JPH026006Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、粉塵の発生を嫌う半導体等を搬送す
るための設備に関し、特に、エアー等の気体を噴
射して搬送体を浮上させるとともに、この搬送体
をリニアモータ機構による推進力により駆動する
一方、前記搬送体に載置した半導体等の被搬送物
には噴射した気体が触れないように吸引回収する
気体浮上式搬送設備に関する。

従来の技術 被搬送物を載置した搬送台を圧縮空気によつて
浮上させるとともに、前記搬送台をリニアモータ
機構の推進力で搬送する一方、搬送台に向けて噴
射した圧縮空気を吸入するよう構成した搬送設備
は、実開昭59−95028号公報によつて知られてい
る。前記実開昭59−95028号公報で開示された搬
送設備は、搬送台を浮上させるために高圧エアダ
クトを用い、この高圧エアダクトから送出された
空気を吸入するために低圧ダクトを設けている。

考案が解決しようとする問題点 前記実開昭59−95028号公報で開示された搬送
設備では、噴射した空気の吸引回収に低圧ダクト
を用いるため、その第４図に示された実施例にお
ける空気の流れでも明らかなように、次の３つの
欠点を有している。第１には、噴射した高圧空気
には通常塵埃が含まれているのであるが、この高
圧空気が搬送台上の被搬送物に到達しこれと接触
することを完全には防止できないので、被搬送物
に対する防塵が充分でない。第２には、高圧空気
が被搬送物方向に流れるので、クリーンルーム内
で使用する場合には、天井から床に向けて流れて
いる清浄空気の層流を乱し、清浄効果に支障をき
たす。第３には、高圧で噴射した空気を低圧で吸
引するのであるから、開放空間においては噴射し
た空気の吸引回収が充分に行えず、前記第４図に
示された実施例のように、設備全体を狭い閉塞空
間に設置する必要があり、保守点検や搬送台に対
する被搬送物の載置及び取り出しという各種作業
が煩雑になる。

本考案はこのような欠点を解消した搬送体を用
いた気体浮上式搬送設備を提供することを目的と
する。

問題点を解決するための手段 搬送体を、気体の噴射を受ける浮上部と、この
浮上部にその上方に位置するよう連結された被搬
送物を載置する載置部とから構成する一方、搬送
路から気体を噴射するための噴射ダクトに加え、
この噴射ダクトから噴射された気体が被搬送物に
達しないように吸引すべく、前記噴射ダクト及び
前記搬送体の浮上部を覆うとともに、前記搬送体
の浮上部と載置部との連結部分が貫通する貫通部
を設けた吸引ダクトを備えたものである。

作 用 噴射ダクトから噴射された気体は、搬送体の浮
上部に向けて噴射されこれを浮上させた後、載置
部に載置した被搬送物には到達することなく、吸
引ダクトで吸引回収される。

実施例 以下、本考案の好適な実施例を添付図面に基づ
いて詳細に説明する。

第１図は搬送体の搬送状態を示す概略的な断面
正面図、第２図は同じく断面側面図である。

搬送路は断面四角形の噴射ダクト１で構成され
ている。噴射ダクト１の上面には、幅方向中央部
を除いて、エアー噴射孔２が複数列透設されてい
る。また、前記噴射ダクト１の下面には、所定間
隔をおいてエアー供給管３（１個のみ図示）の一
端が連通すべく固定され、これらエアー供給管３
の他端は気体送出装置たるターボブロア（図示せ
ず）に連通している。

噴射ダクト１上に載置される搬送体４は、断面
コ字状の磁性体から成り、エアー噴射孔２から噴
射されたエアーをその水平部分で受ける浮上部５
と、この浮上部５の上方に位置すべくこれに連結
杆６で連結され、プラスチツク等の非磁性体から
成る板状で半導体等の被搬送物７を載置するため
の載置部８とから構成されている。そして、前記
浮上部５の垂下された両側部分は、前記噴射ダク
ト１の両側面と若干の等間隔を存して対向位置し
ている。

搬送体４に推進力を付与するリニアモータ機構
は、噴射ダクト１内に所定間隔をおいて配置され
た固定子９と、可動子たる前記搬送体４の浮上部
５によつて構成される。

噴射ダクト１と浮上部５を覆うようにして吸引
ダクト１０が設けられ、この吸引ダクト１０は、
その下面に所定間隔をおいて配置したエアー吸引
管１１を介して、気体吸引装置たる吸引ブロアー
（図示せず）に連通されている。また、前記吸引
ダクト１０の上面には、搬送体４の走行を可能に
するため、連結杆６が貫通する貫通部たる開口１
２が形成されている。そして、前記吸引ダクト１
０の上面は前記開口１２から側面方向に向けて上
昇するよう傾斜している。なお、吸引ブロアーに
よる吸引圧は、噴射ダクト１からのエアーの噴射
圧よりも高圧に設定されている。

本実施例は以上のように構成したので、搬送体
４の載置部８に被搬送物７を載置したうえ、図示
していないターボブロアを作動すると、搬送体４
の浮上部５に対してエアー噴射孔２からエアーが
噴射され、浮上部５は噴射ダクト１から浮上して
非接触状態になり、ここでリニアモータ機構によ
つて推進力を与えると、搬送体４は非接触状態で
走行し、塵埃が発生しないものである。このと
き、図示していない吸引ブロアを作動させると、
エアー噴射孔２から噴射したエアーは、その大部
分が吸引ダクト１０の上面に衝突して下方に向か
い、エアー吸引管１１から吸引回収される。そし
て、開口１２に向かつた一部の噴射エアーも、吸
引ダクト１０に作用する吸引圧を、エアー噴射孔
２からの噴射圧よりも高く設定したから、開口１
２から被搬送物７方向に噴射することなく、開口
１２から吸引された吸引ダクト１０外のエアーと
ともに、エアー吸引管１１から吸引回収される。

したがつて、本搬送設備をクリーンルーム内に
設置した場合には、清浄空気が開口１２から吸引
ダクト１０内に流入することになり、噴射エアー
が吸引ダクト１０外に出ることはないから、噴射
エアーによつてクリーンルーム内の層流を乱した
り、清浄状態を損なつたりすることがない。

なお、本考案は上述した実施例に限定されるも
のではなく、可動子を浮上部５の一部で構成して
もよい。また、噴射される気体はエアーに限らな
いものである。

効 果 以上詳細に説明したところで明らかなように、
本考案によれば、噴射エアーが被搬送物に到達し
ないよう吸引回収するので、噴射エアーが塵埃を
含んでいる場合でも、被搬送物に悪影響を及ぼす
恐れがなく、防塵効果が一層向上するほか、クリ
ーンルーム内で使用した場合には、清浄空気の層
流を乱すことがなく、その清浄作用を損なわない
という効果を奏することができる。

【図面の簡単な説明】

図は本考案の好適な実施例を示し、第１図は搬
送体の搬送状態を示す概略的な断面正面図、第２
図は同じく断面側面図である。 １……噴射ダクト、２……エアー噴射孔、４…
…搬送体、５……浮上部、６……連結部、８……
載置部、９……固定子、１０……吸引ダクト、１
２……開口。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 被搬送物を搬送するための搬送体に向けて、搬
   送路から気体を噴射して前記搬送体を浮上させる
   一方、前記搬送体に対してリニアモータ機構によ
   つて推進力を与えることにより、前記被搬送物を
   搬送する前記搬送体を用いた気体浮上式搬送設備
   において、前記搬送体を、気体の噴射を受ける浮
   上部と、この浮上部にその上方に位置するよう連
   結された被搬送物を載置する載置部とから構成す
   る一方、搬送路から気体を噴射するため気体送出
   装置に連通された噴射ダクトと、この噴射ダクト
   から噴射された気体が前記載置部に載置された被
   搬送物には達しないように吸引すべく、前記噴射
   ダクト及び前記搬送体の浮上部を覆うとともに、
   気体吸引装置に連通され、前記搬送体の浮上部と
   載置部との連結部分が貫通する貫通部を設けた吸
   引ダクトとを、備えたことを特徴とする搬送体を
   用いた気体浮上式搬送設備。