JPH025295A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH025295A
JPH025295A JP63154213A JP15421388A JPH025295A JP H025295 A JPH025295 A JP H025295A JP 63154213 A JP63154213 A JP 63154213A JP 15421388 A JP15421388 A JP 15421388A JP H025295 A JPH025295 A JP H025295A
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JP
Japan
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transistor
level
potential
circuit
writing
Prior art date
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Pending
Application number
JP63154213A
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English (en)
Inventor
Yasuhisa Sugao
菅生 靖久
Mitsuya Kawada
川田 充哉
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Publication of JPH025295A publication Critical patent/JPH025295A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔目次〕 概要 産業上の利用分野 従来の技術       (第5〜7図)発明が解決し
ようとする課題 課題を解決するための手段 作用 実施例 (1)本発明の第1実施例 (第1.2図)(2)本発
明の第2実施例 (第3図)(3)本発明の第3実施例
 (第4図)発明の効果 〔概要〕 半導体記憶装置に関し、 データ処理の高速性を維持しつつ、書込動作終7後の出
力グリソジ杏防止することのできる多ビット構成の半導
体記憶装置を提供することを目的とし、 ワード線とビット線によって選択可能な多数のバイポー
ラ型のメモリセルを格子状に配置し、各ビット線にデー
タの書込み/読出しを制御する制御トランジスタを介挿
し、該制御トランジスタは、データをメモリセルに書込
むとき該メモリセルに接続される選択されたビット線対
の電位を制御するものであって、データを書込むとき、
所定の書込回路により前記制御トランジスタの入力レベ
ルを読出し時の電位に比べて一方を高レベルとし、他方
を低レベルとする半導体記憶装置において、前記書込回
路は、書込動作の終了前における所定のタイミングで前
記高レベルに設定された一方の入力レベルを読出し時の
電位に戻すように構成する。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体記憶装置に係り、詳しくはバイポーラ
RAMに適用され、書込回路の改良を図った半導体記憶
装置に関する。
バイポーラRAMは高速動作するため、大型計算機のバ
ッファ装置などに利用されているが、近年増々高速化・
大容量化が要求されている。このため、最新のリソグラ
フィー技術等を用いて素子の微細化が進められているが
、回路的にもRAMと周辺ロジック部とを同一チップに
搭載する等の対策が採られている。また、システムの高
速化を図るためには一度に大量のデータを処理する必要
があるため、メモリの構成を多ビット化することも必要
である。
〔従来の技術〕
従来のバイポーラRAMとしては、例えば第5図に示す
ようなものが知られている。第5図はバイポーラRAM
のセルの周辺を示す回路図であり、この図において、1
a、1b、2a12bはワード線、3a、3b、4a、
4bはビット線である。
なお、このようなワード線対およびビット線対は多数設
けられているが、第5図では2対ずつを示している。
ワード線1a、■b、2a、2bおよびビット線3a、
3b、4a、4bによって区画される格子状の部分には
メモリセル5〜8が配置されており、そのうち1つのメ
モリセル5についてのみ回路が示されている。メモリセ
ル5は現在主流となっているダイオードクランプ形マル
チエミッタメモリセルと称されるもので、トランジスタ
9.10、ショットキーバリアダイオード11.12お
よび抵抗13.14により構成される。メモリセル5は
ワード線1aの電位によって行方向の選択、非選択が行
われ、例えば−〇、8■で選択、−1,7Vで非選択と
なるようなレベルに設定される。
一方、列方向の選択はビット線選択信号B1がトランジ
スタ15.16のベースに印加されると行われ、これに
より、電流源17.18がビットvA3 a 。
3bにそれぞれ接続される。なお、電流源17.18は
電源v□に接続され、Vtt=  5.2 V、GND
=0■である。非選択のビット線4a、4bにも同様に
トランジスタ19.20が介挿され、ビット線選択信号
B2が印加可能になっている。
読出し時には書込回路21から中間レベル(例えば−1
,2vで読出し時の電位に相当する)の電圧がR/W)
ランリスタ(読み出し/書込み制御用トランジスタ)2
2.23のベースに印加される。いま、メモリセル5の
トランジスタ10がオン、トランジスタ9がオフしてい
る場合、トランジスタ10とR/W)ランリスタ22お
よびトランジスタ9とR/W)ランリスタ23とでそれ
ぞれECL回路を構成し、ベース電位の最も高いトラン
ジスタに電流が流れるから、電流alX17による電流
源電流IRいはトランジスタ10から流れ、−万雷流源
18による電流源電流11W′はR/W)ランリスタ2
3から流れる。トランジスタ15の記憶内容の検出は抵
抗24.25の電位ドロップに基づいて行われる。すな
わち、トランジスタ10がオン、トランジスタ9がオフ
している上述の例であれば、抵抗24には電位ドロップ
が発生しないが、抵抗25には抵抗値XIIIW′なる
電位ドロップが発生する。この電圧はセンス増幅器26
により増幅され、読出しデータとして取り出される。
次に、書込み時には一方のR/Wl−ランリスタ22の
ベース電位を中間レベルから高レベルに移し、他方のR
/Wトランジスタ23のベース電位を低レベルに設定す
ることで書込み動作が可能となる。
この設定によりR/W)ランリスタ23よりトランジス
タ90ベース電位の方が高くなるので、R/Wトランジ
スタ23に流れていた電流源電流1+iwがトランジス
タ9に切り換わる。したがって、トランジスタ9のコレ
クタ電位が引き下げられ、トランジスタ10はオンから
オフ状態に変化する。その後、R/Wl−ランリスタ2
2.23のベース電位を読出しレベル(中間レベル)に
戻しても、トランジスタ9.10のベースのコレクタが
交差接続されているので、新しい情報が保持され、書込
み動作が完了する。なお、他のビット線4a、4bに連
なるメモリセル6.8等についても同様の動作が行われ
、ピッl−4i14a、4bにはR/W)ランリスタ2
7.28がそれぞれ介挿されている。
ここで、256ビツl−のRAMを単位として考えた場
合、X:Y(7)比は256xlのときは16X16.
256X4のときは32X 8.256 X 8以上に
なると64×4という構成になる。この場合、ビット線
にはXの数だけメモリセルのエミッタが接続されること
になり、R/Wl−ランリスタの負荷は多ビツト構成に
なる程大きくなる。一方、書込回路21の出力はR/W
l−ランリスタのベースが負荷となるので、多ビツト構
成になる程小さくなる。
第6図は書込回路21の一例を示す図である。この図に
おいて、書込回路21はトランジスタ31〜37、電流
源38〜41および抵抗42〜44により構成され、使
用される信号W、D、D、Vrefの電位レベルは第7
図(a)のようになっている。
読出し時にライトイネイブル信号WがW−“H”に設定
されると、エミッタが共通接続された3つのトランジス
タ33〜35のうちトランジスタ35のみがオンして電
流源40による電流は抵抗42からトランジスタ35を
通って流れる一方、電流源41による電流はトランジス
タ36を通って流れる。このため、抵抗43.44には
電位ドロップが生せず、したがって、同一レベル(中間
レベルに相当)の電位がエミフタホロクのトランジスタ
31.32を介し2つの出力としてそれぞれ取り出され
、前述したR/Wトランジスタ22.23にそれぞれ供
給される。このとき、書込回路21の出力波形は第7図
(b)のように示され、中間レベルとなる。
一方、書込み時はデータ信号り、Dに所定のデータに対
応するレベルが加えられ、W=“L”に設定される。こ
のため、書込みのデータ信号D、Dに従ってトランジス
タ33.34の何れがオンとなる。例えば、第7図(a
)のようにDが低レベル、Dが高レベルの場合であれば
、トランジスタ34がオン、トランジスタ33がオフし
て電流源40による電流は抵抗42、抵抗44を介しト
ランジスタ34を通して流れる。一方、電流源41によ
る電流はトランジスタ37がオンするため、このトラン
ジスタ37を通して流れる。したがって、抵抗43.4
4の間に電位差が生じ、これがそれぞれトランジスタ3
1.32を介して出力として取り出され、その出力レベ
ルは第7図(b)のように示され、一方の出力信号は中
間レベルに対して高レベル(例えば、−1,OV)、他
方の出力信号は中間レベル(−1,2V)に対して低レ
ベル(例えば、−1,8V)となる。
そして、このようにレベルの異なる出力信号が第5図に
示すR/Wトランジスタ22.23のベースに印加され
、前述した書込動作が行われる。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、このような従来のバイポーラRAMにあ
っては、書込回路の出力レベルが書込みレベルから読出
しレベル(中間レベル)に戻るときに、メモリセルが多
ビツト構成(例えばX:Y=64X4のとき)であれば
、書込回路の出力側につく負荷は4個であるが、R/W
1ランジスタのエミッタ側につく負荷が64個となって
両者の負荷がアンバランスとなる。このため、R/Wト
ランジスタのベース電位の下がり方に対して、エミッタ
電位の下がり方が遅くなり、−時的にR/W)ランリス
タがカットオフされてコレクタ電流が減少する。この場
合、RAMの出力はこのR/Wl−ランリスタのコレク
タ電流を検出しているので、上記カットオフの時間幅だ
け出力波形にグリッジを生ずるという問題点があった。
ここに、グリッジとは出力波形にいわゆるヒゲが突出し
て、これがスレシホールドレベルを越える等してノイズ
となることであり、例えば本来的には“L”の出力であ
るにも拘らず一時的に“1■”の論理が現れるという不
具合が生じる。
なお、多ビツト構成であっても、例えば64 X 64
のようにX:Yが等しくいわゆる正方形に近いよっなセ
ル配列であれば、上記再負荷のアンバランスが生せず、
グリッジの発生には到らない。したがって、セルの配列
を長方形のようにしたときグリッジの問題が顕著なもの
となる。これを解決するためには、例えばデータの処理
タイム(サイクルタイム)を長くすることも考えられる
が、これでは近時の高速性の要求に反することとなり、
妥当でない。
そこで本発明は、データ処理の高速性を維持しつつ、壽
込動作終了後の出力グリッジを防止することのできる多
ビツト構成の半導体記憶装置を提供することを目的とし
ている。
〔課題を解決するための手段〕
本発明による半導体記憶装置は上記目的達成のため、ワ
ード線とビット線によって選択可能な多数のバイポーラ
型のメモリセルを格子状に配置し、各ビット線にデータ
の書込み/読出しを制御する制御トランジスタを介挿し
、該制御トランジスタは、データをメモリセルに書込む
とき該メモリセルに接続される選択されたビット線対の
電位を制御するものであって、データを書込むとき、所
定のV込回路により前記制御トランジスタの入力レベル
を読出し時の電位に比べて一方を高レベルとし、他方を
低レベルとする半導体記憶装置において、前記書込回路
は、書込動作の終了前における所定のタイミングで前記
高レベルに設定された一方の人力レベルを読出し時の電
位に戻すように構成されている。
〔作用〕
本発明では、書込動作の終了前における所定タイミング
で書込回路の出力信号のうち高レベルに設定された1つ
が読出し時の電位に戻されてビット線対に介挿された制
御トランジスタ(R/Wトランジスタ)に供給される。
したがって、書込み動作終了時に一時的にR/Wトラン
ジスタがオフ状態になることがなく、データ出力波形の
グリッジが有効に防止される。
〔実施例〕
・以下、本発明を図面に基づいて説明する。
第1.2図は本発明に係る半導体記憶装置の1実施例を
示す図である。本発明はバイポーラRAMに適用される
ものであるが、RAM周辺回路のうち本実施例では書込
回路に特徴があるため、書込回路について十分に開示し
、その他の構成は第5図に示した従来例と同様であるた
め、省略する。
第1図はバイポーラRAMに適用される書込回路を示す
回路図であり、この図において、書込回路50はトラン
ジスタ51〜56、抵抗57〜59、電流源60〜61
、遅延回路62およびインバータ63によす構成される
。トランジスタ51.52のベースにはデータ信号り、
Dがそれぞれ供給され、トランジスタ51〜53の各エ
ミッタは共通接続されてECL回路を構成して電流源6
0に接続、トランジスタ51.52の各コレクタ側から
出力が取り出される。また、トランジスタ54〜56の
各エミッタも同様に共通接続されてECL回路を構成し
て電流源61に接続され、トランジスタ53.54のベ
ースにはライトイネイブル信号Wが、トランジスタ55
のベースには基準電圧Vre(が、さらにトランジスタ
56のベースには遅延回路62およびインバータ63を
介してライトイネイブル信号Wが供給される。遅延回路
62はライトイネイブル信号Wを所定時間だけ遅延させ
て次段に伝達するもので、遅延時間は予め適切な値(グ
リッジを生じない値)に設定され、これは実験等により
求められる。各信号り、D、W、Vrefの電位関係は
第7図(a)に示すものと同様である。
なお、本実施例ではトランジスタ51.52のコレクタ
電流をそのまま出力として取り出しているが、この後に
従来例と同様に1段のエミッタホロワ増幅器を介挿して
外部に取り出すようにしてもよい。
以上の構成において、読出し時にライトイネイブル信号
WをW=″H″にすると、トランジスタ53がオンして
電流源60による電流■、はトランジスタ53のみを通
り、オフ状態にあるトランジスタ51.52を通らない
ため、抵抗58.59に電位ドロップが生ぜず、出力の
レベルは従来例と同様に何れも中間レベルとして出力さ
れる。また、同時にW=″H”によりトランジスタ54
がオンして電流源61による電流I2はトランジスタ5
4を通って流れる。これにより、抵抗57にはIl +
I2なる電流が流れることになる。なお、トランジスタ
56のベースにはインバータ63を介してW−“L”の
信号が供給されるため、トランジスタ56はオフとなっ
ている。したがって、以後、従来例と同様にメモリセル
からのデータ読出しが行われる。
次に、書込み時にライトイネイブル信号WをW−L″に
すると、直ちにトランジスタ53がオフとなり、データ
信号り、Dのレベルに従ってトランジスタ51.52の
何れかがオンとなる。
例えば、Dが低レベル、Dが高レベルの場合であれば、
トランジスタ52がオン、トランジスタ51がオフとな
り、電流源60による電流1.は抵抗57、抵抗59を
介しトランジスタ52を通して流れる。このとき、W=
“L”になった直後から遅延回路62によって決まる所
定の遅延時間の間はトランジスタ56のベースに11”
レベルが印加されないため、トランジスタ55のみがオ
ンとなり電流源61の電流I2はGND (グランド)
から流れて抵抗57を通過しない。したがって、書込み
動作の初期(書込開始から遅延時間の間を指す。以下、
書込初期という)では抵抗57には電流■、のみが流れ
、その電圧ドロップは 1、XR。
但し、R1:抵抗57の抵抗値 という値になる。その結果、第2図に書込回路50の出
力波形を示すように、一方の出力電圧は書込初期では中
間レベルに対してI、XR,という値だけ高い高レベル
になり、他方の出力電圧は低レベルとなる。
次いで、上記遅延時間が経過すると(以下、書込後期と
いう)、ライトイネイブル信号Wがインバータ63によ
り反転されW=“H”の状態でトランジスタ56のベー
スに印加される。このとき、“H”>Vrefの関係に
あるから、トランジスタ55がオフすると同時にトラン
ジスタ56がオンして抵抗57を電流I2が流れるよう
になり、抵抗57の電圧ドロップは(1,+I、)xR
,となる。したがって、抵抗57の電圧ドロップが読出
し時と同様になり、一方の出力電圧のみは第2図に示す
ように中間レベル(読出しレベル)に低下する。その後
、ライトイネイブル信号Wが”H”レベルに復帰すると
、両方の出力信号が共に再び中間レベルとなる。
以上のことから、本実施例では、仮にセル配列がX :
 Y=64X 4のような長方形の多ビツト構成であっ
ても、書込後期になると直ちにR/Wトランジスタのベ
ース電位が下げられることとなるので、書込み動作終了
時にR/Wトランジスタがオフすることがなく、出力波
形のグリッジが有効に防止される。したがって、サイク
ルタイムを長くする必要は全くなく、データ処理の高速
化の要求を満たしつつ、多ビット化の要請に答えること
ができる。
第3図は本発明に係る半導体記憶装置の第2実施例を示
す図であり、書込回路70を示している。
第3図において、書込回路70はトランジスタ71〜7
6、抵抗77〜80、電流源81.82、ダイオード8
3.84、遅延回路85およびインバータ86により構
成され、第1実施例同様の各信号は図示の位置に供給さ
れる。書込み時にW=“L”になると、書込初期は、ま
ず、]・ランジスタフ5がオフして1−ランジスタフ4
.76がデータ信号り、Dに従ってそれぞれオン、オフ
し、電流源82による電流I、が流れる。
このとき、同時にトランジスタ73がオフ、トランジス
タ71がオンとなり、電流源81による電流I2はl・
ランジスタフ1を通して流れる。したがって、トランジ
スタ74あるいはトランジスタ75のオンに伴う電流■
1は抵抗78あるいは抵抗79を流れるが、電流■2は
これらの抵抗78.79を流れない。次いで、書込後期
になると、インバータ86から“H”レベルの信号が出
力されてトランジスタ72のベースに印加されるため、
電流■2がトランジスタ72を通して流れることとなり
、このとき該電流■2は抵抗78およびダイオード83
を介するルートと抵抗79およびダイオード84を介す
るルートの2つに分流して流れる。したがって、第1実
施例の場合と同様に抵抗78あるいは抵抗79を流れる
電流は何れか1つくトランジスタ74、トランジスタ7
5のうちオン状態にあるものに対応する)が(II  
+12)となるため、第2図の波形と同様になる。その
結果、第1実施例と同様の効果が得られる。
第4図は本発明に係る半導体記憶装置の第3実施例を示
す図であり、書込回路90を示している。
第4図に示す書込回路90において、第1図に示した回
路素子と同一構成部分には同一番号を符して示し、配置
等が異なる部分には新たな番号を符して説明する。書込
回路90は、異なる部分としてトランジスタ91.92
、ダイオード93.94、電流源95、遅延回路96お
よびインバータ97を含んで構成され、第1実施例同様
の各信号は図示の位置に供給される。書込初期にW=“
L”になると、トランジスタ53がオフしデータ信号り
、Dのレベルに従って1−ランリスタ51.52の何れ
かがオンとなり電流11が抵抗57を通して流れる。こ
のとき、同時に1−ランリスタ55がオンとなり、電流
I2が流れる。また、トランジスタ91は遅延回路96
があるため、直ちにオンとならず、電流源95による電
流I、はトランジスタ92がオンとなって流れている。
次いで、書込後期になると、遅延回路96の出力が“H
″に反転してトランジスタ91がオン、トランジスタ9
2がオフとなり、電流■3はトランジスタ91を通して
流れるようになる。このため、トランジスタ51又はト
ランジスタ52のうち何れか高い方の電位がダイオード
93又は94を介してトランジスタ91から抜けるよう
になり、結局、電流I、が抵抗57を流れて■、に加算
されることとなる。したがって、書込回路90の出力波
形は第2図に示した場合と同様になり、前記実施例と同
様の効果を得ることができる。
〔効果〕
本発明によれば、サイクルタイムを長くすることなく書
込動作終了後の出力グリフジを防止することができ、デ
ータ処理の高速性を維持しつつ、多ビツト構成のバイポ
ーラRAMを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1.2は本発明に係る半導体記憶装置の第1実施例を
示す図であり、 第1図はその書込回路の回路図、 第2図はその書込回路の出力波形を示す図、第3図は本
発明に係る半導体記憶装置の第2実施例を示すその書込
回路の回路図、 第4図は本発明に係る半導体記憶装置の第3実施例を示
すその書込回路の回路図、 第5〜7図は従来のバイポーラRAMを示す図であり、 第5図はその要部回路図、 第6図はその書込回路の回路図、 第7図(a)(b)はその書込回路の作用を説明する信
号波形図である。 la、lb、2a 、  2b−−−−・−ワード線、
3 as  3 bx  4 a14 b””・・ビッ
ト線、5〜8・・・・・・メモリセル、 21・・・・・・書込回路、 22.23.27.28・・・・・・R/Wトランジス
タ(制御トランジスタ)、 50.70.90・・・・・・書込回路、51〜56.
71〜76.91〜92・・・・・・トランジスタ、5
7〜59.77〜80・・・・・・抵抗、60.61.
81.82.95・・・・・・電流源、62.85.9
6・・・・・・遅延回路、63.86.97・・・・・
・インバータ。 第1 v)j4jの害込回路の二が及形Σ示7囚第2図 ンレrミ来QJtLさ>rAゴ51シー(リイロ巨11
ゴ菟説し目で1シイ場シさfヲ*−W≧C配置第7図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 ワード線とビット線によって選択可能な多数のバイポー
    ラ型のメモリセルを格子状に配置し、各ビット線にデー
    タの書込み/読出しを制御する制御トランジスタを介挿
    し、 該制御トランジスタは、データをメモリセルに書込むと
    き該メモリセルに接続される選択されたビット線対の電
    位を制御するものであって、データを書込むとき、所定
    の書込回路により前記制御トランジスタの入力レベルを
    読出し時の電位に比べて一方を高レベルとし、他方を低
    レベルとする半導体記憶装置において、 前記書込回路は、書込動作の終了前における所定のタイ
    ミングで前記高レベルに設定された一方の入力レベルを
    読出し時の電位に戻すように構成されていることを特徴
    とする半導体記憶装置。
JP63154213A 1988-06-22 1988-06-22 半導体記憶装置 Pending JPH025295A (ja)

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JP63154213A JPH025295A (ja) 1988-06-22 1988-06-22 半導体記憶装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7763553B2 (en) 2007-02-06 2010-07-27 Kabushiki Kaisha Toshiba Manufacturing method of semiconductor device subjected to heat treatment by use of optical heating apparatus

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7763553B2 (en) 2007-02-06 2010-07-27 Kabushiki Kaisha Toshiba Manufacturing method of semiconductor device subjected to heat treatment by use of optical heating apparatus

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