JPH0266472A - 半導体テスト装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ この発明は、半導体の電気的特性値をＤ１定する半導体
テスト装置に関し、特に、テスタ内の雰囲気条件をモニ
タして、異常が生じた場合には、警報を発するようにし
た半導体テスト装置に関する。

［従来の技術］ 第３図は従来の半導体テスト装置の構成図である。次に
、第３図を参照して、従来の半導体テスト装置について
説明する。第３図において、半導体被測定物７の電気的
特性値を測定するテスタ１には、ＣＰＵ２と測定部３と
が設けられている。

Ａ１１Ｊ定部３は電源、電圧計および電流計などを含む
。

この測定部３はテストケーブル８を介して半導体肢ｆｌ
ｌｌｌ定物７に接続される。ＣＰＵ２はテスタ外部に設
けられたメインＣＰＵ５と計１定結果などを表示するた
めの表示装置６に接続される。

次に、従来の半導体テスト装置における一連のテストに
かかわる動作について説明する。

まず、メインＣＰＵ５に測定条件などが設定される。次
に、メインＣＰＵ５からテスタ１のＣＰＵ２に測定側副
命令が転送される。制御命令を受すたＣＰＵ２はテスタ
内の電圧計、電流＝１および電源等を制御し、測定のた
めの電圧や電流をテスタ内のリレーからテストケーブル
８を介して崖導体被Ａｐｊ定物７に与える。そして、Ｃ
ＰＵ２はテストケーブル８を介して半導体被測定物７よ
り電圧や電流を読取り、それらの読取値を電気的特性値
としてメインＣＰＵ５に転送するとともに、その結果を
表示装置６に表示する。

［発明が解決しようとする課題］ 従来の半導体テスト装置は以上説明したような測定を行
なうもので、テスタ内部の温度や湿度が所定範囲内にあ
ることが望ましい。なぜなら、テスタ内の電圧計、電流
計、電源およびリレー等の性能を維持するためには、一
定範囲内の温度・湿度の環境が必要で、常にそのような
環境下で測定を行なわなければ、正確な電気的特性値の
測定は行なえないからである。テスタ内部の温度や湿度
が成る一定範囲外へと変化した場合には、電圧計。

電流計、電源およびリレー等の性能維持ができなくなり
、ａ′ｌｌｊ定値が異常になることが考えられる。

そこで、このような環境の変化が生じた場合には、測定
を中断して環境が元に戻るのを待って測定を再開するよ
うにすればよいが、従来の半導体テスト装置ではテスタ
内の温度・湿度を検知することができないので、異常に
気がつかないまま不正確な測定をしてしまうという問題
点があった。

この発明は上述のような問題点を解消するためになされ
たもので、テスタ内の温度・湿度が一定範囲を越えた状
態でのａｌｌ定を防止し、常に正常な状態での測定が行
なえるような半導体テスト装置を提供することを目的と
する。

［課題を解決するための手段］ この発明に係る半導体テスト装置は、テスタ内部に雰囲
気条件を検知するための検知手段を備えて、常時雰囲気
条件を検知し、雰囲気条件が所定範囲外に変化した場合
には、測定者に警報を発するものである。

［作用］ この発明における半導体テスト装置は、テスタ内部に設
けられた検知手段により常時雰囲気条件を検知し、雰囲
気条件がテスタの性能を維持できない所定範囲外に変化
した場合には、測定者に警報を発するので、悪条件での
測定が防止でき、常に正確なａ−１定をすることができ
る。

［発明の実施例〕 以下、この発明の一実施例を図を用いて説明する。

第１図はこの発明の一実施例による半導体テスト装置の
構成図である。第１図に示す半導体テスト装置は、テス
タ１内の構成を除き、第３図の従来の半導体テスト装置
と同様であるので、同一部分には同一の参照符号を付し
て説明を省略する。

この実施例では、テスタ１内に温度・湿度検知部４を設
け、テスタ内の温度・湿度を検知し、一定範囲外に温度
・湿度が変化した場合には、ＣＰＵ２からメインＣＰＵ
５に警報信号が与えられる。

第２図はこの発明の一実施例の動作を説明するためのフ
ロー図である。次に、第１図および第２図を参照して、
この発明の一実施例の動作について説明する。

基本的には、テスタ内の温度・湿度検知部４において一
定時間間隔で温度・湿度を検知し、異常が生じたときだ
けアラーム処理に移行するものである。＆１定中には、
一定時間間隔で測定プログラムに割込んで温度・湿度を
検知する。

ステップＳｌ（図示ではＳｌと略称する）において、テ
スタ内の温度・湿度検知部４によって温度・湿度を検知
し、続いて、ステップＳ２において、温度・湿度が一定
基準内か判断し、基準内であればステップＳ３において
、測定中であるか否かを判断し、測定中でなければ再度
ステップＳ１へ戻り、温度・湿度の検知のみを繰返す。

ステップＳ３において測定中であることを判断した場合
には、ステップＳ４において一定時間間隔プログラムを
続行させ、一定時間が経過したとき、ステップＳ５にお
いて、温度・湿度検知のために測定プログラムを一旦中
断させ、ステップＳ１において温度・湿度の検知を行な
う。

一方、ステップＳ２において、検知した温度・湿度が基
準外であった場合には、ステップＳ６において、テスタ
内のＣＰＵ２によってメインＣＰＵ５に警報が発せられ
、Δ１定中であればｌ１ｌｌＪ定を中断させる。続いて
、ステップＳ７において、アラームを表示装置６に表示
し、ステップＳ８においてアラームの解除が判断される
までアラーム表示を繰返す。温度・湿度か正常に戻り、
アラームが解除されると、ステップＳ９において、測定
中である場合には測定が再開され、再度温度・湿度検知
のループに戻る。

上述のように、この実施例では、測定中であってもなく
ても、一定時間間隔で常時温度・湿度が検知され、異常
時には直ちに警報が発せられるとともに測定か中断され
るので、異常状態での測定は確実に防止される。

なお、上記実施例では警報出力手段として表示装置への
アラーム表示という手段を用いたが、ブザー等による警
報音を用いてもよい。また、上記実施例では温度および
湿度を検知するようにしたが、いずれか一方のみを検知
するようにしてもよく、他の雰囲気条件を検知するよう
にしてもよい。

［発明の効果］ 以上のように、この発明によれば、テスタ内の雰囲気条
件を常時検知し、異常があれば警報を発するようにした
ので、異常状態でのＡＰ＋定が防止でき、常に正確な測
定が行なわれるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す構成図である。第２
図はこの発明の一実施例の動作を説明するためのフロー
図である。第３図は従来の半導体テスト装置の構成図で
ある。 図において、１はテスタ、２はテスタ内のＣＰＵ、３は
測定部、４は温度・湿度検知部、５はメインＣＰＵ、６
は表示装置、７は半導体波ａｌ定物、８はテストケーブ
ルを示す。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 半導体の電気的特性値を測定するテスタを利用して半導
   体をテストする半導体テスト装置であって、 前記テスタ内に設けられ、テスタ内部の雰囲気条件を検
   知するための検知手段と、 前記検知手段によって検知された雰囲気条件が予め定め
   る基準値外になったことに応じて、警報を出力する警報
   出力手段とを備えた、半導体テスト装置。