JPH0326527A - 光記録媒体用ロール型の製造方法 - Google Patents

光記録媒体用ロール型の製造方法

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JPH0326527A
JPH0326527A JP16064889A JP16064889A JPH0326527A JP H0326527 A JPH0326527 A JP H0326527A JP 16064889 A JP16064889 A JP 16064889A JP 16064889 A JP16064889 A JP 16064889A JP H0326527 A JPH0326527 A JP H0326527A
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JP
Japan
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stamper
roll
jig
optical recording
manufacturing
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JP16064889A
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Hitoshi Yoshino
斉 芳野
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  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は光記録媒体用ロール型の製造方法に関し、詳し
くは光記録媒体の透明基板に凹凸パターンを形成するロ
ール形状の型またはスタンパーの製造方法に関する. [従来の技術] 従来、各種情報の記録には磁気テープ、磁気ディスク等
の磁気材料、各種半導体メモリー等か主として用いられ
てきた。この様な磁気メモリー半導体メモリーは情報の
書き込みおよび読みたしを容易に行うことができるとい
う利点はあるか、反面、情報の内容を容易に改ざんされ
たり、また高密度記録ができないという問題点かあった
。かかる問題点を解決するために、多種多様の情報を効
率良く取り扱う手段として、光記録媒体による光学的情
報記録方法が提案され、その為の光学的情報記録担体,
記録再生方法、記録再生装置等が提案されている。
かかる情報記録担体としての光記録媒体は、般にレーザ
ー光を用いて情報記録担体上の光記録層の一部を揮散さ
せるか、反射率の変化を生じさせるか、あるいは変形を
生じさせて、光学的な反射率や透過率の差によって情報
を記録し、あるいは再生を行なっている.この場合、光
記録層は情報の書き込み後、現像処理などの必要がなく
、「書いた後に直読する」ことのてきる、いわゆるDR
AW (ダイレクト リード アフター ライト:di
rect read after write)媒体で
あり、高密度記録が可能てあり、また追加書き込みも可
能であることから、情報の記録・保存媒体として有効で
ある。
第7図は、従来の光記録媒体の模式的断面図である。同
第7図において、41は透明基板、42はトラック溝部
、43は光記録層、44はスベーサー・按着屑、45は
保護基板である.同第7図において、情報の記録・再生
は透明基板41およびトラック溝部42を通して光学的
に書き込みと読み出しを行なう.この際、トラック溝部
42の微細な凹凸を利用してレーザー光の位相差により
トラッキングを行うことがてきる様に構威されている. [発明が解決しようとする課題] 上記した様に、従来のビデオディスク、オーディオディ
スクなとては、一般にあらかじめ凹凸形状が形成された
スタンパーを用いて、プレス法、射出成型法または紫外
線硬化捌脂を用いた2P法等により透明樹脂基板にスタ
ンパーの凹凸形状を転写している.上記の方法は一般に
枚葉工程であるが、これに対し、例えば、特開昭56−
 87203号公報、特開昭56− 86721号公報
などに開示されているように、第8図(a).(b)に
示す如く、ロール形状のスタンパーまたは金型を設けた
成型用ロール52を用いて透明な樹脂シ一ト51に凹凸
パターンを連続的に形或する方法も広く用いられている
上記先行技術では第4図に示すように、加圧ロールl1
にスタンパ−12をネシ止めによって固定するか、ある
いは接着剤や両面テープて貼り付けて固定している。こ
の方法ではロールの真円度を得るためには、表面か精度
良く加工されているロール表面に、均一な厚さでかつロ
ールに良く密着てきるようにロールと同じ曲率半径に曲
げ加工されているスタンパーを、接着剤または両面テー
プを用いて接着剤または両面テープの厚さのム今が極め
て小さく、かつ空気を巻き込まない等の厳しい条件下で
固定しなければならないという問題点か生じている。ま
た、従来の方法においては、スタンパーを平面上で研磨
して厚さを均一にして、ロール表面に曲げ加工しながら
固定する方法も用いられているが、この方法では一般に
かなりの重量のあるロールに、スタンパーを曲げながら
貼り合わせるのに高度の技術を要するという問題点かあ
る。
また,第4図に示すように、スタンパーと加圧ロールを
接着することなく、ネジなとて固定するときには、スタ
ンパーとロールの間の空気を完全に追い出して密着させ
るのか困難である。スタンパーとロールの間に空気が入
ると、スタンパーの表面に凹凸を生じ、その凹凸が樹脂
シートに転写されるために光記録媒体用基板の品質を低
下させる問題点がある. その問題点を解決するために、スタンパーの厚さを薄く
して、スタンパーとロールの密着性を上げることか行わ
れているか、スタンパーが薄いと強度が小さくなるため
に,スタンパーか或型時に破れた、破損しやすくなった
り,またロールの表面に固定する時にスタンパーか伸び
て成型品の精度が悪くなったりする問題点が生しる。そ
の反対に、スタンパーを厚くすると剛性か高くなりロー
ルに固定する時にロールと同じ曲率半径に曲げるのが困
難になる問題点もある。
また、スタンパーは、一般にフ才トリソ工程でパターン
を形成した後に、現像,導電化処理を行なってからニッ
ケルを電鋳して製造しているか、この電鋳で作成された
ニッケルスタンパーは、電極の取り方にもよるが、一般
に厚さか不均″一てある。そのために凹凸パターン面に
保護層を形或してから,平面上で裏面を研磨して厚さを
均一にしているか、研磨してからロールと同じ曲率半径
に曲げてロール表面に固定しているために、工程数を多
く必要とするたけてなく曲げ加工中(傷がつき易いとい
う問題点を生じている。
その他の方法として、ロールに直接パターンを形成する
方法も知られている.例えば、「印刷機械入門」 (昭
和62年印刷学会出版部発行)、および「新・感光性樹
脂」 (昭和61年印刷学会出版部発行)には、第5図
および第6図に示すような一般的な製版の技術か記載さ
れ,ている.第5図ではあらかじめパターンの形成され
ているマスク22の上を製版用ロール2lを転がしなが
らパターン露光用ビーム23から電子線または電磁波を
照射してマスクのパターンを製版用ロールに転写してい
る.また,第6図の方法では,!!光樹脂などを塗布し
た製版用ロール31を軸を中心に回転させながらパター
ン露光用ビーム32を一方向にスキャンさせてパターン
を直接描画している.しかしながら、光記録媒体のパタ
ーンはサブミクロン単位で微細であるために、第5図の
方法では、光学的な分解能からまた現在ではサブくクロ
ンのパターンの線幅を転写するのは不可能である。また
、第6図の方法では、ロールとビームなM動させながら
スバイラルパターンをサブミクロンの精度で位置をきっ
ちっと出して描画しなければならず、この両者の機械的
な制御か困難である.また、ロールの軸受けやロール表
面の平面度も精度が要求されるために、ロールの加工も
困難になっている。このように一般的な製版技術の応用
ては光記録媒体用のロール型を製作するのは困難である
本発明は、上記の問題点を解決する目的でなされたもの
であり、簡単な機構で精度良く光記録媒体の製造用ロー
ル型を製造することができる方法を提供するものである
[課題を解決するための手段] 即ち、本発明は、レーザービームなどの光ビームの照射
によって、反射率、屈折率などの光学特性を変化させて
情報の記録・再生を行なう光記録媒体用の基板の製造に
用いるロール型の製造方法において、表面にブリフォー
マットパターンなどの凹凸形状が形成されたスタンパー
の凹凸パターンの上に保護層を形成する工程、該保護層
を介してスタンパーを成型ロールに合わせた径の凹面を
有する治具に固定する工程、該治具に固定されたスタン
パーの裏面を加工してスタンパーの全面を一定の厚さに
する工程,該加工されたスタンパーの裏面に成型ロール
を固定する工程、該成型ロールに固定されたスタンパー
を治具から剥離する工程からなることを特徴とする光記
録媒体用ロール型の製造方法である。
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明はロール形状をしたスタンパーまたは原版を用い
て、連続的にプリフォーマットなどのパターンの形成さ
れた光記録媒体用基板を製造する方法に用いるロール型
の製造方法であって、表面にブリフ才一マットパターン
などの凹凸形状が形成されたスタンパーの凹凸パターン
の上に保護層を形成する工程、該スタンパーを威型ロー
ルに合わせた径の円柱形の凹面を有する治具に凹凸パタ
ーン側から固定する工程、該スタンパー全面が一定の厚
さになるまでスタンパーの裏面を加工する工程、凹面を
有する治其の上でスタンパーの裏面を戒型ロール表面に
固定する工程、該凹面を有する治具からスタンパーを剥
離する工程、とからなる光記録媒体用ロール型の製造方
法である。
第1図〜第3図は本発明の光記録媒体用ロール型の製造
方法の一実施悪様を示す概略断面図である.同第1図に
おいて、本発明の光記録媒体用ロール型の製造方法は、
表面にブリフォーマットパターンなどの凹凸パターン3
か形成されたスタンバ−1の表面に保護層2を一定の厚
さに形戒する. 次の工程で、第2図に示すように、保護層2が形成され
たスタンパーlを成型ロールに合わせた径の円柱形の凹
面を有する治具4に保護層2を介して固定する.この時
,!f3具4の凹面にスタンパーlを、片側の端または
中央部から押付けて沿うようにスタンバ−1を曲げなか
ら治具4の凹面とスタンパーlの間に隙間ができないよ
うに固定する。固定する方法は、後の工程てずれなけれ
ば,いずれの方法でも用いることができるが、例えば接
着、ビス止めなどの方法を用いることができる。
この様にして治具4にスタンバ−■を固定した後、スタ
ンパ−1の全面が一定の厚さになるようにスタンパ−1
の裏面を加工する.その方法としては、或型ロールと同
じ径を持つ研石などの研磨治具6て研磨するか、または
旋盤などで切削する. 次いで、第3図に示すように、治具4上で或型ロール7
またはそのダイセット8の表面にスタンパーを隙間がで
きないように固定する.その後,スタンパーlと保護層
2の界面で剥離することにより光記録媒体用ロール型を
得る.この際,治具4に残った保護層2は剥離剤等を用
いて治具4から剥離することができる。
本発明において、スタンパーlは、樹脂成型に必要な強
度と耐久性を有し,必要な精度の凹凸を持つスタンパー
を形或することができるならば、いずれの材料または製
法で得られものでも用いることかできるが,例えば、一
般にCD(コンパクトディスク)などに用いられている
スタンパーが挙げられる。その製法は、一般にCD(コ
ンパクト′ディスク)などに用いられている製法で作成
することができる。具体的には、ガラス原盤にレジスト
を塗布して、パターンを露光,現像してから、ニッケル
をスパッターで成膜し、電鋳して所定の厚さまでニッケ
ルを析出させる。このようにして得られた第二原盤をフ
ァーザーとして、第三原盤(マザー)および孫スタンパ
ーを作威しても良い.その他に、金属板等にパターンを
形成してからドライまたはウエットエッチングによって
凹凸を形成しても良い.材質も上記以外に、金属化合物
、ガラス、セラミクス等を用いることかできる。スタン
パーlの厚さは、得られた光記録媒体用ロール型はある
程度の剛性を有する方か強度や耐久性の点で望ましいた
めに、スタンパーlの材質にもよるか、一定の厚さに加
工された後の厚さで、一般に100μ重以上あれば良く
、より好ましレ)厚さは400〜5000 JLmであ
る。
スタンパ−1の表面に形成する保護層2の材料はスタン
パーlの上に均一な厚さに形或でき、凹凸パターン3に
傷などが付くのを防止できて、剥離性の良い材料であれ
ば、いずれの材料ても用いることかできるか、例えばア
クリル系樹脂などの樹脂か好ましい。保護層2の形成力
法は、材料をスタンバ−1の凹凸パターンの上に均一に
塗布した後に硬化させれば良い。塗布方法は一般に樹脂
のコーティングに用いられている方法であればいずれの
方法でも用いることができるが,例えば、スプレーコー
ト,ディッピング,ロールコーターなどを用いることが
できる.硬化させる方法は用いる材料によって紫外線硬
化法,放射線硬化法,熱硬化法などを用いることができ
る。その他に塩化ビニル樹脂等を溶剤塗布してから溶剤
を揮発させて保護層2を形成することもできる.保護層
2の厚さは凹凸パターン3を保護できる厚さであればい
ずれの厚さでも用いることができるが,好ましレ)厚さ
は0.05〜1〇一量である.本発明における治具4は
硬度がある程度高く、かつある程度の剛性のある材料で
あればどのような材料でも用いることができる。例えば
、鉄、クロム鋼などの金属や金属化合物セラミックス,
硬質樹脂、ガラスなどを用いることができる。治具の凹
面部は鏡面に形成されている必要かある。面精度は成型
する光記録媒体用基板の面精度とほぼ同じか、またはそ
れよりも良い面精度か必要である。特に、表面の凹凸が
p−pで501L1以下であることか好ましい.また、
必要に応して治具表面に窒化チタンなどの硬化膜などを
形成しても良いし、クロムなどのメッキを施すことも可
能である。
スタンパーlの保護層2と治具4を接着する時の接着剤
は、後の工程で剥がれない接着剤であればいずれの接着
剤で1も用いることかできるが、例えば,エボキシ樹脂
などの熱硬化接着剤、ホットメルト系接着剤などを用い
ることができる。
また、第2図に示すように治具4に固定したスタンパ−
1の裏面を加工してスタンパーlの全面を一定の厚さに
するが,その加工方法は外周部か威型ロール7の径と同
じ曲率半径を持った研磨装置6を用いて容易に行なうこ
とがてきる。その他には精密旋盤などの機械的な切削加
工で行なうこともできる。
また、第3図に示すように、一定の厚さに加工されたス
タンパ−1を治具4に付いたまま威型ロール7またはダ
イセット8に隙間ができないように固定する方法は威型
に必要な強度が保たれれば、いずれの方法でも用いるこ
とができるが、例えば接着、ビス止めなどの方法を用い
ることができる。接着するときに用いる接着剤は接着強
度が強く,耐久性の良い接着剤が良い.好ましい接着剤
としては耐熱エボキシ系接着剤などがある.本発明にお
ける成型ロール7は硬度がある程度高く、ある程度の剛
性のある材料であれば,どのような材料でも用いること
ができるが、例えば、鉄、クロム鋼などの金属や金属化
合物および硬質塩化ビニルなどの樹脂を用いることがで
きる.成型ロールの表面は鏡面に研磨する.面精度は成
型する光記録媒体の面精度と、ほぼ同じかまたはそれよ
りも良い面精度が必要である.表面の凹凸がp−pで5
0川重以下であることが好ましい.また必要に応じて成
型ロール表面に窒化チタンなどの硬化膜、シリコンなど
の保護層を形成することもできるし.ニッケルやクロム
などのメッキを施すことも可能である.また、ロールの
径の大きさによっては、ダイセット8を組み込むように
して取り扱いを箇単にすることも可能である.ダイセッ
ト8は威型ロール7と同様に作ることができる。
ダイセット8を虞型ロール7−に組み込んたときに威型
ロールおよびダイセットの表面に段差ができないように
するのが望ましい。
スタンバ−1を成型ロール7またはダイセット8に固定
した後にスタンパ−1と保護層2の界面を剥がし、スタ
ンバ−1を治具4から剥離する。
剥離する方法はいずれの方法でも用いることができる.
例えば,端からクサビのような工具を用いて剥がしても
良い.スタンバ−1を!f離した後の保護層2は、例え
ば剥離剤などを用いて治具4から剥離し、治具4は次の
スタンパーの加工・固定に用いることができる. [作用] 本発明の光記録媒体用ロール型の製造方法は、プリフォ
ーマットなどのパターンが形成された光記録媒体の透明
基板を連続的に製造する工程において用いるロール形状
をしたスタンパーまたは型を製造する工程において、表
面にブリフォーマットパターンなどの凹凸形状が形成さ
れたスタンパーの凹凸パターンの上に保護層を形成する
工程、該保護層を介してスタンパーを威型ロールに合わ
せた径の凹面を有する治具に固定する工程、該治具に固
定されたスタンパーの裏面を加工してスタンパーの全面
を一定の厚さにする工程,該加工されたスタンパーの裏
面に成型ロールを固定する工程、該戒型ロールに固定さ
れたスタンパーを治具から剥離する工程からなる一連の
工程によって、凹凸パターンの形成されたスタンパーを
戒型ロールの表面に精度良く、簡単な機構で固定するこ
とが可能となる. [実施例] 以下,実施例を示し、本,発明をさらに具体的に説明す
る. 実施例l 第1図に示す様に、1.6終置ピッチ、0.6座鵬幅、
深さ700大の連続溝か形成された厚さ0.3llI1
のニッケル製スタンパー(セイコーエプソン社製)の上
に,保護剤(シリテクトー■,トライレーナーテクノロ
ジー〉をスプレーコートて50gmの厚さに均一に塗布
した。
次に、第2図に示すように、曲率半径300mmの凹面
が形成された治具の上に接着剤(アドフィックスH、日
化精工社製)を30ル醜の厚さに均一に塗布してスタン
パーを保護層側から接着した。治具に貼り付けたスタン
パーの裏面を凹面と同じ曲率半径の凸面の外形を持つ研
磨治具(材質:SiC )で,研磨剤として10角場径
のアルミナ粉を用いて、スタンパー全面が0.3m+a
の均一な厚さになるまで研磨した.研磨後,治具の凹面
と同じ曲率半径の威型ロールの表面に、接着剤(W−ボ
ンド:AL 日化精工社製)を50μ厘の厚さに均一に
塗布した。該成型ロールを研磨されたスタンパーの上に
置いてスタンパーと威型ロールを接着した.接着後にス
タンパーと保護層の界面にクサビを入れて剥がして威型
ロールを得た.拍其の上に残った保護層はアセトンを用
いて剥離した.得られた威型ロールを測定したところ,
ローラーの表面の凹凸はp−pで50川重以下で十分小
さかった.ローラー表面の偏芯は十分小さく、307t
m以下であった.この成型ロールを押し出し威型機(日
立造船、SHT90−32DVG )に取り付けて、2
.3m/分の速度で、ダイ湿度250゜C、ローラー温
度60゜Cの条件で、ボリカーボネート(帝人化威、K
−1285)を1.2mm厚さに押し出した.この威型
ロールで1万枚の光ディスク用基板を成型してもローラ
ー表面の形状に変化がなかった.押し出した基板を測定
したところ、面振れ量はp−pで50ルー以下で十分小
さかった.この基板を861●φに切断して、下記構造
式[I]で示される、光記録材料を溶剤塗布した。
((:2HS)2Nl     < N(CJs)zC
204°      [I] 保護基板には0.3■厚のボリカーボネート(帝人化戊
、パンライト251)を86思璽φに切断して、0.3
mmのエアーギャップを持つように接着した.記録・再
生したところ、ディスクの回転数1800rpm .書
き込み周波数3Mllz.書き込みパワー6一、読み出
しパワー0.5麿WでC/N比で50dBであった. 実施例2 実施例lと同じように、実施例lと同じスタンパーの凹
凸パターンの上に紫外線硬化樹脂(三菱レイヨン■製、
MRA50ロ)を501Lmの厚さに均一に塗布した後
、21重厚のガラス板をかぶせて密閉した.3kWの紫
外線ランプ(ウシオ電気社製)を2木用いて,空冷して
紫外線で熱をもたないようにしながら、200mW/a
1の強度の紫外線を30秒間照射して樹脂を硬化させた
。ガラス板を取り除いてから、同じ紫外線ラン・プな用
いて、3分間紫外線を照射して樹脂を完全に硬化させた
. 次に,実施例lと同様に,スタンパーを実施例lと同じ
曲率半径の凹面を形成した治具の上に接着した。実施例
1と同様に,裏面を研磨してスタンパーの厚さを0.1
mmにした後、治具の凹面と同じ曲率半径の凸面を宥す
るダイセットをスタンパーに接着した。接着したダイセ
ットは実施例1と同じ径のロールにビス止めして固定し
た.治具上に残った保護層は実施例lと同じ方法で取り
除いた。
得られた成型ロールを測定したところ、ローラーの表面
の凹凸はp−pで501Lm以下で、十分小さかった。
威型ロール表面の偏芯は,301Lm以下で十分小さか
った。実施例lと同じ方法で1万枚の光ディスク基板を
威型した後でも、表面形状の変化は認められなかった。
威型した基板の特性は面振れ量でp−pで50川口以下
で十分小さかった.この光ディスク基板に実施例lと同
様に光記録層を形成して記録・再生を行なったところC
/N比で52dBであった. 実施例3 実施例1と同様C、厚さ1.2■のガラス製基板(旭ガ
ラス製)の凹凸パターンの上に、実施例lと同様の保護
層を実施例1と同様の方法で形成した.次に、実施例l
と同様の方法で、曲率半径500■の凹面を持つ治具の
上に貼り付け、裏面を研磨して厚さを50JLmにした
.治具と同し曲率半径を持つガラス製ロール(コーニン
グ)とスタンパーを貼り合わせた後、スタンパーと保護
層の界面から剥がして威型ロール型を作威した.治具上
に残った保護層は実施例lと同じ方法で取り除いた. 得られた威型ロールを測定した結果、ローラーの表面の
凹凸はp−pで40ル醜以下と十分小さかった.成型ロ
ールの中に3kWの紫外線ランプ(ウシオ電気)を2本
入れた.1.211厚のポリカーボネート(帝人化成、
パンライ−}−202)の上に紫外線硬化樹脂(三菱レ
イヨン、MRA500)を10JLsの厚さに塗布して
、この戒型ロールを用いて、送り速度3m/分、ロール
圧力1.5kg/c思2,照射紫外線強度1′80mW
/cm”で、パターンを転写しながら硬化させ光ディス
ク基板を得た.その後、実施例lと同じようにディスク
を作成した。この光ディスクを実施例1と同じ条件で記
録・再生を行なったところ. C/N比で53dBであ
った。
[発明の効果] 以上説明した様に、本発明によれば、凹面の形成された
治具の上にスタンパーを固定して裏面加工と曲げ加工を
同時に行ない、治具上で成型ロールまたはダイセットの
表面にスタンパーを固定するために、簡単な機構で精度
良く光記録媒体用基板の製造用ロール型を製造できる効
果がある.
【図面の簡単な説明】
第1図〜第3図は本発明の光記録媒体用ロール型の製造
方法の一実施態様を示す概略断面図、第4図は従来の光
記録媒体の製造用スタンパーの貼り付け方法を示′す説
明図、第5図および第6図は従来の製版方法によるロー
ルへのパターン転写方法を示す説明図、第7図は従来の
光記録媒体の部分断面図および第8図(a).(b)は
従来の光記録媒体用基板の連続製造法を示す概略図であ
る.1 . 12−・・スタンバ−  2・・・保護層
3・・・凹凸パターン   4・・・治具5・・・接着
層      6・・・研磨治具7・・・成型ロール 
   8・・・ダイセット1l・・・加圧ローラー  
 21. 31・・・製版用ロール22・・・マスク 23. 32・・・パターン露光用光ビーム4l・・・
透明基板     42・・・トラック溝部43・・・
光記録層 44・・・スベーサー・接着層 45・・・保護基板     51・・・樹脂シート5
 2−・・威型用ロール 53・・・加圧またはテンション用ロール54・・・巻
き出し用ロール 55・・・巻き取り用ロール

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  レーザービームなどの光ビームの照射によって、反射
    率、屈折率などの光学特性を変化させて情報の記録・再
    生を行なう光記録媒体用の基板の製造に用いるロール型
    の製造方法において、表面にプリフォーマットパターン
    などの凹凸形状が形成されたスタンパーの凹凸パターン
    の上に保護層を形成する工程、該保護層を介してスタン
    パーを成型ロールに合わせた径の凹面を有する治具に固
    定する工程、該治具に固定されたスタンパーの裏面を加
    工してスタンパーの全面を一定の厚さにする工程、該加
    工されたスタンパーの裏面に成型ロールを固定する工程
    、該成型ロールに固定されたスタンパーを治具から剥離
    する工程からなることを特徴とする光記録媒体用ロール
    型の製造方法。
JP16064889A 1989-06-26 1989-06-26 光記録媒体用ロール型の製造方法 Pending JPH0326527A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010140648A1 (ja) * 2009-06-05 2010-12-09 旭化成株式会社 転写用モールド及び転写用モールドの製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2010140648A1 (ja) * 2009-06-05 2010-12-09 旭化成株式会社 転写用モールド及び転写用モールドの製造方法
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