JPH0251057U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0251057U JPH0251057U JP12973688U JP12973688U JPH0251057U JP H0251057 U JPH0251057 U JP H0251057U JP 12973688 U JP12973688 U JP 12973688U JP 12973688 U JP12973688 U JP 12973688U JP H0251057 U JPH0251057 U JP H0251057U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polished
- holder
- corner
- fitted
- polishing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 4
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Description
第１図は本考案の被研磨物保持具の一例を示す
平面図、第２図は第１図の―線における断面
図、第３図はその要部拡大図、第４図および第５
図はそれぞれ本考案の被研磨物の他の実施例の要
部断面図、第６図は従来の被研磨物の平面図、第
７図は第６図の―線における断面図、第８図
はその要部拡大図、第９図はその動作説明図であ
る。 １１……テンプレート、１１ａ……リセス孔、
１１ｂ〜１１ｉ……角部、１２……接着剤層、１
３……バツキング材、１４……支持材、１５……
粘着材層、１６……離型紙。
平面図、第２図は第１図の―線における断面
図、第３図はその要部拡大図、第４図および第５
図はそれぞれ本考案の被研磨物の他の実施例の要
部断面図、第６図は従来の被研磨物の平面図、第
７図は第６図の―線における断面図、第８図
はその要部拡大図、第９図はその動作説明図であ
る。 １１……テンプレート、１１ａ……リセス孔、
１１ｂ〜１１ｉ……角部、１２……接着剤層、１
３……バツキング材、１４……支持材、１５……
粘着材層、１６……離型紙。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 研磨すべき被研磨物を、研磨布等に対して相
対的に移動させて研磨する際に、該被研磨物を固
定的に保持する被研磨物保持具であつて、 該被研磨物が嵌合するリセス孔を有し、該リセ
ス孔の周面の内奥側端部が面取りされたテンプレ
ートを具備する被研磨物保持具。 ２ 研磨すべき被研磨物を、研磨布等に対して相
対的に移動させて研磨する際に、該被研磨物を固
定的に保持する被研磨物保持具であつて、 該被研磨物が嵌合するリセス孔を有し、該リセ
ス孔は、角形状の被研磨物の各角部が嵌合される
角部およびその各角部の間に該被研磨物の各角部
が嵌合される角部をそれぞれ有する被研磨物保持
具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12973688U JPH0251057U (ja) | 1988-10-03 | 1988-10-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12973688U JPH0251057U (ja) | 1988-10-03 | 1988-10-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0251057U true JPH0251057U (ja) | 1990-04-10 |
Family
ID=31384289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12973688U Pending JPH0251057U (ja) | 1988-10-03 | 1988-10-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0251057U (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006297524A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 角型基板研磨用ガイドリング及び研磨ヘッド並びに角型基板の研磨方法 |
| JP2006297523A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 角型基板研磨用ガイドリング及び研磨ヘッド並びに角型基板の研磨方法 |
| WO2019058871A1 (ja) * | 2017-09-22 | 2019-03-28 | 信越半導体株式会社 | 研磨ヘッド及び研磨ヘッドの製造方法 |
| CN111644977A (zh) * | 2020-07-17 | 2020-09-11 | 中国科学院微电子研究所 | 研磨用固定环以及研磨头 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62287967A (ja) * | 1986-06-03 | 1987-12-14 | Kawashima Hiroyuki | ラツピングキヤリア |
-
1988
- 1988-10-03 JP JP12973688U patent/JPH0251057U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62287967A (ja) * | 1986-06-03 | 1987-12-14 | Kawashima Hiroyuki | ラツピングキヤリア |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006297524A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 角型基板研磨用ガイドリング及び研磨ヘッド並びに角型基板の研磨方法 |
| JP2006297523A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 角型基板研磨用ガイドリング及び研磨ヘッド並びに角型基板の研磨方法 |
| WO2019058871A1 (ja) * | 2017-09-22 | 2019-03-28 | 信越半導体株式会社 | 研磨ヘッド及び研磨ヘッドの製造方法 |
| CN111644977A (zh) * | 2020-07-17 | 2020-09-11 | 中国科学院微电子研究所 | 研磨用固定环以及研磨头 |