JPS6292107A - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ヘッド特にフロッピーディスク装置用な
どの磁気ヘッドの製造方法に関するものである。

〔従来の技術〕

従来の７０ツピーデイスク装置用磁気へ・７ドとしては
、主として７エライトヘツドが用いられていたが、近年
の磁気記録の高密度化にイ１゛ない媒体の保磁力（Ｈｅ
　）が大きくなる方向に進んでいる。これに伴なって磁
気ヘッドは高飽和磁束密度化が要求されている。

このため、磁気ヘッドの材料としてセンダストやＣｏ系
７モル７７ス材と７１ライトとの複合したものの検討が
進められている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

このような複合ヘッドを製造するにあたって、従来は第
２図（ａ）に示すように、巻線を施すための溝１ａを含
めて所定の形状に形成したフェライトよりなる一方のコ
ア（Ｃコア）担体１と他方のコア（■コア）担体２の突
き合わせ面の全面にＣｏ−Ｎｂ−Ｚｒの金属磁性薄膜３
．３をスパッタにより形成し、さらに前記コア担体１、
２上にギャップ形成用の非磁性酸化物膜（例えば５ｉＯ
ｚ）４．４をスパッタにより蒸着する。

その後、第２図（ｂ）に示すようにコア担体１．２を突
き合わせて組み立て、Ｃコア１の溝１ａ内にガラス棒（
図示せず）を挿入して熱処理を行ない、ガラス棒を溶融
してコア担体１．２を接合し、ガラス５により補強する
。

接合したコア担体１．２は高さ方向の加工や溝入れ等の
後加工を行ない、さらにチップスライスした後最後に仕
上げラッピングを行なうことにより磁気へラドチップの
形状とするのである。

しかしながら、このような工程により製造した複合ヘッ
ドは、接合後の加工時に接合したコアが接合部（ギャッ
プ部）より剥離するという問題点が発生する。

これは、ガラスによる補強が十分でないためである。

本発明は、上記問題点を解決し、接合後の加工において
も剥離が発生することのない磁気ヘッドの製造方法を提
供することを目的とするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明者らは、上記問題点の原因が、接合用ガラスと金
属磁性薄膜との開のぬれ性が悪いためではないかと考え
、以下に示す方法により上記問題点を解決した。

すなわち、第１図（ａ）　、（ｂ）に示すように、磁性
体コア１．２に金属磁性薄膜３を形成する工程において
、ギャップ形成部以外をマスクした状態で金属磁性材を
スパ２りし、ギャップ部のみに金属磁性ＷｉＭ３を形成
する。

以後、前記従来方法と同様に、突き合わせ面にギャップ
形成ガラス４をスパッタにより蒸着し、コア１．２を突
き合わた後溝１ａ内にガラス棒を挿入し、熱処理してガ
ラス棒を溶融し、ガラス５を充填して接合と補強とを行
ない、さらに加工を行なうのである。

〔作　用〕

コア１．２は金属磁性薄膜の影響を受けることなく、ガ
ラス５を介して直接補強されるので、従来のものに比し
てより高い接合強度が得られ、後加工においても剥離の
発生が少ない。

なお、金属磁性薄膜はギャップ部のみでなく、ギャップ
部より突き合わせ面の奥側に若干はみ出しても、補強ガ
ラス材の充填部分の半分以下であれば、剥離防止に効果
を有するものである。

〔実施例〕

本発明における具体的実施例を以下１：示す。

（実施例１） まず、ｒ５３図に示すように、ギャップ対向面を鏡面仕
上げしたＭ　ｎ　Ｚ　ｒ　７エライトコア１．２の表面
にＣｏ系非晶質磁性薄膜３を形成する。

この例においては、この膜形成にスパッタ法を適用した
。すなわち、所定のコア１．２をスパッタ装置内に配置
しｌＸｌ０−５Ｐａまで真空に引き、その後、コア１．
２の表面清浄のためにＩ×１０°Ｐ１１＊でＡｒｆｆス
を導入してスパッタエツチングを５分程度行なった。

次に２Ｘ１０−’ＰａまでＡｒｆｆス圧を減圧し、形成
する磁性薄膜３の組成とほぼ同等の組成を有するターデ
ッドを用いスパッタを行なった。

本実施例においては、磁性薄膜３の形成形状と加工時の
歩留まりを比較するために、マスクスパッタを行ない、
ａ）ギャップ対向面のみに膜付けしたもの、ｂ）補強の
ためのガラスを充填したときにその充填部約半分程度ま
で膜が付着するようにしたもの、Ｃ）マスクスパッタを
行なわず全面に膜形成したものの３種類の方法で磁性薄
ｗＸ３の形成を行なった。

また、ここで使用した磁性体コア１．２は、あらかじめ
トラック幅Ｔｌ１ｌの両わきに溝６を配置しガラス５に
よる補強を容易にした型のものを用いた。

磁性薄膜３の形成が完了したコア１．２は、同様のスパ
ッタ装置を用いギャップ部を５ｉ０２等のキャップ成形
材４で形成した後、互いのコア１．２を突き合わせて組
み立て、さらに巻線のための溝部にガラス棒を配置して
熱処理を行ない、ガラス５を充填し接合した。

この接合においてヘッドが非晶質磁性薄膜を用いている
ため、その磁気特性を保持するため、軟化点３５０℃で
熱膨張係数が７エライトコアとほぼ等しい値のガラスを
用い、約４５０℃で３０分の保持を行ない接合を行なっ
た。

その後、これらの接合コアを加工しヘッドチップの形状
にしたが、その歩留まりは第１表のようになった。

第１表 （実施例２） 同様の工程にて、第４図に示すヘッドチップの製造を行
なった結果は第２表のようになった。

第　　　　　２　　　　　表 〔発明の効果〕 上述のように本発明によれば、コアの接合強度が向上し
て加工時の剥離不良の発生が減少し、歩留まりが者しく
向上する等の効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）　、（ｂ）は本発明の一実施例を示す側面
図、第２図（ａ）　、（ｂ）は従来方法を示す側面図で
、いずれも　（ａ）はコア接合前を、（ｂ）はコア接合
後を示す、第３図、第４図はともに本発明方法によって
製造した磁気ヘッドの例を示す斜視図である。 １：Ｃコア、　１ａ　：溝、　２　　：　　Ｉ：１７．
３　：金属磁性薄膜、　　４　：非磁性酸化物膜（ガラ
ス膜）、　５　ニガラス 代理人　弁理士　　本　　間　　　　　崇ｖ−１図 １：Ｃコア　　３：金属磁性薄膜 ノ。：　溝　　　　４：非磁性筒Ｕヒ＠膜（がラス服）
２、Ｉコア　　６：カ゛う人 ′＃−２図 第　３　＠　　　　　　　　第　４　図手続補正書（自
制 昭和６Ｑ年１２月２７日

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）一組のコアを突き合わせて接合する段階において
   、少なくとも一方のコアの突き合わせ面のうちの磁気ギ
   ャップ部または該磁気ギャップ部とその近傍に金属磁性
   薄膜を形成した後、前記突き合わせ面間および少なくと
   も一方のコアに形成した溝内にガラス材を充填し、前記
   一組のコアを接合することを特徴とする磁気ヘッドの製
   造方法。
2. （２）磁気ギャップ部と、コアの溝内のガラス材充填部
   の半分以下の前記磁気ギャップ部に連なる部分に金属磁
   性薄膜を形成することを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載の磁気ヘッドの製造方法。