JPH0262929A - 真空ゲージ支持装置 - Google Patents
真空ゲージ支持装置Info
- Publication number
- JPH0262929A JPH0262929A JP6432088A JP6432088A JPH0262929A JP H0262929 A JPH0262929 A JP H0262929A JP 6432088 A JP6432088 A JP 6432088A JP 6432088 A JP6432088 A JP 6432088A JP H0262929 A JPH0262929 A JP H0262929A
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- valve
- vacuum
- air
- gauge head
- exhaust
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は真空ゲージ支持装置に係り、例えば、真空装置
に使用される真空度測定用ゲージを取付けるための支持
装置として用いるに好適な真空ゲージ支持装置に関する
。
に使用される真空度測定用ゲージを取付けるための支持
装置として用いるに好適な真空ゲージ支持装置に関する
。
「従来の技術」
真空装置の管理において目標の到達真空度が得られない
という事態がけっこう頻繁にあり、原因の究明も大変や
っかいなものである。
という事態がけっこう頻繁にあり、原因の究明も大変や
っかいなものである。
真空装置の真空度を悪くする原因としては、外部からの
もれや真空槽内の放出ガス、或いは排気能力の低下など
があるにの原因を調査するに際して、真空装置をコート
室周辺と排気系との２つに分け、排気用が正常か否かを
判定することが行なわれている。排気系の圧力が目標値
に到達しているか否かを検出するには、高真空ゲージを
排気系側の主バルブ付近に設置し、低真空ゲージを、例
えば、油拡散ポンプから粗引きポンプの中途に設置する
ことが行なわれている。ところが、真空系は一般に長期
間の使用で同じ圧力に対し回し指示値を示さず、差が生
じてくることがある。
もれや真空槽内の放出ガス、或いは排気能力の低下など
があるにの原因を調査するに際して、真空装置をコート
室周辺と排気系との２つに分け、排気用が正常か否かを
判定することが行なわれている。排気系の圧力が目標値
に到達しているか否かを検出するには、高真空ゲージを
排気系側の主バルブ付近に設置し、低真空ゲージを、例
えば、油拡散ポンプから粗引きポンプの中途に設置する
ことが行なわれている。ところが、真空系は一般に長期
間の使用で同じ圧力に対し回し指示値を示さず、差が生
じてくることがある。
従って、真空装置の真空度を評価するためには、正常な
１つの真空計（含むゲージヘッド）による正常な別の排
気系の相対評価を行なうことが現実的である。そこで、
真空装置にゲージヘッドを取付けて真空度を？！１す定
することが行なわれている。
１つの真空計（含むゲージヘッド）による正常な別の排
気系の相対評価を行なうことが現実的である。そこで、
真空装置にゲージヘッドを取付けて真空度を？！１す定
することが行なわれている。
「発明が解決しようとする課題」
ところが、従来の真空ゲージヘッド支持′！ＡＭは、ゲ
ージヘッドが組み付けられる先端部と排気用の貫通孔を
有する簡単な構造のもので、ゲージヘッド着脱の際は、
真空装置内にその都度大気を導入しなければならなかっ
た。このため、油拡散ポンプを用いた場合には長時間の
予備加熱並びに冷却が必要であり、排気系能力の評価を
必要とする点検対象装置が多数ある生産工場では大変な
期間を要することになる。この状況は排気系のみならず
コート室内での真空度評価についても同様である。
ージヘッドが組み付けられる先端部と排気用の貫通孔を
有する簡単な構造のもので、ゲージヘッド着脱の際は、
真空装置内にその都度大気を導入しなければならなかっ
た。このため、油拡散ポンプを用いた場合には長時間の
予備加熱並びに冷却が必要であり、排気系能力の評価を
必要とする点検対象装置が多数ある生産工場では大変な
期間を要することになる。この状況は排気系のみならず
コート室内での真空度評価についても同様である。
本発明の目的は、真空装置内へ大気を尋人しなくてもゲ
ージヘットの着脱が可能となる真空ゲージ支持装置を提
供することにある。
ージヘットの着脱が可能となる真空ゲージ支持装置を提
供することにある。
「課題を解決するための手段」
前記目的を達成するために１本発明は、気体室を構成す
ると共に、この気体室に連通ずる真空ゲージヘット取付
孔、大気導入孔および真空装置取付用排気路を有するハ
ウジングと、前記排気路を開閉する排気バルブと、前記
大気導入孔を開閉する大気導入バルブとを備えると共に
、前記排気バルブが主バルブと補助的なリークバルブと
からなることを特徴とする真空ゲージ支持装置を提案す
る。
ると共に、この気体室に連通ずる真空ゲージヘット取付
孔、大気導入孔および真空装置取付用排気路を有するハ
ウジングと、前記排気路を開閉する排気バルブと、前記
大気導入孔を開閉する大気導入バルブとを備えると共に
、前記排気バルブが主バルブと補助的なリークバルブと
からなることを特徴とする真空ゲージ支持装置を提案す
る。
「作 用」
ハウジングの排気路を真空装置に固着し、排気バルブお
よび大気導入バルブの閉弁動作を行なう。
よび大気導入バルブの閉弁動作を行なう。
この状態でハウジングの真空ゲージヘッド取付孔にゲー
ジヘッドを取付ける。この後排気バルブの主バルブの開
弁に先き立ってリークバルブを開く。
ジヘッドを取付ける。この後排気バルブの主バルブの開
弁に先き立ってリークバルブを開く。
これにより気体室の大気が排気路を介して真空装置へ導
かれ、気体室内と真空装置本体との圧力差が少なくなる
。この状態で排気バルブの主バルブを開弁じて排気路を
開く。この閉弁動作で気体室内が真空となりゲージヘッ
トによる真空度の測定が可能となる。
かれ、気体室内と真空装置本体との圧力差が少なくなる
。この状態で排気バルブの主バルブを開弁じて排気路を
開く。この閉弁動作で気体室内が真空となりゲージヘッ
トによる真空度の測定が可能となる。
ゲージヘッドによる真空度の測定が終了した後。
排気バルブの主バルブ及びリークバルブを閉弁して排気
路を閉じる。この後、大気導入バルブの開弁作動によっ
て大気導入孔から気体室内に大気を導入する。これによ
り気体室内に大気が充満し、真空ゲージヘッドの取外し
が可能となる。
路を閉じる。この後、大気導入バルブの開弁作動によっ
て大気導入孔から気体室内に大気を導入する。これによ
り気体室内に大気が充満し、真空ゲージヘッドの取外し
が可能となる。
「実施例」
次に、本発明の一実施例について図面に沿って説明する
。
。
ハウジング１ｏは気体室１１を構成すると共に、気体室
１１側壁に真空ゲージヘッド取付孔１２゜第１シヤフト
挿通孔１３、大気導入孔１４、排気路１５が形成されて
いる。
１１側壁に真空ゲージヘッド取付孔１２゜第１シヤフト
挿通孔１３、大気導入孔１４、排気路１５が形成されて
いる。
真空ゲージ取付孔１２の首位にはフランジ１６が形成さ
れており、フランジ１６に真空ゲージ八ツ１へが着脱自
在に取付けられるようになっている。
れており、フランジ１６に真空ゲージ八ツ１へが着脱自
在に取付けられるようになっている。
排気路１５はハウジング１０の側壁から突出しており、
この排気路１５の外周にはＯリング１７．１８、ワッシ
ャ１９が装着されると共に、ねじ２０が設けられている
。
この排気路１５の外周にはＯリング１７．１８、ワッシ
ャ１９が装着されると共に、ねじ２０が設けられている
。
そして、排気路１５の先端側が真空装置２１の取付孔２
２内に挿入され、ねじ２０とねじ２３との螺合によって
排気路１５が真空装置２１に固着される。この装着はＯ
リング１７．１８によって排気路１５と取付孔２２との
間のシール性が維持されている。
２内に挿入され、ねじ２０とねじ２３との螺合によって
排気路１５が真空装置２１に固着される。この装着はＯ
リング１７．１８によって排気路１５と取付孔２２との
間のシール性が維持されている。
第１シヤフト挿通孔１３の壁面にはねじ２４．２５が螺
刻され、この挿通孔１３内には第１操作シャフト２６が
摺動自在に挿入されている。また、挿通孔１３内の段部
２７にはＯリング２８．２９とワッシャ３０が装着され
ている。そしてシャフト２６の先端側は、排気バルブ３
１の主バルブとしてのバルブ本体３２に形成された第２
シヤフト挿通孔３３内に摺動自在に挿入され、弁室３４
内の第１弁体３５に連結されている。排気バルブ３１は
Ｏリング３６を介して損気路１５を閉塞し、第１弁体３
５は弁孔３７を開閉する補助的なリークバルブを構成し
ている。すなわち、弁室３４に内装された第１弁体３５
は、コイルスプリング３８により弁孔３７面に付勢され
、このスプリンタ３８の付勢力によって弁孔３７を閉塞
し、シャフト２６がＸ方向に移動したときにコイルスプ
リング３８の付勢力に抗して弁孔３７を開くようになっ
ている。また、シャフト２６の先端側にはバルブ本体３
２に接近してフランジ３９とねじ４０が設けられており
、ねじ４０がねじ２４と螺合するようになっている。
刻され、この挿通孔１３内には第１操作シャフト２６が
摺動自在に挿入されている。また、挿通孔１３内の段部
２７にはＯリング２８．２９とワッシャ３０が装着され
ている。そしてシャフト２６の先端側は、排気バルブ３
１の主バルブとしてのバルブ本体３２に形成された第２
シヤフト挿通孔３３内に摺動自在に挿入され、弁室３４
内の第１弁体３５に連結されている。排気バルブ３１は
Ｏリング３６を介して損気路１５を閉塞し、第１弁体３
５は弁孔３７を開閉する補助的なリークバルブを構成し
ている。すなわち、弁室３４に内装された第１弁体３５
は、コイルスプリング３８により弁孔３７面に付勢され
、このスプリンタ３８の付勢力によって弁孔３７を閉塞
し、シャフト２６がＸ方向に移動したときにコイルスプ
リング３８の付勢力に抗して弁孔３７を開くようになっ
ている。また、シャフト２６の先端側にはバルブ本体３
２に接近してフランジ３９とねじ４０が設けられており
、ねじ４０がねじ２４と螺合するようになっている。
また、シャフト２６の他端には把手４１とねじ４２が設
けられており、把手４１は操作部として円環状に形成さ
れ、また、ねじ４２はねじ２５と螺合し、シャフト２６
をハウジング１０へ着脱自在に装着するようになってい
る。
けられており、把手４１は操作部として円環状に形成さ
れ、また、ねじ４２はねじ２５と螺合し、シャフト２６
をハウジング１０へ着脱自在に装着するようになってい
る。
また、大気導入孔１４の気体室１１外側には大気導入路
４３が形成されており、大気導入路４３内には第２操作
シャフト４４が摺動自在に挿入されている。シャフト４
４の先端側には第２弁体４５が連結され、その他端には
把手４６が一体形成されている。また、このシャフト４
４は大気導入路の段部４８に取り付けられた支持板４７
に摺動自在に軸挿されており、支持板４７と第２弁体４
５との間にはコイルスプリング４９が設けられ、第２弁
体４５がこのスプリング４９の付勢力によって大気導入
孔１４側に付勢されている。すなわち。
４３が形成されており、大気導入路４３内には第２操作
シャフト４４が摺動自在に挿入されている。シャフト４
４の先端側には第２弁体４５が連結され、その他端には
把手４６が一体形成されている。また、このシャフト４
４は大気導入路の段部４８に取り付けられた支持板４７
に摺動自在に軸挿されており、支持板４７と第２弁体４
５との間にはコイルスプリング４９が設けられ、第２弁
体４５がこのスプリング４９の付勢力によって大気導入
孔１４側に付勢されている。すなわち。
大気導入バルブ５０の人気導入孔１４はコイルスプリン
グ７１９の付勢力を基に第２弁体４５により閉塞されて
おり、シャフト４４が矢印Ｘ方向に移動したとき、コイ
ルスプリング４９の付勢力に抗して第２弁体４５が大気
導入孔１４を開くように構成されている。
グ７１９の付勢力を基に第２弁体４５により閉塞されて
おり、シャフト４４が矢印Ｘ方向に移動したとき、コイ
ルスプリング４９の付勢力に抗して第２弁体４５が大気
導入孔１４を開くように構成されている。
以上の構成において、排気路１５を真空装置２１の取付
孔２２に固着し、シャフト２６．４４を各々矢印Ｙ方向
へ移動させておく。
孔２２に固着し、シャフト２６．４４を各々矢印Ｙ方向
へ移動させておく。
これより気体室１１内の大気圧がバルブ本体３２［；作
用すると共に、コイルスプリング３８が第１弁体３５を
押動して弁孔３７を塞ぐため、排気路１５がバルブ本体
３２により閉塞され、また、大気導入孔１４がコイルス
プリング４９によって押動される第２弁体４５により閉
塞される。この状態でフランジ１Ｇに真空ゲージヘッド
を固定する。
用すると共に、コイルスプリング３８が第１弁体３５を
押動して弁孔３７を塞ぐため、排気路１５がバルブ本体
３２により閉塞され、また、大気導入孔１４がコイルス
プリング４９によって押動される第２弁体４５により閉
塞される。この状態でフランジ１Ｇに真空ゲージヘッド
を固定する。
次に、把手４１を矢印Ｘ方向に引くと、バルブ本体３２
と第１ Ｊｉ、体３５に加わる圧力差により、先ず第１
弁体３５がシャフト２６の移動に伴ってコイルスプリン
グ３８の勢力に抗して後退し弁孔３７を開く。これより
、排気路１５内には気体室１］−内の大気が第２シヤフ
ト挿通孔３３、井水：３４、弁孔３７を介して導かれる
。このため、ＩＪｌ：気路１５内と気体室１１内の圧力
の差が小さくなり、シャフト２６の移動によってバルブ
本体３２が後退し排気路１５が開かれる。この後、さら
にシャフト２６を矢印Ｘ方向へ移動させ５ねじ２４とね
じ４０とを螺合し、排気バルブ３１を第１シヤフト挿通
孔１３側へ移動させて固定する。これにより排気バルブ
３１が大気圧によって排気路１５側へ戻されることはな
い。このとき、大気室１１内は真空となり、真空ゲージ
ヘッドによって真空度の測定が可能となる。なお、シャ
ツ１〜挿通孔１３はＯリング２８．２９によってシール
され、また、大気導通孔１４は第２弁体４５によって閉
塞されているため、大気が気体室１１内に浸入すること
はない。
と第１ Ｊｉ、体３５に加わる圧力差により、先ず第１
弁体３５がシャフト２６の移動に伴ってコイルスプリン
グ３８の勢力に抗して後退し弁孔３７を開く。これより
、排気路１５内には気体室１］−内の大気が第２シヤフ
ト挿通孔３３、井水：３４、弁孔３７を介して導かれる
。このため、ＩＪｌ：気路１５内と気体室１１内の圧力
の差が小さくなり、シャフト２６の移動によってバルブ
本体３２が後退し排気路１５が開かれる。この後、さら
にシャフト２６を矢印Ｘ方向へ移動させ５ねじ２４とね
じ４０とを螺合し、排気バルブ３１を第１シヤフト挿通
孔１３側へ移動させて固定する。これにより排気バルブ
３１が大気圧によって排気路１５側へ戻されることはな
い。このとき、大気室１１内は真空となり、真空ゲージ
ヘッドによって真空度の測定が可能となる。なお、シャ
ツ１〜挿通孔１３はＯリング２８．２９によってシール
され、また、大気導通孔１４は第２弁体４５によって閉
塞されているため、大気が気体室１１内に浸入すること
はない。
真空度の測定が終了した後、ねじ２４からねじ４０を外
し把手４１を矢印Ｙ方向へ押し込み、排気バルブ３１を
排気路１５側へ移動させて、排気路１５を排気バルブ３
１によって閉塞しながら、把手４６を矢印Ｘ方向に引き
出す。これより、第２弁体４５が後退し大気導入孔１４
が開き、気体室１１内には大気導入路を通って大気が導
入される。
し把手４１を矢印Ｙ方向へ押し込み、排気バルブ３１を
排気路１５側へ移動させて、排気路１５を排気バルブ３
１によって閉塞しながら、把手４６を矢印Ｘ方向に引き
出す。これより、第２弁体４５が後退し大気導入孔１４
が開き、気体室１１内には大気導入路を通って大気が導
入される。
気体室１１内に大気が充満したときには、把手４１．４
６から手を雅しフランジ１６から真空ゲージヘッドを取
外すことが可能となる。
６から手を雅しフランジ１６から真空ゲージヘッドを取
外すことが可能となる。
このように、本実施例においては、真空装置へ大気を導
入することなく、真空ゲージヘッドの７６＝脱を行なう
ことができる。また、ゲージヘッドとしては高低両真空
ゲージのものにも適用できるし、短時間で真空度の測定
ができるため、同一真空計による適切な相対評価が可能
となる。また、真空ゲージばかりでなく、残留ガスの質
量分析やリークテストのための結合部品として応用が可
能である。
入することなく、真空ゲージヘッドの７６＝脱を行なう
ことができる。また、ゲージヘッドとしては高低両真空
ゲージのものにも適用できるし、短時間で真空度の測定
ができるため、同一真空計による適切な相対評価が可能
となる。また、真空ゲージばかりでなく、残留ガスの質
量分析やリークテストのための結合部品として応用が可
能である。
「発明の効果」
以上説明したように、本発明に係る真空ゲージ支持装置
によれば、真空装置へ大気を導入しなくても、真空ゲー
ジヘッドの着脱が可能となるため、真空度等の測定作業
に極めて便利である。
によれば、真空装置へ大気を導入しなくても、真空ゲー
ジヘッドの着脱が可能となるため、真空度等の測定作業
に極めて便利である。
図面は本発明の一実施例を示す真空ゲージ支持装置の断
面図である。 ０・・・・ハウジング ト・・・気体室 ２・・・・真空ゲージヘッド取付孔 ４・・・・大気導入孔 ５・・・・排気路 ■・・・・真空装置 ６・・・・第１操作シャフト ト・・・排気バルブ ２・・・・バルブ本体 ６・・・・第１弁体 ７・・・・弁孔 ４・・・・第２操作シャフト ５・・・・第２弁体 Ｏ・・・・大気導入バルブ 手 続 補 正 書 ／、事件の表示 特願昭６３−６４３２０号 ユ０発明の名称 真空ゲージ支持装置 ３、補正をする者 事件との関係 実用新案登録出願人 住所 東京都板橋区前野町２丁目３６番９号６、補正の
内容 （１）明細書の「暑案の詳細な説明」の招中、第４頁第
１１行目の 「を開弁じて」を Ｔが開弁されて」と補正する。 （２）同第８頁第２０行目〜第９頁第１行目の「シャツ
１−２６の移動によってバルブ本体３２」を 「シャフト２６の移動によって生じたスプリング３８の
バネ力によってバルブ本体３２ｊと補正する。 （３）図面を別紙のとおり補正する。 ダ、補正の対象 （１）明！ＴＩ書の「考案の詳細な説明」の植手 続 補 正 書
面図である。 ０・・・・ハウジング ト・・・気体室 ２・・・・真空ゲージヘッド取付孔 ４・・・・大気導入孔 ５・・・・排気路 ■・・・・真空装置 ６・・・・第１操作シャフト ト・・・排気バルブ ２・・・・バルブ本体 ６・・・・第１弁体 ７・・・・弁孔 ４・・・・第２操作シャフト ５・・・・第２弁体 Ｏ・・・・大気導入バルブ 手 続 補 正 書 ／、事件の表示 特願昭６３−６４３２０号 ユ０発明の名称 真空ゲージ支持装置 ３、補正をする者 事件との関係 実用新案登録出願人 住所 東京都板橋区前野町２丁目３６番９号６、補正の
内容 （１）明細書の「暑案の詳細な説明」の招中、第４頁第
１１行目の 「を開弁じて」を Ｔが開弁されて」と補正する。 （２）同第８頁第２０行目〜第９頁第１行目の「シャツ
１−２６の移動によってバルブ本体３２」を 「シャフト２６の移動によって生じたスプリング３８の
バネ力によってバルブ本体３２ｊと補正する。 （３）図面を別紙のとおり補正する。 ダ、補正の対象 （１）明！ＴＩ書の「考案の詳細な説明」の植手 続 補 正 書
Claims (1)
- 気体室を構成すると共に、この気体室に連通する真空ゲ
ージヘッド取付孔、大気導入孔および真空装置取付用排
気路を有するハウジングと、前記排気路を開閉する排気
バルブと、前記大気導入孔を開閉する大気導入バルブと
を備えると共に、前記排気バルブが主バルブと補助的な
リークバルブからなることを特徴とする真空ゲージ支持
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6432088A JPH0262929A (ja) | 1988-03-17 | 1988-03-17 | 真空ゲージ支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6432088A JPH0262929A (ja) | 1988-03-17 | 1988-03-17 | 真空ゲージ支持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0262929A true JPH0262929A (ja) | 1990-03-02 |
Family
ID=13254826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6432088A Pending JPH0262929A (ja) | 1988-03-17 | 1988-03-17 | 真空ゲージ支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0262929A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS601406U (ja) * | 1983-06-16 | 1985-01-08 | ネポン株式会社 | エアセパレ−タ |
-
1988
- 1988-03-17 JP JP6432088A patent/JPH0262929A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS601406U (ja) * | 1983-06-16 | 1985-01-08 | ネポン株式会社 | エアセパレ−タ |
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