JPH0261839A - 情報記録媒体用基板の製造方法 - Google Patents
情報記録媒体用基板の製造方法Info
- Publication number
- JPH0261839A JPH0261839A JP21058488A JP21058488A JPH0261839A JP H0261839 A JPH0261839 A JP H0261839A JP 21058488 A JP21058488 A JP 21058488A JP 21058488 A JP21058488 A JP 21058488A JP H0261839 A JPH0261839 A JP H0261839A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stamper
- substrate
- information
- recording medium
- information recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はレーザー光等の光学的手段により情報の記録、
再生等を行なうための情報記録媒体用基板の製造方法に
関するものである。
再生等を行なうための情報記録媒体用基板の製造方法に
関するものである。
〔従来の技術］
従来よりレーザー光等の光学的手段により情報の記録、
再生等を行なう光ディスクが知られている。このような
ディスク用の基板の製造方法としては、この様な情報の
記録・再生を行うために必要な情報を保有する原盤上に
電析によってスタンパを形成し、形成されたスタンパを
金型に取り付けて射出成形することにより、またはスタ
ンパとガラスあるいは樹脂の平板を空隙を設けて保持し
、その間に紫外線硬化樹脂を満たして硬化させる（フォ
トポリマー法（２Ｐ法））ことにより製造するのが一般
的であるが、その他にも圧縮成形等の方法も考えられる
。いずれの方法においてもニッケル製スタンバ上の情報
を転写することが必要条件であるが反面スタンバあるい
は金型上に付着したゴミ等の異物も転写されるために基
板の製造工程は高度に清浄な環境下に設置される。
再生等を行なう光ディスクが知られている。このような
ディスク用の基板の製造方法としては、この様な情報の
記録・再生を行うために必要な情報を保有する原盤上に
電析によってスタンパを形成し、形成されたスタンパを
金型に取り付けて射出成形することにより、またはスタ
ンパとガラスあるいは樹脂の平板を空隙を設けて保持し
、その間に紫外線硬化樹脂を満たして硬化させる（フォ
トポリマー法（２Ｐ法））ことにより製造するのが一般
的であるが、その他にも圧縮成形等の方法も考えられる
。いずれの方法においてもニッケル製スタンバ上の情報
を転写することが必要条件であるが反面スタンバあるい
は金型上に付着したゴミ等の異物も転写されるために基
板の製造工程は高度に清浄な環境下に設置される。
［発明が解決しようとする間頴点］
基板の製造工程においてはゴミ等の異物を付むさせない
ためにスタンパの取り扱いには特に注意を要する。しか
しスタンパの情報面あるいは裏面に空気中に浮遊してい
るゴミ、作業者の衣服から発生するゴミが付着する可能
性は常につきまとう。この誤ってゴミを付着させたスタ
ンパを用いて成形した基板はヘコミ、異物等の外観不良
を招いたり、エラーレートを低下させる。また、スタン
パあるいは金型の鏡面を傷付ける場合もある。
ためにスタンパの取り扱いには特に注意を要する。しか
しスタンパの情報面あるいは裏面に空気中に浮遊してい
るゴミ、作業者の衣服から発生するゴミが付着する可能
性は常につきまとう。この誤ってゴミを付着させたスタ
ンパを用いて成形した基板はヘコミ、異物等の外観不良
を招いたり、エラーレートを低下させる。また、スタン
パあるいは金型の鏡面を傷付ける場合もある。
［問題点を解決するための手段］
本発明者らは前記問題点につき検討した結果、スタンパ
取り扱い時にスタンパあるいは金型鏡面に付着する粒子
は鉄族元素つまり鉄、コバルト。
取り扱い時にスタンパあるいは金型鏡面に付着する粒子
は鉄族元素つまり鉄、コバルト。
ニッケルその他の強磁性粒子が多いことを見い出した。
本発明者らは更にこれらの強磁性粒子の付着は、電析に
よる作製後、情報・形態等の転写の工程までの間にスタ
ンパが着磁することによるものが多いこと及びこの着磁
はほとんどスタンパの打抜加工工程や樹脂膜による保護
コート塗布工程などにおいて磁力固定機構を有する装置
を用いることに由来するものであることを発見し、本発
明を完成するに至りな。
よる作製後、情報・形態等の転写の工程までの間にスタ
ンパが着磁することによるものが多いこと及びこの着磁
はほとんどスタンパの打抜加工工程や樹脂膜による保護
コート塗布工程などにおいて磁力固定機構を有する装置
を用いることに由来するものであることを発見し、本発
明を完成するに至りな。
即ち本発明は表面に情報を保有する原盤上にニッケルを
電析させてスタンパを形成し、形成されたスタンパ上の
情報、形態を転写して情報記録媒体用基板を製造する方
法において、転写に先立ちスタンパを脱磁して用いるこ
とを特徴とする情報記録媒体用基板の製造方法を提供す
るものである。
電析させてスタンパを形成し、形成されたスタンパ上の
情報、形態を転写して情報記録媒体用基板を製造する方
法において、転写に先立ちスタンパを脱磁して用いるこ
とを特徴とする情報記録媒体用基板の製造方法を提供す
るものである。
本発明はスタンパを脱磁して用いる以外は慣用の方法と
変りはない。本発明における脱磁とは目的物の帯びてい
る磁気を取り去ることをいう。この脱磁は、慣用の消磁
器（イレーサー）を用いて行うことができる。またスタ
ンパを抗磁力を充分越える強さの交流磁界の中に入れ、
磁界を減衰消去することによって行ってもよい。
変りはない。本発明における脱磁とは目的物の帯びてい
る磁気を取り去ることをいう。この脱磁は、慣用の消磁
器（イレーサー）を用いて行うことができる。またスタ
ンパを抗磁力を充分越える強さの交流磁界の中に入れ、
磁界を減衰消去することによって行ってもよい。
［実施例］
以下本発明について実施例によりさらに詳しく説明する
が本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
が本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
実施例１
直径２００ｍｍ、厚さ６ｍｍのガラス原盤上にレーザー
用ポジ型フォトレジストをスピンコード法により１００
０人塗布した。このガラス原盤上のフォトレジスト面に
レーザーカッティングマシンによってＡｒレーザー（波
長４５７９人）を照射し、次いでレーザー照射部をアル
カリ現像液によって現像した。このフォトレジスト面上
にニッケルを反応性イオンエツチング法にてスパッタし
て導体化した後スルファミン酸ナトリウム浴に浸漬して
ニッケル電極を陽極、ガラス原盤を陰極としてガラス原
盤上のフォトレジスト面にニッケルを約３００μｍの厚
さまで電析させた。このニッケル付きガラス原盤をスル
ファミン酸ナトリウム浴より取り出してニッケルとガラ
ス原盤を剥がしてニッケル板を０２プラズマアツシング
法によりレジストを除去した。このニッケル板を磁力固
定式の打抜加工機に取り付は内径３５．４ｍｍ、外径１
３８ｍｍに加工した。このニッケルスタンパの信号面を
保護する目的でスタンパを磁力固定式のスピンコーター
に取り付は保護コート剤を塗布して被膜を形成した後ス
タンバの信号面でない面を研磨した。
用ポジ型フォトレジストをスピンコード法により１００
０人塗布した。このガラス原盤上のフォトレジスト面に
レーザーカッティングマシンによってＡｒレーザー（波
長４５７９人）を照射し、次いでレーザー照射部をアル
カリ現像液によって現像した。このフォトレジスト面上
にニッケルを反応性イオンエツチング法にてスパッタし
て導体化した後スルファミン酸ナトリウム浴に浸漬して
ニッケル電極を陽極、ガラス原盤を陰極としてガラス原
盤上のフォトレジスト面にニッケルを約３００μｍの厚
さまで電析させた。このニッケル付きガラス原盤をスル
ファミン酸ナトリウム浴より取り出してニッケルとガラ
ス原盤を剥がしてニッケル板を０２プラズマアツシング
法によりレジストを除去した。このニッケル板を磁力固
定式の打抜加工機に取り付は内径３５．４ｍｍ、外径１
３８ｍｍに加工した。このニッケルスタンパの信号面を
保護する目的でスタンパを磁力固定式のスピンコーター
に取り付は保護コート剤を塗布して被膜を形成した後ス
タンバの信号面でない面を研磨した。
以上のような工程によりピッチ１，６μｍ１溝幅１μｍ
１深さ７００人を有する直径１３８ｍｍ、厚さ３００μ
ｍのニッケルスタンパを製造した。得られたスタンパの
磁束密度をガウスメータにて測定したところ約１００ガ
ウスの磁束密度をａしていた。このスタンパを交流磁界
の中に置いて脱磁し再び磁°束密度を測定したところ約
ゼロガウスであった。このスタンパを金型に取り付けて
射出成形し、直径１３０ｍｍ、厚さ１．２ｍｍのポリカ
ーボネート基板を成形した。基板をシャドーグラフで観
察したところヘコミ等は観察されず倍率５００倍程度の
光学顕微鏡下でも異物は発見されなかった。
１深さ７００人を有する直径１３８ｍｍ、厚さ３００μ
ｍのニッケルスタンパを製造した。得られたスタンパの
磁束密度をガウスメータにて測定したところ約１００ガ
ウスの磁束密度をａしていた。このスタンパを交流磁界
の中に置いて脱磁し再び磁°束密度を測定したところ約
ゼロガウスであった。このスタンパを金型に取り付けて
射出成形し、直径１３０ｍｍ、厚さ１．２ｍｍのポリカ
ーボネート基板を成形した。基板をシャドーグラフで観
察したところヘコミ等は観察されず倍率５００倍程度の
光学顕微鏡下でも異物は発見されなかった。
実施例２
実施例１と同様な処理を施し磁束密度が約ゼロガウスの
スタンパを表面を鏡面処理したスタンパ固定台に取り付
け、スタンパの上に直径１３０ｍｍ、厚さ約１．２ｍｍ
の青板ガラスを置いた。
スタンパを表面を鏡面処理したスタンパ固定台に取り付
け、スタンパの上に直径１３０ｍｍ、厚さ約１．２ｍｍ
の青板ガラスを置いた。
スタンパとガラス板の間に紫外線硬化樹脂を注入してガ
ラス板側から紫外線を照射し樹脂を硬化させた後スタン
バより剥がして基板を成形した。この基板を実施例１と
同様に目視、光学顕微鏡にて観察したが異物あるいは欠
陥は認められなかった。
ラス板側から紫外線を照射し樹脂を硬化させた後スタン
バより剥がして基板を成形した。この基板を実施例１と
同様に目視、光学顕微鏡にて観察したが異物あるいは欠
陥は認められなかった。
比較例１
実施例１と同様な方法にて製造したスタンパを脱磁せず
そのまま用いた以外は実施例１と同様な方法でポリカー
ボネート基板を成形し目視、光学顕Ｋ ｍ ｋＭ察した
。ヘコミは認められなかったが基板表面に数個の黒い異
物が認められた。この異物を分析したところ主成分は鉄
であった。また、別の異物はニッケルであることが判明
した。
そのまま用いた以外は実施例１と同様な方法でポリカー
ボネート基板を成形し目視、光学顕Ｋ ｍ ｋＭ察した
。ヘコミは認められなかったが基板表面に数個の黒い異
物が認められた。この異物を分析したところ主成分は鉄
であった。また、別の異物はニッケルであることが判明
した。
上記実施例および比較例で作製した基板に図１に示すご
とく窒化シリコン膜１０００人をスパッタ法にて成膜し
く以下成膜はすべてスパッタ法）、モしてＴｂＦｅＣｏ
光磁気膜１０００人を成膜し、史に窒化シリコン膜１０
００人を成膜し、ピットエラーレートを測定した。
とく窒化シリコン膜１０００人をスパッタ法にて成膜し
く以下成膜はすべてスパッタ法）、モしてＴｂＦｅＣｏ
光磁気膜１０００人を成膜し、史に窒化シリコン膜１０
００人を成膜し、ピットエラーレートを測定した。
結果を表１に示す。
表１
〔発明の効果コ
以上説明したように本発明によればスタンパに何首する
可能性のある異物を排除することができ、ピットエラー
レートが低いプラスチック製基板を成形することができ
る。またスタンパ自身もしくはスタンパ取り付は用の鏡
面処理部材の損傷を防ぐことができる。
可能性のある異物を排除することができ、ピットエラー
レートが低いプラスチック製基板を成形することができ
る。またスタンパ自身もしくはスタンパ取り付は用の鏡
面処理部材の損傷を防ぐことができる。
第１図は本発明の一実施例における光磁気記録媒体の断
面概略図である。 １・・ ・ポリカーボネート基板 ２、４ ・ ３ ・ ・窒化シリコン膜 ・ＴｂＦｅＣｏ光磁気膜
面概略図である。 １・・ ・ポリカーボネート基板 ２、４ ・ ３ ・ ・窒化シリコン膜 ・ＴｂＦｅＣｏ光磁気膜
Claims (1)
- 表面に情報を保有する原盤上にニッケルを電析させてス
タンパを形成し、形成されたスタンパ上の情報、形態を
転写して情報記録媒体用基板を製造する方法において、
転写に先立ちスタンパを脱磁して用いることを特徴とす
る情報記録媒体用基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21058488A JPH0261839A (ja) | 1988-08-26 | 1988-08-26 | 情報記録媒体用基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21058488A JPH0261839A (ja) | 1988-08-26 | 1988-08-26 | 情報記録媒体用基板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0261839A true JPH0261839A (ja) | 1990-03-01 |
Family
ID=16591738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21058488A Pending JPH0261839A (ja) | 1988-08-26 | 1988-08-26 | 情報記録媒体用基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0261839A (ja) |
-
1988
- 1988-08-26 JP JP21058488A patent/JPH0261839A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100351096B1 (ko) | 마스터 정보담체와 그 제조방법 및 마스터 정보담체를사용하는 마스터 정보신호의 자기기록매체에의 기록방법과기록장치 | |
| US5167792A (en) | Master holder of stamper electroforming apparatus and electroforming method | |
| WO1986006198A1 (en) | Process for fabricating optical recording disk | |
| EP0770995B1 (en) | Optical disk and production method thereof | |
| JP2008210450A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法、スタンパ、転写装置及び樹脂マスク形成方法 | |
| KR20020035776A (ko) | 자기전사방법 및 장치 및 자기기록매체 | |
| JP2002074656A (ja) | 磁気転写方法 | |
| JPH0261839A (ja) | 情報記録媒体用基板の製造方法 | |
| US6284084B1 (en) | Method of manufacturing information record carrier | |
| JP2771290B2 (ja) | 光磁気デイスクとその作製方法 | |
| JPH01301880A (ja) | 光ディスク基板用スタンパーの製造方法 | |
| JP2765858B2 (ja) | 磁界変調型デイスク | |
| US20040160691A1 (en) | Master information carrier for magnetic transfer | |
| JP2004079060A (ja) | 磁気転写用マスター担体 | |
| US20060216550A1 (en) | Method of manufacturing master disk for magnetic transfer, master disk for magnetic transfer, and magnetic recording medium | |
| US20090244762A1 (en) | Resist pattern forming method, mold structure producing method, magnetic recording medium producing method, magnetic transfer method and magnetic recording medium | |
| JP4761166B2 (ja) | 磁気転写用マスター体の製造方法 | |
| JPH0689470A (ja) | スタンパの裏打ち法 | |
| JPH0512712A (ja) | 光記録媒体 | |
| JPH0778360A (ja) | 研磨治具およびスタンパの研磨方法 | |
| JPS62128039A (ja) | 光デイスク基板の製造方法 | |
| JP2002373417A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH01320124A (ja) | 磁気ディスク用基板の製法 | |
| JPH0326527A (ja) | 光記録媒体用ロール型の製造方法 | |
| JPH01277347A (ja) | スタンパの製造方法 |