすると共にその他の縦溝６ｂはこのときウエ
ハー４を捕捉できない構成とする。

本例に於いてはこの一対のチヤツク板５ａ及び
５ｂの一つおきの縦溝６ａを第２図及び第４図に
示す如くチヤツク板５ａ，５ｂの先端部内側への
湾曲に沿つて形成する如くし、このチヤツク板５
ａ，５ｂがウエハー４を挾持したときの縦溝６ａ
の谷部６abの曲率をウエハー４の直径が例えば
100mmのときに半径50mmとして、このウエハー４
の曲率と同じとすると共にこのときのこのチヤツ
ク板５ａ及び５ｂの夫々の縦溝６ａの谷部６ab
の夫々の曲率中心がこのウエハー４の中心よりや
や手前側になる如くする。またこの縦溝６の残り
の縦溝６ｂは第３図及び第４図に示す如くその谷
部６bbをチヤツク板５ａ，５ｂの先端部の湾曲
に沿うことなく直線的に形成し、このチヤツク板
５ａ及び５ｂの閉状態に於いても相対向する縦溝
６ｂ及び６ｂの谷部６bb及び６bb間の間隔がウ
エハー４の直径例えば100mmより大きい104mmとな
る如く構成する。

またこの縦溝６の山部６ｔの曲率を半径53mmと
してこのウエハー４の曲率と略同じとすると共に
このチヤツク板５ａ及び５ｂの夫々のこの山部６
ｔ及び６ｔの夫々の曲率中心が、このウエハー４
の中心よりやや対向するチヤツク板５ｂ及び５ａ
側になる様にし、更に之等チヤツク板５ａ及び５
ｂの夫々の山部６ｔ及び６ｔの夫々の曲率中心７
ｂが縦溝６ａ及び６ａの曲率中心７ａの上側に位
置する如くする。更にこの場合チヤツク板５ａ及
び５ｂの湾曲しない部分のこのチヤツク板５ａ及
び５ｂが閉状態のときの間隔をウエハー３の直径
例えば100mmよりやや大きい104mmとし、このチヤ
ツク板５ａ，５ｂの夫々の縦溝６ａの谷部６ab
の内先端部をこの湾曲しない部分より例えば９mm
突出する如くする。また本例に於いてはこのチヤ
ツク板５ａ，５ｂの縦溝６ａ，６ｂはこの谷部６
ab，６bbの幅をウエハー４の厚さ例えば0.5mmよ
りやや大きい0.8mmとし、これより9゜で両側に拡
がるＶ溝とする。

本例は上述の如く構成しているので3/16インチ
ピツチで収納されたウエハープロセスキヤリヤ３
の複数枚例えば25枚の半導体ウエハー４を3/16イ
ンチピツチでウエハーボート２に移載する場合、
このウエハーハンドリング装置５をこの所定位置
に置かれたプロセスキヤリヤ３上に持ち来たして
これに接近させチヤツク板５ａ及び５ｂを開状態
とし一つおきの縦溝６ａを夫々半導体ウエハー４
に対応させて、その閉状態としてこのチヤツク板
５ａ及び５ｂ間でこの25枚の半導体ウエハー４を
挾持し、この状態でこのウエハーハンドリング装
置５を所定位置に配されたウエハーボート２の所
定位置上に持ち来たして所定位置に接近し、ウエ
ハー４をチヤツク板５ａ，５ｂで挾持した状態で
ウエハーボート２の支持杆２ａの１つおきの溝即
ち3/16インチピツチに挿入して、このチヤツク板
５ａ，５ｂを開き、このウエハー４を移載する。

またウエハーボート２より高温熱処理等がなさ
れた半導体ウエハー４をウエハープロセスキヤリ
ヤ３に移載する場合は上述同様にウエハーハンド
リング装置５のチヤツク板５ａ，５ｂによりウエ
ハーボート２に載置されたウエハー４を挾持し、
その状態でこのウエハーハンドリング装置をプロ
セスキヤリヤ３上に持ち来たしこのウエハー４を
プロセスキヤリヤ３に移載する。

次にこの3/16インチピツチで収納されたウエハ
ープロセスキヤリヤ３の半導体ウエハー４をこの
１／２ピツチである3/32インチピツチでウエハーボ
ート２に移載するときは先ず第１回目は上述と同
様にして半導体ウエハー４をウエハーボート２に
３／１６インチピツチで移載し、次に別のウエハープ
ロセスキヤリヤ３の半導体ウエハー４をこのウエ
ハーハンドリング装置５のチヤツク板５ａ，５ｂ
で上述と同様にしてウエハー４を挾持し、この状
態でこのウエハーハンドリング装置５をウエハー
ボート２上に持ち来たし、これを第１回目とは3/
３２インチピツチずらした状態でウエハーボート２
に接近させて移載する。この場合第１回目に移載
されたウエハー４はチヤツク板５ａ，５ｂの縦溝
６ｂに対応することとなるので何等支障なく、移
載でき3/32インチピツチに移載されることとな
る。

またこの3/32インチピツチに移載されたウエハ
ーボート２のウエハー４を3/16インチピツチのウ
エハープロセスキヤリヤ３に収納するときは第１
回目の移載で１つおきのウエハー４をこのチヤツ
ク板５ａ，５ｂにて挾持して移載し、次に残りの
ウエハーボート２上のウエハー４を上述同様にし
て移載する。

次に上述実施例でウエハー４を3/16インチピツ
チの倍のピツチである3/8インチピツチにウエハ
ーボート２に載置したいときには上述チヤツク板
５ａ及び５ｂの縦溝６のピツチを3/16インチピツ
チとし上述同様に１つおきに上述縦溝６ａ及び６
ｂの構成とすれば良い。この場合ウエハーハンド
リング装置５のチヤツク板５ａ及び５ｂによりウ
エハープロセスキヤリヤ３より１つおきのウエハ
ー４を挾持し、この状態でこれをウエハーボート
２に移載し、次にウエハープロセスキヤリヤ３の
ウエハー４を3/16インチピツチずらした状態でチ
ヤツク板５ａ，５ｂで挾持し、この状態でウエハ
ーボート２に前回載置したウエハー４に連続して
載置すれば3/8インチピツチでこのウエハー４を
ウエハーボート２に移載することができる。この
３／８インチピツチのウエハーボート２のウエハー
４を3/16インチピツチのウエハープロセスキヤリ
ヤ３に収納するときは、先ず3/8インチピツチで
上述同様にして移載し、次に残りの3/8インチピ
ツチでチヤツク板５ａ，５ｂで挾持したウエハー
４を前回より3/16インチピツチずらしてウエハー
プロセスキヤリヤ３に収納する様にする。

この場合上述の如くウエハーハンドリング装置
５のチヤツク板５ａ，５ｂの上述構成の溝６ａ及
び６ｂを一定比一定間隔で設ける様にすればウエ
ハー４を移載するときに所望のピツチ変換をする
ことができる。

尚本考案は上述実施例に限ることなく本考案の
要旨を逸脱することなくその他種々の構成が取り
得ることは勿論である。

考案の効果 本考案に依ればウエハーハンドリング装置５の
チヤツク板５ａ，５ｂの構成を変えるだけの簡単
な構成でウエハー４の移載時に良好にピツチ変換
を行うことができる。また本考案によればピツチ
変換の為の複雑な機構及びピツチ変換治具が不要
となる利益がある。更に本考案は上述の如く構成
が簡単であるのでこの移載装置が安価となると共
にウエハー移載時のピツチ変換の信頼性が向上し
更にメンテナンス性が良好である利益がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案ウエハー移載装置の一実施例を
示す一部切欠斜視図、第２図及び第３図は夫々本
考案の要部の例を示す断面図、第４図は本考案の
要部の例を示す拡大切欠図である。 １はウエハー移載装置本体、２はウエハーボー
ト、３はウエハープロセスキヤリヤ、４は半導体
ウエハー、５はウエハーハンドリング装置、５ａ
及び５ｂは夫々チヤツク板、６ａ及び６ｂは夫夫
縦溝、６ab及び６bbは夫々縦溝の谷部、６ｔは
縦溝の山部である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 開閉自在な一対のウエハーハンドリング用チヤ
   ツク板を有したバツチ式のウエハー移載装置に於
   いて、上記チヤツク板は内側に複数のウエハーの
   厚みよりも幅広の溝を等間隔に有し、且つ上記複
   数の溝は上記一対のチヤツク板が閉状態で上記一
   対のチヤツク板の対応する溝の先端部の谷部間の
   間隔が上記ウエハーの径より小さくなし、上記一
   対のチヤツク板の山部の曲率中心が、上記一対の
   チヤツク板の対応する溝の先端部の谷部の曲率中
   心の上側に位置する上記ウエハーを補足できる第
   １の溝と、上記一対のチヤツク板が閉状態で上記
   一対のチヤツク板の対応する溝の先端部の谷部間
   の間隔が上記ウエハーの径よりも大きくなし、上
   記ウエハーを補足できない第２の溝とで構成し、
   上記第１の溝と第２の溝とを一定比一定間隔で設
   け、ウエハー移載時に上記ウエハーのピツチ変換
   を容易としたことを特徴とするウエハー移載装
   置。