JPH0778360A - 研磨治具およびスタンパの研磨方法 - Google Patents
研磨治具およびスタンパの研磨方法Info
- Publication number
- JPH0778360A JPH0778360A JP22588893A JP22588893A JPH0778360A JP H0778360 A JPH0778360 A JP H0778360A JP 22588893 A JP22588893 A JP 22588893A JP 22588893 A JP22588893 A JP 22588893A JP H0778360 A JPH0778360 A JP H0778360A
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- polishing
- jig
- polishing jig
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Abstract
(57)【要約】
【目的】
【構成】 光学ディスク用スタンパの非信号面を研
磨する際に用いる研磨治具であって、スタンパを磁気シ
ートまたは永久磁石などの磁性体を用いて磁力により治
具に固定する。 【効果】 スタンパの研磨治具への取り付け方法
が容易になるだけでなく、均一で良好な非信号面を有す
るスタンパを得ることができる。
磨する際に用いる研磨治具であって、スタンパを磁気シ
ートまたは永久磁石などの磁性体を用いて磁力により治
具に固定する。 【効果】 スタンパの研磨治具への取り付け方法
が容易になるだけでなく、均一で良好な非信号面を有す
るスタンパを得ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学ディスク用スタン
パの非信号面を研磨する際に用いる研磨治具およびスタ
ンパ非信号面の研磨方法に関する。
パの非信号面を研磨する際に用いる研磨治具およびスタ
ンパ非信号面の研磨方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、光学ディスク用の基板は、大量
生産が可能なように射出成形によって生産されている。
従って、基板にピットあるいはグルーブを転写させるた
めのスタンパには、原盤としての高度な精度、裏面（非
信号面）の平滑性、射出成形の際の耐久性が要求され、
通常ニッケル製のスタンパが使用されている。これらの
特性のうち、特に、スタンパの裏面の平滑性は、得られ
る基板の特性に大きく影響する。
生産が可能なように射出成形によって生産されている。
従って、基板にピットあるいはグルーブを転写させるた
めのスタンパには、原盤としての高度な精度、裏面（非
信号面）の平滑性、射出成形の際の耐久性が要求され、
通常ニッケル製のスタンパが使用されている。これらの
特性のうち、特に、スタンパの裏面の平滑性は、得られ
る基板の特性に大きく影響する。
【０００３】ニッケル製スタンパの裏面研磨のための研
磨治具への固定方法は、スタンパの信号面を適当な高分
子膜で被覆、保護した後、加熱により液化させたパラフ
ィンを研磨治具とスタンパとの間に流し込むことによっ
て、あるいは両面粘着性シートを用いることによって行
われている。しかしながら、パラフィンを用いる方法で
はスタンパの研磨治具への固定の力が弱く、研磨中にス
タンパが研磨治具からはずれてしまったり、両面粘着テ
ープを用いる方法ではスタンパを研磨治具から剥がす際
にその外力のためにスタンパを変形させてしまったりす
るという問題があった。このため、ニッケル製スタンパ
と研磨治具との剥離性を向上するために、両面粘着性シ
ートと研磨治具との間に剥離補助シートを挟む方法（例
えば、特開昭６０−２１６９１５号公報等）が開示され
ている。
磨治具への固定方法は、スタンパの信号面を適当な高分
子膜で被覆、保護した後、加熱により液化させたパラフ
ィンを研磨治具とスタンパとの間に流し込むことによっ
て、あるいは両面粘着性シートを用いることによって行
われている。しかしながら、パラフィンを用いる方法で
はスタンパの研磨治具への固定の力が弱く、研磨中にス
タンパが研磨治具からはずれてしまったり、両面粘着テ
ープを用いる方法ではスタンパを研磨治具から剥がす際
にその外力のためにスタンパを変形させてしまったりす
るという問題があった。このため、ニッケル製スタンパ
と研磨治具との剥離性を向上するために、両面粘着性シ
ートと研磨治具との間に剥離補助シートを挟む方法（例
えば、特開昭６０−２１６９１５号公報等）が開示され
ている。
【０００４】しかしながら、上記の方法においては、ニ
ッケル製スタンパを研磨治具に取り付ける際に、それぞ
れの積層面に気泡の混入が避けられず、特に、粘着シー
トと研磨治具面との間に気泡が混入した状態で研磨を行
うと均一なスタンパ研磨面を得ることがしばしば困難に
なることがある。そのため、研磨治具へのニッケル製ス
タンパの貼り合わせ作業では、気泡の混入の起こらない
ように、十分に配慮しなければならない。
ッケル製スタンパを研磨治具に取り付ける際に、それぞ
れの積層面に気泡の混入が避けられず、特に、粘着シー
トと研磨治具面との間に気泡が混入した状態で研磨を行
うと均一なスタンパ研磨面を得ることがしばしば困難に
なることがある。そのため、研磨治具へのニッケル製ス
タンパの貼り合わせ作業では、気泡の混入の起こらない
ように、十分に配慮しなければならない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
の問題点がなく、かつ裏面の平面度の高いスタンパを提
供することにある。
の問題点がなく、かつ裏面の平面度の高いスタンパを提
供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記問題
点を解決するために、スタンパの研磨方法について鋭意
検討を行った結果、スタンパの研磨治具への新規な固定
方法を見出だすことにより、本発明を完成するに至っ
た。
点を解決するために、スタンパの研磨方法について鋭意
検討を行った結果、スタンパの研磨治具への新規な固定
方法を見出だすことにより、本発明を完成するに至っ
た。
【０００７】すなわち本発明は、光学ディスク用スタン
パの非信号面を研磨する際に用いる研磨治具であってス
タンパを磁力により固定可能とする磁性を帯びてなる研
磨治具、および該治具を使用してなるスタンパの研磨方
法に関する。
パの非信号面を研磨する際に用いる研磨治具であってス
タンパを磁力により固定可能とする磁性を帯びてなる研
磨治具、および該治具を使用してなるスタンパの研磨方
法に関する。
【０００８】以下、本発明を詳細に説明する。
【０００９】本発明は、磁性を帯びている有する研磨治
具を用いることが特徴であるが、研磨治具に磁性を付与
させる方法として、例えば、磁性のない研磨ブロックに
磁気シートを固定することにより、あるいは永久磁石か
らなる研磨治具を用いる方法などを例示することができ
る。磁性のない研磨ブロックに磁気シートを固定する方
法としては、磁気シート面が平滑になればいかなる方法
を用いても何等差し支えないが、例えば両面粘着性シー
トあるいは接着剤を用いる方法などを例示することがで
きる。
具を用いることが特徴であるが、研磨治具に磁性を付与
させる方法として、例えば、磁性のない研磨ブロックに
磁気シートを固定することにより、あるいは永久磁石か
らなる研磨治具を用いる方法などを例示することができ
る。磁性のない研磨ブロックに磁気シートを固定する方
法としては、磁気シート面が平滑になればいかなる方法
を用いても何等差し支えないが、例えば両面粘着性シー
トあるいは接着剤を用いる方法などを例示することがで
きる。
【００１０】この際に用いられる磁気シートとしては、
例えばプラスチック製磁気シート、磁性粉末とコンパウ
ンドを主成分とするゴム製磁気シート、あるいは磁性金
属からなる磁気シートなどを挙げることができる。シー
トの大きさは、研磨ブロック面全てを覆うことのできる
大きさないしスタンパ外径よりも大きいものが好まし
い。磁気シートの大きさがスタンパ外径より小さいと、
磁気シートが存在するために研磨の際の圧力により段差
が生じスタンパが不均一に研磨されるという問題が生じ
ることがある。また、磁気シートの厚さは、スタンパを
固定でき、操作性に問題が生じない限り特に限定される
ものではないが、磁気シートの取り付けの容易さなどの
点から０．３〜３ｍｍであることが望ましい。
例えばプラスチック製磁気シート、磁性粉末とコンパウ
ンドを主成分とするゴム製磁気シート、あるいは磁性金
属からなる磁気シートなどを挙げることができる。シー
トの大きさは、研磨ブロック面全てを覆うことのできる
大きさないしスタンパ外径よりも大きいものが好まし
い。磁気シートの大きさがスタンパ外径より小さいと、
磁気シートが存在するために研磨の際の圧力により段差
が生じスタンパが不均一に研磨されるという問題が生じ
ることがある。また、磁気シートの厚さは、スタンパを
固定でき、操作性に問題が生じない限り特に限定される
ものではないが、磁気シートの取り付けの容易さなどの
点から０．３〜３ｍｍであることが望ましい。
【００１１】また、研磨治具として磁性体を用いる場合
においては、永久磁石あるいは強磁性体からなる磁石の
いずれを用いても特に限定されず、コバルトフェライ
ト、ニッケルフェライトなどのフェライト系磁石、炭素
鋼などの鋼系磁石、希土類コバルト磁石などを例示する
ことができる。
においては、永久磁石あるいは強磁性体からなる磁石の
いずれを用いても特に限定されず、コバルトフェライ
ト、ニッケルフェライトなどのフェライト系磁石、炭素
鋼などの鋼系磁石、希土類コバルト磁石などを例示する
ことができる。
【００１２】磁気シートまたは磁性体どちらを使用する
場合であっても、その磁束密度はスタンパが固定でき、
研磨中に剥離するなどの問題が生じない範囲であれば特
に限定されないが、５０ガウスないし１００００ガウス
が好ましい。すなわち、５０ガウスより小さいとニッケ
ル製スタンパの張り付きが弱く、研磨中に研磨治具から
はずれてしまうためニッケル製スタンパの裏面が不均一
に研磨されることがあり、また１００００ガウスよりも
大きいと研磨治具に固着させたニッケル製スタンパの剥
離が困難になるだけでなく、剥離の際の外力によりスタ
ンパが変形する恐れがある。
場合であっても、その磁束密度はスタンパが固定でき、
研磨中に剥離するなどの問題が生じない範囲であれば特
に限定されないが、５０ガウスないし１００００ガウス
が好ましい。すなわち、５０ガウスより小さいとニッケ
ル製スタンパの張り付きが弱く、研磨中に研磨治具から
はずれてしまうためニッケル製スタンパの裏面が不均一
に研磨されることがあり、また１００００ガウスよりも
大きいと研磨治具に固着させたニッケル製スタンパの剥
離が困難になるだけでなく、剥離の際の外力によりスタ
ンパが変形する恐れがある。
【００１３】磁極はＮ極、Ｓ極のどちらか一方あるいは
漏れ磁束密度を大きくするためにＮ極Ｓ極がランダムに
存在するもののいずれであっても何等差し支えない。
漏れ磁束密度を大きくするためにＮ極Ｓ極がランダムに
存在するもののいずれであっても何等差し支えない。
【００１４】また、特に研磨治具の磁力が大きい場合な
どにおいては、スタンパの研磨治具からの剥離を容易に
するために、スタンパと研磨治具との間にスタンパを傷
つけることのない剥離用の薄いシート、例えば紙、樹脂
性薄膜などをはさみこむこともできる。
どにおいては、スタンパの研磨治具からの剥離を容易に
するために、スタンパと研磨治具との間にスタンパを傷
つけることのない剥離用の薄いシート、例えば紙、樹脂
性薄膜などをはさみこむこともできる。
【００１５】本発明によるスタンパの研磨治具へのとり
つけ方法の例を、図１および図２に示す。図１は、磁性
のない研磨ブロック１に両面粘着性テープ４を用いて磁
気シート２を固定後、その表面上にスピンコート法、ス
プレーコート法などの方法で信号面に高分子膜６を被覆
したスタンパ７をはりつけた例であり、図２は、磁気シ
ートとして永久磁石３を接着剤５を用いて固定した例で
あり、いずれの場合においても、信号面を保護したスタ
ンパを磁気シート面上に重なるように張り合わせるだけ
でよく、特に張り付け用の治具などは必要としない。
つけ方法の例を、図１および図２に示す。図１は、磁性
のない研磨ブロック１に両面粘着性テープ４を用いて磁
気シート２を固定後、その表面上にスピンコート法、ス
プレーコート法などの方法で信号面に高分子膜６を被覆
したスタンパ７をはりつけた例であり、図２は、磁気シ
ートとして永久磁石３を接着剤５を用いて固定した例で
あり、いずれの場合においても、信号面を保護したスタ
ンパを磁気シート面上に重なるように張り合わせるだけ
でよく、特に張り付け用の治具などは必要としない。
【００１６】スタンパの材質として、ニッケル、コバル
ト、あるいはそれらの合金などを例示することができ、
磁性体からなるスタンパであれば何等差支えない。
ト、あるいはそれらの合金などを例示することができ、
磁性体からなるスタンパであれば何等差支えない。
【００１７】また、スタンパの研磨方法としては一般に
使用されている方法を適宜利用できるが、例えば、ポリ
ッシング法やラッピング法等を例示することができる。
使用されている方法を適宜利用できるが、例えば、ポリ
ッシング法やラッピング法等を例示することができる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明を実施例をもって更に詳細に説
明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００１９】実施例１ アルミニウム製の研磨ブロックに両面粘着性テープを用
いてＮ極およびＳ極がランダムに存在する０．３ｍｍの
厚さの約５００ガウスのプラスチック製磁気シートをは
りつけ研磨治具を作成した。この研磨治具に信号面をス
ピンコート法により高分子膜で保護したニッケル製スタ
ンパをはりつけた。これをポリッシングすることによっ
て局部的なへこみのない裏面粗さ０．２μｍ以下であ
る、良好な裏面を有するニッケルスタンパを得た。
いてＮ極およびＳ極がランダムに存在する０．３ｍｍの
厚さの約５００ガウスのプラスチック製磁気シートをは
りつけ研磨治具を作成した。この研磨治具に信号面をス
ピンコート法により高分子膜で保護したニッケル製スタ
ンパをはりつけた。これをポリッシングすることによっ
て局部的なへこみのない裏面粗さ０．２μｍ以下であ
る、良好な裏面を有するニッケルスタンパを得た。
【００２０】実施例２ 磁気シートとして極のそろった厚さ３ｍｍの約１００ガ
ウスのゴム製磁気シートを用い、研磨ブロックとしてア
クリル樹脂製の円盤を用いた以外は実施例１と同様に研
磨治具を作成した。これを用いて信号面を高分子膜で保
護したスタンパを固定し、その裏面をポリッシングする
ことによって局部的なへこみのない裏面粗さ０．２μｍ
以下である、良好な裏面を有するニッケルスタンパを得
た。
ウスのゴム製磁気シートを用い、研磨ブロックとしてア
クリル樹脂製の円盤を用いた以外は実施例１と同様に研
磨治具を作成した。これを用いて信号面を高分子膜で保
護したスタンパを固定し、その裏面をポリッシングする
ことによって局部的なへこみのない裏面粗さ０．２μｍ
以下である、良好な裏面を有するニッケルスタンパを得
た。
【００２１】実施例３ 約９０００ガウスの厚さ０．５ｍｍの炭素鋼磁石をエポ
キシ系接着剤を用いてアルミニウム製研磨ブロックに固
定した。この炭素鋼磁石と信号面を保護したスタンパと
を厚さ０．１ｍｍのポリエチレン薄膜を介して張り合わ
せ、ポリッシング法により研磨した。これにより局部的
なへこみのない裏面粗さ０．２μｍ以下である、良好な
裏面を有するニッケルスタンパを得た。
キシ系接着剤を用いてアルミニウム製研磨ブロックに固
定した。この炭素鋼磁石と信号面を保護したスタンパと
を厚さ０．１ｍｍのポリエチレン薄膜を介して張り合わ
せ、ポリッシング法により研磨した。これにより局部的
なへこみのない裏面粗さ０．２μｍ以下である、良好な
裏面を有するニッケルスタンパを得た。
【００２２】
【発明の効果】本発明によれば、スタンパの研磨治具へ
の取り付け方法が容易になるだけでなく、均一で良好な
裏面を有するスタンパを得ることができる。
の取り付け方法が容易になるだけでなく、均一で良好な
裏面を有するスタンパを得ることができる。
【図１】 本発明の一実施態様の断面を模式的に示した
図である。
図である。
【図２】 本発明の一実施態様の断面を模式的に示した
図である。
図である。
１ ： 研磨ブロック ２ ： 磁気シート ３ ： 永久磁石 ４ ： 両面粘着性テープ ５ ： 接着剤 ６ ： 高分子膜 ７ ： スタンパ
Claims (2)
- 【請求項１】 光学ディスク用スタンパの非信号面を研
磨する際に用いる研磨治具であってスタンパを磁力によ
り固定可能とする磁性を帯びてなる研磨治具。 - 【請求項２】 光学ディスク用スタンパの非信号面を研
磨治具を用いて研磨する方法において、スタンパと研磨
治具との固定を磁力により行うことを特徴とするスタン
パの研磨方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22588893A JPH0778360A (ja) | 1993-09-10 | 1993-09-10 | 研磨治具およびスタンパの研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22588893A JPH0778360A (ja) | 1993-09-10 | 1993-09-10 | 研磨治具およびスタンパの研磨方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0778360A true JPH0778360A (ja) | 1995-03-20 |
Family
ID=16836447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22588893A Pending JPH0778360A (ja) | 1993-09-10 | 1993-09-10 | 研磨治具およびスタンパの研磨方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0778360A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003092062A3 (en) * | 2002-04-24 | 2004-03-18 | 3M Innovative Properties Co | Surface protection sheet and electronic device package |
-
1993
- 1993-09-10 JP JP22588893A patent/JPH0778360A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003092062A3 (en) * | 2002-04-24 | 2004-03-18 | 3M Innovative Properties Co | Surface protection sheet and electronic device package |
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