JPH0263119A - 薬液処理用装置及びそれを用いた薬液処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

本発明は、半導体ウエフ？などを薬液を用いて洗浄した
り、エツチングしたりするのに用いる薬液処理用装置、
及びそれを用いた薬液処理方法に関する。

【従来の技術ｌ 従来、第９図及び第１０図を伴って次に述べる薬液処理
用装置が提案されている。 すなわち、水平方向に延長している平らな床面１上に、
２本の支柱２及び３が、水平方向に比較的長い間隔を保
ち且つ垂直方向にそれぞれ延長して固定植立されている
。 それら支柱２及び３間には、案内レール４が水平方向に
延長して橋架されている。 案内レール４には、水平脚５が設けられている。この水
平脚５は、自身を、案内レール４上に、それに案内され
て水平方向に移動させるための水平駆動手段（図示せず
）を内装しているとともに、垂直脚６を有する。 この垂直脚６は、自身を、水平脚５上に、それに案内さ
れて垂直方向に移動させるための垂直駆動手段（図示せ
ず）を内装しているとともに、取手７ａを有し且つ薬液
処理されるべき被処理物を収容する薬液処理用ｆｆ１７
を、その取手７ａを介して、吊下させる吊下具８を有す
る。 以上が、従来提案されている薬液処理用装置の構成であ
る。 また、従来、次に述べる、上述した従来の薬液処理用装
置を用いた薬液処理方法が提案されている。 すなわち、上述した薬液処理用装置を用い、そして、床
面１上に、案内レール４の延長方向に冶りて、複数ｎ個
（以下、簡単のため、ｎ＝２の場合が示されている）の
第１、第２・・・・・・・・・第ｎの薬液槽Ｂ、Ｂ２・
・・・・・・・・Ｂｏを順次配しま た状態にしておく。 また、垂直脚６を、それに吊下用具８を介して薬液処理
用箔７が吊下され（す且つ薬液処理用箔７の下面が第１
の薬液槽Ｂ１の上面よりも高い位置にある水平脚５上の
移動位置にあらしめた状態で、水平脚５を、薬液処理用
１７が垂直脚６の吊下具８によって第１の薬液槽Ｂ１か
らみて第２の薬液Ｗ！Ｂ２１１１１Ｊとは反対側で吊下
され得る案内レール４上の移動位置Ｐ′３にあらしめた
状態にしておく。 そして、垂直脚６の吊下具８に、被処理物を予め収容し
ている薬液処理用箔７を吊下さし、次で、水平脚５を、
それ自身の水平駆動手段によって、案内レール４上に、
薬液処理用箔７が第１の薬液槽Ｂ、の上方に到る移動位
置Ｐ′。 まで、水平方向に移動させ、次で、垂直脚６を、それ自
身の垂直駆動手段によって垂直方向に扛下させることに
よって、薬液処理用箔７を、第１の薬液槽Ｂ１内に浸漬
させ、それによって、薬液処理用箔７内に収容している
被処理物を、第１の薬液槽Ｂ１内の薬液によって、所要
時間処理さぼる。 次に、垂直脚６を、それ自身の垂直駆動手段によって、
薬液処理用？ｆ１７の下面が第（ｉ−１）の薬液槽Ｂ（
ｉｌ）及び第ｉの薬液槽Ｂ１の上面よりも高い位置にな
るまで、垂直方向に扛上させることによって、薬液処理
用箔７を、第（１１）の薬液槽Ｂ（ｉ−１１外に上方に
引上げ、次で、水平脚５を、それ自身の水平駆動手段に
よって、薬液処理用箔７が第ｉの薬液槽Ｂ１の上方に到
る移動位置Ｐ′　ｉまで、水平方向に移動させ、次で、
垂直胴６を、それ自身の垂直駆動手段によって、垂直方
向に扛下させることによって、薬液処理用？！Ｍ７を、
第１の薬液槽Ｂ１内に浸漬させ、それによって、薬液処
理用？ｉ！７内に収容している被処理物を、第１の薬液
槽Ｂ。 内の薬液によって、所要時間処理させることを、ｉに順
次２．３・・・・・・・・・「１の値をとらせて行わせ
る。 次に、垂直胴６を、上述したと同様に、垂直方向に扛上
させ、次で、水平駒５を、薬液処理用箔７が第ｎの薬液
ｆｆ１Ｂｏからみて第（ｎ−１）薬液槽Ｂ　　　側とは
反対側において吊下具８（ｎ−１） から取外され得る移動位置Ｐ′、まで、水平方向に移動
さける。 次に、薬液処理用箔７を、垂直胴６の吊下具８から取外
し、次で、その薬液処理用箔７から、薬液処理された被
処理物を取出し、被処理物に対する薬液処理を終了させ
る。 以上が、従来提案されている薬液処理用装置を用いた従
来の薬液処理方法である。 第９図及び第１０図に示す従来の薬液処理用装置及びそ
れを用いた従来の薬液処理方法によれば、上述したとこ
ろから明らかなように、被処理物を第１の薬液槽Ｂ１外
から、第１の薬液１ＩＢ１内に浸漬させて、その被処理
物に第１回目の薬液処理を施し、次に、その薬液処理さ
れた被処理物を第（ｉ−１）の薬液槽Ｂ（ｉ−１）内か
ら引上げて第１の薬液槽Ｂ・内に浸漬さ「て、その被処
理物に第１回目の薬液処理を施すことを、１に順次２．
３・・・・・・・・・ｎの値をとらせて行わせ、次に、
第ｎの薬液槽Ｂ。内で第ｎ回目の薬液処理された被処理
物を第ｎの薬液槽Ｂ、内から引上げることによって、被
処理物に対する薬液処理を終了させることができる。 【発明が解決しようとする課題１ しかしながら、第９図及び第１０図に示す従来の薬液処
理用装置及びそれを用いた従来の薬液処理方法の場合、
被処理物を第（ｉ−１）の薬液槽Ｂ　（＋−１）内から
引上げて第１の薬液槽Ｂ内に浸漬させる一連の動作を、
垂直胴６を垂直方向に上方に扛上させ、次で、水平駒５
を水平方向に移動させ、次で、垂直胴６を垂直方向に下
方に扛下させるという３つの順次動作によって且つ被処
理物に四辺形の三辺に沿った軌跡を猫かせることによっ
て、行わせている。 このため、被処理物を第（ｉ−１）の薬液槽Ｂ（ｉ−１
）内から引上げて第ｉの薬液槽８・内に浸漬させる一連
の動作を、簡易に行わせることができないとともに、上
述した一連の動作に、比較的長い時間を費し、従って、
薬液処理用装置が複雑な構成になるとともに、被処理物
に対Ｊる薬液処理に、長い時間を費す、という欠点を右
していた。 また、上述したように、上述した一連の動作に艮い時間
を費すため、被処理物を、第（ｉ−１）の薬液槽Ｂ（ｉ
−１）内から引上げて、第ｉの薬液槽Ｂ、内に浸漬させ
るまでの闇において、被処理物の表面を乾燥させるおそ
れを有し、このため、被処理物を第（ｉ−１）の薬液槽
Ｂ（ｉ−ｌ）内で薬液処理して後第（ｉ−１）の薬液槽
Ｂ　　　内から引上げたとぎに被処理物の表面（ｉ−１
） に不要物が付着している場合、その不要物が、被処理物
を第ｉの薬液槽Ｂ、内から引上げて後も、被処理物の表
面に不必要に残っていたりす。 るおそれを有する、という欠点を有していた。 Ｊ：つて、本発明は、上述した欠点のない新規な薬液処
理用装置、及びそれを用いた薬液処理方法を提案せんと
するものである。 【課題を解決するための手段】 本願第１？ｌ目の発明による薬液処理用装置番よ、偏心
位置から軸方向に延長している支杆を有する回転体と、
その回転体が転接する水平案内面を有する回転体案内手
段と、上記回転体を上記回転体案内手段の水平案内面上
に水平方向に転接移送させる回転体移送手段と、上記回
転体の支杆に設けられ且つ薬液処理されるべき被処理物
を吊下させる被処理物吊下用手段とを有する。 また、本願第２番目の発明による薬液処理方法は、上述
した本願第１番目の発明による薬液処理用装置を用い、
その上記回転体を上記回転体案内手段の水平案内面上に
一方向に転接移送させたときに上記被処理物吊下用手段
が順次最下点をとる、上記回転体の、上記水平案内面上
の複数ｎ個の第１、第２・・・・・・・・・第ｎの転接
位置にそれぞれ対応している複数ｎ１ｌｌＪの第１、第
２・・・・・・・・・第ｎの薬液槽配置位置に、複数ｎ
ｌｊの第１、第２・・・・・・・・・第ｎの薬液槽を配
した状態で、且つ上記回転体を、被処理物が上記被処理
物吊下用手段に、上記第１の薬液槽から゛みて、上記第
１の薬液槽外の上記第２の薬液槽側とは反対側で吊下さ
れる、上記水平案内面上の転接移送位置にあらしめた状
態で、上記被処理物吊下用手段に、被処理物を吊下させ
、次で、上記回転体を、上記回転体移送手段によって、
上記回転体案内手段の水平案内面上に、一方向に、上記
第１の転接位置まで転接移送させることによって、上記
被処理物を、上記第１の薬液槽外から、上記第１の薬液
槽内に浸漬させ、次で、上記回転体を、上記回転体移送
手段によって、上記回転体案内手段の水平案内面上に、
上記方向に、第（ｉ−１）の転接位置から、第ｎの転接
位置まで転接移送させることによって、１記被処理物を
、第（ｉ−１）の薬液槽内から引上げて、第１の薬液槽
内に浸漬させることを、ｉに順次２．３・・・・・・・
・・ｎの値をとらせて行わせ、次で、上記回転体を、上
記回転体移送手段によって、上記回転体案内手段の水平
案内面上に、上記方向に転接移送させることによって、
上記被処理物を、上記第ｎの薬液槽内から、上記第ｎの
薬液槽からみて、上記第ｎの薬液槽外の上記第（ｎ−１
）の薬液槽側とは反対側に引上げさける。 さらに、本願第３番目の発明による薬液処理用装置は、
偏心位置から軸方向に延長している支杆を有する複数（
ｎ＋１）個（ただし、ｎは２以上の整数）の第１、第２
・・・・・・第ｎ、第（ｎ＋１）の回転体と、それら第
１、第２・・自・・第ｎ、第（ｎ＋１）の回転体を、そ
れらの軸がともに水平になるように且つ上記第１、第２
・・・・・・第ｎ、第（ｎ＋１＞の回転体が順次配列さ
れるようにそれぞれ支持する複数（ｎ＋１）個の第１、
第２・・・・・・第ｎ、第（ｎ＋１）の回転体支持手段
と、上記第１、第２・・・・・・第０１第（ｎ＋１＞の
回転体をそれぞれ回転させる複数（ｎ＋１）個の第１、
第２・・・・・・第ｎ、第（ｎ＋１＞の回転体躯初手段
と、上記第１、第２・・・・・・第ｎ、第（ｎ＋１）の
回転体の支杆にそれぞれ設けられ■つ薬液処理されるべ
き被処理物を吊下させる複数（ｎ＋１）個の第１、第２
・・・・・・第ｎ、第（ｎ＋１　）の吊下用手段とを有
する。 また、本願第４番目の発明による薬液処理方法は、上述
した本願第３番目の発明による薬液処理用装置を用い、
上記第１及び第２の回転体間、上記第２及び第３の回転
体間、・・・・・・・・・上記第（ｎ−１）及び第ｎの
回転体間、上記第ｎ及び第（ｎ＋１）の回転体間にそれ
ぞれ対応している複数ｎ個の第１、第２・・・・・・・
・・第ｎの薬液槽配置位置に、複数ｎ個の第１、第２・
・・・・・・・・第ｎの薬液槽をそれぞれ配した状態で
、且つ上記第１の回転体を、被処理物が上記第１の吊下
用手段に、上記第１の薬液槽からみて、上記第２の薬液
槽側とは反対側で吊下される、回動位置にあらしめた状
態で、上記第１の吊下用手段に、被処理物を吊下さけ１
次で、上記第１の回転体を、上記第１の回転駆動手段に
よって回動させることによって、上記被処理物を、上記
第１の１１Ｗｆｆｉ外から上記第１の薬液槽内に浸漬さ
せ、次で、第ｎの回転体を、第ｎの上記回転駆動手段に
よって回動させることによって、上記被処理物を、上記
第１の吊下用手段に吊下ざＵている状態で、上記第（ｉ
−１）の薬液槽内から引上げて、上記第ｉの薬液槽内に
浸漬させることを、１に順次２．３・・・・・・・・・
ｎの値をとらＩることによって、行わヒ、次で、上記第
（ｎ＋１）の回転体を、上記第（ｎ＋１）の回転駆動手
段によって回転させることによって、上記被処理物を、
上記第（ｎ＋１）の吊下用手段に吊下させている状態で
、上記第ｎの薬液槽内から、上記第ｎの薬液槽からみて
、上記第ｎの薬液槽外の上記第（ｎ−１＞の薬液槽側と
は反対側に引上げさせる。

【作用・効果］ 本願第１番目の発明による薬液処理用ｌ！置及びそれを
用いた本願第２番目の発明による薬液処理方法によれば
、第９図及び第１０図で上述した従来の薬液処理用装置
及びそれを用いた従来の薬液処理方法の場合と同様に、
被処理物を薬液槽Ｂ１外から、薬液槽Ｂ１内に浸漬させ
て、その被処理物に第１回目の薬液処理を施し、次に、
その薬液処理された被処理物を第（ｉ−１）の薬液槽Ｂ
（ｉ−１）内から引上げて第１の薬液槽Ｂ・内に浸漬さ
せて、その被処理物に第１回目の薬液処理を施すことを
、ｉに順次２．３・・・・・・・・・「）の値をとらせ
て行わせ、次に、第ｎ回目の薬液処理された被処理物を
第ｎの薬液槽Ｂ。内から引上げることによって、被処理
物に対する薬液処理を終了させることができる。 しかしながら、本願第１番目の発明による薬液処理用装
置及びそれを用いた本願第２番目の発明による薬液処理
方法の場合、被処理物を第（＋−１）の薬液槽Ｂ（ｉ−
１）内から引上げて第１の薬液槽Ｂ、内に浸漬させる一
連の動作を、第１〜第ｎの薬液槽Ｂ１〜Ｂｏに対して共
通な回転体を回転体案内手段の水平案内面上に一方向に
転接移送させるだけの動作によって且つ被処理物にトロ
コイド曲線に沿った軌跡を描かせることによって、行わ
せている。 このため、本願第１番目の発明による薬液処理用装置及
びそれを用いた本願第２番目の発明による薬液処理方法
によれば、被処理物を第（ｉ−１）の薬液槽Ｂ（ｉ−１
）内から引上げて第ｉの薬液槽Ｂ、内に浸漬さける一連
の動作を、第９図及び第１０図で上述した従来の薬液処
理用装置及びそれを用いた従来の薬液処理方法の場合に
比し、簡易に、しかも短い時間で行わせることができ、
従って、被処理物に対する薬液処理を、第９図及び第１
０図で上述した従来の薬液処理用装置及びぞれを用いた
従来の薬液処理方法の場合に比し、簡易な構成で、且つ
短い時間で行わせることができる。 また、上述した一連の動作を短い時間で行わせることが
できるので、被処理物を薬液槽８（ｉ−１）内から引上
げて、薬液槽Ｂ、内に浸漬させるまでの間において、被
処理物の表面を不必要に乾燥させなくてすみ、このため
、被処理物を薬液槽Ｂ（ｉ−１）内で薬液処理して後、
薬液槽Ｂ（ｉ−１）内から引上げたときに、被処理物の
表面に不要物が付着している場合で−し、その不要物を
、被処理物を、１１ｉｐ＆槽Ｂ・内から引上げたとき、
被処理物の表面に不必要に残させずにすますことができ
る。 また、本願第３番目の発明による薬液処理用装置及びそ
れを用いた本願第４番目の発明による薬液処理方法によ
る場合も、第９図及び第１０図で上述した従来の薬液処
理用装置及びそれを用いた従来の薬液処理方法の場合と
同様に、被処理物を薬液槽Ｂ１外から、薬液槽Ｂ１内に
浸漬させて、その被処理物に第１回目の薬液処理を施し
、次に、その薬液処理された被処理物を第（ｉ−１）の
薬液槽Ｂ（ｉ−１）内から引上げて、第ｉの薬液槽Ｂ・
内に浸漬さゼて、その被言 処理物に第１回目の薬液処理を施すことを、ｉに順次２
．３・・・・・・・・・ｎの値をとらせて行わせ、次に
、第ｎ回目の薬液処理された被処理物を第ｎの薬液槽Ｂ
、ｌ内から引上げることによって、被処理物に対する薬
液処理を終了させることができる。 しかしながら、本願第３番目の発明による薬液処理用装
置及びそれを用いた本願第４番目の発明ににる薬液処理
方法の場合、被処理物を第（ｉ−１）の薬液槽Ｂ（ｉ−
１）内から引上げて第ｉの薬液槽Ｂ、内に浸漬させる一
連の動作を、第ｉの回転体自身を単に回動させるだけで
の動作によって且つ被処理物に円線に沿った軌跡を描か
せることによって、行わせている。 このため、本願第３番目の発明による薬液処理用装置及
びそれを用いた本願第４番目の発明による薬液処理方法
による場合も、被処理物を第（ｉ−１）の薬液１ｍ　Ｂ
　（ｉ−１）から引上げて第ｉの薬液槽Ｂ、内に浸漬さ
せる一連の動作を、第９図及び第１０図で上述した従来
の薬液処理用装置及びそれを用いた従来の薬液処理方法
の場合に比し、簡易に、しかも短い時間で行わせること
ができ、従って、被処理物に対する薬液処理を、第９図
及び第１０図で上述した従来の薬液処理用装置及びそれ
を用いた従来の薬液処理方法の場合に比し、簡易な構成
で、且つ短い時間で行わせることができる。 また、上述した一連の動作を短い時間で行わせることが
できるので、被処理物を薬液槽Ｂ（ｉ−１）内から引上
げて、薬液槽Ｂｉ内に浸漬させるまでの間において、被
処理物の表面を不必要に乾燥させなくてすみ、このため
、被処理物を薬液槽Ｂ（ｉ−１）内で薬液処理して後、
薬液槽Ｂ（ｉ−１）内から引上げたときに、被処理物の
表面に不要物が付着している場合でも、その不要物を、
被処理物を薬液槽Ｂ、内から引上げたとき、被処理物の
表面に不必要に残させずにすますことができる。 【実施例１】 次に、第１図及び第５図を伴って本願第１番目の発明に
よる薬液処理用装置の実施例及びそれを用いた本願第２
番目の発明による薬液処理方法の実施例を述べよう。 まず、本願第１番目の発明による薬液処理用装置の実施
例について述べる。 本願第１番目の発明による薬液処理用装置の実施例は、
次に述べる構成を有する。 すなわち、水平方向に延長している平らな床面１１上に
、２本の支柱１２及び１３が、水平方向に比較的長い間
隙を保ち且つ、垂直方向にそれぞれ延長して、固定植立
されている。 それら支柱１２及び１３間には、２木の案内レール１４
及び１５が、案内レール１４を下側として且つ上下方向
に予定の間隙を保つて相対向しているとともに水平方向
に延長して橋架されている。 これら案内レール１４及び１５は、それらの相対向する
側において、それぞれ横方向に延長している水平案内面
１４ａ及び１５ａを有する。 案内レール１４の水平案内面１４ａ上には、案内レール
１４及び１５によって案内されながら転接する回転体１
６が配されている。 この回転体１６には、それと一体に、回転体１６の軸方
向に予定の間隙を保っている対の吊下用部１７ａ及び１
７ｂを有し且つそれら吊下用部１７ａが回転体１６の軸
方向からみて回転体１６の同じ偏心位置をとるように回
転体１６の軸方向に延長している支杆１７が設けられて
いる。 支杆１７は、図示のように、回転体１６の偏心位置から
、直線的に回転体１６の軸方向に延長している断面円形
の棒状体とし得、また、支杆１７の吊下用部１７ａ及び
１７ｂは、そのような棒状体の延長途上の部とし得る。 また、回転体１６は、その軸心位置から、支杆１７を延
長させている側とは反対側に、回転体１６の軸方向に延
長している軸１８を、その周りに回転体１６が回転でき
るように、緩挿させている。 一方、床面１１上に、支柱１２からみて支柱１３側とは
反対側、及び支柱１３からみて支柱１２側とは反対側に
おいて、支柱１９、及び２０が、垂直方向に延長してそ
れぞれ固定植立され、そして、それら支柱１９、及び２
０に、同じ大きさを有する回転ホイール２１、及び２２
が、回転体１６の軸と直交する共通面上の同じ高さ位置
にあるように、回転自在にそれぞれ取付けられている。 回転ホイール２１及び２２周には、無端ベルト２３が巡
らされている。 一方の回転ホイール２１の回転軸２１ａは、床面１１上
に設置されたモータ２４に連結されている。 無端ベルト２３には、上述した回転体１６に緩挿されて
いる軸１８に係合している係合片２３ａが設けられてい
る。従って、無端ベルト２３が移送されれば、回転体１
６に緩挿している軸１８が、係合片２３ａを介して、無
端ベルト２３の移送方向に押されるので、回転体１６が
、軸１６ａの周りに、案内レール１４及び１５に案内さ
れながら、回転し、よって、回転体１６が案内レール１
４上に転接しながら無端ベルト２３の移送方向に移動す
る。 上述した回転体１６が有している支杆１７には、その吊
下用部１７ａ及び１７ｂの位置において、下部間に被処
理物を収容する薬液処理用筆２７を描動自在に且つ吊下
・非吊下自在に吊下する吊下用腕杆２５ａ及び２５ｂが
、Ｂ　＋）」自在に吊下されている。 以上が、本願第１番目の発明による薬液処理用装置の実
施例の構成である。 次に、上述した構成を有する本願第１番目の発明による
薬液処理用装置を用いた本願第２番目の発明による薬液
処理方法の実施例を述べよう。 上述した本願第１番目の発明による薬液処理用装置の実
施例を用いた本願第２番目の発明による薬液処理方法の
実施例は次のとおりである。 すなわち、上述した床面１１上の複数ｎ個の第１、第２
・・・・・・・・・第ｎの薬液槽配置位置Ｐ１、Ｐ２・
・・・・・・・・Ｐｏ（図においては、簡単のため、ｎ
−２の場合が示されている）に、複数ｎ個の第１、第２
・・・・・・・・・第ｎの薬液槽Ｂ　　、Ｂ　　・・・
・・・・・・Ｂ、をそれぞれ配した状態にしておく。 第１、第２・・・・・・・・・第ｎの薬液槽配置位置Ｐ
１、Ｐ２・・・・・・・・・Ｐｏは、次のとおりである
。 すなわち、いま、回転体１６が、支杆１７の吊下用部１
７ａ及び１７ｂを最下点にさせるまで回転している、回
転体１６の回転軸１６ａの周、りの回転位置を、回転体
１６のＯｏの回転位置とする。 また、回転体１６が、案内レール１４上の支柱１２側の
吊下位置Ｐ′８において、０°の回転位置とそれから順
方向に１８０°だけ回転した１８０°の回転位置（吊下
用部１７ａ及び１７ｂを最上点にさせる回転位置）との
間の回転位置例えば９０°の回転位置をとっている状態
から、順方向に支杆１７の吊下用部１７ａ及び１７ｂが
順次複数ｎ回だけ最下点をとり、次で、回転体１６が順
方向に１８０°だけ回転した１８０°の回転位置と３６
０°だけ回転した３６０°の回転位置との間の回転位置
、例えば２７０″の回転位置をとるまで回転して、支柱
１３側の取出位ｉ１Ｐ’　、まで転接移送し、また、そ
の取出位置Ｐ’　、から、逆方向に回転して、上述した
吊下位置Ｐ′８まで転接移送するとする。 さらに、回転体１６が、いま述べたように、吊下位置Ｐ
′８から取出位置Ｐ′、まで転接移送することによって
、吊下用部１７ａ及び１７ｂが１．順次複数ｎ回最下点
をとるときの回転体１６の案内レール１４上の位置を、
それぞれＰｌ、Ｐ′２・・・・・・・・・ｐｌｏとする
。 しかるとき、上述した薬液槽Ｂ１側＠Ｐ１Ｐ２・・・・
・・・・・Ｐ　は、いま述べた位置Ｐ′１、Ｐ２・・・
・・・・・・ｐｔｏ下の位置である。 また、回転体１６を、支柱１２側の°案内レール１４上
の上述した吊下位置Ｐ′８において、上述した９０＠の
回転位置をとっている状態にしておく。この場合、吊下
用部１７ａ及び１７ｂは最下点と最上点との間の中間高
さ位置をとっている。 以上のような状態から、まず、吊下用部１７ａ及び１７
ｂに吊下されている吊下用腕杆２５ａ及び２５ｂの下部
間に、被処理物を収容している薬液処理用筆２７を吊下
させる。 次に、モータ２４を順方向に回転駆動させ、それによっ
て無端ベルト２３を移送させ、それによって軸１８を係
合片２３ａを介して無端ベルト２３の移送方向に即し、
よって、回転体１６を、それが軸１８の周りに順方向に
２７０゜だけ回転するように、案内レール１４の水平案
内面１４ａ上に転接移送させ、それによって、薬液処理
用筆２７を、第１の薬液槽Ｂ１からみて、第２の薬液槽
Ｂ２側とは反対側から、扛上させながら第１の薬液槽Ｂ
１側に移動させ、次で扛下させながら第１の薬液槽Ｂ１
に移動させ、次で、第１の薬液槽Ｂ１内に配した状態に
させ、それによって、被処理物を、第１の薬液槽８１内
の薬液によって、所要時間処理させる。 次に、モータ２４を順方向に回転駆動させ、それによっ
て無端ベルト２３を移送させ、それによって、回転体６
を、それが軸１８の周りに順方向に３６０°だけ回転す
るように、案内レール１４の水平案内面１４ａ上に転接
移送させ、それによって、薬液処理用！！１２７を、第
（１）の薬液槽”　（ｉ−１）内の位置から、扛上させ
ながら、第ｉの薬液槽Ｂ、側に移動させ、次で扛下させ
ながら、第ｉの薬液槽Ｂ、側に移動させ、次で第ｉの薬
液槽Ｂ、内に配した状態にさせ、それによって、被処理
物を、第１の薬液槽Ｂ・内において、その薬液によって
、所要時間処理させることを、ｉに順次２．３・・・・
・・・・・ｎの値をとらせて行わせる。 次に、モータ２４を順方向に回転駆動させ、それによっ
て無端ベルト２３を移送させ、それによって、回転体１
６を、それが軸１８の周りに順方向に２７０°ゲは回転
するように、案内レール１４の水平案内面１４ａ上に転
接移送させ、それによって、薬液処理用箔２７を、第ｎ
の薬液槽Ｂ。内から扛上させながら、第ｎの薬液槽Ｂ　
からみて第（ｎ−１）の薬液槽Ｂ（。−１）側とは反対
側に移動させ、次で扛下させながら、第ｎの薬液１！Ｂ
ｏからみて第（ｎ−１＞の薬液槽Ｂ（。−１）側とは反
対側に案内レール１４上の位置Ｐ′、まで移動させる。 次に、薬液槽用！Ｉ２７を、吊下用腕杆２５ａ及び２５
ｂに吊下されている状態から取外し、次で、その薬液処
理用！Ｉ２７から、薬液処理された被処理物を取出し、
被処理物に対する薬液処理を終了させる。 以上が、本願第１番目の発明による薬液処理用装置の実
施例を用いた本願第２番目の発明による薬液処理方法の
実施例である。 上述した本願第１番目の発明による薬液処理用装置及び
それを用いた本願第４番目の発明による薬液処理方法の
実施例によれば、上述したところから明らかなように、
第９図及び第１０図で上述した従来の薬液処理用装置及
びそれを用いた薬液処理方法の場合と同様に、被処理物
を、第１の薬液槽Ｂ１外から、第１の薬液槽Ｂ、内に浸
漬させて、その被処理物に第１回目の薬液処理を施し、
次に、その薬液処理された被処理物を第（ｉ−１）の薬
液槽（ｉ−１）内から引上げて第１の薬液槽Ｂ・内に浸
漬させて、その被処理物に第１回目の薬液処理を施すこ
とを、ｉに順次２．３・・・・・・・・・ｎの値をとら
せて行わ「、次に、第ｎの薬液槽Ｂ。内で第ｎ回目の薬
液処理された被処理物を第ｎの薬液槽Ｂ。内から引上げ
ることによって、被処理物に対する薬液処理を終了さけ
ることができる。 しかしながら、被処理物を第（ｉ−１）の薬液４！Ｂ（
Ｈ−ｏ内から引上げて第ｉの薬液槽Ｂ。 内に浸漬させる一連の動作を、第１〜第ｎの薬液槽Ｂ１
〜８ｏに対して共通な回転体１６を案内レール１４の水
平案内面１４ａ上に一方向に転接移送させるだけの動作
によって且つ被処理物にトロコイド曲線に沿った軌跡を
描かせることによって、行わせている。 このため、上述した一連の動作を、第９図及び第１０図
で上述した従来の場合に比し、簡易に、しかも短い時間
で行わせることができ、従って、被処理物に対する薬液
処理を、第９図及び第１０図で上述した従来の場合に比
し、簡易な構成で且つ短い時間で行わせることができる
。 また、上ｊホした一連の動作を短い時間で行ねせること
ができるので、被処理物を第（ｉ−１）の薬液槽Ｂ（ｉ
−１）内から引上げて、第ｉの薬液槽Ｂ・内に浸漬させ
るまでの間において、被処理物の表面を不必要に乾燥さ
せなくてすみ、このため、被処理物を薬液槽Ｂ（ｉ−１
）内で薬液処理して後薬液槽Ｂ（ｉ−４）内から引上げ
たときに被処理物の表面に不要物が付着している場合で
も、その不要物を、被処理物を薬液槽Ｂ・内から引上げ
たとき、被処理物の表面に不必要に残させずにすますこ
とができる。 （実施例２］ 次に、第６図〜第８図を伴って、本願第３番目の発明に
よる薬液処理用装置の実施例及びそれを用いた本願第４
番目の究明による薬液処理方法の実施例を述べよう。 まず、本願第３？ｌ目の発明による薬液処理用装置につ
いて述べる。 本願第３番目の発明による薬液処理用装置の実施例は、
次に述べる構成を有する。 すなわち、横方向に延長している平らな床面１１上に、
複数（ｎ　＋１　）個（ただし、ｎは２以上の整数）の
第１、第２・・・・・・・・・第ｎ、第（ｎ＋１）の支
柱Ｈ，Ｈ２・・・・・・・・・Ｈｏ％Ｈｎ＋１（ただし
、図においては、簡単のため、ｎ＝２の場合を示してい
る）が、はぼ−線上に、順次、固定植立して配列されて
いる。 支柱Ｈ，Ｈ２・・・・・・・・・Ｈｏ５Ｈｏ＋１には、
第１、第２・・・・・・・・・第ｎ、第（ｎ＋１）の回
転体Ｒ１Ｒ・・・・・・・・・Ｒ％Ｒｎ＋１が、それら
の軸が１２　　　　　ｎ ともに水平になるように、それぞれ回転自在に装架され
ている。 第１、第２・・・・・・・・・第ｎ、第（ｎ＋１）の回
転体Ｒ１、Ｒ２−・−・−・−・Ｒｎ　、　Ｒｎ＋１は
、床面１１上に設置された第１、第２・・・・・・・・
・第ｎ、第（ｎ＋１）のモータＭ１、Ｍ２・・・・・・
”・Ｍｎ　１”ｎ＋１にイれぞれ連結されている。 一方、第ｊの回転体Ｊ　　（ｊ＝１．２、・・・・・・
・・・ｎ、（ｎ＋１）は、吊下用部３２を有し且つその
吊下用部３２が第ｊの回転体Ｒｊの軸方向からみて第ｊ
の回転体Ｒｊの偏心位置をとるように第ｊの回転体Ｒｊ
の軸方向に延長している支杆Ｂｊ＠有する。 第ｊの回転体Ｒ０の支杆Ｂｊには、その吊下用品３２に
おいて、取手３３ａを有し且つ被処理物を収容する薬液
処理用Ｌ１１３３を吊下するための第ｊの吊下用装置Ｋ
ｊが設けられている。 第ｊの吊下用装置Ｋｊは、電磁石（図示Ｕず）を内装し
ている部３４ａと、ｒ１端部が半円弧状を有し且つ部３
４ａから下外方に延長している一対の作動片３４ｂ及び
３４Ｇを有する。 第ｊの吊下用部ｆｌＷＫｊの作動片３４ｂ及び３４Ｃは
、部３４ａに内装されている電磁石の作動を制御するこ
とによって、閉じた半円環と問いた半円環とを選択的に
形成する。 吊下用部ＲＫＪの作動片３４ｂ及び３４ｃが開いた半円
環を形成している場合、その聞いた半円環内に、薬液処
理用箔３３の取手３３ａを、吊下用部ｆｆｆｆＫｊの下
側から位置させることができる。また、薬液処理用ｌ＠
３３の取手３３ａが、吊下用部ｆｉＫ・の作動片３４ｂ
及び３４Ｃによ」 って形成されている開いた半円環内に位置している状態
から、吊下用装置Ｋｊにおいて、その電磁石の作動の制
御によって、作動片３４ｂ及び３４ｃによる閏じた半円
環を形成させ、次で、吊下用装置Ｋｊを扛上さ「れば、
薬液処理用箔３３を、吊下用装置Ｋ・を介して、回転体
Ｒｊの支杆３２に吊下した状態にさせることができる。 以上が、本願第３番目の発明による薬液処理用装置の実
施例の構成である。 次に、このような構成を有する本願第３番目の発明によ
る薬液処理用装置の実施例を用いた本願第４番目の発明
による薬液処理方法の実施例を述べよう。 本願第３番目の発明による薬液処理用装置の実施例を用
いた本願第４番目の発明による薬液処理方法の実施例は
、次のとおりである。 すなわら、上述した床面１１上に、回転体Ｒ１及びＲ２
間、Ｒ２及びＲ３間・・・・・・・・・Ｒ（。−１）及
びＲ間、Ｒ及びＲ間にそれぞれ対 ｎ　　　　ｎ　　　　（ｎ＋１） 応する第１、第２・・・・・・・・・第ｎの薬液槽配置
位置Ｐ、　、Ｒ２・・・・・・・・・Ｐ、に、第１、第
２・・・・・・・・・第ｎの薬液槽Ｂ、８２・・・・・
・・・・Ｂｏをそれぞれ予め配置した状態にしておく。 また、第１の回転体Ｒ１を、その支杆Ｂ１に設けた吊下
用装置Ｋ　が、第１の薬液槽Ｂ１からみて、第２の薬液
ＷＩＢ２側とは反対側にあるような、支柱Ｒ１上の回動
位置まで回転している状態に予めしておく。 また、第２、第３・・・・・・・・・第ｎ１第（ｎ＋１
＞の回転体Ｒ１１・・・・・・・・・Ｒ，Ｒ（。＋１）
を、２３　　　　　ｎ それらの支杆Ｂ　　、Ｂ　　・・・・・・・・・Ｂ　　
、Ｂ（。、１）２３　　　　　ｎ にそれぞれ設けた吊下用装置に２　、Ｋ３・・・・・・
・・・Ｋ　％Ｋ（。、１）が、それぞれ第２、第３・・
・・・・・・・ｎ 第「１、第（ｎ＋１　）の薬液槽Ｂ２、Ｂ３・・・・・
・・・・Ｂ、Ｂ（。、１）からみて、それぞれ第１、第
２・・・・・・・・・第（ｎ−１）、第ｎの薬液槽Ｂ１
、Ｂ２・・・・・・・・・Ｂ（。−１）、Ｂｏ側とは反
対側にあるような回動位置まで回転している状態に予め
しておく。 この場合、いま、第ｊの回転体Ｒｊが、その第ｊの支杆
Ｂ・に設けた第ｊの吊下用装置町を最下点にさせるまで
回動している回転体Ｒｊの支柱Ｈｊ上の回動位置から、
順方向に９０゜だけ支柱Ｈｊ上で回動している回動位置
を、第ｊの回転体ＲｊのＯｏの回動位置とするとぎ、第
１の回転体Ｒ１は、Ｏｏの回動位置をとり、第２〜第（
ｎ＋１）の回転体Ｒ２〜Ｒ（。＋１）は、０″の回動位
置から順方向に１８０＠だけ回動している１８０°の回
動位置をとっている。 また、第１〜第（ｎ＋１）の回転体Ｒ１〜Ｒ（。＋１）
の支杆Ｂ１〜Ｂ（。＋１）に設けた吊下用装置に１〜Ｋ
　（ｎ＋１）の全てについて、その電磁石によって、作
動片３４ｂ及び３４Ｃが開いた半円環を形成した状態に
しておく。 以上のような状態から、まず、第１の回転体Ｒ・の支杆
Ｂ１に設けた第１の吊下用装置１１に１の作動片３４ｂ
及び３４ｃが形成している問いた半円環内に、被処理物
を収容している薬液処理用箔３３の取手２３ａを位置さ
せ、次に、第１の吊下用装置に１において、その電磁石
の作動の制御によって、作動片３４ｂ及び３４Ｃによる
閉じた半円環を形成させ、それによって、薬液処理用箔
３３を、吊下用装置に１を介して、第１の回転体Ｒの第
１の支杆Ｂ１に出下させす る。 次に、第１の回転体Ｒを、モータＭ１によって、順方向
に半回転させて、１８０″′の回動位置に位置させるこ
とによって、薬液処理用箔２３を、薬液ＷＪＢ１からみ
て薬液４ｆ！Ｂ１外の薬液槽Ｂ２１ＩＪとは反対側から
、打上さｕながら薬液槽Ｂ１側に向わせ、次で扛下さＶ
ながら薬液Ｉｆ！８１側に向わせ、次で、薬液槽Ｂ１内
に、その底に接触した状態に配置した状態にさせ、それ
によって、被処理物を、第１の薬液槽Ｂ１内において、
その薬液によって、所要時間処理さ往る。 次に、被処理物を、第（ｉ−１）の薬液槽Ｂ（ｉ−１）
内において、その薬液によって所要時間処理させたとこ
ろで、第（ｉ−１）の吊下用装置Ｋ（ｉ−１）において
、その電磁石の作動の制御によって、作動片３４ｂ及び
３４Ｃによる開いた半円環を形成させ、次で、第に−１
＞の回転体Ｒ（ｉ−１１を、モータＭ（ｉ−１）によっ
て、１８０°の回動位置から、逆方向に半回転させて、
Ｏｏの回動位置に復帰させ、また、それと同時的に、第
１の回転体Ｒ・を、モータＭ・によっで、１８０°回動
位置から、逆方向に半回転させて、０°の回動位置に位
置させ、それによって、第１の吊下用装置に、の作動片
３４ｂ及び３４Ｃが形成している開いた半円環内に、薬
液処理用１３３の取手３３ａを位置させ、次で、第ｉの
吊下用装置Ｋｉにおいて、その電磁石の作動の制御によ
って、作動片３４ｂ及び３４ｃによる閉じた半円環を形
成させ、次で、第ｉの回転体Ｒ１を、モータＭ・によっ
て、Ｏｏの回動位置から、順方向に半回転させて、１８
０”の回動位置に位置させ、それによって、薬液処理用
箔３３を、第（ｉ−１）の薬液槽Ｂ（ｉ−１）内に配さ
れている状態から、扛上させながら第ｉの薬液槽Ｂ・側
に向わ１１次で扛下させなから第１の薬液槽Ｂ、側に向
わせ、次で第ｉの薬液槽Ｂ、内に、その底に接触した状
態に配置させ、それによって、被処理物を、第ｉの薬液
槽Ｂ、内において、その薬液によって所要時間処理さゼ
ることを、ｉに順次２．３・・・・・・・・・ｎの値を
とらせて、行わせる。 次に、被処理物を、薬液１ｔ！Ｂｏ内において、その薬
液によって所要時間処理させたところで、第ｎの吊下用
装置Ｋ。においで、そのＩ磁石の作動の制御によって、
作動片３４ｂ及び３４ｃによる開いた半円環を形成させ
、次で、第ｎの回転体Ｒｎを、モータＭｎによって、１
８０′″の回動位置から、逆方向に半回転させて、０゜
の回動位置に復帰させ、また、それと同時的に、第（ｎ
＋１）の回転体Ｒ（。、１）を、モータＭ（。 、１）によって、１８０°回動位置から、逆方向に半回
転させて、０°の回動位置に位置させ、それによって、
第（ｎ　＋　１　＞の吊下用装置Ｋ（。 、１）の作動片３４ｂ及び３４ｃが形成している開いた
半円環内に、薬液処理用箔３３の取手３３ａを位置させ
た状態にさせ、次で、第（ｎ＋１）の吊下円部＠Ｋ（。 、１）において、その電磁石の作動の制御によって、作
動片３４ｂ及び３４Ｃによる閉じた半円環を形成させ、
次で、第（ｎ＋１）の回転体Ｒ（ｎ＋１）を、モータ”
　（ｎ＋ｔ）によって、０°の回動位置から順方向に手
回転させて、１８０°の回動位置に位置させ、それによ
って、薬液処理用箔３３を、薬液槽Ｂ。 内に配されている状態から扛上させながら、薬液槽Ｂ　
からみて薬液槽Ｂ（。−１）側とは反対側に向わせ、次
で扛下させながら、薬液槽Ｂ。からみて、薬液槽Ｂ（ｎ
−１）側とは反対側に向わせ、よって、薬液ＩＢ、から
みて、薬液槽Ｂ（。−１）側とは反対側に位置させる。 次に、第（ｎ＋１＞の吊下用装置Ｋ（。、１）において
、その電磁石の作動の制御によって、作動片３４ｂ及び
３４Ｇによる問いた半円環を形成させ、薬液処理用箔３
３を、第（ｎ＋１　）の支杆Ｂ（。＋１）に、第＜ｎ＋
１）の吊下用装置Ｋ（。、１）を介して吊下されている
状態から取外し、次で、その薬液処理用？１３３から、
薬液処理された被処理物を取出し、被処理物に対する薬
液処理を終了させる。 以上が、本願第３番目の発明による薬液処理用装置の実
施例を用いた本願第４番目の発明による薬液処理方法の
実施例である。 上述した本願第３ｔＩ目の発明による薬液処理用装置及
びそれを用いた本願第４番目の発明による薬液処理方法
の実施例によれば、上）ホしたところから明らかなよう
に、第９図及び第１０図で上述した従来の薬液処理用装
置及びそれを用いた薬液処理方法の場合と同様に且つ第
１図〜第５図で上述した本願第１番目の発明による薬液
処理用装置及びそれを用いた本願第２番目の発明による
薬液処理方法の場合と同様に、被処理物を、第１の薬液
槽Ｂ１外から、第１の薬液槽Ｂ１内に浸漬させて、その
被処理物に第１回目の薬液処理を施し、次に、その薬液
処理された被処理物を第（ｉ−１）の薬液槽（ｉ−１）
内から引上げて第ｉの薬液槽Ｂ・内に浸漬させて、その
被処理物に第１回目の薬液処理を施すことを、ｉに順次
２．３・・・・・・・・・ｎの値をとらせて行わせ、次
に、第ｎの薬液！ＩＢ、内で第ｎ回目の薬液処理された
被処理物を第ｎの薬液ＩＢｏ内から引上げることによっ
て、被処理物に対する薬液処理を終了させることができ
る。 しかしながら、被処理物を第（ｉ−１）の薬液槽Ｂ（ｉ
−１）内から引上げて第ｉの薬液４ｆｌＢ。 内に浸漬させる一連の動作を、第ｉの回転体Ｒ・自身を
単に一方向に回転させるだけの動作によって且つ被処理
物に円線に沿った軌跡を描かせることによって、行わせ
ている。 このため、上述した一連の動作を、第１図〜第５図で上
述した本願第１番目の発明による薬液処理用装置及びそ
れを用いた本願第２番目の発明による薬液処理方法の場
合と同様に、第９図及び第１０図で上述した従来の場合
に比し、簡易に、しかも短い時間で行わせることができ
、従って、被処理物に対する薬液処理を、第１図〜第５
図で上述した本願第１番目の発明による薬液処理用装置
及びそれを用いた本願第２番目の発明による薬液処理方
法の場合と同様に、第９図及び第１０図で上述した従来
の場合に比し、簡易な構成で且つ短い時間で行わせるこ
とができる。 また、上述した一連の動作を短い時間で行わせることが
できるので、第１図〜第５図で上述した本願第１番目の
発明による薬液処理用装置及びそれを用いた本願第２番
目の発明にＪこる薬液処理方法の場合と同様に、被処理
物を第（１１）の薬液槽Ｂ（ｉ−１）内から引上げて、
第ｉの薬液槽Ｂｉ内に浸漬さぼるまでの間において、被
処理物の表面を不必要に乾燥させなくてすみ、このため
、被処理物を薬液槽Ｂ（ｉ−１）内で薬液処理してＩ２
薬液槽Ｂ（ｉ−１）内から引上げたときに被処理物の表
面に不要物が付着している場合でも、その不要物を、被
処理物を薬液ｆｆ１Ｂ、内から引上げたとき、被処理物
の表面に不必要に残させずにずまずことができる。 なお、上述においては、本発明の僅かな例を示したに留
まり、その他、本発明の精神を脱することなしに、種々
の変型、変更をなしくするであろう。 ４、図面の簡単な、Ｊ２＋１１？ 第１図は、第２図〜第５図を示す図である。 第２図、第３図及び第４図は、本願第１番目の発明によ
る薬液処理用装置の実施例及びそれに用いた本願第２番
目の発明による薬液処理方法の実施例の説明に供する、
本願第１番目の発明による薬液処理用装置の実施例の路
線的正面図である。 第５図は、第２図〜第４図に示す本願第１番目の発明に
よる薬液処理用装置の実施例の路線的側面図である。 第６図、第７図及び第８図は、本願第３番目の発明によ
る薬液処理用装置の実施例及びそれを用いた本願第４番
目の発明による薬液処理方法の実施例の説明に供する、
本願第３番目の発明による薬液処理用装置の実施例の路
線的正面図、側面図及び平面図である。 第９図及び第１０図は、従来の薬液処理用装置及びそれ
を用いた従来の薬液処理方法の説明に供する、従来の薬
液処理用装置の路線的正面図及び側面図である。 １・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・床面２
．３・・・・・・・・・・・・・・・支柱４．５・・・
・・・・・・・・・・・・案内レール８・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・吊下具１１・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・床面１２．１３・・・
・・・・・・・・・支柱１４．１５・・・・・・・・・
・・・案内レール１４ａ、１５ａ・・・・・・水平案内
面１６・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・回
転体１７・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
支杆１７ａ、１７ｂ・・・・・・吊下用部 １８・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・軸１
９．２０・・・・・・・・・・・・支柱２１．２２・・
・・・・・・・・・・回転ホイール２３・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・無端ベルト２３ａ・・・
・・・・・・・・・・・・・・・係合片２４・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・七−タ２５ａ、２５
ｂ・・・・・・吊下用腕杆２７・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・薬液処理用箱３２・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・支杆３２ａ・・・・・・
・・・・・・・・・・・・吊下用部３３・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・薬液処理用箱３３ａ・・
・・・・・・・・・・・・・・・・取手３４・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・吊下用装置３４ｂ、
３４ｃ・・・・・・作動片 Ｂ４、Ｂ２・・・・・・・・・Ｂ。 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・薬
液槽Ｆ１１　　、　　ト１２　　・・・　・・・　・・
・　１」　。 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・支
柱Ｐ１、Ｒ２・・・・・・・・・Ｐ。 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・薬液
槽配置位置Ｒ、Ｒ２・・・・・・・・・Ｒｏ、Ｒｏ＋。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、偏心位置から軸方向に延長している支杆を有する回
   転体と、 上記回転体が転接する水平案内面を有する 回転体案内手段と、 上記回転体を上記回転体案内手段の水平案 内面上に水平方向に転接移送させる回転体移送手段と、 上記回転体の支杆に設けられ且つ薬液処理 されるべき被処理物を吊下させる被処理物吊下用手段と
   を有することを特徴とする薬液処理用装置。 ２、偏心位置から軸方向に延長している支杆を有する回
   転体と、 上記回転体が転接する水平案内面を有する 回転体案内手段と、 上記回転体を上記回転体案内手段の水平案 内面上に水平方向に転接移送させる回転体移送手段と、 上記回転体の支杆に設けられ且つ薬液処理されるべき被
   処理物を吊下させる被処理物吊下用手段とを有する薬液
   処理用装置を用い、 上記回転体を上記回転体案内手段の水平案 内面上に一方向に転接移送させたときに上記被処理物吊
   下用手段が順次最下点をとる、上記回転体の、上記水平
   案内面上の複数ｎ個の第１、第２………第ｎの転接位置
   にそれぞれ対応している複数ｎ個の第１、第２………第
   ｎの薬液槽配置位置に、複数ｎ個の第１、第２………第
   ｎの薬液槽を配した状態で、且つ上記回転体を、被処理
   物が上記被処理物吊 下用手段に、上記第１の薬液槽からみて、上記第１の薬
   液槽外の上記第２の薬液槽側とは反対側で吊下される、
   上記水平案内面上の転接移送位置にあらしめた状態で、 上記被処理物吊下用手段に、被処理物を吊 下させ、 次で、上記回転体を、上記回転体移送手段 によって、上記回転体案内手段の水平案内面上に、一方
   向に、上記第１の転接位置まで転接移送させることによ
   つて、上記被処理物を、上記第１の薬液槽外から、上記
   第１の薬液槽内に浸漬させ、 次で、上記回転体を、上記回転体移送手段 によつて、上記回転体案内手段の水平案内面上に、上記
   方向に、第（ｉ−１）の転接位置から、第ｉの転接位置
   まで転接移送させることによって、上記被処理物を、第
   （ｉ−１）の薬液槽内から引上げて、第ｉの薬液槽内に
   浸漬させることを、ｉに順次２、３………ｎの値をとら
   せて行わせ、 次で、上記回転体を、上記回転体移送手段 によつて、上記回転体案内手段の水平案内面上に、上記
   方向に転接移送させることによって、上記被処理物を、
   上記第ｎの薬液槽内から、上記第ｎの薬液槽からみて、
   上記第ｎの薬液槽外の上記第（ｎ−１）の薬液槽側とは
   反対側に引上げさせることを特徴とする薬液処理方法。 ３、偏心位置から軸方向に延長している支杆を有する複
   数（ｎ＋１）個（ただし、ｎは２以上の整数）の第１、
   第２……第ｎ、第（ｎ＋１）の回転体と、 上記第１、第２……第ｎ、第（ｎ＋１）の 回転体を、それらの軸がともに水平になるように且つ上
   記第１、第２……第ｎ、第（ｎ＋１）の回転体が順次配
   列されるようにそれぞれ支持する複数（ｎ＋１）個の第
   １、第２……第ｎ、第（ｎ＋１）の回転体支持手段と、
   上記第１、第２……第ｎ、第（ｎ＋１）の 回転体をそれぞれ回転させる複数（ｎ＋１）個の第１、
   第２……第ｎ、第（ｎ＋１）の回転体駆動手段と、 上記第１、第２……第ｎ、第（ｎ＋１）の 回転体の支杆にそれぞれ設けられ且つ薬液処理されるべ
   き被処理物を吊下させる複数（ｎ＋１）個の第１、第２
   ……第ｎ、第（ｎ＋１）の吊下用手段とを有することを
   特徴とする薬液処理用装置。 ４、偏心位置から軸方向に延長している支杆を有する複
   数（ｎ＋１）個（ただし、ｎは２以上の整数）の第１、
   第２……第ｎ、第（ｎ＋１）の回転体と、 上記第１、第２……第ｎ、第（ｎ＋１）の 回転体を、それらの軸がともに水平になるように且つ上
   記第１、第２……第ｎの回転体が順次配列されるように
   それぞれ支持する複数（ｎ＋１）個の第１、第２……第
   ｎ、第（ｎ＋１）の回転体支持手段と、 上記第１、第２……第ｎ、第（ｎ＋１）の 回転体をそれぞれ回転させる複数（ｎ＋１）個の第１、
   第２……第ｎ、第（ｎ＋１）の回転体駆動手段と、 上記第１、第２……第ｎ、第（ｎ＋１）の 回転体の支杆にそれぞれ設けられ且つ薬液処理されるべ
   き被処理物を吊下させる複数（ｎ＋１）個の第１、第２
   ……第ｎ、第（ｎ＋１）の吊下用手段とを有する薬液処
   理用装置を用い、 上記第１及び第２の回転体間、上記第２及 び第３の回転体間、………上記第（ｎ−１）及び第ｎの
   回転体間、上記第ｎ及び第（ｎ＋１）の回転体間にそれ
   ぞれ対応している複数ｎ個の第１、第２………第ｎの薬
   液槽配置位置に、複数ｎ個の第１、第２………第ｎの薬
   液槽をそれぞれ配した状態で、且つ 上記第１の回転体を、被処理物が上記第１ の吊下用手段に、上記第１の薬液槽からみて、上記第２
   の薬液槽側とは反対側で吊下される、回動位置にあらし
   めた状態で、 上記第１の吊下用手段に、被処理物を吊下 させ、 次で、上記第１の回転体を、上記第１の回 転駆動手段によつて回動させることによって、上記被処
   理物を、上記第１の薬液槽外から上記第１の薬液槽内に
   浸漬させ、 次で、上記第ｉの回転体を、第ｉの上記回 転駆動手段によつて回動させることによつて、上記被処
   理物を、上記第ｉの吊下用手段に吊下させている状態で
   、上記第（ｉ−１）の薬液槽内から引上げて、上記第ｉ
   の薬液槽内に浸漬させることを、ｉに順次２、３………
   ｎの値をとらせることによつて、行わせ、 次で、上記第（ｎ＋１）の回転体を、上記 第（ｎ＋１）の回転駆動手段によつて回転させることに
   よって、上記被処理物を、上記第（ｎ＋１）の吊下用手
   段に吊下させている状態で、上記第ｎの薬液槽内から、
   上記第ｎの薬液槽からみて、上記第ｎの薬液槽外の上記
   第（ｎ−１）の薬液槽側とは反対側に引上げさせること
   を特徴とする薬液処理方法。