JPH02219228A

JPH02219228A - 洗浄装置

Info

Publication number: JPH02219228A
Application number: JP3984989A
Authority: JP
Inventors: Yoshio Nobuhara; 信原　義雄
Original assignee: TSURUMI KOGYO KK
Current assignee: TSURUMI KOGYO KK
Priority date: 1989-02-20
Filing date: 1989-02-20
Publication date: 1990-08-31

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】「産業上の利用分野」本発明は、ＩＣ素子用基板のマスクエツチング後のマス
キング剤除去などに用いられる洗浄装置に関するもので
ある。

「従来の技術」１個のＩＣ素子用リード端子（４０）として、例えば第
１１図の鎖線内に示すようなものがマスクエツチングに
より形成されるが、これは、第１Ｏ図に示すように、１
枚の基板（１７）上に多数のリード端子（４０）・・・
・・・を写真印刷などの方法で一度にマスキング剤（３
９）を印刷し、マスキング剤（３９）の印刷されていな
い部分をエツチングにより除去して形成される。前記基
板（１７）の上部には、洗浄の際にリフト（８）に吊り
下げるための吊り孔（３８）が穿設されている。

従来、基板（１７）からマスキング剤（３９）を除去す
る装置は、第１２図に示すように、膨潤液剤（２）を溜
めた槽（１）と、膨潤液剤（２）で膨潤したマスキング
剤（３９）を洗い流す洗浄部（３）とを設け、リフトコ
ンベア（４）に基板（１７）を吊り下げて運搬しつつ、
自動的に前記槽（１）に浸漬し、洗浄部（３）で基板（
１７）に水などの洗浄液（４１）を吹き付け、膨潤した
マスキング剤（３９）を洗い落すものであった。

「考案が解決しようとする課題」このような装置は、膨潤洗浄は自動的に行われ　−゛る
ので、薬品などの人体への悪影響や事故を防止する。と
ころが、基板（１７）に形成されたリード端子（４０）
は極めて細く、僅かな抵抗で折れ曲がることがあるので
、槽（１）では移動方向と一直線としてできるだけ膨潤
液剤（２）による抵抗がかがらないようにしなければな
らない。そのため、リフトコンベア（４）への基板（１
７）の供給時のを吊り下げ時と取外し時は手作業によら
ざるを得す、装置の前後にそれぞれの作業をする人員を
配置していた。

したがって、徹底した合理化を図ることができない、と
いう問題点を残していた。

「課題を解決するための手段」本考案は以上のような課題を解決するためになされたも
ので、リフトコンベアで基板を吊り下げて運搬しつつ、
基板を薬品の溜められた槽に浸漬し、前記槽から引き上
げ後、洗浄部に搬入し洗浄する洗浄装置において、前記
リフトコンベアに臨ませて、前・記槽の基板搬入側に基
板吊り下げ機を設け、前記洗浄部の基板搬出側に基板取
外し機を′設け、前記基板吊り下げ機と前記基板取外し
機の前後にそれぞれリフトの変向機を設けてなるもので
、基板吊り下げ機は、基板を搬入するロ−ラーコンベア
と、基板を定位置に停止させるストッパーと、基板を前
記ロ−ラーコンベアの中心に位置修正する修正機とから
なり、基板取外し機は、細いベルトコンベアを複数並列
し、リフトコンベアを前記ベルトコンベアに基板を載せ
つつペルトコンベアから離れる方向に案内するように構
成し、リフトコンベアは２本の平行するコンベアケーブ
ルの中間に水平面内に回動自在なリフトを吊り下げ、リ
フトと一体に水平軸とローラを設け、変向機は前記ロー
ラの位置を移動させる案内板からなることものである。

「作用」リフトは、基板吊り下げ機の前で変向機によって基板を
吊り下げ可能な向きに変えられ、ロ−ラーコンベアで搬
入された基板はストッパーと修正機によって吊り下げ位
置に置かれ、回ってきたリフトに吊り下げられる。基板
を吊り下げ後、リフトは再び変向機によって、抵抗の少
ない向きに変えられ、吊り下げられた基板は、槽に浸漬
された後、洗浄部によって洗浄される。洗浄された基板
は、基板取外し機の前で変向機によって基板を取外し可
能な向きに変えられ、基板取外し機によって基板はリフ
トから外され、ベルトコンベアによって搬出される。基
板の外されたリフトはもう１回変向機によって変えられ
、最終的に１回転して元の向きに戻る。

「実施例」第１図ないし第９図に基づいて、本発明の一実施例を説
明する。

第１図は、本発明による洗浄装置全体を示すもので、（
１）は膨潤液剤（２）を溜めた槽、（３）は洗浄部、（
４）は基板（１７）を運搬するリフトコンベアである。

このリフトコンベア（４）は、２本のコンベアケーブル
（６）（６）がガイドローラー（９）（９）・・・によ
って案内され、コンベアケーブル（６）（６）に吊り下
げられたリフト（８）（８）・・・が前記槽（１）に基
板（１７）を浸漬した後、前記洗浄部（３）に運搬する
ように周回している。

前記リフト（８）は第２図に示すように、軸受体（１０
）に略垂直方向の回動軸（１１）が貫通して取付けられ
ている。この軸受体（１０）は左右のステー（１８）（
１８）に固定されて前記コンベアケーブル（６）（６）
に所定間隔毎に取付けられ、内部の軸受（１０ａ　）に
てリフト（８）の回動軸（１１）を上下動と回動自在に
軸支している。リフト（８）の回動軸（１１）の側面か
らは、位置決めピン（１２）が突出しており、抜は止め
になるとともに、前記軸受体（１０）の上面の窪みに設
けられた第４図に示すような十字状のＶ型溝（１６）に
リフト（８）の自重で係合するようになっている。回動
軸（１１）の下端には略Ａの字状の吊り金具（１３）が
固定され、この金具（１３）の先端は第３図に示すよう
に鉤状にフック（１３ａ　）が形成されている。回動軸
（１１）の上端には水平軸（１４）が前記吊り金具（１
３）と同一垂直面上に位置して固定され、この水平軸（
１４）の両端にはやや上方にローラ（１５）が突出して
いる。

前記リフトコンベア（４）の前記槽（１）の前であって
基板（１７）の搬入側には、基板吊り下げ機（１９）が
設けられ、前記洗浄部（３）の後であって基板（１７）
の搬出側には、基板取外し機（２０）が設けられている
。

前記基板吊り下げ機（１９）は第５図に示すように、基
板（１７）を搬入するロ−ラーコンベア（２１）と、搬
入されてきた基板（１７）を定位置で停止させるストッ
パー（２２）と、基板（１７）をロ−ラーコンベア（２
１）の中心にあわせるための位置修正機（２３）とで構
成されている。前記リフトコンベア（４）はこの基板吊
り下げ機（１９）の位置では垂直に引き上げられるよう
に案内されている。前記ストッパー（２２）は油圧ピス
トン（２５）などによって進退自在に構成されている。

前記位置修正機（２３）は、修正板（２９）　（２９）
にロ−ラーコンベア（２１）のローラー（２４）が接触
しないように切欠（２７）が設けられて、ローラー（２
４）の軸方向に移動自在に設けられ、第６図に示すよう
にロ−ラーコンベア（２１）の下面に設けられた駆動装
置（２８）によって２枚の修正板（２９）　（２９）の
幅間隔を変えるもので、中央から半分が正ねじ、残りの
半分が逆ねじのスクリュー（３０）　（３０）に前記修
正板（２９）　（２９）に固定されたナツト（３１）　
（３１）が螺合しており、スクリュー（３０）　（３０
）の中央に固定されたプーリー（３２）に駆動モータか
らのベルト（図示せず）が掛けられ駆動される。また、
前記修正板（３０）（３０）の両端部には平行に移動さ
せるための２本のガイド軸（４３）　（４３）が設けら
れている。また、リフトコンベア（４）の基板吊り下げ
機（１９）の位置には−８＝前記リフト（８）のすて−（１８）が通過する幅をもっ
て振れ止め（４２）　（４２）が設けられている。

前記基板取外し機（２０）は第７図に示すように、複数
の細いベルトコンベア（３３）　（３３）・・・を並列
して構成され、前記リフトコンベア（４）はこの基板取
外し機（２０）の位置ではベルトコンベア（３３）　（
３３）・・・と反対方向に逃げるように斜め下方向に案
内されている。前記ベルトコンベア（３３）　（３３）
・・・は各々隙間（３４）をもって並列されており、前
記吊り金具（１３）のフック（Ｌ３ａ）がこの隙間（３
４）を通過するように配置されている。

前記基板吊り下げ機（１＠）と前記基板取外し機（２０
）の前後にはそれぞれリフト（８）の向きを９０度変え
る変向機（３５ａ　）　（３５ｂ　０３５　ｃ　）（３
５ｄ　）が設けられている。

前記基板吊り下げ機（１９）の前に設けられた変向機（
３５ａ　）は第９図（ａ）に示すような案内板（３６ａ
　）が設けられており、この案内板（３６ａ　）に前記
リフト（８）のローラ（１５）が当接すると、鎖線のよ
うに水平軸（１４）がリフトコンベア（４）の進行方向
に対して左側に傾き、前記位置決めピン（１２）がＶ型
溝（１６）から脱出して、吊り金具（１３）とともに回
動軸（１１）が９０度回転して、再び位置決めピン（１
２）が９０度偏位した■型溝（１６）に係合するように
なっている。

前記基板吊り下げ機（１９）の後に設けられた変向機（
３５ｂ　）は第９図（ｂ）に示すような案内板（３６ｂ
　）が設けられており、この案内板（３６ｂ　）に前記
リフト（８）のローラ（１５）が当接すると、鎖線のよ
うに水平軸（１４）が傾き、第９図（ａ）と同様に吊り
金具（１３）が９０度回転するようになっている。

前記基板取外し機（２０）の前に設けられた変向機（３
５ｃ　）は第９図（ｃ）に示すような案内板（３６ｃ　
）が設けられており、第９図（ａ）の案内板（３６ａ　
）と同様に吊り金具（１３）が９０度回転するようにな
っている。

前記基板取外し機（２０）の後に設けられた変向機（３
５ｄ）は第９図（ｄ）に示すような案内板（３６ｄ）が
設けられており、第９図（ｂ）の案内板（３６ｂ　）と
同様に吊り金具（１３）が９０度回転するようになって
いる。リフト（８）は、これら４つの偏向機（３５ａ　
）（３５ｂ　）　（３５ｃ　）（３５ｄ　）を通過する
と、１回転する。

前記洗浄部（３）は、第８図に示すように、基板（１７
）を吊り下げたリフト（８）の片側にプーリ（４４）（
４４）に掛は渡された振り止め膜（３７）をこのリフト
（８）と同期して移動するようにを設け、反対側から洗
浄液（４１）を吹き付けて洗浄するようになっており、
一方の面を洗浄した後、他方の面を洗浄する。

以上のような構成において、図示しないエツチングなど
の前工程の終了後、一定の長さに切断され、かつ吊り孔
（３８）があけられた基板（１７）となり、ロ−ラーコ
ンベア（２１）に載せられて搬入すると、基板（１７）
はストッパー（２２）に当接して定位置に停止し、かつ
位置修正機（２３）の修正板（２９）　（２９）の間隔
が挟まり、基板（１７）はロ−ラーコンベア（２１）の
所定位置中央に位置する。ここでストッパー（２２）が
退き、リフト（８）が上昇してきて吊り金具（１３）の
フック（１３ａ　）が基板（１７）の吊り孔（３８）に
係合して吊り上げられる。基板（１７）を吊り上げたリ
フト（８）は、ガイドローラー（９）に案内されて変向
機（３５ｂ　）に達し、第９図（ｂ）の鎖線で示すよう
にローラ（１５）が案内板（３６ｂ）に当接してリフト
（８）全体が左に９０度回転する。この後、リフト（８
）は槽（１）の膨潤液剤（２）に基板（１７）を浸漬し
つつ進行し表面に塗布されたマスキング剤を膨潤させ、
浸漬が終わると基板（１７）を洗浄部（３）に搬入する
。

洗浄部（３）はリフト（８）と基板（１７）の一方の面
に振り止めｌｌｉ　（３７）を当てた状態で反対側の面
に洗浄液（４１）を吹き付け、基板（１７）を洗浄し、
他方の面も同様にして洗浄を行う。洗浄部（３）から出
てきたリフト（８）は変向機（３５ｃ・）に達し、第９
図（ｃ）の鎖線で示すようにローラ（１５）が案内板（
３６ｃ　）に当接してリフト（８）全体が左に９０度回
転する。

９０度回転したリフト（８）はガイドローラー（９）に
案内されて、基板取外し機（２０）に向かって降下し、
基板（１７）が前記ベルトコンベア（３３）　（３３）
・・・に載ると、リフト（８）はベルトコンベア（３３
）　（３３）・・・と反対方向に逃げるように斜め下方
向に案内され、吊り金具（１３）のフック（１３ａ　）
が基板（１７）の吊り孔（３８）から外れて、基板（１
７）はベルトコンベア（３３）（３３）・・・によって
搬出される。基板（１７）が外されたリフト（８）は変
向機（３５ｄ）に達し、第９図（ｄ）の鎖線で示すよう
にローラ（１５）が案内板（３６ｄ）に当接してリフト
（８）全体が左に９０度回転する。さらにリフト（８）
は基板吊り下げ機（１９）の前で、もう−度変向機（３
５ａ　）に達し、第９図（ａ）の鎖線で示すようにロー
ラ（１５）が案内板（３６ａ　）に当接してリフト（８
）全体が左に９０度回転し、最初の向きに戻る。

［発明の効果］本発明は、以上のように構成したので、基板を洗浄する
にあたって、前工程から送られてきた基板の洗浄を自動
的に行うことができ、しかも洗浄後はベルトコンベアに
載せられるので、そのまま後工程に供給できる。すなわ
ち、洗浄工程に全く人手を掛けずに済み、徹底した合理
化を図ることができる、という効果を有するものである
。

【図面の簡単な説明】第１図ないし第９図は本発明の一実施例を示すもので、
第１図は洗浄装置の全体図、第２図はリフトの構造と取
り付は方をしめず一部断面した正面図、第３図は第２図
の側面図、第４図は軸受体の平面図、第５図は基板吊り
下げ機とリフトの斜視図、第６図は位置修正機とロ−ラ
ーコンベアとストッパーの底面図、第７図は基板取外し
機とリフトの斜視図、第８図は洗浄部の動作を説明する
ための概略図、第９図（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は変向
機の作用を説明する案内板とリフトの平面図、第１０図
は基板の正面図、第１１図はＩＣ素子の拡大正面図、第
１２図は従来例を示す略図である。（１）・・・槽、（２）・・・膨潤液剤、（３）・・・
洗浄部、（４）・・・リフトコンベア、（６）・・・コ
ンベアケーブル、（８）・・・リフト、（９）・・・ガ
イドローラー、（１０）・・・軸受体、（１１）・・・
回動軸、（１２）・・・位置決めビン、（１３）・・・
吊り金具、（１４）・・・水平軸、（１５）・・・ロー
ラ、（１６）・・・Ｖ型溝、（１７）・・・基板、（１
８）・・・ステー、（１９）・・・基板吊り下げ機、（
２０）・・・基板取外し機、（２１）・・・ロ−ラーコ
ンベア、　（２２）・・・ストッパー、（２３）・・・
位置修正機、（２４）・・・ローラー５．　（２５）・
・・油圧ピストン、（２７）・・・切欠、（２８）・・
・駆動装置、（２９）・・・修正板、（３０）・・・ス
クリュー、（３１）・・・ナツト、（３２）・・・プー
リー（３３）・・・ベルトコンベア、（３４）・・・隙
間、（３５ａ　）　（３５ｂ　）　（３５ｃ　）　（３
５ｄ　）−変向機、（３６ａ　）（３６ｂ　）（３６ｃ
　）（３６ｄ）・・・案内板、（３７）・・・振り止め
板、（３８）・・・吊り孔、（３９）・・・マスキング
剤、（４０）・・・リード端子、（４１）洗浄液、（４
２）・・・振れ止め、（４３）・・・ガイド軸、（４４
）・・・プーリ。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）リフトコンベアで基板を吊り下げて運搬しつつ、
基板を薬品の溜められた槽に浸漬し、前記槽から引き上
げ後、洗浄部に搬入し洗浄する洗浄装置において、前記
リフトコンベアに臨ませて、前記槽の基板搬入側に基板
吊り下げ機を設け、前記洗浄部の基板搬出側に基板取外
し機を設け、前記基板吊り下げ機と前記基板取外し機の
前後にそれぞれリフトの変向機を設けたことを特徴とす
る洗浄装置。
（２）基板吊り下げ機は、基板を搬入するロ−ラーコン
ベアと、基板を定位置に停止させるストッパーと、基板
を前記ロ−ラーコンベアの中心に位置修正する修正機と
からなり、基板取外し機は、細いベルトコンベアを複数
並列し、リフトコンベアを前記ベルトコンベアに基板を
載せつつベルトコンベアから離れる方向に案内するよう
に構成したものからなる請求項（１）記載の洗浄装置。
（３）リフトコンベアは２本の平行するコンベアケーブ
ルの中間に水平面内に回動自在なリフトを吊り下げ、リ
フトと一体に水平軸とローラを設け、変向機は前記ロー
ラに接しつつ水平軸を直角に偏向させる案内板からなる
請求項（１）記載の洗浄装置。