JPH0770036B2 - 浮動形磁気ヘツドおよびその製造方法 - Google Patents
浮動形磁気ヘツドおよびその製造方法Info
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- JPH0770036B2 JPH0770036B2 JP61217123A JP21712386A JPH0770036B2 JP H0770036 B2 JPH0770036 B2 JP H0770036B2 JP 61217123 A JP61217123 A JP 61217123A JP 21712386 A JP21712386 A JP 21712386A JP H0770036 B2 JPH0770036 B2 JP H0770036B2
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- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1272—Assembling or shaping of elements
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- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/10—Structure or manufacture of housings or shields for heads
- G11B5/105—Mounting of head within housing or assembling of head and housing
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
-
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は外部記憶装置に用いられる浮動形磁気ヘッドに
係り、特に高密度記録再生に好適な浮動形磁気ヘッドに
関する。
係り、特に高密度記録再生に好適な浮動形磁気ヘッドに
関する。
磁気ディスク装置に用いられる従来の浮動形磁気ヘッド
の１例を、第13図（ａ），（ｂ）および第14図（ａ），
（ｂ）に示す。（ａ）はそれぞれの浮動形磁気ヘッドの
斜視図であり、（ｂ）は磁気コア主要部拡大図である。
の１例を、第13図（ａ），（ｂ）および第14図（ａ），
（ｂ）に示す。（ａ）はそれぞれの浮動形磁気ヘッドの
斜視図であり、（ｂ）は磁気コア主要部拡大図である。
第13図（ａ）は現在実用化されている浮動形磁気ヘッド
（コンポジットヘッドと称している）10である。この浮
動形磁気ヘッド10は非磁性材料からなる浮動部材11とフ
ェライトからなる磁気ヘッドコア12とから構成されてい
る。磁気ヘッドコア12において、14はコイル、15は磁気
ギャップである。
（コンポジットヘッドと称している）10である。この浮
動形磁気ヘッド10は非磁性材料からなる浮動部材11とフ
ェライトからなる磁気ヘッドコア12とから構成されてい
る。磁気ヘッドコア12において、14はコイル、15は磁気
ギャップである。
この浮動形磁気ヘッドは浮動部材11と磁気ヘッドコア12
を別々に加工し、浮動部材11の浮上滑面13の端部に切り
欠き溝を設け、磁気ヘッドコア12を切り欠き溝内に装着
して、樹脂あるいはガラスなどで固定してある。
を別々に加工し、浮動部材11の浮上滑面13の端部に切り
欠き溝を設け、磁気ヘッドコア12を切り欠き溝内に装着
して、樹脂あるいはガラスなどで固定してある。
次に、第14図（ａ），（ｂ）は特開昭61-80519号に記載
されている他の従来の浮動形磁気ヘッド15の斜視図であ
る。
されている他の従来の浮動形磁気ヘッド15の斜視図であ
る。
この浮動形磁気ヘッド15は、一対の磁気コア半体16,1
7、磁気ギャップ18、コイル19等より構成されている。
浮動形磁気ヘッド15は一方の磁気コア半体16をもう一方
の磁気コア半体17に磁気ギャップ18を形成するための非
磁性材を介して突き合わせて接合してなる。なお、磁気
コア半体17は浮動部材と共用される構造となっている。
磁気コア半体16は磁性体部29を一対の幅狭の非磁性材料
よりなる補強板21a,21bにて挾持してある。この磁性体
部20はFe-Al-Si合金、パーマロイまたはアモルファス等
の軟磁性材よりなり、一対の補強板21a,21bの少なくと
も一方に薄膜形成技術によって形成されている。なお、
磁気コア半体16が磁性膜の形成された補強部材21aと他
の補強部材21bとの接合は低融点ガラスを用いて行なわ
れる。
7、磁気ギャップ18、コイル19等より構成されている。
浮動形磁気ヘッド15は一方の磁気コア半体16をもう一方
の磁気コア半体17に磁気ギャップ18を形成するための非
磁性材を介して突き合わせて接合してなる。なお、磁気
コア半体17は浮動部材と共用される構造となっている。
磁気コア半体16は磁性体部29を一対の幅狭の非磁性材料
よりなる補強板21a,21bにて挾持してある。この磁性体
部20はFe-Al-Si合金、パーマロイまたはアモルファス等
の軟磁性材よりなり、一対の補強板21a,21bの少なくと
も一方に薄膜形成技術によって形成されている。なお、
磁気コア半体16が磁性膜の形成された補強部材21aと他
の補強部材21bとの接合は低融点ガラスを用いて行なわ
れる。
他の磁気コア半体17は磁性体20と同材質の軟磁性材より
なり、浮動部材22a,22bによって挾持し、低融点ガラス
で接合してある。
なり、浮動部材22a,22bによって挾持し、低融点ガラス
で接合してある。
このように、形成した磁気コア半体16および17は非磁性
ギャップ材を介して接合一体化して浮動形磁気ヘッド15
を構成している。
ギャップ材を介して接合一体化して浮動形磁気ヘッド15
を構成している。
なお、この浮動形磁気ヘッドは磁路を形成する磁性体が
フェエライトより飽和磁束密度の高い、Fe-Al-Si合金、
パーマロイまたはアモルファス磁性材料となっているた
め、高密度記録用の磁気ヘッドとして適している。
フェエライトより飽和磁束密度の高い、Fe-Al-Si合金、
パーマロイまたはアモルファス磁性材料となっているた
め、高密度記録用の磁気ヘッドとして適している。
上記従来の浮動形磁気ヘッドの問題点について第13図
（ｂ），第14図（ｂ）によって説明する。
（ｂ），第14図（ｂ）によって説明する。
先ず、第13図（ｂ）の従来例において、磁気ヘッドコア
12は浮動部材11の浮上滑部13に切り欠き溝23を形成し、
この溝23に装着され、ガラスなどによって固定した構造
となっている。
12は浮動部材11の浮上滑部13に切り欠き溝23を形成し、
この溝23に装着され、ガラスなどによって固定した構造
となっている。
そのため、 （１） 磁気ヘッドコア12は別に形成し、浮動部材11の
切り欠き溝23に装置固定する工程において、磁気ヘッド
コアの位置ずれが起り、製造歩留低減の原因となってい
た。
切り欠き溝23に装置固定する工程において、磁気ヘッド
コアの位置ずれが起り、製造歩留低減の原因となってい
た。
（２） 磁気ヘッドコア12のギャップ深さが浮動部材11
の内部に位置するため、ギャップ深さ加工の時に別に基
準面を設ける必要があり、加工寸法精度が得られないと
いう問題があった。
の内部に位置するため、ギャップ深さ加工の時に別に基
準面を設ける必要があり、加工寸法精度が得られないと
いう問題があった。
（３） 浮動形磁気ヘッドを製造する工程において、ガ
ラスなどで接合する部分が２個所ある。例えば、磁気ギ
ャップ15を形成する時にガラス接合された磁気ヘッドコ
ア12は、浮動部材11に装着する時にガラスで固定され
る。このように、２度のガラス接合部を有する場合、磁
気ヘッドコアを浮動部材に装着するガラスは磁気ヘッド
コアの磁気ギャップを接合するガラスより軟化温度の低
いものを選ぶ必要がある。そうしないと、磁気ヘッドコ
ア12を浮動部材11に装着する時に、磁気ヘッドコアを接
合したガラスが軟化し、はく離の原因となる。少なくと
も、磁気ヘッドコアを接合する時のガラスは、浮動部材
に装着する時に加熱する温度で軟化しない程度の高温ガ
ラスを選ぶ必要がある。
ラスなどで接合する部分が２個所ある。例えば、磁気ギ
ャップ15を形成する時にガラス接合された磁気ヘッドコ
ア12は、浮動部材11に装着する時にガラスで固定され
る。このように、２度のガラス接合部を有する場合、磁
気ヘッドコアを浮動部材に装着するガラスは磁気ヘッド
コアの磁気ギャップを接合するガラスより軟化温度の低
いものを選ぶ必要がある。そうしないと、磁気ヘッドコ
ア12を浮動部材11に装着する時に、磁気ヘッドコアを接
合したガラスが軟化し、はく離の原因となる。少なくと
も、磁気ヘッドコアを接合する時のガラスは、浮動部材
に装着する時に加熱する温度で軟化しない程度の高温ガ
ラスを選ぶ必要がある。
そのため、ガラスの選択範囲が限られ、許容範囲の狭い
温度条件で製造しなければならなくなっている。その結
果、ガラスの充填不良，ガラスに発生した気泡の残存と
いった問題が起る。
温度条件で製造しなければならなくなっている。その結
果、ガラスの充填不良，ガラスに発生した気泡の残存と
いった問題が起る。
次に、第14図の他の浮動形磁気ヘッド15においては、第
14図（ｂ）に主要部拡大斜視図を示すように、一対の磁
気コア半体16,17が磁気ギャップ18で接合一体化されて
いる。そして磁気コア半体16は磁気回路を構成する磁性
体部20が浮動部材22a,22bによって挾持され、いずれか
一方の面にガラス膜を介して接合されている。例えば、
第14図（ｂ）においては浮動部材22aに磁性体部20が形
成され、もう一方の浮動部材22bが接合面24でガラス膜
を介して接合され、浮動部材17を形成する。
14図（ｂ）に主要部拡大斜視図を示すように、一対の磁
気コア半体16,17が磁気ギャップ18で接合一体化されて
いる。そして磁気コア半体16は磁気回路を構成する磁性
体部20が浮動部材22a,22bによって挾持され、いずれか
一方の面にガラス膜を介して接合されている。例えば、
第14図（ｂ）においては浮動部材22aに磁性体部20が形
成され、もう一方の浮動部材22bが接合面24でガラス膜
を介して接合され、浮動部材17を形成する。
さらに、もう一方の磁気コア半体16は補強材21aに磁性
体部20を形成して、他の補強材21bをガラス膜を介して
接合する。その後、磁気コア半体16,17は磁気ギャップ1
8を介して接合することによって、浮動形磁気ヘッドを
形成する。
体部20を形成して、他の補強材21bをガラス膜を介して
接合する。その後、磁気コア半体16,17は磁気ギャップ1
8を介して接合することによって、浮動形磁気ヘッドを
形成する。
このような構造の浮動形磁気ヘッドには以下のような問
題点がある。
題点がある。
（１） この浮動形磁気ヘッドは、前記第13図の従来例
と同様に、ガラスなどで接合する部分が複数個所ある。
すなわち、一方の磁気コア半体17は浮動部材22aに磁性
体膜20を形成した後、浮動部材22bを接合する。もう一
方の磁気コア半体16は補強材21aに磁性体膜20を形成し
た後、他の補強材21bを接合する。そして、さらに磁気
コア半体17と16は磁気ギャップ18を介して接合し、浮動
形磁気ヘッドを形成する。
と同様に、ガラスなどで接合する部分が複数個所ある。
すなわち、一方の磁気コア半体17は浮動部材22aに磁性
体膜20を形成した後、浮動部材22bを接合する。もう一
方の磁気コア半体16は補強材21aに磁性体膜20を形成し
た後、他の補強材21bを接合する。そして、さらに磁気
コア半体17と16は磁気ギャップ18を介して接合し、浮動
形磁気ヘッドを形成する。
このように接合個所が多いことは、接合の時に位置ずれ
や、機械加工における破損の原因となり歩留りを低減す
る。
や、機械加工における破損の原因となり歩留りを低減す
る。
（２） 磁性体と高飽和磁束密度の金属磁性材料を用い
た場合には、金属とガラスの接合強度が弱いために、加
工中に剥離を起してしまう。
た場合には、金属とガラスの接合強度が弱いために、加
工中に剥離を起してしまう。
本発明の目的は上記従来の問題点を解消し、磁気ヘッド
の製作が容易な浮動形磁気ヘッドおよびその製造方法を
提供することにある。
の製作が容易な浮動形磁気ヘッドおよびその製造方法を
提供することにある。
本発明の浮動形磁気ヘッドは、磁気ヘッドコアが浮動部
材の浮上滑面の側面に設けられた溝に埋込まれて構成さ
れており、望ましくは浮動部材に形成された磁気ヘッド
コアの端部が、記録媒体対向面から見た時に、磁気ギャ
ップと不平行となるようにし、高密度記録を目的とした
磁気ヘッドとして、磁気ヘッドコア部はフェライトより
飽和磁束密度の高い軟磁性材料とする。
材の浮上滑面の側面に設けられた溝に埋込まれて構成さ
れており、望ましくは浮動部材に形成された磁気ヘッド
コアの端部が、記録媒体対向面から見た時に、磁気ギャ
ップと不平行となるようにし、高密度記録を目的とした
磁気ヘッドとして、磁気ヘッドコア部はフェライトより
飽和磁束密度の高い軟磁性材料とする。
本発明の磁気ヘッドコア材料としては、Fe-Al-Si合金
（センダストと称す）、Ni-Fe合金（パーマロイと称
す）等で代表される結晶質合金、またはCo-Nb-Zr，Co-T
a-Zrで代表される非晶質合金が用いられる。形成法とし
ては、スパッタリング，蒸着等の薄膜形成技術によって
行なわれる。
（センダストと称す）、Ni-Fe合金（パーマロイと称
す）等で代表される結晶質合金、またはCo-Nb-Zr，Co-T
a-Zrで代表される非晶質合金が用いられる。形成法とし
ては、スパッタリング，蒸着等の薄膜形成技術によって
行なわれる。
浮動部材としては、記録媒体との耐摺動特性が良好なア
ルミナチタンカーバイト，チタン酸カルシウム，ジルコ
ニヤ，チタン酸バリウ等のセラミック材料、あるいは結
晶化ガラス等が用いられる。
ルミナチタンカーバイト，チタン酸カルシウム，ジルコ
ニヤ，チタン酸バリウ等のセラミック材料、あるいは結
晶化ガラス等が用いられる。
本発明の浮動形磁気ヘッドは以下方法によって製造され
る。
る。
（１） ｉ） 工程（イ）：浮動部材となる矩形の非磁
性ブロックを用意し、浮動形磁気ヘッドの側面となる部
分に磁気ヘッドコアのコア厚みが埋め込まれる溝を形成
する工程、 ii） 工程（ロ）：工程（イ）で形成された溝に磁気ヘ
ッドコアとなる磁性材料をスパッタリングあるいは蒸着
等の薄膜形成形成技術によって堆積する工程、（堆積厚
みは磁気コアの厚みに相当する）、 iii） 工程（ハ）：工程（ロ）において形成した磁性
体膜の不要部分を除去する工程、 iv） 工程（ニ）：工程（ハ）で得られたブロックを磁
性体膜の略中央部となる部分で膜厚方向に分割し、２個
のコア半体ブロックを形成する工程、一方は、浮動形と
共用となる。この時、切断分割面は磁気ギャップ形成面
となるため研磨を行なう。
性ブロックを用意し、浮動形磁気ヘッドの側面となる部
分に磁気ヘッドコアのコア厚みが埋め込まれる溝を形成
する工程、 ii） 工程（ロ）：工程（イ）で形成された溝に磁気ヘ
ッドコアとなる磁性材料をスパッタリングあるいは蒸着
等の薄膜形成形成技術によって堆積する工程、（堆積厚
みは磁気コアの厚みに相当する）、 iii） 工程（ハ）：工程（ロ）において形成した磁性
体膜の不要部分を除去する工程、 iv） 工程（ニ）：工程（ハ）で得られたブロックを磁
性体膜の略中央部となる部分で膜厚方向に分割し、２個
のコア半体ブロックを形成する工程、一方は、浮動形と
共用となる。この時、切断分割面は磁気ギャップ形成面
となるため研磨を行なう。
ｖ） 工程（ホ）：工程（ニ）で得られた一対の磁気コ
ア半体の磁気ギャップ対向面の少なくとも一方にコイル
巻線用の溝を形成する工程、次に、磁気ギャップを形成
するための所要の非磁性膜形成する工程を含む。
ア半体の磁気ギャップ対向面の少なくとも一方にコイル
巻線用の溝を形成する工程、次に、磁気ギャップを形成
するための所要の非磁性膜形成する工程を含む。
vi） 工程（ヘ）：前記一対の磁気コア半体のギャップ
突き合せ面を互いに磁気コアとする磁性体膜が合うよう
に突き合せて、加圧，加熱しながら接合一体化する工
程、 vii） 工程（ト）：複数取りの磁気コアブロックを切
断して個々の磁気コアブロックに分割する工程、 viii） 工程（チ）：前記磁気コアブロックの記録媒体
対向面に所定の浮上滑面を残して溝を形成する工程、 ix） 工程（リ）：工程（チ）の加工と共に、浮動部と
なる磁気コア半体と磁気ギャップを介して対向する他の
磁気コア半体部に切り欠き溝を設けコイル巻線窓を露呈
する工程、 さらに、所定の浮上滑面に加工を施こし、浮動形磁気ヘ
ッドを得る。
突き合せ面を互いに磁気コアとする磁性体膜が合うよう
に突き合せて、加圧，加熱しながら接合一体化する工
程、 vii） 工程（ト）：複数取りの磁気コアブロックを切
断して個々の磁気コアブロックに分割する工程、 viii） 工程（チ）：前記磁気コアブロックの記録媒体
対向面に所定の浮上滑面を残して溝を形成する工程、 ix） 工程（リ）：工程（チ）の加工と共に、浮動部と
なる磁気コア半体と磁気ギャップを介して対向する他の
磁気コア半体部に切り欠き溝を設けコイル巻線窓を露呈
する工程、 さらに、所定の浮上滑面に加工を施こし、浮動形磁気ヘ
ッドを得る。
本発明の浮動形磁気ヘッドは、磁気ヘッドコア部が浮動
部材の側面に配置され、かつ溝に埋め込まれた構造とな
っているため、接合個所が磁気ギャップ形成部のみとな
り、接合ガラスの選択が容易である。特に、磁気ヘッド
コア部材が非晶質磁性材のように結晶化温度以下で磁気
ヘッドを製造しなければならないものについて有効であ
る。また、磁気ヘッドコア部が、浮動部材の溝に埋め込
まれているため、剥離の問題なく製造歩りの高い構造と
なっている。
部材の側面に配置され、かつ溝に埋め込まれた構造とな
っているため、接合個所が磁気ギャップ形成部のみとな
り、接合ガラスの選択が容易である。特に、磁気ヘッド
コア部材が非晶質磁性材のように結晶化温度以下で磁気
ヘッドを製造しなければならないものについて有効であ
る。また、磁気ヘッドコア部が、浮動部材の溝に埋め込
まれているため、剥離の問題なく製造歩りの高い構造と
なっている。
磁気コアが浮動部材の側面に設けられているため、磁気
ギャップ深さを直接観察測定することができ、寸法精度
の高い加工ができる。
ギャップ深さを直接観察測定することができ、寸法精度
の高い加工ができる。
磁気コアの端部が磁気ギャップと不平行となるように傾
斜した構造となっているため、コンター効果（磁気コア
端部での再生作用）の影響を受けない。
斜した構造となっているため、コンター効果（磁気コア
端部での再生作用）の影響を受けない。
磁気コア部が飽和磁束密度の高い軟磁性材料となってい
るため高密度記録用に適している。また磁気ヘッドコア
部がコンパクトに形成することができるため、インダク
タンスが小さく、かつ効果の高い磁気ヘッドとなる。
るため高密度記録用に適している。また磁気ヘッドコア
部がコンパクトに形成することができるため、インダク
タンスが小さく、かつ効果の高い磁気ヘッドとなる。
以下、本発明の一実施例を第１図〜第12図により説明す
る。
る。
第１図は本発明の浮動形磁気ヘッドの第１の実施例を示
す。図中、30は浮動形磁気ヘッドの傾斜図である。31は
磁気ディスク上を浮上させるための浮動部材である。32
は浮上滑面で、この形状は浮動高さに作用する。33,3
3′は磁気ヘッドコアである。この磁気ヘッドコアは浮
動部材31の側面に磁気ヘッドコア33,33′が埋め込まれ
るような溝を形成し、薄膜形成技術によって軟磁性材料
を形成する。35,35′はコイル巻線用の窓である。この
コイル巻線窓は浮動部材31に磁気ヘッドコアとなる軟磁
性材料を形成した後、浮動部材31から切り離して浮動部
材に形成された磁気コア半体37a,38aともう一方の磁気
コア半体37b,38bを形成する。詳細については後で述べ
る。34,34′は磁気ギャップである。この磁気ギャップ
は切り離したそれぞれの磁気コア半体の対向面を研磨仕
上げした後、非磁性ギャップ材を介して、ガラスなどで
接合一体化する。36,36′はコイルである。
す。図中、30は浮動形磁気ヘッドの傾斜図である。31は
磁気ディスク上を浮上させるための浮動部材である。32
は浮上滑面で、この形状は浮動高さに作用する。33,3
3′は磁気ヘッドコアである。この磁気ヘッドコアは浮
動部材31の側面に磁気ヘッドコア33,33′が埋め込まれ
るような溝を形成し、薄膜形成技術によって軟磁性材料
を形成する。35,35′はコイル巻線用の窓である。この
コイル巻線窓は浮動部材31に磁気ヘッドコアとなる軟磁
性材料を形成した後、浮動部材31から切り離して浮動部
材に形成された磁気コア半体37a,38aともう一方の磁気
コア半体37b,38bを形成する。詳細については後で述べ
る。34,34′は磁気ギャップである。この磁気ギャップ
は切り離したそれぞれの磁気コア半体の対向面を研磨仕
上げした後、非磁性ギャップ材を介して、ガラスなどで
接合一体化する。36,36′はコイルである。
第２図は本発明の第２の実施例である浮動形磁気ヘッド
の傾斜図である。以下の第４図までの説明における符号
は同一部材料，同一機能部については第１図に用いた符
号と同一とする。
の傾斜図である。以下の第４図までの説明における符号
は同一部材料，同一機能部については第１図に用いた符
号と同一とする。
第２図の実施例と第１図の実施例と異なるところはコイ
ル巻線窓である。第２図において、コイル巻線窓35,3
5′は浮動部材側と形成されている。
ル巻線窓である。第２図において、コイル巻線窓35,3
5′は浮動部材側と形成されている。
磁気コア半体37b,38b側にコイル巻線窓を形成したとき
に、基板のそりが問題となる場合がある。このような時
には基板の厚さが充分ある浮動部材側にコイル巻線窓を
形成することができる。
に、基板のそりが問題となる場合がある。このような時
には基板の厚さが充分ある浮動部材側にコイル巻線窓を
形成することができる。
次に、本発明の詳細説明および他の実施例を第３図
（ａ），（ｂ）、第４図（ａ），（ｂ）によって説明す
る。第３図，第４図において（ａ）は記録媒体面からみ
た浮動形磁気ヘッドの平面図、（ｂ）は側面図である。
（ａ），（ｂ）、第４図（ａ），（ｂ）によって説明す
る。第３図，第４図において（ａ）は記録媒体面からみ
た浮動形磁気ヘッドの平面図、（ｂ）は側面図である。
第３図（ａ），（ｂ）において浮動部材31には浮上滑面
32を残して、空気流の浮力を受ける溝が形成される。39
は空気の流入部となる傾斜面である。
32を残して、空気流の浮力を受ける溝が形成される。39
は空気の流入部となる傾斜面である。
また、磁気コア側の傾斜面40は磁気コアの磁気ギャップ
34が磁気ディスクに最も近づけることができるようにす
るためのものである。浮動部材上部の切り欠き溝41はヘ
ッドアームを取り付けるためのものである。
34が磁気ディスクに最も近づけることができるようにす
るためのものである。浮動部材上部の切り欠き溝41はヘ
ッドアームを取り付けるためのものである。
磁気ヘッドコアのトラック幅Twは浮上滑面32の幅Ｔを加
工する際に同時に加工することができる。なお、磁気ギ
ャップ部34の接合はコイル巻線窓35の内部42で行なう。
また、場合によっては42′に補強用としてガラスあるい
は樹脂を充填することができる。
工する際に同時に加工することができる。なお、磁気ギ
ャップ部34の接合はコイル巻線窓35の内部42で行なう。
また、場合によっては42′に補強用としてガラスあるい
は樹脂を充填することができる。
ギャップ深さgdは磁気ヘッドコアが浮動部材の側面に配
置されているので、側面から観察しながら加工すること
ができる。
置されているので、側面から観察しながら加工すること
ができる。
第４図（ａ），（ｂ）は磁気ヘッドコア部の他の実施例
を示す。本実施例は、浮動部材の溝にトラック幅Twの厚
みの軟磁性材を埋め込み、残りの溝には非磁性材料43を
充填する。このようにすれば、トラック幅は磁性材の厚
みで制御することができる。また、浮上滑面32内にトラ
ック幅があるので、トラック幅以外での不要の漏洩磁束
の影響を受けない。
を示す。本実施例は、浮動部材の溝にトラック幅Twの厚
みの軟磁性材を埋め込み、残りの溝には非磁性材料43を
充填する。このようにすれば、トラック幅は磁性材の厚
みで制御することができる。また、浮上滑面32内にトラ
ック幅があるので、トラック幅以外での不要の漏洩磁束
の影響を受けない。
以下、本発明の前記浮動形磁気ヘッドの種々の製造方法
を実施例によって詳細に説明する。
を実施例によって詳細に説明する。
本発明の第１の製造方法の各工程の説明図を第５図
（イ）〜（リ）に示す。
（イ）〜（リ）に示す。
ｉ） 第５図（イ）は浮動部材となる非磁性ブロック50
において浮動形磁気ヘッドとなる側面51に磁気ヘッドコ
アを形成するための溝52を設ける工程である。ここで、
非磁性ブロック50はジルコニヤを用いた。溝の深さｄを
50μm,幅ｌを3mm,角度θを45°とした。
において浮動形磁気ヘッドとなる側面51に磁気ヘッドコ
アを形成するための溝52を設ける工程である。ここで、
非磁性ブロック50はジルコニヤを用いた。溝の深さｄを
50μm,幅ｌを3mm,角度θを45°とした。
（以下、第５図（イ），第５図（ロ）等に対応する工程
を工程（イ），工程（ロ）等とする）。
を工程（イ），工程（ロ）等とする）。
ii） 工程（ロ）は第５図（イ）で示す工程で加工され
た溝52の拡大側面を示す。溝52にはフェライトより飽和
磁束密度の高い磁性体膜53をスパッタリングによって堆
積させる工程である。磁性体は飽和磁束密度10kGのCo-N
b-Zr系の非晶質合金を用いた。
た溝52の拡大側面を示す。溝52にはフェライトより飽和
磁束密度の高い磁性体膜53をスパッタリングによって堆
積させる工程である。磁性体は飽和磁束密度10kGのCo-N
b-Zr系の非晶質合金を用いた。
磁性体膜の堆積法は他の真空蒸着，イオンプレーティン
グ，化学蒸着あるいはメッキ法等でも可能である。磁性
体膜としては、Fe-Al-Si合金（センダストメントと称
す）、Ni-Fe合金（パーマロイ）、あるいはFe系を高飽
和磁束密度の材料が用いられる。また、非晶質合金であ
るCo-Ta-Zr，Co-W-Zr，Co-Mo-Zr系のCo系材料が用いら
れる。
グ，化学蒸着あるいはメッキ法等でも可能である。磁性
体膜としては、Fe-Al-Si合金（センダストメントと称
す）、Ni-Fe合金（パーマロイ）、あるいはFe系を高飽
和磁束密度の材料が用いられる。また、非晶質合金であ
るCo-Ta-Zr，Co-W-Zr，Co-Mo-Zr系のCo系材料が用いら
れる。
さらに、高周波特性を良好にするために、非磁性中間層
と交互に積層した多層膜とすることができる。
と交互に積層した多層膜とすることができる。
iii） 工程（ハ）は工程（ロ）で得られたブロックの
不要の磁性体膜53を除去する工程である。除去法は研
削，研磨等によって行なわれる。
不要の磁性体膜53を除去する工程である。除去法は研
削，研磨等によって行なわれる。
iv） 工程（ニ）は工程（ハ）で得られたブロック50の
磁性体膜53の略中央部Ａ−Ａで分割し、分割面を鏡面研
磨する工程である。このようにして一対の磁気コア半体
54,55を形成する。
磁性体膜53の略中央部Ａ−Ａで分割し、分割面を鏡面研
磨する工程である。このようにして一対の磁気コア半体
54,55を形成する。
なお、磁気コア半体54は浮動部材となり、55は磁気ギャ
ップと対向するもう一度の磁気コア半体、56は媒体との
対向面となる。
ップと対向するもう一度の磁気コア半体、56は媒体との
対向面となる。
ｖ） 工程（ホ）は工程（ニ）で得られた一対の磁気コ
ア半体の磁気ギャップ対向面の少なくとも一方にコイル
巻線用の溝57を複数個形成する工程である。本実施例で
は磁気コア半体55側に形成した。次にギャップ形成面56
にSiO2，ガラス（高融点もしくは低融点）等非磁性材を
所要の厚さにスパッタリングして磁気ギャップ形成膜と
する。
ア半体の磁気ギャップ対向面の少なくとも一方にコイル
巻線用の溝57を複数個形成する工程である。本実施例で
は磁気コア半体55側に形成した。次にギャップ形成面56
にSiO2，ガラス（高融点もしくは低融点）等非磁性材を
所要の厚さにスパッタリングして磁気ギャップ形成膜と
する。
vi） 工程（ヘ）は前記一対の磁気コア半体54,55のギ
ャップ突き合せ面を互いに磁性体膜が合うように突き合
せて、加圧，加熱しながら接合一体化して磁気ギャップ
58を形成する工程である。この場合、接合は磁気ギャッ
プ対向面に低融点のガラス膜を形成して熱圧着する方
法，コイル巻線窓の一部にガラス59を充填する方法，別
に接合溝を設けガラス接合する方法（図示せず）。等に
よって行なわれる。
ャップ突き合せ面を互いに磁性体膜が合うように突き合
せて、加圧，加熱しながら接合一体化して磁気ギャップ
58を形成する工程である。この場合、接合は磁気ギャッ
プ対向面に低融点のガラス膜を形成して熱圧着する方
法，コイル巻線窓の一部にガラス59を充填する方法，別
に接合溝を設けガラス接合する方法（図示せず）。等に
よって行なわれる。
本実施例においては、磁気ヘッドが３個とれるブロック
となっており、さらに多数個取りのブロックとすること
ができる。
となっており、さらに多数個取りのブロックとすること
ができる。
vii） 工程（ト）は前記接合ブロックをＢ−Ｂで切断
した一個の浮動形磁気ヘッド部材60である。このように
して磁気ヘッドコア61は浮動部材の側面に埋め込まれた
構造となる。
した一個の浮動形磁気ヘッド部材60である。このように
して磁気ヘッドコア61は浮動部材の側面に埋め込まれた
構造となる。
viii） 工程（チ）は工程（ト）で得られた浮動形磁気
ヘッド部材の浮動部を形成する工程である。浮動部は所
定の浮上滑面62を残して溝空気浮上63を形成する。
ヘッド部材の浮動部を形成する工程である。浮動部は所
定の浮上滑面62を残して溝空気浮上63を形成する。
ix） 工程（リ）は工程（チ）の加工と共に、浮動部と
なる磁気コア半体54と対向する磁気コア半体55側に切り
欠き溝64を設けコイル巻線窓57を露呈させコイル巻線が
可能になるようにする。
なる磁気コア半体54と対向する磁気コア半体55側に切り
欠き溝64を設けコイル巻線窓57を露呈させコイル巻線が
可能になるようにする。
このように加工した後、浮上滑面に所定の加工を行な
い、第１図に示すような浮動形磁気ヘッドを得る。
い、第１図に示すような浮動形磁気ヘッドを得る。
次に第６図は浮動形磁気ヘッドにおいて、浮動滑面の両
側面に磁気ヘッドコアを有する構造を提供するための浮
動部材となる非磁性ブロック50を示す。この非磁性ブロ
ック50には両側面の溝に磁性体膜53を堆積する。このよ
うにして形成した磁気コアブロックは第５図に示す製造
工程によって、浮動滑面の両側面に磁気ヘッドコアを有
する浮動形磁気ヘッドが得られる。
側面に磁気ヘッドコアを有する構造を提供するための浮
動部材となる非磁性ブロック50を示す。この非磁性ブロ
ック50には両側面の溝に磁性体膜53を堆積する。このよ
うにして形成した磁気コアブロックは第５図に示す製造
工程によって、浮動滑面の両側面に磁気ヘッドコアを有
する浮動形磁気ヘッドが得られる。
第７図は他の実施例の磁気ヘッドコアブロックを示す。
非磁性ブロック50に形成した溝に、先ず磁性体膜53を磁
気ヘッドコアのトラック幅Twとなる厚みに堆積し、残り
の溝にセラミックやガラス等からなる非磁性材65を堆積
もしくは充填して磁気ヘッドコアブロックを形成する。
非磁性ブロック50に形成した溝に、先ず磁性体膜53を磁
気ヘッドコアのトラック幅Twとなる厚みに堆積し、残り
の溝にセラミックやガラス等からなる非磁性材65を堆積
もしくは充填して磁気ヘッドコアブロックを形成する。
このようにすれば、磁性体膜53の厚みでトラック幅Twが
制御でき加工の段階でトラック幅を規定する高精度の加
工が不要となる。非磁性材65は磁性体膜53の補強となっ
ている。
制御でき加工の段階でトラック幅を規定する高精度の加
工が不要となる。非磁性材65は磁性体膜53の補強となっ
ている。
第８図はさらに他の実施例の磁気ヘッドコアブロックを
示す。この実施例においては、非磁性ブロック50に形成
した溝に、非磁性材65′，磁性体膜53,非磁性材65の順
に形成される。磁性体膜53の厚みはトラック幅Twとし、
非磁性材65と65′ではさまれた状態になっている。この
時、非磁性材65,65′を金属材料で形成すれば、磁気遮
蔽効果が働き、磁気ギャップ以外における磁束の漏洩を
防止できるため効果のより磁気ヘッドとなる。
示す。この実施例においては、非磁性ブロック50に形成
した溝に、非磁性材65′，磁性体膜53,非磁性材65の順
に形成される。磁性体膜53の厚みはトラック幅Twとし、
非磁性材65と65′ではさまれた状態になっている。この
時、非磁性材65,65′を金属材料で形成すれば、磁気遮
蔽効果が働き、磁気ギャップ以外における磁束の漏洩を
防止できるため効果のより磁気ヘッドとなる。
なお、第９図は第７図の磁気ヘッドコアブロックから製
造した、磁気コアの一部拡大図を示す。
造した、磁気コアの一部拡大図を示す。
第10図は第８図の磁気ヘッドコアブロックから製造し
た、磁気コアの一部拡大図を示す。
た、磁気コアの一部拡大図を示す。
次に、本発明における狭トラック形磁気ヘッドの一例を
第11図および第12図によって説明する。
第11図および第12図によって説明する。
第11図および第12図は浮動形磁気ヘッドの主要部である
磁気コア部の拡大斜視図を示す。
磁気コア部の拡大斜視図を示す。
第11図において、磁気コア半体54,55には磁気ギャップ5
8の近傍が凸になる溝が形成され、これに磁気コアとな
る磁性体膜53を形成し、磁気ギャップ58の近傍部が絞ら
れた構造とする。このようにすれば、トラック幅Twを10
μｍ以下としても、磁気コアの磁気抵抗が高くならずに
済み、効率の高い狭トラックの浮動形磁気ヘッドが得ら
れる。なお、65は非磁性材料であり、磁気コアの浮上滑
面の面取り加工を施こした場合、トラック幅Twが変化し
ないで済む。また、磁性体膜53の保護の役目となる。
8の近傍が凸になる溝が形成され、これに磁気コアとな
る磁性体膜53を形成し、磁気ギャップ58の近傍部が絞ら
れた構造とする。このようにすれば、トラック幅Twを10
μｍ以下としても、磁気コアの磁気抵抗が高くならずに
済み、効率の高い狭トラックの浮動形磁気ヘッドが得ら
れる。なお、65は非磁性材料であり、磁気コアの浮上滑
面の面取り加工を施こした場合、トラック幅Twが変化し
ないで済む。また、磁性体膜53の保護の役目となる。
第12図は狭トラックの浮動形磁気ヘッドの他の実施例を
示す。基本的な構造は第11図に準ずるものである。第12
図は磁性体膜として２種の材料が用いられる。すなわ
ち、トラック幅Twに対応する部分の磁性体膜53′を他の
磁性体膜53よりも飽和磁束密度の高い磁性体で構成す
る。
示す。基本的な構造は第11図に準ずるものである。第12
図は磁性体膜として２種の材料が用いられる。すなわ
ち、トラック幅Twに対応する部分の磁性体膜53′を他の
磁性体膜53よりも飽和磁束密度の高い磁性体で構成す
る。
例えば、磁性体膜53は飽和磁束密度が8kGから10kG程度
の非晶質磁性膜とし、磁性体膜53′は飽和磁束密度15kG
以上の多結晶質磁性膜とする。このようにすれば、高密
度記録用の高保磁力媒体に対しても、磁気ギャップ近傍
における磁気飽和を回避することができる。また、磁性
体膜53が補助磁路となるため効率の高い浮動形磁気ヘッ
ドが得られる。
の非晶質磁性膜とし、磁性体膜53′は飽和磁束密度15kG
以上の多結晶質磁性膜とする。このようにすれば、高密
度記録用の高保磁力媒体に対しても、磁気ギャップ近傍
における磁気飽和を回避することができる。また、磁性
体膜53が補助磁路となるため効率の高い浮動形磁気ヘッ
ドが得られる。
このような構造の磁気ヘッドは厚膜形成が容易いで、磁
気特性が安定な磁性体膜を53とし、磁気ギャップ近傍部
を高飽和磁束密度の磁性体膜53′で精度良く形成するこ
とによって高性能の磁性ヘッドを得ることができる。
気特性が安定な磁性体膜を53とし、磁気ギャップ近傍部
を高飽和磁束密度の磁性体膜53′で精度良く形成するこ
とによって高性能の磁性ヘッドを得ることができる。
以上説明したごとく本発明によれば、浮動形磁気ヘッド
において、（１）磁気コア部が高飽和磁束密度の磁性材
料で磁路が形成されているため高密度磁気記録に適して
いる。（２）磁気コア部が浮動部材の側面の溝に埋め込
まれた構造となっているため、機械的強度が強い。
（３）磁気コア部が浮動部材の溝に埋め込まれているの
で、ガラスなどで接合する工程が一回で済むため製造方
法が簡単で量産性に適している。（４）磁気コアが薄膜
形成技術によって形成されるので、高周波特性を良好に
するための多層膜形成、狭いトラック幅を高精度に形成
できる。等の効果がある。
において、（１）磁気コア部が高飽和磁束密度の磁性材
料で磁路が形成されているため高密度磁気記録に適して
いる。（２）磁気コア部が浮動部材の側面の溝に埋め込
まれた構造となっているため、機械的強度が強い。
（３）磁気コア部が浮動部材の溝に埋め込まれているの
で、ガラスなどで接合する工程が一回で済むため製造方
法が簡単で量産性に適している。（４）磁気コアが薄膜
形成技術によって形成されるので、高周波特性を良好に
するための多層膜形成、狭いトラック幅を高精度に形成
できる。等の効果がある。
さらに、本発明によれば10μｍ以下の狭トラックヘッド
も効率よく製造することができる。
も効率よく製造することができる。
これらの効果によって、２種以上の構成材料からなる浮
動形磁気ヘッドが歩留り良く、安価に製造することがで
きる。
動形磁気ヘッドが歩留り良く、安価に製造することがで
きる。
第１図，第２図は本発明の一実施例の浮動形磁気ヘッド
の斜視図、第３図（ａ），（ｂ）および第４図（ａ），
（ｂ）は本発明の実施例の詳細を説明するための平面図
および側面図である。第５図（イ）〜（リ）は本発明の
一実施例の浮動形磁気ヘッド製造工程図、第６図は他の
実施例を説明するための磁気コアブロックの斜視図、第
７図および第８図は他の実施例を説明するための磁気コ
アブロックの斜視図、第９図および第10図は第７図およ
び第８図の磁気コアブロックから形成された浮動形磁気
ヘッドの磁気コア主要部を示す拡大斜視図、第11図およ
び第12図は本発明法による狭トラック磁気ヘッドの磁気
コア主要部を示す拡大斜視図、第13図（ａ），（ｂ）お
よび第14図（ａ），（ｂ）は従来の浮動形磁気ヘッドの
斜視図および主要部拡大図である。30 ……浮動形磁気ヘッド、31,60……浮動部材、32,62…
…浮上滑面、33,33′,61……磁気ヘッドコア、34,34′,
58……磁気ギャップ、35,35′57……コイル巻線窓、36,
36′……コイル、37a,37b,38a,38b……磁気コア半体、5
4,55……磁気コア半体、Tw……トラック幅、Ｔ……浮上
滑面幅、gd……ギャップ深さ。
の斜視図、第３図（ａ），（ｂ）および第４図（ａ），
（ｂ）は本発明の実施例の詳細を説明するための平面図
および側面図である。第５図（イ）〜（リ）は本発明の
一実施例の浮動形磁気ヘッド製造工程図、第６図は他の
実施例を説明するための磁気コアブロックの斜視図、第
７図および第８図は他の実施例を説明するための磁気コ
アブロックの斜視図、第９図および第10図は第７図およ
び第８図の磁気コアブロックから形成された浮動形磁気
ヘッドの磁気コア主要部を示す拡大斜視図、第11図およ
び第12図は本発明法による狭トラック磁気ヘッドの磁気
コア主要部を示す拡大斜視図、第13図（ａ），（ｂ）お
よび第14図（ａ），（ｂ）は従来の浮動形磁気ヘッドの
斜視図および主要部拡大図である。30 ……浮動形磁気ヘッド、31,60……浮動部材、32,62…
…浮上滑面、33,33′,61……磁気ヘッドコア、34,34′,
58……磁気ギャップ、35,35′57……コイル巻線窓、36,
36′……コイル、37a,37b,38a,38b……磁気コア半体、5
4,55……磁気コア半体、Tw……トラック幅、Ｔ……浮上
滑面幅、gd……ギャップ深さ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 斉藤 法利 東京都国分寺市東恋ヶ窪１丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 斉藤 翼生 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所小田原工場内 (72)発明者 桜井 博 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所小田原工場内 (56)参考文献 特開 昭62−270015（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−151427（ＪＰ，Ａ)
Claims (7)
- 【請求項１】空気流によって磁気ディスク上を浮上する
浮動部材の一部に磁気ヘッドコアを有する浮動形磁気ヘ
ッドにおいて、該浮動部材の側面に略磁気コア厚みに相
当する溝を設け、該溝に金属磁性薄膜を形成して磁気コ
アブロックとなし、該磁気ヘッドコアが浮動部材の浮上
滑面の側面に設けられた溝に埋め込まれてなることを特
徴とする浮動形磁気ヘッド。 - 【請求項２】該磁気コアブロックを磁気コア厚み方向に
２分割して、少なくとも一方にコイル巻線用の溝を有
し、非磁性ギャップ材を介して、磁気コア部の端面突き
合せて接合してなることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の浮動形磁気ヘッド。 - 【請求項３】磁気コア部が浮動部材の浮上滑面内に配置
してなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
浮動形磁気ヘッド。 - 【請求項４】磁気コアの端部が磁気ギャップと不平行と
なっていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の浮動形磁気ヘッド。 - 【請求項５】浮動部材に埋め込まれた磁気コアの少なく
とも一方の側面に非磁性材が介在されていることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の浮動形磁気ヘッド。 - 【請求項６】磁気コアの磁気ギャップ近傍部がトラック
幅に相当する絞り構造となっていることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の浮動形磁気ヘッド。 - 【請求項７】ｉ） 工程（イ）：浮動部材となる矩形の
非磁性ブロックからなり、該非磁性ブロックにおいて、
浮動形磁気ヘッドの側面となる部に磁気ヘッドコアのコ
ア厚みが埋め込まれる溝を形成する工程、 ii） 工程（ロ）：工程（イ）で形成された溝に磁気ヘ
ッドコアとなる磁性材料を薄膜形成技術によって堆積す
る工程、 iii） 工程（ハ）：工程（ロ）において形成した磁性
体膜のうち不要部分を除去する工程、 iv） 工程（ニ）：工程（ハ）で得られたブロックを磁
性体膜の略中央部となる部分で膜厚方向に分割し、２個
のコア半体ブロックを形成する工程、 ｖ） 工程（ホ）：工程（ニ）で得られた一対の磁気コ
ア半体の磁気ギャップ対向面の少なくとも一方にコイル
巻線用の溝を形成する工程、磁気ギャップを形成するた
めの所要の非磁性膜を形成する工程、 vi） 工程（ヘ）：前記一対の磁気コア半体のギャップ
突き合せ面を互いに磁気コアとする磁性体膜が合うよう
に突き合せて、加圧、加熱しながら接合一体化する工
程、 vii） 工程（ト）：複数個取りの磁気コアブロックを
切断して個々の磁気コアブロックに分割する工程、 viii） 工程（チ）：前記磁気コアブロックの記録媒体
対向面に所定の浮上滑面を残して空気取り入れ用の溝を
形成する工程、 ix） 工程（リ）：工程（チ）の加工と共に、浮動部と
なる磁気コア半体と磁気ギャップを介して対向するもう
一方の磁気コア半体部に切り欠き溝を設けコイル巻線窓
を露呈する工程、 を含むことを特徴とする浮動形磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61217123A JPH0770036B2 (ja) | 1986-09-17 | 1986-09-17 | 浮動形磁気ヘツドおよびその製造方法 |
| US07/095,751 US4851942A (en) | 1986-09-17 | 1987-09-14 | Floating magnetic head having a magnetic core buried in a channel on an air bearing rail |
| DE19873731283 DE3731283A1 (de) | 1986-09-17 | 1987-09-17 | Schwimmender magnetkopf und herstellungsverfahren dafuer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61217123A JPH0770036B2 (ja) | 1986-09-17 | 1986-09-17 | 浮動形磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6374115A JPS6374115A (ja) | 1988-04-04 |
| JPH0770036B2 true JPH0770036B2 (ja) | 1995-07-31 |
Family
ID=16699212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61217123A Expired - Lifetime JPH0770036B2 (ja) | 1986-09-17 | 1986-09-17 | 浮動形磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4851942A (ja) |
| JP (1) | JPH0770036B2 (ja) |
| DE (1) | DE3731283A1 (ja) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0719459B2 (ja) * | 1987-12-03 | 1995-03-06 | 日立金属株式会社 | 浮動型磁気ヘッド |
| US5170301A (en) * | 1988-08-03 | 1992-12-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic head having core parts joined by low-melting point crystallized glass with composite gap |
| US5010429A (en) * | 1988-11-22 | 1991-04-23 | Hitachi Metals, Ltd. | Floating magnetic head having improved static friction coefficient |
| US4945434A (en) * | 1988-12-05 | 1990-07-31 | Maxtor Corporation | Magnetic recording head employing an I-bar core structure |
| JPH0719460B2 (ja) * | 1989-03-16 | 1995-03-06 | ティーディーケイ株式会社 | 浮動型磁気ヘッド |
| US5150338A (en) * | 1989-08-10 | 1992-09-22 | Hewlett-Packard Company | Optical disk reading and writing system having magnetic write head mounted on an air-bearing slider |
| US5020213A (en) * | 1989-12-14 | 1991-06-04 | Applied Magnetics Corporation | Method of producing a head core slider |
| US5168407A (en) * | 1990-03-26 | 1992-12-01 | Nippon Mining Company, Ltd. | Flying magnetic head |
| US5343343A (en) * | 1990-05-25 | 1994-08-30 | Seagate Technology, Inc. | Air bearing slider with relieved rail ends |
| JPH0770035B2 (ja) * | 1990-11-22 | 1995-07-31 | 松下電器産業株式会社 | 浮動型磁気ヘッド |
| US5267107A (en) * | 1991-06-28 | 1993-11-30 | Seagate Technology, Inc. | Laminated magnetic transducer |
| JPH0714115A (ja) * | 1993-06-28 | 1995-01-17 | Ngk Insulators Ltd | 磁気ヘッド用コア |
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-
1986
- 1986-09-17 JP JP61217123A patent/JPH0770036B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1987
- 1987-09-14 US US07/095,751 patent/US4851942A/en not_active Expired - Fee Related
- 1987-09-17 DE DE19873731283 patent/DE3731283A1/de active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3731283A1 (de) | 1988-04-07 |
| DE3731283C2 (ja) | 1989-09-21 |
| JPS6374115A (ja) | 1988-04-04 |
| US4851942A (en) | 1989-07-25 |
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