JPH0252984A - 加熱装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は２例えば、キャリアに搭載されたＬＳＩパッケ
ージをＮ２零囲気下にて加熱処理する際に使用される加
熱装置に関する。

（従来の技術） 例えばキャリアに搭載されたＬＳＩパッケージを、Ｎｚ
零囲気下で加熱処理する従来の加熱装置の一例を第５図
に示す。該加熱装置は、いわゆるハツチ式であり、熱源
室７１内の熱源にて内部が所定温度に加熱された加熱室
内に、被加熱物６０を収容して加熱処理される。被加熱
物６０は、加熱室７２の出入口に設けられた開閉扉７３
を開閉操作することにより、加熱室７２に出し入れされ
る。

このような加熱装置は、加熱室７２内の加熱された被加
熱物６０を新に加熱すべき被加熱物と交換する際には、
−旦、加熱室７２内の加熱された被加熱物６０を取り出
した後に、加熱すべき被加熱物６０を加熱室７２内へ挿
入しなければならず９作業性が悪い。また、加熱室７２
内では多数の被加熱物６０が収容されるが、加熱室７２
内の温度分布を均一にすることは困難であり、被加熱物
６０の加熱室７２における位置により被加熱物６０の加
熱状態に差が生じるおそれがある。このため、加熱室７
２内の加熱効率の悪い位置に収容された被加熱物６０を
、所定の加熱状態となるように加熱すれば、加熱効率の
良好な位置に収容された被加熱物６０が過加熱されてし
まうおそれがある。

このようなバッチ式の加熱装置に対し、ベルト搬送式加
熱装置も知られている。該加熱装置は。

第６図に示すように、ベルト搬送装置８１の搬送域内に
加熱室８２が設けられており、該ベルト搬送装置８１に
より、被加熱物６０が加熱室８２内を通過される。

（発明が解決しようとする課題） このような加熱装置では、ベルト搬送装置８１は。

プーリ８１ｂにベルト８１ａが巻掛けられている。該ヘ
ルド搬送装置８１は、該ベルｔ−８１ａが周回移動され
るが、該ベルト８１ａは周回移動する際に振動しやすく
、該ベル）８１ａ上に載置される被加熱物６０が振動す
るおそれがある。このため、加熱中ば静止状態が要求さ
れる半導体素子等の被加熱物６０では、ベルト搬送装置
８１にて被加熱物６０を搬送しつつ加熱することができ
ない。また、ベルト搬送装置８１は、プーリ８１ｂとの
摩擦伝導によりベルトが周回移動されるため、プーリ８
１ｂとベルｌ−８１ａとの摩擦により粉塵が発生しやす
い。特に、ベルト８１ａは加熱室８２内で、加熱される
ため１通常、耐熱性に優れた金属網が使用されるが、該
金属網は。

プーリ８１ｂとの摩擦により粉塵が発生しやすく加熱室
８２の周囲が汚染される。ヘルド搬送装置８１を用いた
加熱装置では１通常、加熱室８２内の被加熱物６０導入
部および導出部が開放されているため。

該粉塵等により加熱室８２内が汚染されやすい。

さらに、該加熱装置では、ベルト搬送装置８１において
、耐熱性に優れた金属網等のベルト旧ａを周回移動させ
るためには駆動装置が大型化するという問題もある。

本発明は上記従来の問題を解決するものでありその目的
は、簡潔な構成で、被加熱物を加熱室内へ振動させるこ
となく搬送することができ、また。

加熱室内を清浄に保持することができ、さらには。

被加熱物を均一に加熱し得る加熱装置を提供することに
ある。

（課題を解決するための手段） 本発明の加熱装置は、内部が所定温度に加熱されており
、該加熱室内を被加熱物が通過するように、被加熱物の
導入口および導出口を有する加熱室と、該加熱室内を通
過する被加熱物が載置されるように該加熱室の内部およ
び外部に配設された被加熱物載置台と、該被加熱物載置
台上面からの出没および被加熱の搬送方向への往復搬送
可能であり、該被加熱物！！置台上の所定位置に載置さ
れた被加熱物を該被加熱載置台上の所定距離離れた位置
に移載するべく駆動される移送台と、　前記加熱室の導
入口および導出口を、該移送台の駆動に同期してそれぞ
れ開閉する導入扉および導出扉期してそれぞれ開閉する
導入扉および導出層と。

を具備してなり、そのことにより上記目的が達成される
。

（実施例） 以下に本発明を実施例について説明する。本発明の加熱
装置は、第１図に示すように、加熱室１゜を有する。該
加熱室１０は、第１加熱部１１と第２加熱部１２の２室
に分割されており、それぞれの加熱部１１および１２は
断熱材１０ａで覆われている。各加熱部１１および１２
は下部にヒーター等の加熱源が配設されており、該加熱
源にて加熱されたＮ２零囲気が、ファンにより各加熱部
１１および１２内に循環されるようになっている。加熱
室１０の各加熱部１１および１２内は、該加熱室１０外
部の大気圧よりも常時高圧に維持されている。

各加熱部１１および１２には連通口１３にて連通されて
いる。一方の加熱部１１には９例えばキャリアに搭載さ
れたＬＳＩパンケージを収容したラック等の被加熱物６
０が該加熱部１１内に導入するための導入口１１ａが設
けられており、他方の加熱部Ｉ２には該加熱物を導出す
るための導出口１２ａが設けられている。これら導入口
１１ａ、導出口１２ａおよび連通口１３は、−直線上に
位置している。

導入口１１ａには、昇降可能な導入扉１４が設けられて
おり該導入扉１４の下方には、該導入扉１４を昇降駆動
する開閉用エアーシリンダ１５が配設されている。該開
閉用エアーシリンダ■５のピストンロッドには、第３図
（イ）に示すように上部が二俣状になった連結杆１６の
下端部が連結されており、上部の二俣状に別れた各上端
部には導入扉１４の各側部が取付られている。そして、
該開閉用エアーシリンダ１５により、導入扉１４が昇降
されて導入口１１ａが開閉される。

導出口１２ａにも昇降可能な導出扉１７が配設されてお
り、該導出扉１７も、第１図に示すように、その下方に
設けられた開閉用エアーシリンダ１８の駆動により、連
結杆１９を介して昇降されて、該導出口１２が開閉され
る。

一方の加熱室１１内には、第２図に示すように導入口１
１ａと、連通口１３との間にわたって架設された３本の
平行な角形パイプ２１ａでなる被加熱物載置台２１が配
設されている。各角形パイプ２１ａの上面は等しい高さ
となっている。また、他方の加熱室１２内には、連通口
１３と導出口２１ａとの間にわたって、架設された３本
の角形パイプ２２ａでなる被加熱物載置台２２が配設さ
れている。該載置台２２の各角形パイプ２２ａは前記載
置台２１の各角形パイプ２１ａとはそれぞれ直線状にな
っている。該載置台２２の各角形パイプ２２ａ上面は前
記角形パイプ２１ａの上面と等しい高さになっている。

加熱部１１の外部には、導入口１１ａを挟んで、搬入側
の被加熱物Ｒ置台２３が配設されている。該載置台２３
は、該加熱部１１内の載置台２１における幅方向の外側
に位置する各角形パイプ２１ａおよび２１ａとはそれぞ
れ直線状に並列された２本の角形パイプ２３ａおよび２
３ａでなる。また、加熱部１２の外部には、導出口１２
ａを挟んで搬出側の被加熱物載置台２４が配設されてい
る。該載置台２４は、該加熱部１２内の載置台２２にお
ける幅方向の外側に位置ず角形パイプ２２ａおよび２２
ａとそれぞれ直線状に並設された２本の各形パイプ２４
ａおよび２４ａでなる。

これらの載置台２３および２４の各角形パイプ２３ａお
よび２４ａの上面も、前記各載置台２１および２２の各
角形パイプ２１ａおよび２２ａの上面と同一のと高さと
なっている。各載置台２３．２１　、２２．２４には、
被加熱部６０が順次載置される。

加熱室ＩＯ内には、各加熱部１１および１２を挿通する
一対の角形パイプ３１ａおよび３１ａでなる加熱室用移
送台３１が配設されている。該加熱室用移送台３１の各
角形パイプ３１ａは、各加熱部１１および１２内に配設
された載置台２１および２２の角形パイプ２１ａ問およ
び２２ａ間に各角形パイプ２１ａおよび２２ａとは平行
に配設されており、それぞれの各端部は。

導入口１１ａおよび導出口１２ａより延出している。

該加熱室用移送台３１の角形パイプ３１ａは、同期して
昇降し得ると共に、同期して被加熱物６０の搬送方向に
移動し得る。該移送台３１の各角形パイプ３１ａの上面
は、各端部を除いて、最も下降した状態で、載置台２１
および２２の角形パイプ２１ａおよび２２ａの上面より
下方へ没入した状態となる。該移送台３１の角形パイプ
３１ａにおける各端部の上面は。

この各端部を除く中央部よりも下方に位置している。そ
して、この各端部を除く中央部が被加熱物の載置部とな
っている。

加熱室１０の導入口１１ａより延出する該加熱室用移送
台３１の各角形パイプ３１ａにおけるそれぞれの端部は
、第３図（ロ）に示すように、水平状の連結板３２に連
結されており、該連結板３２が昇降用エアシリンダ３３
のピストンロッドに連結されている。

そして、該昇降用エアーシリンダ３３により連結板２２
が昇降されて、各角形パイプ３１ａの端部が一体的に昇
降される。該移送台３１における角形パイプ３１ａの導
出口１２ａから延出する端部も、第１図に示すように、
水平状の連結板３２にて連結されており、該連結板３２
が昇降用エアーシリンダ３３により昇降される。

各角形パイプ３１ａの端部をそれぞれ昇降させる各昇降
用エアーシリンダ３３および３３は、同期して駆動され
るが、各角形バイブ３１ａ端部の昇降の同期を一層確実
にするために、一方の角形パイプ３１ａの各端部にピニ
オンギヤ３６がそれぞれ設けられ各角形パイプ３１ａの
端部を昇降させるエアーシリンダ３３および３３がそれ
ぞれ取付られた支持台３４上に、各ピニオンギヤ３６と
噛合するラック３７が鉛直上にそれぞれ配設されている
。そして、各エアーシリンダ３３および３３による各角
形パイプ３１ａの昇降時には、各ピニオンギヤ３６がラ
ック３７上を転接することにより、各角形パイプ３１ａ
のそれぞれの端部が同期して昇降される。

加熱室１１から延出した移送台３１の各角形パイプ３１
ａを昇降させる昇降エアーシリンダ３３および３３は角
形パイプ３１ａの長手方向、すなわち被加熱物６０の搬
送方向に沿って搬送し得るように配設されている。

加熱室１０の導入口ＩＬａから延出した角形パイプ３１
ａの端部を昇降させる昇降用エアーシリンダ３３は支持
台３４に取付られており、該支持台３４は、−対の摺動
ブロック４１および４１に支持されている。

そして、各摺動ブロック４１は角形パイプ３１ａと平行
に架設された一対のガイド杆４２にそれぞれ摺動可能に
外嵌されている。各角形パイプ３１ａの他方の端部を昇
降させる昇降用エアーシリンダ３３の支持台３４も、同
様に、第１図に示すように、一対の摺動ブロック４１に
支持されており、各摺動ブロック４１が一対のガイド杆
にそれぞれ摺動可能に外嵌されている。

加熱室１０の導入口１１ａ側に位置する摺動ブロック４
１は、その下方に配設されたロッドレスタイプの搬送用
エアーシリンダ４５により被加熱物６０の搬送方向に往
復移動される。該ロッドレスタイプの搬送用エアーシリ
ンダ４５は２本体部４５ａが被加熱物の搬送方向と平行
に架設されたシリンダチューブ４５ｂに沿って移動され
る。該本体部４５ａは各摺動ブロック４１に取付けられ
ており、該本体部４５ａがシリンダーチューブ４５ｂに
沿って往復移動することにより、各摺動ブロック４１が
被加熱物の搬送方向へ平行に往復移動する。これにより
、角形パイプ３１ａの端部昇降用エアーシリンダ３３が
被加熱物搬送方向とは平行に往復移動され、角形パイプ
３１ａが被加熱搬送方向に往復移動される。そして。

該搬送用エアーシリンダ４５の本体部４５ａが往復移動
されることにより、角形パイプ３１ａは、その被加熱部
載置部の各端部が加熱室１０外に位置される。

加熱室１０の導入口１１ａ側の外部に配設された搬入側
被加熱物載置台２３内には、ｓ大検送台５１が配設され
ている。該搬入移送台５１は、一対の平板５１ａおよび
５１ａを有し、各平板５１ａが、載置台２３の各角形パ
イプ２３ａと移送台３１の各角形パイプ３１ａとの間に
、それぞれの角形パイプ２３ａおよび３１ａに沿って鉛
直状に配設されている。該搬入移送台５１は、前記加熱
室用移送台３１と同様に、昇降および被加熱物搬送方向
への往復移動可能である。

該搬入移送台５１の各平板５１ａの上面は、最も下降し
た状態で被加熱物載置台２３の各角形パイプ２３ａ上面
より下方へ没入した状態となる。

該搬入移送台５１の各平板５１ａは、前記移送台３１の
昇降用エアーシリンダ３３および搬送用エアーシリンダ
４５の各側方を通って、該搬送用エアーシリンダ４５の
下方にまで達している。そして、該搬送用エアーシリン
ダ４５の下方に配設された昇降用エアーシリンダ５２に
より各平板５１ａが昇降される。

該昇降用エアーシリンダ５２の下方にはロッドレスタイ
プの搬送用エアーシリンダ５３が配設されており、該搬
送用エアーシリンダ５３にて、平板５１ａが被加熱物搬
送方向に往復移動される。該搬送用エアーシリンダ５３
の移動ストロークは、前記移送台３１の搬送用エアーシ
リンダ４５のストロークよりも十分に小さくなっている
。この昇降用エアーシリンダ５２および搬送用エアーシ
リンダ５３の取付は構造は、前記移送台３１の昇降用エ
アーシリンダ３３および搬送用エアーシリンダ４５と略
同様であるので詳細な説明は省略する。

他方、加熱室１０の導出口１２側の外部に配設された搬
出側被加熱物載置台２４には、搬出移送台５５が配設さ
れている。該搬出移送台５５は前記搬入移送台５１と同
様に、一対の平板５５ａを有し、各平板５５ａを昇降用
エアーシリンダ５６にて昇降させると共に、該昇降用エ
アーシリンダ５６を搬送用エアーシリンダ５７にて被加
熱物搬送方向に往復移動させる。

該昇降用エアーシリンダ５６および１般送用エアーシリ
ンダ５７の取付構造は前記搬入移送台５１の昇降用エア
ーシリンダ５２および搬送用エアーシリンダ５３の取付
構造と同様である。

このような構成の本発明の加熱装置の動作を。

第４図に示す該加熱装置の模式図に基づき説明する。

搬入側載置台２３の始端部上には各角形パイプ２３ａ間
にわたって被加熱物６０が載置される（第４図（イ）参
照）。このような状態で、Ｒ大検送台５１を上昇させる
べく、昇降用エアーシリンダ５２が駆動される。これに
より、搬入移送台５１の各平板５１ａが搬入側載置台２
３上面より進出し１ｗｉ入側載置台２３の始端部上の被
加熱物６０は、搬入移送台５１の各平板５１ａ始端部上
面にて持ち上げられる（第４図（ロ）参照）、被加熱物
６０が搬入移送台５１により搬入側載置台２３から持ち
上げられると、昇降用エアーシリンダ５２は停止状態と
なり、搬入移送台５１は被加熱物６０を持ち上げた状態
を維持する。

次いで、該昇降用エアーシリンダ５２を搬送させるため
の搬送用エアーシリンダ５３を動作させて該昇降用エア
ーシリンダシ５２を、加熱室１０側へ所定距離だけ移動
させる。これにより、ＷＩ人移送台５１上の被加熱物６
０は、第４図（ハ）に示すよう仝こ。

搬入側載置台２３上を所定距離だけ加熱室１０側へ搬送
される。そして、搬送用エアーシリンダ５３の駆動が停
止されると、昇降用エアーシリンダ５２が。

搬入移送台５１を下降させるべく駆動され、該搬入移送
台５１は、搬入側載置台２３上面から没入した状態にな
り、第４図（ハ）に示すように、該搬入移送台５１上の
被加熱物６０は、搬入側載置台２３上に移載される。

このようにして、搬入側載置台２３上の被加熱物６０は
、搬入移送台５１にて所定距離ずつ、順次加熱室１０側
へ移送される。このとき、搬入側載置台２３の始端部上
には、被加熱物６０が順次載置され、該搬入側載置台２
３上に載置された全ての被加熱物６０が一体的に搬入移
送台５１により所定距離だけ加熱室１０側に移送される
。

このようにして、第４図（イ）に示すように。

加熱室１０の導入口１１ａに対向する搬入側載置台２３
端部に被加熱物６０が載置されると、前記搬入移送台５
１の上昇に同期して、加熱室用移送台３１を上昇させる
べく昇降用エアーシリンダ３３および３３が駆動され、
該加熱室用移送台３１が水平状に上昇される。このとき
、同時に加熱室ＩＯの導入口１１ａおよび導入口１２ａ
をそれぞれ閉塞する導入扉１４および導出層１７を上昇
させるべく、開閉用エアーシリンダ１５および１８が駆
動され、該導入扉１４および導出層１７が上昇されて導
入口１１ａおよび導出口１２ａが開放される。このとき
加熱室１０内は、常時、該加熱室１０の外部より高圧に
なっているため、導入扉１４の上昇による導入口１１ａ
および導出口１２ｄの開放により、該加熱室１０内に外
部の空気が流入するおそれがない。そして、昇降用エア
ーシリンダ３３および３３により、該加熱室用移送台３
１が上昇されると、第４図（ロ）に示すように、該加熱
室用移送台３１における載置部の端部上面にて、搬入側
載置台２３の端部上の被加熱物６０が持ち上げられる。

被加熱物６０が持ち上げられた状態になると。

方の昇降用エアーシリンダ３３を搬送方向に移動させる
搬送用エアーシリンダ４５が駆動され、該昇降用エアー
シリンダ３３は加熱室１０側へ所定距離にわたって移動
される。これにより、加熱室用移送台３１は、所定距離
にわたって水平移動し、その載置部の端部に載置された
被加熱物６０は、第４図（ハ）に示すように、導入口１
３を通って加熱室１０内の第１加熱部ｌｌ内に位置され
る。その後、昇降用エアーシリンダ３３および３３が同
期して駆動され、移送台３１は下降される。該加熱室用
移送台３１は第１加熱部１１内の載置台２１上面より没
入した状態になり。

該移送台３１上の被加熱物６０は、該載置台２１上に移
載される。

このとき、加熱室用移送台３１の下降と同時に導入扉１
４および導出層１７に連結された開閉用エアーシリンダ
１５および１８が駆動され、導入扉１４および導出層１
７は下降される。これにより、導入口１１ａおよび導出
口１２ａが閉塞される。

加熱室ＩＯにおける第１加熱室１１内では、載置台２１
上に載置された被加熱物６０が加熱される。そして、該
第１加熱部１１における所要の加熱時間の１７２が経過
した時点で、加熱室用移送台３１と、導入扉１４および
導出層１７を前述の動作と同様に動作させる。これによ
り、第１加熱部１１内に位置して加熱された被加熱物６
０は、連通口１３を通って第２加熱部１２内へ搬送され
ると共に、第１加熱部ｌｌ内へ新たに被加熱物６０が導
入される。そして、第１加熱部１１における所要の加熱
時間の１７２が経過すると。

再度、同様の動作が繰り返され、第１加熱部１１内の第
２加熱部１２側の被加熱物６０は連通口１３を通って第
２加熱部１２内へ導入される。該第２加熱部１２内にお
いても、所要の加熱時間の１７２が経過すると、同様の
動作が繰り返され、第２加熱部１２内の被加熱物６０が
導出口１２ａ側の所定位置に達し、この位置にて所要の
加熱時間の１７２に相当する時間にわたって加熱される
。その後に、加熱室用移送台３１．導入層１４および導
出扉１７とが前述の動作と同様の動作を繰り返すと、第
２加熱部１２内にて所要時間にわたって加熱された被加
熱物６０は、導出口１２ａを通って加熱室１０外へ搬出
され、搬出側蔵置台５５上に移載される。

加熱室１０内に導入された各被加熱物６０は、このよう
にして、第１加熱部１１にて所定時間にわたって加熱さ
れた後に、第１加熱部１１から第２加熱部１２に順次移
動され、そして、第２加熱部にて所定時間にわたって加
熱されて、該加熱室１０から導出される。

搬出側載置台２４上にＲ置された加熱後の被加熱物６０
は、＊出移送台５５にて順次搬送方向の下流側に搬送さ
れる。該搬出移送台５５の動作は、前記搬入移送台５Ｉ
と同様であるので説明を省略する。

なお、上記実施例では、加熱室１１の内部と外部に被加
熱物の載置台を分割して配設する構成としたが、加熱室
の内部と外部とに配設される被加熱物載置台が一体であ
ってもよい。また、搬入移送台５１．加熱室用移送台３
１．および搬出移送台５５も一体に構成して、１つの駆
動源にて駆動させる構成としてもよい。このようにすれ
ば全体の構成が著しく簡略化され、しかも駆動源が１つ
でよいために、制御が容易である。

さらに、上記実施例において、加熱室用移送台３１を、
加熱室１０の導入口１１ａおよび導出口１２ａを通過さ
せるための移送台と、加熱室ｌｌ内を搬送させる移送台
とを別体に構成して１両移送台を１つの駆動源にて駆動
させる構成としてもよい。このような構成であれば、加
熱室の導入口および導出口の開閉回数を減少させること
ができ、加熱室内の温度の低下を防止できると共に、加
熱室内の温度分布が不均一になることも防止し得る。

（発明の効果） 本発明の加熱装置は、このように、被加熱物が移送台に
て順次加熱室へ導入されて、該加熱室を通過した後に該
加熱室から順次導出されるため。

加熱室に順次導入される被加熱物は加熱室内にて均一に
加熱される。加熱室は、被加熱物が導入および導出され
る際にのみ導入口および導出口が導入層および導出扉に
てそれぞれ開放されるだけであるため、該加熱室内を所
定温度に維持することができると共に、加熱室内に汚染
した空気が入り込むおそれがなく、該加熱室内を清浄に
保つことができる。さらに、被加熱物は振動することな
く搬送されるため、半導体素子等の加熱には好適である
。

４、　゛の　　　な？？ 第１図は本発明の加熱装置の概略側面図、第２図はその
要部の平面図、第３図（イ）は第１図の■−■線におけ
る断面図、第３図（ロ）は第１図のＩＶ−ＩＶ線におけ
る断面図、第４図（イ）〜（ニ）は動作説明のための本
発明の加熱装置の模式図第５図および第６図はそれぞれ
従来の加熱装置の概略図である。

１０・・・加熱室、　１１．１２・・・加熱部、１１ａ
・・・導入口。

１２ａ・・・導出口、１４・・・導入層、　１５．１８
・・・開閉用エアーシリンダ、１７・・・導出扉、　２
１．２２．２３．２４・・・被加熱物載置台、　３１・
・・加熱室用移送台、３３・・・昇降用エアーシリンダ
、４５・・・搬送用エアーシリンダ、５１・・・搬入用
移送台、　５２．５６・・・昇降用エアーシリンダ。

５３、５７・・・搬送用エアーシリンダ、５５・・・１
般出用移送台。

以上

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、内部が所定温度に加熱されており、該加熱室内を被
   加熱物が通過するように、被加熱物の導入口および導出
   口を有する加熱室と、 該加熱室内を通過する被加熱物が載置されるように該加
   熱室の内部および外部に配設された被加熱物載置台と、 該被加熱物載置台上面からの出没および被加熱の搬送方
   向への往復搬送可能であり、該被加熱物載置台上の所定
   位置に載置された被加熱物を該被加熱載置台上の所定距
   離離れた位置に移載するべく駆動される移送台と、 前記加熱室の導入口および導出口を、該移送台の駆動に
   同期してそれぞれ開閉する導入扉および導出扉と、 を具備する加熱装置。