JPH0721372A - 画像検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 試料上で孤立するパターンに対応するデータ
のみを正確に検出できる画像検出装置を提供する。 【構成】 ＣＣＤセンサ２からの画像データを三値化回
路５で三値化し、ウィンドウ切り出し回路６，７のメモ
リ上で２次元の判定画像データを作成する。第１のウィ
ンドウ切り出し回路６では判定画像データ内のｎ×ｎ画
素を、第２のウィンドウ切り出し回路７では第１のウィ
ンドウと中心が一致するｍ×ｍ画素（ｍ＞ｎ）を切り出
し、これらの階調別の画素数をカウンタ回路８，９で計
数する。減算回路１０ではカウンタ回路９の計数値から
カウンタ回路８の計数値を減算し、試料上で孤立するパ
ターンに対応するデータが第１のウィンドウ切り出し回
路６で切り出した画素内に存在するか否かを判定論理回
路１１により減算回路１０での減算値とカウンタ回路８
の計数値とに基づいて判定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板やフォト
マスクの配線パターン等の外観検査に用いる画像検出装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、プリント基板の外観検査では、Ｃ
ＣＤセンサなどの撮像手段により基板の所定範囲を撮像
し、得られた画像データを参照データと比較する等して
外観の良否を判定している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した撮
像手段により例えば基板上に残存する微小な残銅や配線
パターン上に発生した微小なピンホールを撮像する場
合、光学系や撮像手段の光学的周波数応答特性、あるい
は電気回路の応答性などの電気的周波数特性により、画
像のコントラストが低下してこれらの残銅やピンホール
が見逃されることがある。図４（ａ）は、プリント基板
を撮像して、その基材が”０”、配線パターンが”Ｒma
x”となる多値の画像データを出力させた例であるが、
撮像手段の応答性の影響でピンホールが存在する位置Ｐ
Ｈおよび残銅が存在する位置ＰＣでコントラストが低下
し、本来ならピンホール上で”０”，残銅上で”Ｒma
x”となるべき階調が中間階調に変換されている。この
画像データを例えば中間のスレッショルドＴＭで二値化
すると、ピンホールおよび残銅のデータが周囲の配線パ
ターンや基材部分と同一階調に変換されて二値画像から
消失し、これらの欠陥を検出することが不可能となる。

【０００４】一般に、コントラストの低下した画像の修
正には、微分フィルタ等の画像強調フィルタにより画像
中のエッジを強調する手法が用いられている。しかし、
この方法では画像中のあらゆるエッジがその種類に拘ら
ず強調されるため、例えば配線パターンのエッジ部分に
生じた量子誤差が強調されて後の線幅認識の誤差要因と
なる等、不必要な部分までも強調されて後処理に不都合
を与えることがある。

【０００５】本発明の目的は、試料上で孤立するパター
ンに対応するデータのみを正確に検出できる画像検出装
置を提供することにある。なお、ここでいう孤立するパ
ターンとは、周囲に対して孤立的に輝度が変化する部分
を意味し、プリント基板の例であれば配線パターン上で
孤立するピンホール、基材上で孤立する残銅の双方が含
まれる。

【０００６】

【課題を解決するための手段】図１に対応付けて説明す
ると、本発明の画像検出装置は、試料の所定範囲を撮像
して該撮像範囲の輝度分布に対応した画像データを出力
する撮像手段１００と、撮像手段１００から出力される
画像データを所定の閾値により三値以上に多値化して２
次元に画素分割可能な判定画像データを作成する判定画
像データ作成手段１０１と、作成された判定画像データ
内の特定範囲の画素の階調を検出する第１の検出手段１
０２と、判定画像データ内にて第１の検出手段１０２に
よる階調検出範囲を取り囲む一定範囲の画素の階調を検
出する第２の検出手段１０３と、試料上にて孤立するパ
ターンに対応するデータが第１の検出手段１０２による
階調検出範囲に存在するか否かを第１の検出手段１０２
および第２の検出手段１０３が検出した階調に基づいて
判定する判定手段１０４と備えることにより、上述した
目的を達成する。

【０００７】請求項２の装置では、判定画像データ作成
手段１０１が撮像手段１００からの画像データを二つの
閾値により三値化する。そして、判定手段１０４は、第
１の検出手段１０２の階調検出範囲での最大階調または
最小階調のいずれか一方の階調の画素および中間階調の
画素の総数と、第２の検出手段１０３の階調検出範囲で
の最大階調または最小階調のいずれか他方の階調の画素
の総数とに基づいて、試料上で孤立するパターンに対応
するデータの有無を判定する。

【０００８】請求項３の装置では、第１の検出手段１０
２による階調検出範囲に、試料上で孤立するパターンに
対応するデータが存在すると判定したとき、撮像手段１
００から後処理手段１０５へ向けて出力される後処理用
の画像データ上で当該孤立するパターンが強調されるよ
うに当該後処理用の画像データを修正する画像修正手段
１０６が設けられる。

【０００９】

【作用】試料上の輝度が急激に変化する部分を撮影手段
１００で撮像すると、撮像手段１００の応答性の影響に
より、出力される画像データのコントラストが低下す
る。判定画像データ作成手段１０１では、撮像手段１０
０からの画像データが三値以上に多値化されて判定画像
データが作成されるので、撮像手段１００からの画像デ
ータ中のコントラストが低下した部分は判定画像データ
内に中間階調の画素として残存する。したがって、第１
の検出手段１０２により判定画像データの特定範囲の階
調を検出することで、当該階調検出範囲にコントラスト
の低下部分に対応するデータが存在するか否かを判定す
ることが可能となる。

【００１０】ここで、試料上の輝度変化部分には、例え
ばプリント基板の残銅やピンホールのように試料上で孤
立するパターンの他、例えばプリント基板の配線パター
ンと基材との境界線のように連続したエッジも含まれ
る。第１の検出手段１０２による階調検出範囲に存在す
る中間階調の画素が試料の孤立したパターンに対応する
ならば、これを取り囲む画素の階調は第１の検出手段１
０２で検出した中間階調よりも高低いずれか一方の側に
偏ることとなり、連続したエッジに対応するならば第１
の検出手段１０２による階調検出範囲の周囲の画素の階
調は第１の検出手段１０２で検出した中間階調を境とし
て高低両方向に離散する。したがって、第１の検出手段
１０２による階調検出範囲を取り囲む一定範囲の画素の
階調を第２の検出手段１０３により検出すれば、試料上
にて孤立するパターンに対応するデータが第１の検出手
段１０２の階調検出範囲内に存在するか否かを判定でき
る。判定手段１０４は、以上の論理にしたがって試料上
で孤立するパターンに対応するデータが第１の検出手段
１０２による階調検出範囲に存在するか否か判定する。

【００１１】請求項３の装置では、判定手段１０４によ
り孤立するパターンに対応するデータが存在すると判定
されると、撮像手段１００から後処理手段１０５へ向け
て出力される後処理用の画像データ上で当該孤立するパ
ターンが強調されるように当該後処理用の画像データが
画像修正手段１０６により修正される。

【００１２】

【実施例】以下、図２〜図５を参照して本発明をプリン
ト基板の外観検査装置に適用した一実施例を説明する。
図２は本実施例の画像検出装置の回路構成を示すもので
ある。図中符号１は検査対象のプリント基板をその表面
と平行な面内で移動させるステージ、２はステージ１に
載置されたプリント基板を撮像するＣＣＤセンサであ
り、複数の受光部を一直線に配列したいわゆるラインセ
ンサが用いられている。このＣＣＤセンサ２の受光部の
配列方向と直交する方向へのステージ１の移動と、ＣＣ
Ｄセンサ２によるプリント基板の撮像とが交互に繰り返
されてプリント基板がその一端から他端まで順に撮像さ
れる。ＣＣＤセンサ２の出力信号は、ＡＤ変換器３によ
り、プリント基板上で最も輝度が高い配線パターン部分
を”２５５”、最も輝度が低い基材部分を”０”とする
８ビットのデジタル信号に変換されて遅延回路４および
三値化回路５に出力される。遅延回路４については後述
する。

【００１３】三値化回路５は、ＡＤ変換器３からの出力
信号を２つの異なるスレッショルドにより”０”，”
１”，”２”の三つの階調に変換して第１のウィンドウ
切り出し回路６および第２のウィンドウ切り出し回路７
に出力する。ウィンドウ切り出し回路６，７は、任意の
アドレスに対してデータの入出力が可能なメモリ（不図
示）を備える。このメモリは、ＡＤ変換器３を介して順
列的に出力される画像データを対応するアドレスへ順次
格納して２次元に画素分割可能な判定画像データを作成
する書き込み動作と、作成された判定画像データ内の特
定範囲（以下、ウィンドウと呼ぶ。）の画素のデータを
後続するカウンタ回路８，９へ出力する読み出し動作と
を交互に繰り返す。

【００１４】図３は、ウィンドウ切り出し回路６，７の
メモリ上で作成される判定画像データＤjの構造とここ
から切り出されるウィンドウＷ1，Ｗ2との関係を示すも
のである。なお、以下では説明の便宜上、判定画像デー
タＤjの右端へ向う方向をｘ方向、上端へ向う方向をｙ
方向と呼び、ステージ１によるプリント基板の移動方向
は、判定画像データＤj中のｘ方向に一致するものとす
る。図３において、判定画像データＤjを構成する画素
Ｐjのｙ方向の列がＣＣＤセンサ２による１回の撮影で
三値化回路５から出力されるデータに対応し、一列の画
素数はＣＣＤセンサ２の画素数に等しくｊ個である。図
から明らかなように、判定画像データＤjは、連続した
５回の撮影で得られたデータをｘ方向に撮影順に並べて
構成され、その総画素数は５×ｊ個である。ＣＣＤセン
サ２による撮影に同期してメモリが書き込み状態に切り
換わると、判定画像データＤjの右端の列のデータがク
リアされて各列のデータがメモリ上を１画素分ずつｘ方
向へ転送され、空域となった判定画像データＤjの左端
の列に新たに撮影されたデータが書き込まれる。

【００１５】ＣＣＤセンサ２による１回の撮影が終了し
てメモリが読み出し状態に切り換わると、第１のウィン
ドウ切り出し回路６は判定画像データＤjから３×３画
素の第１のウィンドウＷ1を切り出し、第２のウィンド
ウ切り出し回路７は第１のウィンドウＷ1と中心が一致
する５×５画素の第２のウィンドウＷ2を切り出す。そ
して、これらウィンドウＷ1，Ｗ2内の画素Ｐjのデータ
を予め定められた順序でカウンタ回路８，９へそれぞれ
出力する。

【００１６】一組のウィンドウＷ1，Ｗ2のデータを全て
出力すると、ウィンドウ切り出し回路６，７は判定画像
データＤj中の異なる位置から中心が一致する一組の新
たなウィンドウＷ1，Ｗ2を切り出し、これらのデータを
先と同様に出力する。以下、判定画像データＤj中の全
領域を第２のウィンドウＷ2として切り出すまでウィン
ドウＷ1，Ｗ2の切り出しとデータの出力とを交互に繰り
返する。ここで、ウィンドウＷ1，Ｗ2の切り出し順には
特に制限はないが、図示の例では判定画像データＤjの
下端から５×５個の画素を第１回目の第２のウィンドウ
Ｗ2として切り出し、以降ｙ方向へ一画素分ずつ切り出
し位置を変更する。なお、第１のウィンドウＷ1の画素
数が第２のウィンドウＷ2の画素数よりも少ないので、
その分、第１のウィンドウ切り出し回路６からのデータ
の出力速度を遅くする等して一組のウィンドウＷ1，Ｗ2
の切り出しが常に同期するように配慮する。

【００１７】カウンタ回路８，９は、ウィンドウ切り出
し回路６，７から出力されるデータの階調別の出力回数
をウィンドウＷ1，Ｗ2毎に計数する。図２に示すよう
に、カウンタ回路８の計数値は減算回路１０および判定
論理回路１１へ出力され、カウンタ回路９での計数値は
減算回路１０に出力される。減算回路１０は、カウンタ
回路９の階調別の計数値からカウンタ回路８の対応する
階調の計数値を減算し、その結果を判定論理回路１１へ
出力する。すなわち、第１のウィンドウＷ1内での階
調”０”の画素数をｍ0、階調”１”の画素数をｍ1、階
調”２”の画素数をｍ3とし、第２のウィンドウＷ2内で
の階調”０”の画素数をｎ0、階調”１”の画素数をｎ
2、階調”２”の画素数をｎ3とすれば、カウンタ回路８
から出力される階調”０”，”１”，”２”毎の計数値
Ｃ0，Ｃ1，Ｃ2および減算回路１０から出力される階
調”０”，”１”，”２”毎の演算値Ｅ0，Ｅ1，Ｅ2は
以下のようになる。

【数１】Ｃ0＝ｍ0、Ｃ1＝ｍ1、Ｃ2＝ｍ2 Ｅ0＝ｎ0−ｍ0、Ｅ1＝ｎ1−ｍ1、Ｅ2＝ｎ2−ｍ2

【００１８】判定論理回路１１は、カウンタ回路８での
計数値Ｃ0，Ｃ1，Ｃ2と、減算回路１０から出力される
演算値Ｅ0，Ｅ1，Ｅ2とに基づいて、以下の論理Ｌ１，
Ｌ２により第１のウィンドウＷ1内に残銅やピンホール
に対応するデータが存在するか否かを判定する。

【数２】論理Ｌ１：｛Ｅ2＞ＴｐかつＣ0＋Ｃ1≧Ｔｋ｝
ならばピンホールあり 論理Ｌ２：｛Ｅ0＞ＴｚかつＣ2＋Ｃ1≧Ｔｋ｝ならば残
銅あり

【００１９】ここで、Ｔｐは第１のウィンドウＷ1がプ
リント基板の配線パターンに対応するデータで囲まれて
いると判定するためのスレッショルド、Ｔｚは第１のウ
ィンドウＷ1がプリント基板の基材に対応するデータで
囲まれていると判定するためのスレッショルドである。
また、Ｔｋは第１のウィンドウＷ1内に最大階調または
最小階調の画素と中間階調の画素とが合計で何画素以上
存在するときにプリント基板の残銅やピンホールに対応
するデータと判定するか、換言すれば判定論理回路１１
での感度を定めるスレッショルドである。これらのスレ
ッショルドの具体例は後述する。

【００２０】判定論理回路１１は、ピンホールまたは残
銅に対応するデータありと判定すると、その判定結果と
ピンホールまたは残銅に対応するデータの位置情報とを
画像修正回路１２に出力する。なお、データの位置は、
判定画像データＤjからのウィンドウＷ1，Ｗ2の切り出
し順序が決まっているので、予めウィンドウＷ1の切り
出し回数とウィンドウＷ1の位置（例えば中心座標）と
を対応付けたデータテーブルを作成し、同一の判定画像
データＤjから何回目に切り出されたウィンドウＷ1につ
き論理Ｌ１または論理Ｌ２が肯定されたかを例えばカウ
ンタ回路８からのデータ出力回数により検出してその結
果に対応するウィンドウＷ1の位置を上述したデータテ
ーブルから求めればよい。

【００２１】画像修正回路１２は、上述した判定画像デ
ータＤj（図３）と同一サイズの画素数の画像データを
記憶可能なメモリ（不図示）を備える。このメモリは、
遅延回路４から出力される８ビットの画像データの取り
込みと、取り込まれた画像の二値化回路１３への出力と
を所定の周期で繰り返す。遅延回路４は、三値化回路
５、ウィンドウ切り出し回路６，７、カウンタ回路８，
９、減算回路１０および判定論理回路１１での遅延時間
に相当する時間だけＡＤ変換器３から画像修正回路１２
へ向う画像データを遅延させる。これにより、画像修正
回路１２のメモリと、ウィンドウ切り出し回路６，７の
メモリには、プリント基板上の同一位置の画像データが
取り込まれる。

【００２２】また、画像修正回路１２は、上述した判定
論理回路１１から残銅またはピンホールに対応するデー
タありとの判定結果とデータの位置情報とを受け取る
と、自身のメモリに取り込んだ画像データ中の対応する
位置のデータを、残銅やピンホールが強調されるように
修正する。具体的には、判定論理回路１１で第１のウィ
ンドウＷ1内に残銅に対応するデータがあると判定した
ときは、画像データ中の第１のウィンドウＷ1に対応す
るすべての画素の階調が”２５５”に、ピンホールに対
応するデータがあると判定したときは、画像データ中の
第１のウィンドウＷ1に対応するすべての画素の階調
が”０”となるように画像データを修正する。なお、第
１のウィンドウＷ1内の残銅またはピンホールに対応す
る画素の階調のみを”２５５”または”０”に修正して
もよい。

【００２３】判定論理回路１１が一の判定画像データＤ
jの全領域の判定を終えると、これに同期して画像修正
回路１２は画像データを二値化回路１３へ出力する。そ
して、データ出力後は遅延回路４から新たな画像データ
を取り込む。二値化回路１３は、画像修正回路１２で修
正された画像データを所定のスレッショルドにより二値
化し、後続する検査回路、例えば画像データ中の配線パ
ターンの線幅等を演算して設計値と比較する回路等へ出
力する。

【００２４】図４を参照して本実施例の装置による画像
変換の具体例を説明する。ＣＣＤセンサ２による１回の
撮影でＡＤ変換器３から図４（ａ）に示す多値の画像デ
ータが出力されたとする。この画像データでは既述の通
りプリント基板のピンホールが存在する位置ＰＨおよび
残銅が存在する位置ＰＣの部分が”０”〜”Ｒmax”の
中間の階調に変換されている。三値化回路５では二つの
スレッショルドＴＨ，ＴＬにより画像データが三値化さ
れ、これらピンホールおよび残銅に対応するデータはい
ずれも中間階調”１”に変換される。この結果、ウィン
ドウ切り出し回路６，７のメモリには、図４（ｂ）の画
素列Ｋで示すデータが入力される。ここで、図４（ｂ）
は三値化回路５から出力される画像データを撮影順に上
から下へ並べたもので、図中のｘｙ方向は図３のｘｙ方
向に対応する。最大階調”２”の画素が並ぶ領域Ａｐが
プリント基板の配線パターンに対応し、中間階調”１”
の画素が十字状に並ぶ領域Ａｈ，Ａｃがそれぞれピンホ
ール、残銅に対応する。また、領域Ａｐに隣接して中間
階調”１”の画素が帯状に連なる領域Ａｅは配線パター
ンと基材との境界線に対応する。

【００２５】いま、図４（ｂ）の画像データのうち、画
素列Ｋを中心とする５列のデータが判定画像データＤj
としてウィンドウ切り出し回路６，７のメモリに取り込
まれたものとする。図中の領域Ａｅと重なるように第１
のウィンドウＷ1が切り出されると、カウンタ回路８で
の階調別の計数値はＣ0＝０、Ｃ1＝４，Ｃ2＝４とな
る。また、減算回路１０での階調別の演算値は、第２の
ウィンドウＷ2から第１のウィンドウＷ1を抜き出した残
りの１６画素で構成されるエリアＷａの階調別の画素数
に等しいから、Ｅ0＝０，Ｅ1＝０，Ｅ2＝１６となる。

【００２６】したがって、上述した論理Ｌ１にてスレッ
ショルドＴｐ≦１５，Ｔｋ≦４であれば、領域Ａｅと重
複する第１のウィンドウＷ1内にピンホールに対応する
データが存在すると判定される。この結果、図４（ａ）
に二点鎖線で示すように、画像修正回路１２のメモリに
書き込まれた画像データ中の第１のウィンドウＷ1に対
応する画素の階調がすべて”０”に変換されてピンホー
ルが強調される。

【００２７】また、判定画像データＤjの領域Ａｃと重
なるように第１のウィンドウＷ1が切り出されるとき
は、カウンタ回路８での階調別の計数値はＣ0＝４、Ｃ1
＝４，Ｃ2＝０。減算回路１０での階調別の演算値はエ
リアＷａの階調別の画素数に等しくＥ0＝１６，Ｅ1＝
０，Ｅ2＝０である。したがって、上述した論理Ｌ２に
てスレッショルドＴｚ≦１５，Ｔｋ≦４であれば、論理
Ｌ２にて第１のウィンドウＷ1内に残銅に対応するデー
タが存在すると判定され、図４（ａ）に二点鎖線で示す
ように、画像修正回路１２のメモリに書き込まれた画像
データ中の第１のウィンドウＷ1に対応する画素の階調
がすべて”Ｒmax”に変換されて残銅が強調される。こ
のように画像データが強調された後であれば、図４
（ａ）の中央のスレッショルドＴで画像データを二値化
してもピンホールや残銅のデータは消滅しない。

【００２８】次に、図５に示すように配線パターンと基
材との境界線に対応する領域Ａｅ上に第１のウィンドウ
Ｗ1が設定された場合を説明する。なお、図５では、量
子誤差により本来の境界線の位置から基材側へ一画素の
突起Ｐｅが生じている。図５に示すように第１のウィン
ドウＷ1が量子誤差による突起Ｐｅを中心として切り出
されると、カウンタ回路８での階調別の計数値はＣ0＝
０、Ｃ1＝５，Ｃ2＝４。減算回路１０での階調別の演算
値はＥ0＝７，Ｅ1＝２，Ｅ2＝７である。したがって、
上述した論理Ｌ１，Ｌ２にてスレッショルドＴｐ≧８，
Ｔｚ≧８であれば論理Ｌ１，Ｌ２はいずれも否定され、
第１のウィンドウＷ1内の中間階調”１”の画素の集合
をピンホールや残銅に対応するデータとして誤認するお
それはない。図４の例から明らかなように、ピンホール
や残銅を検出するためには、スレッショルドＴｐ，Ｔｋ
を第２のウィンドウＷ2の最外周の画素数（実施例では
１６個）から量子誤差によるエラーを見込んで数画素分
小さく設定するだけで良く、これにより配線パターン等
の連続したエッジに対応するデータとピンホールや残銅
に対応するデータとを明確に区別できる。

【００２９】本実施例では、第１のウィンドウＷ1を３
×３画素、第２のウィンドウＷ2を５×５画素に設定し
たが、本発明はこれに限るものではなく第１のウィンド
ウＷ1は例えば１画素であってもよい。また、第２のウ
ィンドウＷ2は第１のウィンドウＷ1の周囲に２画素分以
上突出する大きさに設定してもよい。ウィンドウ切り出
し回路６，７のメモリを共通化し、判定画像データＤj
から第２のウィンドウＷ2内の全データをカウンタ回路
９へ、第２のウィンドウＷ2内の第１のウィンドウＷ1と
の重複部分のデータをカウンタ回路８へ出力する構成と
してもよい。判定論理回路１１の論理Ｌ１，Ｌ２では、
単純に中間階調”１”の画素数を適当なスレッショルド
と比較してもよい。判定画像データＤjは三値化画像に
限る必要はなく、四値以上の多値画像としてもよい。判
定論理回路１１でピンホールまたは残銅のいずれか一方
のデータの有無のみを判定する構成としてもよい。判定
論理回路１１での判定結果に基づいて判定画像データＤ
jそのものを修正して後処理装置へ出力させてもよい。
ピンホールや残銅の有無だけを単純に検査する場合は、
画像修正回路１２を省略して判定論理回路１１での判定
結果をそのまま検査結果に用いてよい。

【００３０】以上の実施例では、ＣＣＤセンサ２が撮像
手段を、三値化回路５およびウィンドウ切り出し回路
６，７が判定画像データ作成手段を、第１のウィンドウ
切り出し回路６およびカウンタ回路８が第１の検出手段
を、第２のウィンドウ切り出し回路７，カウンタ回路９
および減算回路１０が第２の検出手段を、判定論理回路
１１が判定手段を、画像修正回路１２が画像修正手段を
構成する。また、第１のウィンドウＷ1が第１の検出手
段による階調検出範囲に相当し、第２のウィンドウＷ2
の最外周の１６個の画素（エリアＷａ）が第２の検出手
段による階調検出範囲に相当する。なお、実施例ではプ
リント基板のピンホールおよび残銅の画像データを強調
したが、本発明はこの例に限らず、その表面に孤立する
パターンが存在するあらゆる試料の画像検出に適用でき
る。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明では、第１
の検出手段および第２の検出手段がそれぞれ検出した画
素の階調に基づいて第１の検出手段による階調検出範囲
に試料上で孤立するパターンに対応するデータが存在す
るか否かが判定されるので、試料上で孤立するパターン
に対応する画像データとその他の画像データとを正確に
識別して、孤立するパターンに対応する画像データのみ
を強調するなど、画像データの種類に応じた適切な処理
を行なうことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のクレーム対応図。

【図２】本発明の一実施例における回路構成を示す図。

【図３】図２のウィンドウ切り出し回路で作成される判
定画像データとここから切り出されるウィンドウとの関
係を示す図。

【図４】実施例の装置によるピンホールおよび残銅の画
像の検出動作を説明するための図であって、（ａ）はＣ
ＣＤカメラから出力される画像データを、（ｂ）は三値
化回路から出力される判定画像とこれから切り出される
ウィンドウとの対応を示す図。

【図５】実施例の装置において判定画像データの量子誤
差に対応する部分にウィンドウが重なった状態を示す
図。

【符号の説明】

１ ステージ ２ ＣＣＤセンサ ５ 三値化回路 ６ 第１のウィンドウ切り出し回路 ７ 第２のウィンドウ切り出し回路 ８，９ カウンタ回路 １０ 減算回路 １１ 判定論理回路 １２ 画像修正回路 Ｄj 判定画像データ Ｐj 判定画像データの画素 Ｗ1 第１のウィンドウ Ｗ2 第２のウィンドウ Ｗａ 第２のウィンドウの最外周のエリア

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料の所定範囲を撮像して該撮像範囲の
   輝度分布に対応した画像データを出力する撮像手段と、 前記撮像手段から出力される画像データを所定の閾値に
   より三値以上に多値化して２次元に画素分割可能な判定
   画像データを作成する判定画像データ作成手段と、 作成された判定画像データ内の特定範囲の画素の階調を
   検出する第１の検出手段と、 前記判定画像データ内にて前記第１の検出手段による階
   調検出範囲を取り囲む一定範囲の画素の階調を検出する
   第２の検出手段と、 前記試料上にて孤立するパターンに対応するデータが前
   記第１の検出手段による階調検出範囲に存在するか否か
   を、前記第１の検出手段および前記第２の検出手段が検
   出した階調に基づいて判定する判定手段と、を備えるこ
   とを特徴とする画像検出装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の画像検出装置において、 前記判定画像データ作成手段は、前記撮像手段からの画
   像データを二つの閾値により三値化するように構成さ
   れ、 前記判定手段は、前記第１の検出手段の階調検出範囲で
   の最大階調または最小階調のいずれか一方の階調の画素
   および中間階調の画素の総数と、前記第２の検出手段の
   階調検出範囲での最大階調または最小階調のいずれか他
   方の階調の画素の総数とに基づいて前記孤立するパター
   ンに対応するデータの有無を判定することを特徴とする
   画像検出装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載の画像検出装置に
   おいて、 前記第１の検出手段による階調検出範囲に前記孤立する
   パターンに対応するデータが存在すると判定したとき
   に、前記撮像手段から後処理手段へ向けて出力される後
   処理用の画像データ上で当該孤立するパターンが強調さ
   れるように当該後処理用の画像データを修正する画像修
   正手段を備えることを特徴とする画像検出装置。