JPH0257722A - 直進型気体軸受の接続方法 - Google Patents
直進型気体軸受の接続方法Info
- Publication number
- JPH0257722A JPH0257722A JP63206260A JP20626088A JPH0257722A JP H0257722 A JPH0257722 A JP H0257722A JP 63206260 A JP63206260 A JP 63206260A JP 20626088 A JP20626088 A JP 20626088A JP H0257722 A JPH0257722 A JP H0257722A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- linear gas
- gas
- linear
- gas bearing
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
- F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
- F16C32/0618—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings via porous material
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2300/00—Application independent of particular apparatuses
- F16C2300/40—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions
- F16C2300/62—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions low pressure, e.g. elements operating under vacuum conditions
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、真空内で使用する直進型気体軸受の接続方法
に関するものである。
に関するものである。
［従来の技術］
従来、真空内で直進型気体軸受を使用する場合には、例
えばモーメント剛性を向上させるために直進型気体軸受
を複数接続して用いる場合があった。
えばモーメント剛性を向上させるために直進型気体軸受
を複数接続して用いる場合があった。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、直進型気体軸受を用いる際に外周面の平
面度または平行度等の点で精度が必要な場合には、その
外周面を切削、研削あるいはラップ加工等により加工す
ることが通常行なわれているが、上述の従来例のように
直進型気体軸受を複数接続して用いる場合には、かかる
加工を行なうことができないという不都合があった。す
なわち、切削、研削あるいはラップ加工等による微少な
ラップ材、研磨材や研削液が軸受を接続した合せ面に入
り込み、真空内で使用する場合、これらによってガスが
発生し悪影響を及ぼすからである。
面度または平行度等の点で精度が必要な場合には、その
外周面を切削、研削あるいはラップ加工等により加工す
ることが通常行なわれているが、上述の従来例のように
直進型気体軸受を複数接続して用いる場合には、かかる
加工を行なうことができないという不都合があった。す
なわち、切削、研削あるいはラップ加工等による微少な
ラップ材、研磨材や研削液が軸受を接続した合せ面に入
り込み、真空内で使用する場合、これらによってガスが
発生し悪影響を及ぼすからである。
本発明の目的は、上述の従来例における問題点に鑑み、
軸受接続後に外周面を加工して平面度等の精度を上げる
ことができ、また接続面からのガスの発生を防ぐことが
できる直進型気体軸受の接続方法を提供することにある
。
軸受接続後に外周面を加工して平面度等の精度を上げる
ことができ、また接続面からのガスの発生を防ぐことが
できる直進型気体軸受の接続方法を提供することにある
。
［課題を解決するための手段および作用］上記の目的を
達成するため、本発明に係る直進型気体軸受の接続方法
は、接続すべき各軸受の合せ面の軸受外周部分に段差部
を設け、各軸受を接続した後、段差部にシール材を充填
することを特徴としている。
達成するため、本発明に係る直進型気体軸受の接続方法
は、接続すべき各軸受の合せ面の軸受外周部分に段差部
を設け、各軸受を接続した後、段差部にシール材を充填
することを特徴としている。
外周面の切削、研削およびラップ加工等の加工は、各軸
受部材の合せ面を接続した後行なう。そして、外周面の
加工後、この段差の全周にシール材を充填する。これに
より、合わせ面に入り込んだ微少なラップ材、研磨材お
よび研削液による発生ガスが防止される。
受部材の合せ面を接続した後行なう。そして、外周面の
加工後、この段差の全周にシール材を充填する。これに
より、合わせ面に入り込んだ微少なラップ材、研磨材お
よび研削液による発生ガスが防止される。
［実施例］
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明の一実施例に係る軸受の接続方法を適
用して接続した直進型気体軸受の断面図である。第２図
は、第１図の合せ面の部分の詳細な断面図である。
用して接続した直進型気体軸受の断面図である。第２図
は、第１図の合せ面の部分の詳細な断面図である。
第１．２図において、１はガイドバー ２゜３．４は軸
受を構成するハウジング、５は多孔質材で構成されたパ
ッド、６は給気用通路、７は空気を大気圧下に排出する
ための通路である。また、Ａは各軸受の端面に付された
段差部、８は段差部Ａの全周に充填されたシール材であ
る。
受を構成するハウジング、５は多孔質材で構成されたパ
ッド、６は給気用通路、７は空気を大気圧下に排出する
ための通路である。また、Ａは各軸受の端面に付された
段差部、８は段差部Ａの全周に充填されたシール材であ
る。
かかる構成の直進型気体軸受は、複数個の直進型気体軸
受を以下のように接続することにより得られる。すなわ
ち、先ずハウジング２とハウジング３の接続面（合せ面
）の端面に段差部Ａを設ける。そして、ハウジング２と
ハウジング３を接続し、外周面を所定の精度まで加工す
る。加工後、この段差部Ａにシール材８を充填する。こ
の充填したシール材によって、接続面から発生するガス
を防止することができ真空内での使用が可能となる。
受を以下のように接続することにより得られる。すなわ
ち、先ずハウジング２とハウジング３の接続面（合せ面
）の端面に段差部Ａを設ける。そして、ハウジング２と
ハウジング３を接続し、外周面を所定の精度まで加工す
る。加工後、この段差部Ａにシール材８を充填する。こ
の充填したシール材によって、接続面から発生するガス
を防止することができ真空内での使用が可能となる。
なお、上記実施例においては接続面の端面に５字型の段
差部を設けた例をあげたが、段差部の形状はこれに限ら
ない。例えば第３図（ａ）または（ｂ）に示すように、
面取り形状あるいはＲ形状としてもよい。
差部を設けた例をあげたが、段差部の形状はこれに限ら
ない。例えば第３図（ａ）または（ｂ）に示すように、
面取り形状あるいはＲ形状としてもよい。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明は、真空内で使用する直進
型気体軸受のように、高精度な外周面を必要とする部材
の接続に有効である。すなわち、接続後に外周面の加工
ができるので、外周面の平面度および平行度等の精度向
上を図ることができ、また加工あるいは組立の効率を上
げることができる。また、゛加工後、接続面外周をシー
ル材で埋めているので、接続面から発生するガスを完全
に防ぐことがで仕る。
型気体軸受のように、高精度な外周面を必要とする部材
の接続に有効である。すなわち、接続後に外周面の加工
ができるので、外周面の平面度および平行度等の精度向
上を図ることができ、また加工あるいは組立の効率を上
げることができる。また、゛加工後、接続面外周をシー
ル材で埋めているので、接続面から発生するガスを完全
に防ぐことがで仕る。
第１図は、本発明の一実施例に係る軸受の接続方法を適
用して接続した直進型気体軸受の断面図、 第２図は、第１図の合せ面の部分の詳細な断面図、 第３図は、接続面を他の形状とした場合の例である。 ：給気用通路、 ：排気用通路、 ：シール材、 ：段差部。
用して接続した直進型気体軸受の断面図、 第２図は、第１図の合せ面の部分の詳細な断面図、 第３図は、接続面を他の形状とした場合の例である。 ：給気用通路、 ：排気用通路、 ：シール材、 ：段差部。
Claims (1)
- （１）真空内で使用する直進型気体軸受を複数接続する
方法であって、上記各直進型気体軸受の合せ面の軸受外
周部分に段差部を設け、各直進型気体軸受を接続した後
、該段差部にシール材を充填することを特徴とした直進
型気体軸受の接続方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63206260A JPH0257722A (ja) | 1988-08-22 | 1988-08-22 | 直進型気体軸受の接続方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63206260A JPH0257722A (ja) | 1988-08-22 | 1988-08-22 | 直進型気体軸受の接続方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0257722A true JPH0257722A (ja) | 1990-02-27 |
Family
ID=16520387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63206260A Pending JPH0257722A (ja) | 1988-08-22 | 1988-08-22 | 直進型気体軸受の接続方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0257722A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0411919U (ja) * | 1990-05-22 | 1992-01-30 | ||
| CN114688163A (zh) * | 2020-12-25 | 2022-07-01 | 珠海格力电器股份有限公司 | 气体轴承及压缩机 |
-
1988
- 1988-08-22 JP JP63206260A patent/JPH0257722A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0411919U (ja) * | 1990-05-22 | 1992-01-30 | ||
| CN114688163A (zh) * | 2020-12-25 | 2022-07-01 | 珠海格力电器股份有限公司 | 气体轴承及压缩机 |
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