JPH0250524B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0250524B2 JPH0250524B2 JP20524384A JP20524384A JPH0250524B2 JP H0250524 B2 JPH0250524 B2 JP H0250524B2 JP 20524384 A JP20524384 A JP 20524384A JP 20524384 A JP20524384 A JP 20524384A JP H0250524 B2 JPH0250524 B2 JP H0250524B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- gap
- film
- layer
- magnetic head
- Prior art date
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- Expired
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 56
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 13
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 7
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/193—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features the pole pieces being ferrite or other magnetic particles
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/133—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive with cores composed of particles, e.g. with dust cores, with ferrite cores with cores composed of isolated magnetic particles
- G11B5/1335—Assembling or shaping of elements
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/23—Gap features
- G11B5/232—Manufacture of gap
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁気ヘツドの製造方法の改良に係わ
り、特に、高精度かつ高信頼性を付与したギヤツ
プ形成を可能とする磁気ヘツドの製造方法に関す
るものである。 〔従来の技術〕 磁気ヘツドのギヤツプを形成する方法として、
２個のフエライトコアーのフロントギヤツプ構成
面にガラス材をスパツタリングにより膜厚の合計
が所定のギヤツプ巾に等しくなるように付着せし
め、前記両コアーをそのフロントギヤツプ構成面
が前記ガラス層を介して対向する様に圧接せしめ
た後、前記ガラスの軟化温度と溶融温度範囲内に
てギヤツプを形成する方法が、特公昭47−26336
号公報に開示されている。しかしながら、この場
合には、ガラスの軟化温度と溶融温度範囲内にて
行なう熱処理により、２つのコアーのフロントギ
ヤツプ構成面間において、全部のガラスが軟化し
てしまう為に、全面均一密着が難かしく、又、ギ
ヤツプ精度バラツキを少なく出来ないという欠点
があり、又、高速スパツタ法（マグネトロン・ス
パツタ法等）によつてガラス層を形成した場合に
は、ガラス層内、又は表面に気泡が発生し、強度
上の問題或いは、磁気ヘツドとして使用中に磁気
記録媒体の破片が気泡内に侵入し、特性劣化の原
因となるなどの問題が発生した。 〔発明が解決しようとする問題点〕 後者の問題は、特に、ビデオヘツドに比較して
ギヤツプ長の広いフロツピーデイスク或いはハー
ドデイスク用ヘツドの製造には、生産性の面から
考えて、高速スパツタ法の適用が不可欠であり、
それに伴ないガラス層内、又は表面に気泡が発生
する割合が急激に多くなるために、実用上解決を
しなければならない重要問題であると考え、発明
者等は、鋭意検討を重ね、本発明に至つたもので
ある。 本発明者等は、上記気泡が、高速スパツタ時の
ガラス層内に吸蔵されたArがガラス層同志の熱
圧着接合の為の熱処理の際に、接合後ガラス層
内、又は表面の気泡を形成することによるもので
あることを確認し、本発明をなすに至つたもので
ある。 本発明は、接合後ギヤツプ部に気泡がなく、高
精度かつ高信頼性を付与したギヤツプ形成を可能
にした磁気ヘツドの製造方法を提供するものであ
る。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明においては、磁気ヘツドのギヤツプを構
成する２個の組立片のギヤツプ構成面に第１層と
して、SiO2膜を、第２層として、ガラス層を高
速スパツタ法により順次形成し、この後、脱Ar
のための熱処理を第２層ガラスの軟化温度乃至
950℃の間の温度で15分乃至１時間行なつた後に、
前記組立片の互いに組合せられるべきギヤツプ構
成面同志を対向させて重ね合わせ、加圧しながら
加熱する事により、２個の組立片の第２層として
のガラス膜同志を接合すると共に、ギヤツプ部の
磁気記録媒体と対向する面の反対側部分に補強ガ
ラスを接合する。 SiO2膜とガラス膜との膜厚比は10：１乃至
10：４が適当である。 〔作 用〕 本発明者等の検討に依れば、高速スパツタ時に
ガラス膜、或いはSiO2膜に取り込まれるArは、
ガラス膜、SiO2膜を加熱することにより放出さ
れるが、磁気ヘツドとして実用上差しつかえがな
い程度まで放出させるためには、スパツタ後、ガ
ラス膜同志の接合工程前に、第２層のガラス軟化
温度乃至950℃の間、好ましくは、第２層ガラス
の軟化温度より100℃高い温度乃至870℃の間で、
15分乃至１時間、加熱すれば良いことが判かつ
た。 スパツタ膜をSiO2膜である第１層と、ガラス
膜である第２層との複合層とした理由は、次の通
りである。 即ち、スパツタ膜をガラス膜のみとした場合に
は、前記脱Ar熱処理の際に、ガラス膜が軟化し、
ガラス膜接合熱処理の前に既に膜厚の均一性が失
なわれて、ガラス膜接合後のギヤツプ長目標値に
対する実際製品のギヤツプ長バラツキが多くなつ
てしまうことから、SiO2膜とガラス膜の２層構
造にする必要があるからである。又、この様な２
層構造にすることにより、ガラス膜同志の接合熱
処理の際に、ギヤツプ長が目標値通りであり、バ
ラツキが少なく、又、ギヤツプ部分の接合強度が
大きくなる。 〔実施例〕 次に、本発明の実施例について説明する。第１
図に示すように、フエライトコア１１，１２に、
各々SiO2膜４、およびガラス膜５を順次マグネ
トロン・スパツタ法により形成する。2μmのギヤ
ツプ長に対して、SiO2膜は8000Å、ガラス膜は
2000Åの厚さに形成した。これらフエライトコア
１１，１２を互いにつきあわせ、補強ガラス６を
セツトして、850℃においてフエライトコア１１，
１２を圧着しながら加熱することによつて、磁気
ヘツドのギヤツプを形成した。第２図に、接着に
用いたガラス膜５のガラスと、補強ガラス６との
粘性特性を示した。このように粘性の違うガラス
を用いることに依り、特に、補強ガラス６とし
て、ガラス膜５よりも圧着加熱温度において、粘
度の高いガラスを用いることにより、エイペツク
ス部分のガラスの反応を抑えるのに有効であつ
た。第３図に従来法、即ち、ガラス膜５と補強ガ
ラス６とに同一のガラスを用いた場合のエイペツ
クス部分のギヤツプ形成後の図をｂとして、又、
本実施例によるものをａとして部分概略図を示し
た。 第４図は、SiO2膜４とガラス膜６との膜厚の
和に対するガラス膜６の比率tglass／（tglass＋
tsio2）に対して、目標ギヤツプ長に対するギヤ
ツプ長不良の比率がどの様に依存するかを示した
図である。tglass／tglass＋tsio2）が、約0.4まで
の所でバラツキ少なくギヤツプ形成が出来る。 第５図は、tglass／tglass＋tsio2に対して、ギ
ヤツプ強度がどのように依存するかを示したもの
である。tglass／tglass＋tsio2が約0.1以上の所
で、従来方法によるよりも、強度の大きいギヤツ
プ形成をなし得る。 以上から分かる様に、tglass／tglass＋tsio2が
0.1〜0.4の範囲で、精度、強度ともに従来よりも
秀れたギヤツプ形成が可能である。表１は、光学
ギヤツプ長と、実効ギヤツプ長との差が従来法に
比較して、いかに改善されるかを比較したもので
ある。
り、特に、高精度かつ高信頼性を付与したギヤツ
プ形成を可能とする磁気ヘツドの製造方法に関す
るものである。 〔従来の技術〕 磁気ヘツドのギヤツプを形成する方法として、
２個のフエライトコアーのフロントギヤツプ構成
面にガラス材をスパツタリングにより膜厚の合計
が所定のギヤツプ巾に等しくなるように付着せし
め、前記両コアーをそのフロントギヤツプ構成面
が前記ガラス層を介して対向する様に圧接せしめ
た後、前記ガラスの軟化温度と溶融温度範囲内に
てギヤツプを形成する方法が、特公昭47−26336
号公報に開示されている。しかしながら、この場
合には、ガラスの軟化温度と溶融温度範囲内にて
行なう熱処理により、２つのコアーのフロントギ
ヤツプ構成面間において、全部のガラスが軟化し
てしまう為に、全面均一密着が難かしく、又、ギ
ヤツプ精度バラツキを少なく出来ないという欠点
があり、又、高速スパツタ法（マグネトロン・ス
パツタ法等）によつてガラス層を形成した場合に
は、ガラス層内、又は表面に気泡が発生し、強度
上の問題或いは、磁気ヘツドとして使用中に磁気
記録媒体の破片が気泡内に侵入し、特性劣化の原
因となるなどの問題が発生した。 〔発明が解決しようとする問題点〕 後者の問題は、特に、ビデオヘツドに比較して
ギヤツプ長の広いフロツピーデイスク或いはハー
ドデイスク用ヘツドの製造には、生産性の面から
考えて、高速スパツタ法の適用が不可欠であり、
それに伴ないガラス層内、又は表面に気泡が発生
する割合が急激に多くなるために、実用上解決を
しなければならない重要問題であると考え、発明
者等は、鋭意検討を重ね、本発明に至つたもので
ある。 本発明者等は、上記気泡が、高速スパツタ時の
ガラス層内に吸蔵されたArがガラス層同志の熱
圧着接合の為の熱処理の際に、接合後ガラス層
内、又は表面の気泡を形成することによるもので
あることを確認し、本発明をなすに至つたもので
ある。 本発明は、接合後ギヤツプ部に気泡がなく、高
精度かつ高信頼性を付与したギヤツプ形成を可能
にした磁気ヘツドの製造方法を提供するものであ
る。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明においては、磁気ヘツドのギヤツプを構
成する２個の組立片のギヤツプ構成面に第１層と
して、SiO2膜を、第２層として、ガラス層を高
速スパツタ法により順次形成し、この後、脱Ar
のための熱処理を第２層ガラスの軟化温度乃至
950℃の間の温度で15分乃至１時間行なつた後に、
前記組立片の互いに組合せられるべきギヤツプ構
成面同志を対向させて重ね合わせ、加圧しながら
加熱する事により、２個の組立片の第２層として
のガラス膜同志を接合すると共に、ギヤツプ部の
磁気記録媒体と対向する面の反対側部分に補強ガ
ラスを接合する。 SiO2膜とガラス膜との膜厚比は10：１乃至
10：４が適当である。 〔作 用〕 本発明者等の検討に依れば、高速スパツタ時に
ガラス膜、或いはSiO2膜に取り込まれるArは、
ガラス膜、SiO2膜を加熱することにより放出さ
れるが、磁気ヘツドとして実用上差しつかえがな
い程度まで放出させるためには、スパツタ後、ガ
ラス膜同志の接合工程前に、第２層のガラス軟化
温度乃至950℃の間、好ましくは、第２層ガラス
の軟化温度より100℃高い温度乃至870℃の間で、
15分乃至１時間、加熱すれば良いことが判かつ
た。 スパツタ膜をSiO2膜である第１層と、ガラス
膜である第２層との複合層とした理由は、次の通
りである。 即ち、スパツタ膜をガラス膜のみとした場合に
は、前記脱Ar熱処理の際に、ガラス膜が軟化し、
ガラス膜接合熱処理の前に既に膜厚の均一性が失
なわれて、ガラス膜接合後のギヤツプ長目標値に
対する実際製品のギヤツプ長バラツキが多くなつ
てしまうことから、SiO2膜とガラス膜の２層構
造にする必要があるからである。又、この様な２
層構造にすることにより、ガラス膜同志の接合熱
処理の際に、ギヤツプ長が目標値通りであり、バ
ラツキが少なく、又、ギヤツプ部分の接合強度が
大きくなる。 〔実施例〕 次に、本発明の実施例について説明する。第１
図に示すように、フエライトコア１１，１２に、
各々SiO2膜４、およびガラス膜５を順次マグネ
トロン・スパツタ法により形成する。2μmのギヤ
ツプ長に対して、SiO2膜は8000Å、ガラス膜は
2000Åの厚さに形成した。これらフエライトコア
１１，１２を互いにつきあわせ、補強ガラス６を
セツトして、850℃においてフエライトコア１１，
１２を圧着しながら加熱することによつて、磁気
ヘツドのギヤツプを形成した。第２図に、接着に
用いたガラス膜５のガラスと、補強ガラス６との
粘性特性を示した。このように粘性の違うガラス
を用いることに依り、特に、補強ガラス６とし
て、ガラス膜５よりも圧着加熱温度において、粘
度の高いガラスを用いることにより、エイペツク
ス部分のガラスの反応を抑えるのに有効であつ
た。第３図に従来法、即ち、ガラス膜５と補強ガ
ラス６とに同一のガラスを用いた場合のエイペツ
クス部分のギヤツプ形成後の図をｂとして、又、
本実施例によるものをａとして部分概略図を示し
た。 第４図は、SiO2膜４とガラス膜６との膜厚の
和に対するガラス膜６の比率tglass／（tglass＋
tsio2）に対して、目標ギヤツプ長に対するギヤ
ツプ長不良の比率がどの様に依存するかを示した
図である。tglass／tglass＋tsio2）が、約0.4まで
の所でバラツキ少なくギヤツプ形成が出来る。 第５図は、tglass／tglass＋tsio2に対して、ギ
ヤツプ強度がどのように依存するかを示したもの
である。tglass／tglass＋tsio2が約0.1以上の所
で、従来方法によるよりも、強度の大きいギヤツ
プ形成をなし得る。 以上から分かる様に、tglass／tglass＋tsio2が
0.1〜0.4の範囲で、精度、強度ともに従来よりも
秀れたギヤツプ形成が可能である。表１は、光学
ギヤツプ長と、実効ギヤツプ長との差が従来法に
比較して、いかに改善されるかを比較したもので
ある。
【表】
〔発明の効果〕
以上、説明した様に、本発明に依れば、従来法
よりも高強度、高精度のギヤツプ形成がバラツキ
少なく得られるという効果がある。
よりも高強度、高精度のギヤツプ形成がバラツキ
少なく得られるという効果がある。
第１図は、本発明によるギヤツプ形成工程図、
第２図は、接着ガラスと補強ガラスの粘性特性を
示す図、第３図は、エアペツクス部概略図、第４
図、第５図は、各々第２ガラス層厚さと不良率、
強度の関係を示す図である。 １１，１２：フエライトコア、４：SiO2膜、
５：ガラス膜、６：補強ガラス。
第２図は、接着ガラスと補強ガラスの粘性特性を
示す図、第３図は、エアペツクス部概略図、第４
図、第５図は、各々第２ガラス層厚さと不良率、
強度の関係を示す図である。 １１，１２：フエライトコア、４：SiO2膜、
５：ガラス膜、６：補強ガラス。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 磁気ヘツドのギヤツプを構成する組立片のギ
ヤツプ構成面の各々に、第１層としてSiO2膜を、
第２層としてガラス膜を高速スパツタ法により順
次形成し、前記組立片の互いに組合せられるべき
ギヤツプ構成面同志を対向させて重ね合わせ、加
圧しながら加熱することにより、前記２個の組立
片の第２層であるガラス膜同志を接合すると共
に、ギヤツプ部の磁気記録媒体と対向する面の反
対側部分に補強ガラスを接合するものにおいてス
パツタ後、ガラス膜同志の接合工程の前に、該第
２層ガラスの軟化温度乃至950℃の間の温度で、
15分乃至１時間スパツタによりSiO2膜及びガラ
ス膜中に入りこんだArを放出させる熱処理を施
こすことを特徴とする磁気ヘツドの製造方法。 ２ Arを放出させる熱処理が、ガラス膜の軟化
温度より100℃高い温度乃至870℃であることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘツド
の製造方法。 ３ 第１層と第２層の膜厚の比が、10：１乃至
10：４であることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の磁気ヘツドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20524384A JPS6182305A (ja) | 1984-09-29 | 1984-09-29 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20524384A JPS6182305A (ja) | 1984-09-29 | 1984-09-29 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6182305A JPS6182305A (ja) | 1986-04-25 |
| JPH0250524B2 true JPH0250524B2 (ja) | 1990-11-02 |
Family
ID=16503765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20524384A Granted JPS6182305A (ja) | 1984-09-29 | 1984-09-29 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6182305A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0785290B2 (ja) * | 1990-05-17 | 1995-09-13 | 松下電器産業株式会社 | 磁気ヘッドコアの製造方法 |
-
1984
- 1984-09-29 JP JP20524384A patent/JPS6182305A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6182305A (ja) | 1986-04-25 |
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