JPH0250847A - サーマルヘッド及びその製造方法 - Google Patents
サーマルヘッド及びその製造方法Info
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- JPH0250847A JPH0250847A JP63202251A JP20225188A JPH0250847A JP H0250847 A JPH0250847 A JP H0250847A JP 63202251 A JP63202251 A JP 63202251A JP 20225188 A JP20225188 A JP 20225188A JP H0250847 A JPH0250847 A JP H0250847A
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- thermal head
- heating resistor
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- zrc
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、発熱素子を用いたプリンター、ファックス、
ビデオプリンタなどの記録装置のヘッドに関する。
ビデオプリンタなどの記録装置のヘッドに関する。
従来、例えば特開昭５６−１５０５７５号公報に記載の
ようにＴａとＳｉＯ２の焼結体ターゲットを用いて発熱
抵抗層を形成したサーマルヘッドが知られていた。
ようにＴａとＳｉＯ２の焼結体ターゲットを用いて発熱
抵抗層を形成したサーマルヘッドが知られていた。
しかし、この様にＴａとＳｉＯ２の焼結体ターゲットを
用いて発熱体を作成したサーマルヘッドでは長寿命を要
望する最近の市場動向に対応できないという問題点が生
じてきた。具体的には従来は通常使用状態で約１億回の
繰り近し発熱の耐久性を有することが目標となっていた
が、最近では約２億回の繰り返し発熱の耐久性を有する
ものが望まれている。そこで、本発明は従来のサーマル
ヘッドに比べ、耐久性に優れるサーマルヘッドを得るこ
とを目的としている。
用いて発熱体を作成したサーマルヘッドでは長寿命を要
望する最近の市場動向に対応できないという問題点が生
じてきた。具体的には従来は通常使用状態で約１億回の
繰り近し発熱の耐久性を有することが目標となっていた
が、最近では約２億回の繰り返し発熱の耐久性を有する
ものが望まれている。そこで、本発明は従来のサーマル
ヘッドに比べ、耐久性に優れるサーマルヘッドを得るこ
とを目的としている。
本発明のサーマルヘッドは、
（１）発熱抵抗体にＨｆ、Ｎｂ、Ｔａのうちいずれかと
、Ｂ、＋Ｃ，ＢＮ、Ｂｅｄ、ＣｅＯ２、ＨｆＯ２、Ｌａ
２Ｏ３、Ｔ ｉ ２０３、ＶＣ，ＶＮ、Ｙ２Ｏ３、Ｚｒ
Ｃのうちいずれかとの混合物を用いた。
、Ｂ、＋Ｃ，ＢＮ、Ｂｅｄ、ＣｅＯ２、ＨｆＯ２、Ｌａ
２Ｏ３、Ｔ ｉ ２０３、ＶＣ，ＶＮ、Ｙ２Ｏ３、Ｚｒ
Ｃのうちいずれかとの混合物を用いた。
（２）前記発熱抵抗体は、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａのうちいず
れかと、Ｂ４Ｃ，ＢＮ、Ｂｅｄ、ＣｅＯ２、Ｈｆ ０２
、Ｌａ２Ｏ３、Ｔｌ２Ｏ３、ＶＣＳ ＶＮＳ Ｙ２Ｏ３
、ＺｒＣのうちのいずれかとの混合物からなる焼結体タ
ーゲットを作成する工程と、該焼結体ターゲットとアル
ゴンガスを使用したスパッタリングによって発熱抵抗体
を形成する工程とを具備した製造方法を持つ。
れかと、Ｂ４Ｃ，ＢＮ、Ｂｅｄ、ＣｅＯ２、Ｈｆ ０２
、Ｌａ２Ｏ３、Ｔｌ２Ｏ３、ＶＣＳ ＶＮＳ Ｙ２Ｏ３
、ＺｒＣのうちのいずれかとの混合物からなる焼結体タ
ーゲットを作成する工程と、該焼結体ターゲットとアル
ゴンガスを使用したスパッタリングによって発熱抵抗体
を形成する工程とを具備した製造方法を持つ。
ことを特徴とする。
〔実施例〕
以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
（実施例）
焼結体ターゲットはＨｆ、Ｎｂ、Ｔａのうちいずれかと
、Ｂ ４Ｃ，Ｂ Ｎ、 Ｂ ｅ Ｏ，Ｃｅ ０２、Ｈ
ｆＯ２、Ｌａ２Ｏ３、Ｔ ｉ ２０３、ＶＣｌＶ Ｎ、
Ｙ ２０３、ＺｒＣのうちのいずれかの物質を成膜
時の膜厚が約５０００Ａでシート抵抗が５０Ω／口のも
のが得られるように混合、調製された物を使用し、第１
図に示すように、該焼結体ターゲット及びアルゴンガス
を用いてグレーズドセラミック基板１上に、膜厚が５０
００Ａになるように発熱抵抗層２を成膜し、Ｎ ｉ Ｃ
ｒ ／ Ａ ｕ ／ Ｃｒ導電膜３を成膜し、従来既知
のフォトリソ、エツチングによってバターニゲをして、
グレーズ４上に１ドツトの抵抗値が１００Ωの発熱部５
を形成し、保護層６を成膜して、サーマルヘッドを得た
。
、Ｂ ４Ｃ，Ｂ Ｎ、 Ｂ ｅ Ｏ，Ｃｅ ０２、Ｈ
ｆＯ２、Ｌａ２Ｏ３、Ｔ ｉ ２０３、ＶＣｌＶ Ｎ、
Ｙ ２０３、ＺｒＣのうちのいずれかの物質を成膜
時の膜厚が約５０００Ａでシート抵抗が５０Ω／口のも
のが得られるように混合、調製された物を使用し、第１
図に示すように、該焼結体ターゲット及びアルゴンガス
を用いてグレーズドセラミック基板１上に、膜厚が５０
００Ａになるように発熱抵抗層２を成膜し、Ｎ ｉ Ｃ
ｒ ／ Ａ ｕ ／ Ｃｒ導電膜３を成膜し、従来既知
のフォトリソ、エツチングによってバターニゲをして、
グレーズ４上に１ドツトの抵抗値が１００Ωの発熱部５
を形成し、保護層６を成膜して、サーマルヘッドを得た
。
（比較例）
焼結体ターゲット：Ｔａ−３ｉＯ２
Ｔａ： ６０ｍｏ１ ％
Ｓ ｉ ０２： ４ ０ｍ ０ １ ％スパッ
タガス： アルゴンガス 実施例１と同様な工程によって上記の焼結体ターゲット
及びスパッタガスを用いて膜厚が５０００Ａになるよう
にＴａ−３ｉＯ２膜２を成膜し、１ドツトの抵抗値が１
００Ωの発熱部５を形成し、保護層６を成膜して、サー
マルヘッドを得た。
タガス： アルゴンガス 実施例１と同様な工程によって上記の焼結体ターゲット
及びスパッタガスを用いて膜厚が５０００Ａになるよう
にＴａ−３ｉＯ２膜２を成膜し、１ドツトの抵抗値が１
００Ωの発熱部５を形成し、保護層６を成膜して、サー
マルヘッドを得た。
以上の実施例１及び比較例１〜２について３億回の発熱
繰り返し試験を行い、抵抗値変化を調査したところ表１
、表２のような結果となった。尚、表中の５〜１は良〜
劣に段階的に変化する評価を示す。
繰り返し試験を行い、抵抗値変化を調査したところ表１
、表２のような結果となった。尚、表中の５〜１は良〜
劣に段階的に変化する評価を示す。
表１
表２
〔発明の効果〕
以上のように本発明によれば、サーマルヘッドの発熱抵
抗層にＨｆ、Ｎｂ、Ｔａのうちから選ばれた物質と、Ｂ
４Ｃ，ＢＮ、Ｂｅｄ、ＣｅＯ２、ＨｆＯ２、Ｌａ２Ｏ２
、Ｔｉ２Ｏ３、ＶＣ，ＶＮ、 Ｙ２Ｏ３、ＺｒＣのう
ちから選ばれた物質との混合物を用いたことによって繰
り返し発熱耐久性に優れたサーマルヘッドを得ることが
できる。
抗層にＨｆ、Ｎｂ、Ｔａのうちから選ばれた物質と、Ｂ
４Ｃ，ＢＮ、Ｂｅｄ、ＣｅＯ２、ＨｆＯ２、Ｌａ２Ｏ２
、Ｔｉ２Ｏ３、ＶＣ，ＶＮ、 Ｙ２Ｏ３、ＺｒＣのう
ちから選ばれた物質との混合物を用いたことによって繰
り返し発熱耐久性に優れたサーマルヘッドを得ることが
できる。
第１図は、本発明のサーマルヘッドの断面図。
ｌ・・・グレーズドセラミック基板
２・・・発熱抵抗層
３− Ｎ ｉ Ｃｒ ／ Ａ ｕ ／ Ｃｒ導電膜４・
・・グレーズ ５・・・発熱部 ６・・・保護層 以 上
・・グレーズ ５・・・発熱部 ６・・・保護層 以 上
Claims (2)
- （１）基板と、該基板上に形成された発熱抵抗体と、該
発熱抵抗体に電力を供給する電気導体とを有するサーマ
ルヘッドにおいて、 前記発熱抵抗体にＨｆ、Ｎｂ、Ｔａのうちいずれかと、
Ｂ＿４Ｃ、ＢＮ、ＢｅＯ，ＣｅＯ＿２、ＨｆＯ＿２、Ｌ
ａ＿２Ｏ＿３、Ｔｉ＿２Ｏ＿３、ＶＣ，ＶＮ，Ｙ＿２Ｏ
＿３、ＺｒＣのうちいずれかとの混合物を用いたことを
特徴とするサーマルヘッド。 - （２）前記発熱抵抗体は、Ｈｆ，Ｎｂ、Ｔａのうちいず
れかと、Ｂ＿４Ｃ、ＢＮ、ＢｅＯ、ＣｅＯ＿２、ＨｆＯ
＿２、Ｌａ＿２Ｏ＿３、Ｔｉ＿２Ｏ＿３、ＶＣ、ＶＮ，
Ｙ＿２Ｏ＿３、ＺｒＣのうちのいずれかとの混合物から
なる焼結体ターゲットを作成する工程と、該焼結体ター
ゲットとアルゴンガスを使用したスパッタリングによっ
て発熱抵抗体を形成する工程とによって製造することを
特徴とする請求項１記載のサーマルヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63202251A JPH0250847A (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 | サーマルヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63202251A JPH0250847A (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 | サーマルヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0250847A true JPH0250847A (ja) | 1990-02-20 |
Family
ID=16454452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63202251A Pending JPH0250847A (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 | サーマルヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0250847A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007276199A (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-25 | Tdk Corp | サーマルヘッド及び印画装置 |
| CN111748760A (zh) * | 2020-06-11 | 2020-10-09 | 武汉理工大学 | 一种HfO2/HfB2复合高红外发射率陶瓷涂层及其制备方法 |
-
1988
- 1988-08-12 JP JP63202251A patent/JPH0250847A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007276199A (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-25 | Tdk Corp | サーマルヘッド及び印画装置 |
| CN111748760A (zh) * | 2020-06-11 | 2020-10-09 | 武汉理工大学 | 一种HfO2/HfB2复合高红外发射率陶瓷涂层及其制备方法 |
| CN111748760B (zh) * | 2020-06-11 | 2022-07-08 | 武汉理工大学 | 一种HfO2/HfB2复合高红外发射率陶瓷涂层及其制备方法 |
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