JPH025205A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH025205A JPH025205A JP15725788A JP15725788A JPH025205A JP H025205 A JPH025205 A JP H025205A JP 15725788 A JP15725788 A JP 15725788A JP 15725788 A JP15725788 A JP 15725788A JP H025205 A JPH025205 A JP H025205A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core
- magnetic
- gap
- core material
- magnetic head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、軟磁性金属を非磁性材で挟み込んだ構造のコ
アを有する磁気ヘッドの製造方法に関するものである。
アを有する磁気ヘッドの製造方法に関するものである。
[従来の技術〕
近年の磁気記録の高密度化に伴い、高い保磁力の′6n
性体が記録媒体として用いられるようになって来た。こ
のため、磁気ヘッドも大きな記録磁界を要求され、高い
飽和磁束密度を有する磁性材料のコアを用いて磁気ギャ
ップを構成する必要が生じている。
性体が記録媒体として用いられるようになって来た。こ
のため、磁気ヘッドも大きな記録磁界を要求され、高い
飽和磁束密度を有する磁性材料のコアを用いて磁気ギャ
ップを構成する必要が生じている。
このような磁気ヘッドとして従来から実用化されている
ものを第3図に示す。
ものを第3図に示す。
この磁気ヘッドは、2個の磁気へソドピース21・21
を接合することにより構成されている。各磁気へ7ドピ
ース21は、コア材22の両面をコア基板23・23で
挟み込んだものである。コア材22は、高い飽和磁束密
度を有する軟磁性金属からなり、コア基板23は、非磁
性材料からなる。そして、これら2個の磁気へソドピー
ス21・21は、側面に露出するコア材22・22の端
面同士が向かい合うようにして張り合わされている。た
だし、この張り合わせは、非磁性材料の薄膜を介して行
われているので、上部に磁気ギャップ24が形成される
ことになる。そして、この磁気ギャップ24の幅は、コ
ア材22の膜厚によって定まる。また、一方の磁気ヘン
ドビース21に形成された巻線用窓25は、これらの磁
気ヘッドピース21・21に巻線を巻回するための貫通
孔であり、ガラス26は、これら磁気ヘッドピース21
・21の張り合わせを保持するために巻線用窓25の一
部に充填された接合材!ある。ただし、第3図の磁気ヘ
ッドでは、巻線を省略して示している。
を接合することにより構成されている。各磁気へ7ドピ
ース21は、コア材22の両面をコア基板23・23で
挟み込んだものである。コア材22は、高い飽和磁束密
度を有する軟磁性金属からなり、コア基板23は、非磁
性材料からなる。そして、これら2個の磁気へソドピー
ス21・21は、側面に露出するコア材22・22の端
面同士が向かい合うようにして張り合わされている。た
だし、この張り合わせは、非磁性材料の薄膜を介して行
われているので、上部に磁気ギャップ24が形成される
ことになる。そして、この磁気ギャップ24の幅は、コ
ア材22の膜厚によって定まる。また、一方の磁気ヘン
ドビース21に形成された巻線用窓25は、これらの磁
気ヘッドピース21・21に巻線を巻回するための貫通
孔であり、ガラス26は、これら磁気ヘッドピース21
・21の張り合わせを保持するために巻線用窓25の一
部に充填された接合材!ある。ただし、第3図の磁気ヘ
ッドでは、巻線を省略して示している。
この磁気ヘッドの製造方法を第4図に基づいて説明する
。
。
まず、第4図(a)に示すように、コア基板23の表面
にコア材22を成膜したものを複数交互に接着した2個
のコア母材ピース27・27を作製する。また、一方の
コア母材ピース27には、後に巻線用窓25となる溝2
5′を形成する。
にコア材22を成膜したものを複数交互に接着した2個
のコア母材ピース27・27を作製する。また、一方の
コア母材ピース27には、後に巻線用窓25となる溝2
5′を形成する。
次に、第4図(b)に示すように、2個のコア母材ピー
ス27・27を、それぞれ側面に露出するコア材22・
・・の端面が向かい合わせになるように位置合わせを行
った上で張り合わせる。なお、この張り合わせに先立っ
て、各コア母材ピース27の張り合わせ面は、精密研磨
が施された後に図示しない非磁性材料の薄膜が形成され
るので、溝25′の上端側に磁気ギャップ24が形成さ
れる。
ス27・27を、それぞれ側面に露出するコア材22・
・・の端面が向かい合わせになるように位置合わせを行
った上で張り合わせる。なお、この張り合わせに先立っ
て、各コア母材ピース27の張り合わせ面は、精密研磨
が施された後に図示しない非磁性材料の薄膜が形成され
るので、溝25′の上端側に磁気ギャップ24が形成さ
れる。
さらに、第4図(c)に示すように、張り合わせたコア
母材ピース27・27を加圧・加熱処理しガラス26を
充填することにより一体化して、磁気ヘッドパー28を
作製する。そして、各コア基板23の層におけるそれぞ
れ一対の1点鎖線で示す切断線29・29間を切り代と
して、この磁気ヘッドパー28を切断することにより、
第3図に示す磁気ヘッドが複数製造されることになる。
母材ピース27・27を加圧・加熱処理しガラス26を
充填することにより一体化して、磁気ヘッドパー28を
作製する。そして、各コア基板23の層におけるそれぞ
れ一対の1点鎖線で示す切断線29・29間を切り代と
して、この磁気ヘッドパー28を切断することにより、
第3図に示す磁気ヘッドが複数製造されることになる。
ここで、第4図では、2個のコア母材ピース27・27
の各コア材22がいずれも位置合わせを正確に行い得る
ものとして説明した。
の各コア材22がいずれも位置合わせを正確に行い得る
ものとして説明した。
ところが、従来の磁気ヘッドの製造方法では、各コア基
板23の厚さに相違が生じたり、これらを接着する接着
層の厚さに相違が生じるために、張り合わせる2個のコ
ア母材ピース27・27間で各コア材22のピッチが正
確に一部するとは限らない。このため、実際の磁気へソ
ドバ−28は、第5図に示すように、磁気ギャップ24
上で向かい合う各コア材22・22に位置ずれが生じる
。
板23の厚さに相違が生じたり、これらを接着する接着
層の厚さに相違が生じるために、張り合わせる2個のコ
ア母材ピース27・27間で各コア材22のピッチが正
確に一部するとは限らない。このため、実際の磁気へソ
ドバ−28は、第5図に示すように、磁気ギャップ24
上で向かい合う各コア材22・22に位置ずれが生じる
。
従って、従来の磁気ヘッドの製造方法は、コア材22・
22にこのような位置ずれが生じるので、このコア材2
2の膜厚によって定まるはずの磁気ギャップ24の幅(
以下、「トランク幅」と称する)が一定しないという問
題点を生じていた。
22にこのような位置ずれが生じるので、このコア材2
2の膜厚によって定まるはずの磁気ギャップ24の幅(
以下、「トランク幅」と称する)が一定しないという問
題点を生じていた。
また、上記問題点を解決するために、従来は、第6図に
示すような磁気ヘッドの製造方法も用いられていた。
示すような磁気ヘッドの製造方法も用いられていた。
これは、コア材22のl!U厚を予め厚く成膜しておき
、コア母材ピース27・27を張り合わせる前に、この
張り合わせ面に所定のピッチでトラック幅規制溝30・
・・を形成する方法である。このようなトランク幅規制
溝30・・・を形成すると、実際に磁気ギャップ24上
で向かい合うコア材22・22の位置を機械加工の精度
によって規制することができるので、各コア材22の層
の位置が多少ずれていたとしても、トラック幅は一定に
することができる。
、コア母材ピース27・27を張り合わせる前に、この
張り合わせ面に所定のピッチでトラック幅規制溝30・
・・を形成する方法である。このようなトランク幅規制
溝30・・・を形成すると、実際に磁気ギャップ24上
で向かい合うコア材22・22の位置を機械加工の精度
によって規制することができるので、各コア材22の層
の位置が多少ずれていたとしても、トラック幅は一定に
することができる。
しかしながら、この従来の磁気ヘッドの製造方法では、
コア材22の膜厚を必要以上に厚く成膜しなければなら
ず無駄が多(なり、しかも、コア材22の成膜工程にお
いてトラック幅を正確に規制することができるという第
1図に示す磁気ヘッドの利点がなくなるという問題点を
生じる。
コア材22の膜厚を必要以上に厚く成膜しなければなら
ず無駄が多(なり、しかも、コア材22の成膜工程にお
いてトラック幅を正確に規制することができるという第
1図に示す磁気ヘッドの利点がなくなるという問題点を
生じる。
また、磁気ヘッドのコア材22は、透磁率の周波数特性
向上のために絶縁層を介した積層構造とする場合がある
。ところが、このトラック幅規制溝30・・・は、公知
のフェライトヘッドの製造工程に準じてグイシングツ−
等によりコア材22とコア基板23との間を切削加工す
ることにより形成される。
向上のために絶縁層を介した積層構造とする場合がある
。ところが、このトラック幅規制溝30・・・は、公知
のフェライトヘッドの製造工程に準じてグイシングツ−
等によりコア材22とコア基板23との間を切削加工す
ることにより形成される。
従って、この従来の磁気ヘッドの製造方法では、コア材
22が積層構造をなす場合には、このトラック幅規制溝
30のコア材22側の加工端部で層間の剥離が発生する
という新たな問題点も生じる。
22が積層構造をなす場合には、このトラック幅規制溝
30のコア材22側の加工端部で層間の剥離が発生する
という新たな問題点も生じる。
本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、上記課題を解決
するた−めに、軟磁性金属からなる複数の主コア材と非
磁性材料からなる複数のコア基板とを交互に積み重ねて
なる2個のコア母材ピースの側面同士を非磁性薄膜を介
して張り合わせ、これをコア基板の層ごとに切断するこ
とにより磁気ヘッドを製造する製造方法において、2個
のコア母材ピースの張り合わせ面に、この張り合わせに
繋がる面の少なくとも一方が斜面となり、かつこの各一
方の斜面に各主コア材の端面全てを露出させ得る一定ピ
ッチによりほぼV字状の7字溝をそれぞれ複数形成し、
各7字溝における主コア材の端面が露出する斜面に軟磁
性金属からなるギャップコア材をそれぞれ成膜し、この
各7字溝内に充填材を充填すると共に、この7字溝を形
成した面を平坦に加工してギャップコア材の端面全てを
露出させた後に、このギャップコア材の露出した端面同
士が向かい合うように位置合わせをして、これら2個の
コア母材ピースを非磁性薄膜を介して張り合わせること
を特徴としている。
するた−めに、軟磁性金属からなる複数の主コア材と非
磁性材料からなる複数のコア基板とを交互に積み重ねて
なる2個のコア母材ピースの側面同士を非磁性薄膜を介
して張り合わせ、これをコア基板の層ごとに切断するこ
とにより磁気ヘッドを製造する製造方法において、2個
のコア母材ピースの張り合わせ面に、この張り合わせに
繋がる面の少なくとも一方が斜面となり、かつこの各一
方の斜面に各主コア材の端面全てを露出させ得る一定ピ
ッチによりほぼV字状の7字溝をそれぞれ複数形成し、
各7字溝における主コア材の端面が露出する斜面に軟磁
性金属からなるギャップコア材をそれぞれ成膜し、この
各7字溝内に充填材を充填すると共に、この7字溝を形
成した面を平坦に加工してギャップコア材の端面全てを
露出させた後に、このギャップコア材の露出した端面同
士が向かい合うように位置合わせをして、これら2個の
コア母材ピースを非磁性薄膜を介して張り合わせること
を特徴としている。
まず、2個のコア母材ピースの張り合わせ面に、この張
り合わせに繋がる面の少なくとも一方が斜面となり、か
つこの各一方の斜面に各主コア材の端面全てを露出させ
得る一定ピッチによりほぼV字状の7字溝をそれぞれ複
数形成する。コア母材ピースにおける各主コア材の位置
は、コア基板や接着層の厚さの相違により、正確な一定
ピッチにならない。しかし、7字溝は、機械加工によっ
て形成されるので、磁気ギャップ幅を規制するために充
分な精度で一定のピンチに配置することができる。
り合わせに繋がる面の少なくとも一方が斜面となり、か
つこの各一方の斜面に各主コア材の端面全てを露出させ
得る一定ピッチによりほぼV字状の7字溝をそれぞれ複
数形成する。コア母材ピースにおける各主コア材の位置
は、コア基板や接着層の厚さの相違により、正確な一定
ピッチにならない。しかし、7字溝は、機械加工によっ
て形成されるので、磁気ギャップ幅を規制するために充
分な精度で一定のピンチに配置することができる。
次に、各7字溝における主コア材の端面が露出する側の
斜面に軟磁性金属からなるギャップコア材をそれぞれ成
膜する。この際、主コア材の端面ば全て7字溝の斜面に
露出しているので、この主コア材とギャップコア材とは
、磁気的に充分に接続される。
斜面に軟磁性金属からなるギャップコア材をそれぞれ成
膜する。この際、主コア材の端面ば全て7字溝の斜面に
露出しているので、この主コア材とギャップコア材とは
、磁気的に充分に接続される。
さらに、この各7字溝内に充填材を充填すると共に、こ
の7字溝を形成した面を平坦に加工してギャップコア材
の端面全てを露出させる。ここで、ギャップコア材は、
成膜工程により、その膜厚を精密に規制される。このた
め、コア母材ピースの張り合わせ面に露出するギャップ
コア材の端面の幅も、精密に規制することができる。し
かも、各ギャップコア材は、機械加工によって一定ピッ
チで配置された7字溝の斜面に形成されているので、こ
のギャップコア材の端面も機械加工の精度に従った一定
のピッチで配置されることになる。
の7字溝を形成した面を平坦に加工してギャップコア材
の端面全てを露出させる。ここで、ギャップコア材は、
成膜工程により、その膜厚を精密に規制される。このた
め、コア母材ピースの張り合わせ面に露出するギャップ
コア材の端面の幅も、精密に規制することができる。し
かも、各ギャップコア材は、機械加工によって一定ピッ
チで配置された7字溝の斜面に形成されているので、こ
のギャップコア材の端面も機械加工の精度に従った一定
のピッチで配置されることになる。
そして、このギャップコア材の露出した端面同士が向か
い合うように位置合わせをして、これら2個のコア母材
ピースを非磁性薄膜を介して張り合わせる。すると、各
ギャップコア材の端面ば、ずれを生じることなく正確に
向かい合うことになる。従って、この向かい合うギャッ
プコア材の端面間に形成される磁気ギャップは、そのト
ランク幅がギャップコア材の膜厚によって正確に定まる
ことになる。
い合うように位置合わせをして、これら2個のコア母材
ピースを非磁性薄膜を介して張り合わせる。すると、各
ギャップコア材の端面ば、ずれを生じることなく正確に
向かい合うことになる。従って、この向かい合うギャッ
プコア材の端面間に形成される磁気ギャップは、そのト
ランク幅がギャップコア材の膜厚によって正確に定まる
ことになる。
本発明の一実施例を第1図及び第2図に基づいて説明す
れば、以下の通りである。
れば、以下の通りである。
第1図に本実施例により製造した磁気ヘッドを示す。
この磁気ヘッドは、2個の磁気ヘッドビースト1を接合
することにより構成されている。各磁気ヘッドピース1
は、主コア材2、ギャップコア材3、コア基板4・4、
接着層5及びガラス6・6によって構成されている。主
コア材2及びギャツブコア材3は、高い飽和磁束密度を
有する軟磁性金属からなる。また、コア基板4、接着層
5及びガラス6は、非磁性材料からなる。
することにより構成されている。各磁気ヘッドピース1
は、主コア材2、ギャップコア材3、コア基板4・4、
接着層5及びガラス6・6によって構成されている。主
コア材2及びギャツブコア材3は、高い飽和磁束密度を
有する軟磁性金属からなる。また、コア基板4、接着層
5及びガラス6は、非磁性材料からなる。
コア基板4は、磁気へッドビース1の支持基板であり、
接着N5は、後に説明する主コア材2とコア基板4とを
接着するためのものである。そして、主コア材2は、−
面側のみ接着層5を介して、両面をコア基板4・4に挾
み込まれている。また、これら主コア材2、コア基板4
及び接着層5からなるブロックは、一方の側面がほぼ山
形となる斜めにカントされ、その一方の斜面上にギャッ
プコア材3の薄膜が傾斜して形成されている。しかも、
主コア材2の端面ば、すべてこの一方の斜面側に露出す
るようになっているので、この主コア材2とギャップコ
ア材3とは、磁気的に接続されている。また、この斜め
にカットされた側の側面に露出するギャップコア材3の
端面とコア基板4の端面とは、同一の平坦面を形成する
ようになっている。
接着N5は、後に説明する主コア材2とコア基板4とを
接着するためのものである。そして、主コア材2は、−
面側のみ接着層5を介して、両面をコア基板4・4に挾
み込まれている。また、これら主コア材2、コア基板4
及び接着層5からなるブロックは、一方の側面がほぼ山
形となる斜めにカントされ、その一方の斜面上にギャッ
プコア材3の薄膜が傾斜して形成されている。しかも、
主コア材2の端面ば、すべてこの一方の斜面側に露出す
るようになっているので、この主コア材2とギャップコ
ア材3とは、磁気的に接続されている。また、この斜め
にカットされた側の側面に露出するギャップコア材3の
端面とコア基板4の端面とは、同一の平坦面を形成する
ようになっている。
これら2個の磁気ヘッドビースト1は、側面に露出する
ギャップコア材3の端面同士が向かい合うようにして張
り合わされている。ただし、この張り合わせは、図示し
ない非磁性材料の薄膜を介して行われるので、上端部に
磁気ギャップ7が形成されることになる。そして、この
磁気ギャップ7のギャップ幅は、ギャップコア材3の膜
厚とこれが形成された斜面の角度に基づいて定まる。
ギャップコア材3の端面同士が向かい合うようにして張
り合わされている。ただし、この張り合わせは、図示し
ない非磁性材料の薄膜を介して行われるので、上端部に
磁気ギャップ7が形成されることになる。そして、この
磁気ギャップ7のギャップ幅は、ギャップコア材3の膜
厚とこれが形成された斜面の角度に基づいて定まる。
また、一方の磁気ヘッドピース1に形成された巻線用窓
8は、これら磁気ヘッドビースト1に巻線を巻回するた
めの貫通孔となる。ただし、第1図の磁気ヘッドでは、
巻線を省略して示している。ガラス6・・・は、これら
磁気ヘッドビースト1の張り合わせを保持するために隙
間部に充填された接合材である。
8は、これら磁気ヘッドビースト1に巻線を巻回するた
めの貫通孔となる。ただし、第1図の磁気ヘッドでは、
巻線を省略して示している。ガラス6・・・は、これら
磁気ヘッドビースト1の張り合わせを保持するために隙
間部に充填された接合材である。
この磁気ヘッドの製造方法を第2図に基づいて説明する
。
。
まず、第2図(a)に示すように、板状のコア基板4の
表面にスパッタリング又は蒸着等の方法により主コア材
2を成膜する。そして、この主コア材2を成膜したコア
基板4は、複数枚用意する、本実施例では、コア基板4
の非磁性材料として、感光性結晶化ガラスを用いている
。ただし、このコア基板4は、非磁性材フェライト等の
セラミックス、又はその他の材料を用いることもできる
。また、このコア基板4は、後の工程で磁気ヘッドごと
に切断する切り代や、主コア材2及び接着層5の厚さを
考慮した寸法の厚さとする。ただし、このコア基板4の
厚さは、例えば±20−程度の一般的な精度でよい。軟
磁性金属の主コア材2は、ここでは電子ビーム蒸着Fe
AlSi膜を用いている。もっとも、この主コア材2は
、例えばFeNi系合金等でもよく、この場合には、S
iO□Alt03等の絶縁層を介して積層構造とするこ
とにより、透磁率の高周波特性を向上させることができ
る。
表面にスパッタリング又は蒸着等の方法により主コア材
2を成膜する。そして、この主コア材2を成膜したコア
基板4は、複数枚用意する、本実施例では、コア基板4
の非磁性材料として、感光性結晶化ガラスを用いている
。ただし、このコア基板4は、非磁性材フェライト等の
セラミックス、又はその他の材料を用いることもできる
。また、このコア基板4は、後の工程で磁気ヘッドごと
に切断する切り代や、主コア材2及び接着層5の厚さを
考慮した寸法の厚さとする。ただし、このコア基板4の
厚さは、例えば±20−程度の一般的な精度でよい。軟
磁性金属の主コア材2は、ここでは電子ビーム蒸着Fe
AlSi膜を用いている。もっとも、この主コア材2は
、例えばFeNi系合金等でもよく、この場合には、S
iO□Alt03等の絶縁層を介して積層構造とするこ
とにより、透磁率の高周波特性を向上させることができ
る。
次に、第2図(b)に示すように、上記主コア材2を成
膜したコア基板4を複数枚、接着層5を介して積み重ね
て接着し、コア母材ブロック9を形成する。ただし、コ
ア基板4・・・や接着層5・・・の厚さのばらつきによ
り、このコア母材ブロック9上で各主コア材2の層が配
置されるピッチにはずれが生じる。ここで、接着N5と
しては、ガラス又は結晶化ガラスを使用する。そして、
このガラス又は結晶化ガラスの未結晶状態の材料を上記
各主コア材2表面にスパッタリングやスクリーン印刷等
によって塗布し、これらを積み重ねた後に、加圧状態で
加熱することにより接着を行う。この際、未結晶状態の
結晶化材料は結晶して接着N5となる。なお、予め主コ
ア材2の表面にSiO□等の非磁性酸化膜とTi又はC
r等の金属膜とを形成しておけば、接着N5との密着強
度が向上し、かつこの接着層5のガラス成分が主コア材
2内に拡散するのを防止することができる。また、接着
層5としてガラスを用いる場合には、後に説明する他の
ガラスのモールド工程等で軟化することがないような高
融点の材料を使用する必要がある。接着層5として結晶
化ガラスを用いる場合にも、その結晶が後の工程で安定
である必要がある。
膜したコア基板4を複数枚、接着層5を介して積み重ね
て接着し、コア母材ブロック9を形成する。ただし、コ
ア基板4・・・や接着層5・・・の厚さのばらつきによ
り、このコア母材ブロック9上で各主コア材2の層が配
置されるピッチにはずれが生じる。ここで、接着N5と
しては、ガラス又は結晶化ガラスを使用する。そして、
このガラス又は結晶化ガラスの未結晶状態の材料を上記
各主コア材2表面にスパッタリングやスクリーン印刷等
によって塗布し、これらを積み重ねた後に、加圧状態で
加熱することにより接着を行う。この際、未結晶状態の
結晶化材料は結晶して接着N5となる。なお、予め主コ
ア材2の表面にSiO□等の非磁性酸化膜とTi又はC
r等の金属膜とを形成しておけば、接着N5との密着強
度が向上し、かつこの接着層5のガラス成分が主コア材
2内に拡散するのを防止することができる。また、接着
層5としてガラスを用いる場合には、後に説明する他の
ガラスのモールド工程等で軟化することがないような高
融点の材料を使用する必要がある。接着層5として結晶
化ガラスを用いる場合にも、その結晶が後の工程で安定
である必要がある。
さらに、この接着層5は、コア基板4とほぼ同等の摩耗
特性を有することも必要である。上記のようにして形成
したコア母材ブロック9は、図示−点鎖線に沿って切断
されコア母材プレート10・10となる。なお、製造さ
れる磁気ヘッドの磁気ギャップ7にアジマス角度を与え
る場合には、この切断を所定角度で行う。なお、図は、
筒車のために1個のコア母材ブロック9が2個のコア母
材プレート10・10に分割される場合について示して
いる。
特性を有することも必要である。上記のようにして形成
したコア母材ブロック9は、図示−点鎖線に沿って切断
されコア母材プレート10・10となる。なお、製造さ
れる磁気ヘッドの磁気ギャップ7にアジマス角度を与え
る場合には、この切断を所定角度で行う。なお、図は、
筒車のために1個のコア母材ブロック9が2個のコア母
材プレート10・10に分割される場合について示して
いる。
上記各コア母材プレート10には、第2図(C)に示す
ように、主コア材2・・・の端面が露出する面に断面■
字形状のV字溝11・・・がダイシングソー等の機械加
工により複数形成される。この際、主コア材2・・・が
絶縁層を介した積層構造である場合にも、各主コア材2
の両面をコア基板4・4によって挟み込んだ状態でV字
溝11・・・の加工が行われるので、層間の剥離が生じ
るおそれはない。
ように、主コア材2・・・の端面が露出する面に断面■
字形状のV字溝11・・・がダイシングソー等の機械加
工により複数形成される。この際、主コア材2・・・が
絶縁層を介した積層構造である場合にも、各主コア材2
の両面をコア基板4・4によって挟み込んだ状態でV字
溝11・・・の加工が行われるので、層間の剥離が生じ
るおそれはない。
このV字溝11・・・は、各一方の斜面にそれぞれの主
コア材2の端面全てが露出するような一定のピッチと一
定の切り込み量で形成される。ただし、このコア母材プ
レート10の各コア基板4は、前述のように磁気ヘッド
ごとに切断することを考慮した厚さを有するので、予め
設定された切り込み量で切り込めば、一方の斜面に各主
コア材2の端面全てが露出するように形成することは容
易である。なお、図では、主コア材2の位置ずれを10
%程度に強調して描いているが、実際には、5%以下に
収めることが可能であり、このように極端にずれが生じ
ることはない。また、ここで接着層5の端面ば、各7字
溝11の斜面上で主コア材2の端面より底側に露出する
ように配置することが好ましい。このようにして形成し
たv字溝11・・・は、機械加工精度でと・ノチが規制
される。そして、この機械加工は、通常のフェライトヘ
ッドの加工工程に使用されているものであり、その精度
で後に説明するように磁気ギャップ7が形成されれば、
実用上問題は生じない。
コア材2の端面全てが露出するような一定のピッチと一
定の切り込み量で形成される。ただし、このコア母材プ
レート10の各コア基板4は、前述のように磁気ヘッド
ごとに切断することを考慮した厚さを有するので、予め
設定された切り込み量で切り込めば、一方の斜面に各主
コア材2の端面全てが露出するように形成することは容
易である。なお、図では、主コア材2の位置ずれを10
%程度に強調して描いているが、実際には、5%以下に
収めることが可能であり、このように極端にずれが生じ
ることはない。また、ここで接着層5の端面ば、各7字
溝11の斜面上で主コア材2の端面より底側に露出する
ように配置することが好ましい。このようにして形成し
たv字溝11・・・は、機械加工精度でと・ノチが規制
される。そして、この機械加工は、通常のフェライトヘ
ッドの加工工程に使用されているものであり、その精度
で後に説明するように磁気ギャップ7が形成されれば、
実用上問題は生じない。
上記工程が完了すると、第2図(d)に示すように、各
コア母材プレート10におけるV字溝11・・・の一方
の斜面上にギャップコア材3がスパッタリング又は蒸着
等によりそれぞれ成膜される。
コア母材プレート10におけるV字溝11・・・の一方
の斜面上にギャップコア材3がスパッタリング又は蒸着
等によりそれぞれ成膜される。
この一方の斜面は、主コア材2・・・の端面が露出する
側の斜面である。ギャフ・プコア材3は、ここでは、主
コア材2と同じ電子ビーム蒸着FeAl5i111を用
いている。このようにして成膜されたギャップコア材3
の表面には、図示しないstow等の非磁性酸化膜とT
i又はCr等の金属膜を形成し、次の工程でモールドさ
れるガラス6との密着強度を高めると共に、このガラス
成分がギャップコア材3内に拡散するのを防止している
。
側の斜面である。ギャフ・プコア材3は、ここでは、主
コア材2と同じ電子ビーム蒸着FeAl5i111を用
いている。このようにして成膜されたギャップコア材3
の表面には、図示しないstow等の非磁性酸化膜とT
i又はCr等の金属膜を形成し、次の工程でモールドさ
れるガラス6との密着強度を高めると共に、このガラス
成分がギャップコア材3内に拡散するのを防止している
。
ところで、主コア材2が絶縁層を介した積層構造の場合
には、ギャップコア材3を成膜する前に、■字?n11
・・・の一方の斜面上に絶縁膜を形成し、このギャップ
コア材3が主コア材2の各層を電気的に短絡するのを防
止する必要がある。しかし、この絶縁膜が必要以上に厚
い場合には、本来の磁気ギャップ7以外のギャップとし
て作用し、記録媒体の磁化状態を乱すおそれがある。そ
こで、以下にこの絶縁膜の厚さの条件を示す。まず、ギ
ャップ厚さ方向の中心線上において磁気コアが飽和した
場合におけるギャップに直交する方向の漏れ磁界強度の
最大値Hを最も単純なモデルで解析的に求めると以下の
(1)式で示すことができる。なお、磁気コアの透磁率
は無限大とする。
には、ギャップコア材3を成膜する前に、■字?n11
・・・の一方の斜面上に絶縁膜を形成し、このギャップ
コア材3が主コア材2の各層を電気的に短絡するのを防
止する必要がある。しかし、この絶縁膜が必要以上に厚
い場合には、本来の磁気ギャップ7以外のギャップとし
て作用し、記録媒体の磁化状態を乱すおそれがある。そ
こで、以下にこの絶縁膜の厚さの条件を示す。まず、ギ
ャップ厚さ方向の中心線上において磁気コアが飽和した
場合におけるギャップに直交する方向の漏れ磁界強度の
最大値Hを最も単純なモデルで解析的に求めると以下の
(1)式で示すことができる。なお、磁気コアの透磁率
は無限大とする。
H−(Bs/ π/Jo/Ji) tan−’(g’
/ 23’) ・”(1)ただし、 B3 :磁気コアの飽和磁束密度(T)μ。:真空の透
磁率 μi :絶縁膜の比透磁率 g′ :絶縁膜の厚さ〔−〕 y :ギャップ中心線上の位置〔−〕 そして、この磁界強度Hが記録媒体の保磁力HC以下で
あれば、磁化状態に及ぼす影響は小さいことになる。従
って、H<Heとするには、絶縁膜の厚さg′が以下の
(2)式の条件を満たさなければならない。
/ 23’) ・”(1)ただし、 B3 :磁気コアの飽和磁束密度(T)μ。:真空の透
磁率 μi :絶縁膜の比透磁率 g′ :絶縁膜の厚さ〔−〕 y :ギャップ中心線上の位置〔−〕 そして、この磁界強度Hが記録媒体の保磁力HC以下で
あれば、磁化状態に及ぼす影響は小さいことになる。従
って、H<Heとするには、絶縁膜の厚さg′が以下の
(2)式の条件を満たさなければならない。
g’ < 2 y tan(πu o 11 = He
/ B s) ”12)ここで、yはギャップ中心線上
の位置を示すものなので、磁気へラドと記録媒体との間
の空隙を0゜05nとすると、上記(2)式の条件は以
下の(3)式となる。
/ B s) ”12)ここで、yはギャップ中心線上
の位置を示すものなので、磁気へラドと記録媒体との間
の空隙を0゜05nとすると、上記(2)式の条件は以
下の(3)式となる。
g′ <Q、1xtan(πμ。μi Hc/ B s
) −(3)従って、主コア材2とギャップコア材3と
の間の絶縁膜の厚さが(3)式の条件を満たすようにす
れば、ここでのギャップによって記録媒体の磁化状態が
悪影客を被るおそれはほとんどなくなる。なお、ギャッ
プコア材3についても、透磁率の高周波数特性向上のた
めに、主コア材2のように積層構造とすることができ、
この場合の絶縁膜の厚さも同様に(3)式の条件を満た
す必要がある。ただし、この場合には、絶縁膜が磁気コ
アの磁路に対して直列に配置されるので、磁気ヘッドの
効率は減少する方向となる。
) −(3)従って、主コア材2とギャップコア材3と
の間の絶縁膜の厚さが(3)式の条件を満たすようにす
れば、ここでのギャップによって記録媒体の磁化状態が
悪影客を被るおそれはほとんどなくなる。なお、ギャッ
プコア材3についても、透磁率の高周波数特性向上のた
めに、主コア材2のように積層構造とすることができ、
この場合の絶縁膜の厚さも同様に(3)式の条件を満た
す必要がある。ただし、この場合には、絶縁膜が磁気コ
アの磁路に対して直列に配置されるので、磁気ヘッドの
効率は減少する方向となる。
このようにしてギャップコア材3が成膜されると、第2
図(e)に示すように、V字溝11・・・内にガラス6
をモールドする。また、このガラス6がモールドされる
と、余分なガラスを除去した上で、このV字溝11・・
・を形成した面を研削し平坦に加工する。なお、この研
削の切り込み量は、コア母材プレート10上における主
コア材2・・・のピッチのずれに応じて定まる。即ち、
この研削により表面に露出するのはギャップコア材3の
端面だけであって、主コア材2の端面ば露出しないよう
にする必要がある。しかし、ギャップコア材3の端面ば
、全てが確実に露出するようにしなければならない。こ
のため、各7字溝11の一方の斜面上における最も上方
の位置に露出していた主コア材2の端面より少し上方の
位置まで研削することにより、上記要請を満足させる。
図(e)に示すように、V字溝11・・・内にガラス6
をモールドする。また、このガラス6がモールドされる
と、余分なガラスを除去した上で、このV字溝11・・
・を形成した面を研削し平坦に加工する。なお、この研
削の切り込み量は、コア母材プレート10上における主
コア材2・・・のピッチのずれに応じて定まる。即ち、
この研削により表面に露出するのはギャップコア材3の
端面だけであって、主コア材2の端面ば露出しないよう
にする必要がある。しかし、ギャップコア材3の端面ば
、全てが確実に露出するようにしなければならない。こ
のため、各7字溝11の一方の斜面上における最も上方
の位置に露出していた主コア材2の端面より少し上方の
位置まで研削することにより、上記要請を満足させる。
ただし、この研削は、後の工程で行う精密研磨の研摩代
も見込んでおく。
も見込んでおく。
上記工程が完了すると、第2図(f)に示す1点鎖線に
沿って、このコア母材プレー)10を切断して分割する
。なお、図は、簡単のために1個のコア母材プレート1
0が2分割される場合について示している。
沿って、このコア母材プレー)10を切断して分割する
。なお、図は、簡単のために1個のコア母材プレート1
0が2分割される場合について示している。
このように分割されたコア母材プレート10は、第2図
(g)に示すような複数のコア母材ピース12・12を
得る。そして、一方のコア母材ピース12には、後に巻
線用窓8となる溝8′が形成される。この溝8′は、第
2図(e)の工程により研削された面上に、この面に露
出する主コア材2の端面の長手方向に直交する方向に沿
って、かつ片側に寄った位置に、従来からの公知の技術
により形成される。さらに、両コア母材ピース12・1
2の前記研削面は、精密研磨される。そして、溝8′を
形成したコア母材ピース12における後にフロントギャ
ップとなる部分12aに、スパッタリング等の方法によ
り図示しないS t Oz等の非磁性材料からなるギャ
ップスペーサを形成する。
(g)に示すような複数のコア母材ピース12・12を
得る。そして、一方のコア母材ピース12には、後に巻
線用窓8となる溝8′が形成される。この溝8′は、第
2図(e)の工程により研削された面上に、この面に露
出する主コア材2の端面の長手方向に直交する方向に沿
って、かつ片側に寄った位置に、従来からの公知の技術
により形成される。さらに、両コア母材ピース12・1
2の前記研削面は、精密研磨される。そして、溝8′を
形成したコア母材ピース12における後にフロントギャ
ップとなる部分12aに、スパッタリング等の方法によ
り図示しないS t Oz等の非磁性材料からなるギャ
ップスペーサを形成する。
そして、第2図(h)に示すように、両コア母材ピース
12・12の側面(第2図(g)の工程により研にされ
た面)同士を、この側面に露出するギャップコア材3・
3の端面同士が向かい合うように位置合わせを行った上
で張り合わせ、加圧加熱処理を施すことによりこれらを
一体化し磁気ヘッドパー13とする。このようにして磁
気ヘッドパー13が形成されると、各コア基板4の層に
おけるそれぞれ一対の1点鎖線で示す切断線14・14
間を切り代として切断することにより、第1図に示す磁
気ヘッドが複数製造されることになる。
12・12の側面(第2図(g)の工程により研にされ
た面)同士を、この側面に露出するギャップコア材3・
3の端面同士が向かい合うように位置合わせを行った上
で張り合わせ、加圧加熱処理を施すことによりこれらを
一体化し磁気ヘッドパー13とする。このようにして磁
気ヘッドパー13が形成されると、各コア基板4の層に
おけるそれぞれ一対の1点鎖線で示す切断線14・14
間を切り代として切断することにより、第1図に示す磁
気ヘッドが複数製造されることになる。
このコア母材ピース12・12の張り合わせの際、ギャ
ップコア材3・・・の端面ば、V字溝11・・・を形成
するときの機械加工精度でピッチが規制される。従って
、主コア材2・・・のピッチにずれがある場合にも、こ
のギャップコア材3・・・の端面同士は、磁気ヘッドと
なったときの磁気ギャップ7として充分な精度で向かい
合うように位置合わせを行うことが可能になる。
ップコア材3・・・の端面ば、V字溝11・・・を形成
するときの機械加工精度でピッチが規制される。従って
、主コア材2・・・のピッチにずれがある場合にも、こ
のギャップコア材3・・・の端面同士は、磁気ヘッドと
なったときの磁気ギャップ7として充分な精度で向かい
合うように位置合わせを行うことが可能になる。
本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、以上のように、
軟磁性金属からなる複数の主コア材と非磁性材料からな
る複数のコア基板とを交互に積み重ねてなる2個のコア
母材ピースの側面同士を非磁性薄膜を介して張り合わせ
、これをコア基板の層ごとに切断することにより磁気ヘ
ッドを製造する製造方法において、2個のコア母材ピー
スの張り合わせ面に、この張り合わせに繋がる面の少な
くとも一方が斜面となり、かつこの各一方の斜面に各主
コア材の端面全てを露出させ得る一定ピンチによりほぼ
V字状の1字溝をそれぞれ複数形成し、各1字溝におけ
る主コア材の端面が露出する斜面に軟磁性金属からなる
ギャップコア材をそれぞれ成膜し、この各V字溝内に充
填材を充填すると共に、この1字溝を形成した面を平坦
に加工してギャップコア材の端面全てを露出させた後に
、このギャップコア材の露出した端面同士が向かい合う
ように位置合ねせをして、これら2個のコア母材ピース
を非磁性薄膜を介して張り合わせる構成をなしている。
軟磁性金属からなる複数の主コア材と非磁性材料からな
る複数のコア基板とを交互に積み重ねてなる2個のコア
母材ピースの側面同士を非磁性薄膜を介して張り合わせ
、これをコア基板の層ごとに切断することにより磁気ヘ
ッドを製造する製造方法において、2個のコア母材ピー
スの張り合わせ面に、この張り合わせに繋がる面の少な
くとも一方が斜面となり、かつこの各一方の斜面に各主
コア材の端面全てを露出させ得る一定ピンチによりほぼ
V字状の1字溝をそれぞれ複数形成し、各1字溝におけ
る主コア材の端面が露出する斜面に軟磁性金属からなる
ギャップコア材をそれぞれ成膜し、この各V字溝内に充
填材を充填すると共に、この1字溝を形成した面を平坦
に加工してギャップコア材の端面全てを露出させた後に
、このギャップコア材の露出した端面同士が向かい合う
ように位置合ねせをして、これら2個のコア母材ピース
を非磁性薄膜を介して張り合わせる構成をなしている。
この製造方法により製造された磁気ヘッドは、向かい合
うギャップコア材の間にずれがなくなり、これらギャッ
プコア材の端面間に形成される磁気ギャップのトランク
幅をギャップコア材の膜厚によって正確に定めることが
できる。
うギャップコア材の間にずれがなくなり、これらギャッ
プコア材の端面間に形成される磁気ギャップのトランク
幅をギャップコア材の膜厚によって正確に定めることが
できる。
従って、本発明によって磁気ヘッドを製造すれば、トラ
ンク幅をギャップコア材の成膜工程によって精密に規制
することができるという効果を奏する。
ンク幅をギャップコア材の成膜工程によって精密に規制
することができるという効果を奏する。
また、主コア材やギャップコア材の膜厚を必要以上に厚
くする必要がなくなるという効果も奏する。しかも、主
コア材が絶8i層を介した積層構造である場合にも、こ
の主コア材の両面をコア基板によって挟み込んだ状態で
1字溝の加工が行われるので、層間の剥離が生じるおそ
れもなくなるという効果を併せて奏する。
くする必要がなくなるという効果も奏する。しかも、主
コア材が絶8i層を介した積層構造である場合にも、こ
の主コア材の両面をコア基板によって挟み込んだ状態で
1字溝の加工が行われるので、層間の剥離が生じるおそ
れもなくなるという効果を併せて奏する。
第1図及び第2図は本発明の一実施例を示すものであっ
て、第1図は完成した磁気ヘッドの斜視図、第2図(a
)〜(h)はそれぞれ磁気ヘッドの各製造過程を示す斜
視図である。第3図乃至第5図は従来例を示すものであ
って、第3図は完成した磁気ヘッドの斜視図、第4図(
a)〜(c)はそれぞれ磁気ヘッドの各製造過程を示す
斜視図、第5図は磁気へソドバーの平面図である。第6
図は他の従来例を示すものであって、磁気ヘッドの一製
造過程を示す平面図である。 2は主コア材、3はギャップコア材、4はコア基板、1
1は1字溝、12はコア母材ピースである。 第1図 第 図(d) 第 図(b)、。 第 図(e) 弔 図(C) 第 図(h) t t 第 図 第 図(b 第 国(a) J
て、第1図は完成した磁気ヘッドの斜視図、第2図(a
)〜(h)はそれぞれ磁気ヘッドの各製造過程を示す斜
視図である。第3図乃至第5図は従来例を示すものであ
って、第3図は完成した磁気ヘッドの斜視図、第4図(
a)〜(c)はそれぞれ磁気ヘッドの各製造過程を示す
斜視図、第5図は磁気へソドバーの平面図である。第6
図は他の従来例を示すものであって、磁気ヘッドの一製
造過程を示す平面図である。 2は主コア材、3はギャップコア材、4はコア基板、1
1は1字溝、12はコア母材ピースである。 第1図 第 図(d) 第 図(b)、。 第 図(e) 弔 図(C) 第 図(h) t t 第 図 第 図(b 第 国(a) J
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、軟磁性金属からなる複数の主コア材と非磁性材料か
らなる複数のコア基板とを交互に積み重ねてなる2個の
コア母材ピースの側面同士を非磁性薄膜を介して張り合
わせ、これをコア基板の層ごとに切断することにより磁
気ヘッドを製造する製造方法において、 2個のコア母材ピースの張り合わせ面に、この張り合わ
せに繋がる面の少なくとも一方が斜面となり、かつこの
各一方の斜面に各主コア材の端面全てを露出させ得る一
定ピッチによりほぼV字状のV字溝をそれぞれ複数形成
し、各V字溝における主コア材の端面が露出する斜面に
軟磁性金属からなるギャップコア材をそれぞれ成膜し、
この各V字溝内に充填材を充填すると共に、このV字溝
を形成した面を平坦に加工してギャップコア材の端面全
てを露出させた後に、このギャップコア材の露出した端
面同士が向かい合うように位置合わせをして、これら2
個のコア母材ピースを非磁性薄膜を介して張り合わせる
ことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15725788A JPH025205A (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15725788A JPH025205A (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH025205A true JPH025205A (ja) | 1990-01-10 |
Family
ID=15645698
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15725788A Pending JPH025205A (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH025205A (ja) |
-
1988
- 1988-06-23 JP JP15725788A patent/JPH025205A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS58155513A (ja) | 複合型磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
| JPH0770036B2 (ja) | 浮動形磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
| JPH05182137A (ja) | 浮上型磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH0475563B2 (ja) | ||
| JPH025205A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS60231903A (ja) | 複合型磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
| JPH04318304A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JP2535072B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH0585962B2 (ja) | ||
| JP2908507B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS62183012A (ja) | 磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
| JPS62146413A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH02137104A (ja) | 磁気ヘッドとその製造方法 | |
| JPH0386905A (ja) | 磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH09190607A (ja) | 浮上型磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPS6148114A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS595414A (ja) | 磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
| JPS6366703A (ja) | 複合型磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPS59203210A (ja) | 磁気コアおよびその製造方法 | |
| JPH0447885B2 (ja) | ||
| JPH0589414A (ja) | 磁気ヘツドとその製造方法 | |
| JPS60261005A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS62141609A (ja) | 磁気ヘツドの製造法 | |
| JPS618710A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JP2001126209A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 |