JPH026759A - 論理集積回路の試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は論理集積回路の試験装置に関し、特に、電圧印
加電流測定、電流印加電圧測定及び電圧測定等の直流特
性に関する測定を行うための機能を有する複数の直流測
定部を内蔵した論理集積回路の試験装置に関する。

［従来の技術］ 論理集積回路の試験装置（以下、試験装置という）は被
測定論理集積回路（以下、ＤＵＴという）の各端子に対
するリーク電流等の直流（ＤＣ）特性を測定する目的て
、電圧印加電流測定、電流印加電圧測定及び電圧測定等
のＤＣ特性に関する測定を行うための機能を備えた直流
測定部（以下、ＤＣ測定部という）を内蔵している。

第３図は、従来のこの種の試験装置の直流測定回路（以
下、ＤＣ測定回路という）を示すブロック図である。制
御部２１はＤＵＴに対するＤＣ特性測定の測定条件を記
述した試験プログラムを記憶すると共に、ＤＣ特性測定
を行うときにこの試験プログラムを解読し、これにより
、リレー制御部２２にＤＣ特性測定用のテスタ端子の番
号を設定し、更に、第１及び第２のＤＣ測定部２３．２
４にＤＣ特性測定の測定条件を設定する。テスタ端子０
１，０２，０３．・・・には、夫々ＤＣ特性測定の対象
となるＤＵＴの端子（図示せず）か接続されており、こ
のテスタ端子０．．０２，０３・・・・と第１のＤＣ測
定部２３又は第２のＤＣ測定部２４のいずれか一方とを
接続するために、複数の直流接続リレー（以下、ＤＣ接
続リレーという）Ｒρ１．Ｒρ２．Ｒρ３．・・・が設
けられている。

リレー制御部２２は制御部２１により設定されたテスタ
端子に対応するＤＣ接続リレーＲβＩＲＪ７２．Ｒ々３
．・・・を選択してこのＤＣ接続リレーをＤＣ特性測定
時にオンにして、ＤＣ特性測定終了後にはオフにする。

また、第１及び第２のＤＣ測定部２３．２４はいずれも
、電圧印加電流測定、電流印加電圧測定及び電圧測定の
各測定機能を備え、制御部２１により設定されたＤＵＴ
のＤＣ特性測定の条件に従って測定機能を選択し、これ
により、リレー制御部２２により選択的にオンされたＤ
Ｃ接続リレー及びテスタ端子を介してＤＵＴの端子（図
示せず）に対して所定のＤＣ特性を測定する。ここで、
第１のＤＣ測定部２３は、奇数番のテスタ端子Ｏ１゜０
３　、ｏ５．・・との電気的接続をとるために、これら
のテスタ端子０．．０３，０５．・・・に接続された奇
数番のＤＣ接続リレーＲρ１．Ｒρ３゜Ｒ（５，・・・
にのみ接続されている。一方、第２のＤＣ測定部２４は
、偶数番のテスタ端子０２０４．０６．・・・との電気
的接続をとるために、これらのテスタ端子０２，０４，
０６．・・に接続された偶数番のＤＣ接続リレーＲ，ｌ
、、Ｒη４Ｒρ６．・にのみ接続されている。

上述した複数のＤＣ接続リレーＲ，Ｒ，、Ｒρ２Ｒρ３
．　Ｒｆｆ１４　、・・・によりＤＣＣ接続リレ郡部１
６構成される。また、複数個のテスタ端子ｏｌ。

０２．０３，０４．・・・により、テスタ端子部１７が
構成されている。

次に、上述の如く構成された従来の試験装置のＤＣ測定
回路の動作について説明する。ＤＵＴに対する所定のＤ
Ｃ特性測定を行うとき、制御部２１は記憶している試験
プログラムを解読し、ＤＣ特性を測定すべきＤＵＴの端
子が接続されているテスタ端子０□、０２，０３．・・
・の番号をリレー制御部２２に設定する。また、制御部
２１はＤＣ特性測定条件、即ち、電圧印加電流測定、電
流印加電圧測定又は電圧測定のいずれかの測定機能の選
択及びＤＵＴに印加する電圧値又は電流値、並びに測定
した電流値又は電圧値の判定リミットを第１のＤＣ測定
部２３及び第２のＤＣ測定部２４に設定する。

リレー制御部２２は、制御部２１により設定されたテス
タ端子を選択すべく、リレー制御信号を出力してこのテ
スタ端子に接続されたＤＣ接続リレーを選択的にオンに
する。そして、第１のＤＣ測定部２３及び第２のＤＣ測
定部２４に設定された電圧又は電流はＤＣＣ接続リレ郡
部１６ＤＣ接続リレーＲ，＆、、Ｒ，Ｒ２，Ｒρ３．・
・のうち指定されてオンとなっているＤＣ接続リレーを
介して対応するいずれかのテスタ端子○、、０２，０３
゜・・・に出力され、更に、ＤＵＴ端子に印加される。

このように測定系か維持された状態で、第１のＤＣ測定
部２３又は第２のＤＣ測定部２４により、指定されたＤ
ＵＴ端子に対して所定のＤＣ特性が測定される。

この従来のＤＣ測定回路では、前述のように、第１のＤ
Ｃ測定部２３は奇数番のＤＣ接続リレーＲρ１．Ｒρ３
．Ｒρ５．Ｒρ７．・・・を介して奇数番のテスタ端子
０１．　Ｏｇ　、　０５　、　Ｑ７　、　・・にのみ接
続され、また、第２のＤＣ測定部２４は偶数番のＤＣ接
続リレーＲ１：１２　、Ｒ４４，Ｒ，Ｒ６゜Ｒ（８，・
・・を介して偶数番のテスタ端子０２０４．０６，０８
．・・にのみ接続されている。このため、例えば、テス
タ端子０１及び０２に夫々接続されるＤＵＴ端子に対し
てＤＣ特性測定を行う場合には、制御部２１がらリレー
制御部２２にこのテスタ端子０１．及び０２が設定され
、リレー制御部２２がらのリレー制御信号によりＤＣ接
続リレーＲρ１及びＲρ２がオンにされ、第１のＤＣ測
定部２３及び第２のＤＣ測定部２４が夫々テスタ端子０
１及び０２に接続される。

このような制御を行うことにより、ＤＵＴの２端子のＤ
Ｃ特性測定を並列的に行うことが可能となる。この場合
、第１及び第２のＤＣ測定部２３２４を同時に機能させ
ているので、１台のＤＣ測定部がＤＵＴ端子に対するＤ
Ｃ特性測定を実行するのと実質的に同じ時間で２ＤＵＴ
端子に対するＤＣ特性測定を行うことができる。このた
め、ＤＣ特性測定に要する時間はＤＣ測定部が１台の場
合の略半分で済む。

近時、論理集積回路の集積度の向上環によりＤＵＴの端
子数が増大する傾向にあり、これに伴いＤＣ特性測定に
要する時間が増大しつつある。このように端子数が増大
する傾向にあるＤＵＴに対し、ＤＣ特性測定の測定時間
を短縮するには、上述の如く、内蔵されるＤＣ測定部の
台数を増やし、これらを並列的に機能させることが有効
である。

このため、実用的にはＤＣ測定部の台数を２台から８台
又はそれ以上に増加させる傾向にある。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上述した従来の論理集積回路の試験装置
のＤＣ測定回路においては、以下に述べるような問題点
がある。

即ち、ＤＣ測定部を複数台内蔵した従来方式のＤＣ測定
回路では、ＤＵＴの１端子毎にＤＣ特性測定を実行し、
その際に得られた測定値を試験プログラムに取り込むな
めには、ＤＣ特性の測定に使用したテスタ端子の配列番
号に基き、試験プログラムにより複数のＤＣ測定部のう
ちから該当するＤＣ測定部を選択して行う必要があると
いう煩雑さかある。

しかも、第３図に示した２台の第１及び第２のＤＣ測定
部２３．２４を内蔵しているＤＣ測定回路を例にとれば
、これらの２台のＤＣ測定部２３２４を単独又は並列的
に機能させてＤＵＴのＤＣ特性測定を行うなめには、Ｄ
ＵＴの機能に応じて内蔵されるＤＣ測定部の台数に対応
するように個別的に試験プログラムを準備する必要があ
るという問題点がある。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものてあって、
内蔵されるＤＣ測定部の台数が増えても台数に拘らず試
験プログラムを共通に使用することができる論理集積回
路の試験装置を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明に係る論理集積回路の試験装置は、直流特性を測
定する複数個の直流測定部と、被測定論理集積回路の端
子が接続された複数個のテスタ端子と、このテスタ端子
といずれかの前記直流測定部との間に夫々接続された複
数個の接続リレーと、この接続リレーをオン・オフ制御
するリレー制御信号を出力するリレー制御部と、被測定
論理集積回路の端子毎の直流特性に関する測定条件を記
述した試験プログラムを記憶し、直流特性測定時に前記
試験プログラムを解読して直流特性を測定すべき被測定
論理集積回路に対応するテスタ端子を前記リレー制御部
に設定すると共に、直流測定条件を前記直流測定部に設
定する制御部と、を有する論理集積回路の試験装置にお
いて、前記リレー制御信号に基いて前記複数の直流測定
部のうちオンにされた接続リレーに接続されたものを選
択的に指定する指定信号を前記直流測定部に出力する指
定部を備え、前記直流測定部は前記制御部から前記試験
プログラムに測定値を取込むための取込み要求信号を入
力すると、前記指定信号により指定されている場合に測
定値に関する信号を前記制御部に出力することを特徴と
する。

［作用］ 本発明においては、制御部から直流特性を測定すべき被
測定論理集積回路が設定されると、リレー制御部はリレ
ー制御信号を出力して前記被測定論理集積回路か接続さ
れた接続リレーを選択的にオンにする。また、指定部は
このリレー制御信号に基き、複数の直流測定部のうち前
記リレー制御信号によりオンにされた接続リレーに対応
する直流測定部を指定する指定信号を各直流測定部に出
力する。そして、指定信号により指定された直流測定部
は、選択的にオンにされた前記接続リレーを介して、前
記被測定論理集積回路の端子に対し、制御部により設定
された測定条件で直流特性を測定する。

而して、制御部から前記複数の直流測定部に、試験プロ
グラムに測定値を取込むための取込み要求信号が出力さ
れると、指定信号により指定されている直流測定部のみ
が、その測定値を制御部へ出力する。これにより、試験
プログラムは試験装置に内蔵される直流測定部の台数に
拘らず、共通に使用可能である。

［実施例］ 以下、添付の図面を参照して、本発明を２台のＤＣ測定
部を内蔵したＤＣ測定回路を備えた論理集積回路の試験
装置に適用した実施例について具体的に説明する。

第１図は本実施例装置のＤＣ測定回路を示すブロック図
である。なお、第３図と同一物には同一符号をイ」シて
その説明を省略する。

制御部１１は、Ｄ　Ｕ　Ｔに対するＤＣ特性測定の測定
条件を記述した試験プログラムを記憶している制御回路
てあり、この試験プログラムは第１及び第２の測定部１
３，１．４に共通である。そして、この制御部１１は、
ＤＣ特性測定を行うときにこの試験プログラムを解読し
、リレー制御部１２にＤ　Ｃ特性を測定すべき被測定論
理集積回路が接続されたテスク端子（所定のデスク端子
）の番号を設定し、更に、第１及び第２のＤＣ測定部１
３１４に夫々ＤＣ特性測定の測定条件を設定する。

また、制御部１１は、ＤＣ特性測定時に試験プログラム
に測定値を取込むために、第１及び第２のＤＣ測定部１
３，１．４に取込み要求１８号を出力する。

リレー制御部１２は、制御部１１により設定された所定
のテスタ端子とＤＣ測定部１．３．１４とを電気的に接
続するために、ＤＣＣ接続リレ郡部１６リレー制御信号
を出力して、前記所定のテスタ端子に接続されたＤＣ接
続リレーＲρ１　。

Ｒｆ２．Ｒｆｆ１３．・・・を選択的にオンにすると共
に、前記リレー制御信号をコントロールバス１８を介し
てＤＣ指定部１５に出力する。ＤＣ指定部１５は前記リ
レー制御信号を入力して、測定値を制御部１１に出力さ
せるべきＤＣ測定部１３．１４を指定する指定信号、即
ち前記所定のテスタ端子と対応するＤＣ測定部１３．１
４を指定する指定信号をデータバス１つを介して第１及
び第２のＤＣ測定部１３．１４に出力する。この指定信
号はデータ゛’１”、”Ｏ″′を有し、指定されたＤＣ
測定部にはデータ゛′１′°が与えられ、指定されてい
ないＤＣ測定部にはデータ“Ｏ＋＋が与えられる。

第２図は、上述したＤＣ指定部１５の構成を具体的に示
すブロック図である。

即ち、ＤＣ指定部１５は、第１及び第２のＤＣ測定部１
３．１４と１対１に対応する２つのメモリ領域を有する
ＲＯＭ　１５　ａを備えている。また、このＲＯＭ１．
５ａが有する２つのメモリ領域の各アドレスはテスタ端
子Ｏｌ、　０２　、０３　、・・・と１対〕に対応して
いる。

そして、ＤＣ特性を測定する都度、リレー制御部１２か
らのリレー制御信号かコントロールバス１８を介してＲ
ＯＭ１５ａのアドレスに入力される。

各アドレス毎のデータピッ１〜は、ＤＣ測定部１３１４
と１対１に対応している。そして、リレー制御信刀が入
力されると、各アドレス毎のデータビットには、リレー
制御信号によりオンにされたＤＣ接続リレーＲρ１．Ｒ
ρ２．・・・に接続されたＤＣ測定部１３．１４に対応
するデータピッ１−にのみ１“が書かれ、その他のデー
タビットには“０″が書かれる。これらのデータビット
の出力はＤＣ指定信号の出力バス１つに出力され、各Ｄ
Ｃ測定部１３．１４にデータ“１″又は０°′か入力さ
れる。

また、第１及び第２のＤＣ測定部１３．１４はいずれも
、電圧印加電流特性、電流印加電圧特性及び電圧測定の
各測定機能を備え、制御部１１により設定されたＤＯＴ
のＤＣ特性測定の条件に従って前記測定機能を選択する
。そして、ＤＣＣ接続リレ郡部１６介してテスタ端子部
コアのいずれかと接続された場合には、このデスク端子
に接続されたＤＵＴ端子のＤＣ特性を測定する。

また、この第１及び第２のＤＣ測定部１３，１４は、制
御部１１から出力された取込み要求信号を入力すると、
指定信号”　１　”が与えられているＤＣ測定部のみか
測定値を制御部１］に送出する。

第１のＤＣ測定部１３は、図示のように、ＤＣＣ接続リ
レ郡部１６おける奇数番のＤＣ接続リレーＲη、、Ｒ，
！２．．Ｒρ５．・・・を介することにより、テスタ端
子部１７における奇数番のテスタ端子０．．０３，０５
．・・・にのみ接続可能である。

このため、第１のＤＣ測定部１３は奇数番のテスタ端子
０．．０３，０５．・・・に接続されているＤＣ端子の
ＤＣ特性測定を分担している。一方、第２のＤＣ測定部
１４は、偶数番のＤＣ接続リレーＲρ２．Ｒ々４．Ｒ々
６．・・・を介して偶数番のテスタ端子０□、０４，０
６．・・・にのみ接続可能であり、このため、これらの
偶数番のテスタ端子に接続されているＤＵＴ端子の］）
Ｃ特性測定を分担している。

以上のような構成を有する本実施例装置のＤＣ測定回路
において、所定のＤＯＴ端子に対するＤＣ特性測定の際
に得られた測定値を制御部１１の試験プログラムに取込
む場合の動作について説明する。

先ず、制御部１１から試験プログラムに測定値を取込む
ための取込み要求信号が第１及び第２のＤＣ測定部１．
３．１４に同時に出力される。そらすると、第１及び第
２のＤＣ測定部１３．１４は、夫々ＤＣ指定部１５から
与えられている指定信号を調べ、この指定信号が“１′
″である場合に、ＤＣ特性測定により得られた測定値を
制御部１１へ送出する。一方、指定信号か“０″のＤＣ
測定部は上述の動作を行わない。

二のように、第１及び第２のＤＣ測定部１３゜］４はＤ
Ｃ指定部］５から受けた指定信号のデータ゛°１′”、
０″を保持すると共に、制御部１１から出力される取込
み要求信号を受けて、データ′“１″の有無に応じてＤ
Ｃ特性測定により得られた測定値を制御部１１に出力す
る。このため、測定値の試験プログラムへの取込みが極
めて容易となる。

なお、奇数番のＤＣ接続リレーＲ℃、、Ｒ，＆、。

・・・のいずれか一つと、偶数番のＤＣ接続リレーＲρ
２．Ｒρ４．・・・のいずれか一つとが同時にオンにな
る場合は、ＤＣ測定部１３．１４かいずれも指定され、
ＤＣ指定部１５からデータ“１゛′がＤＣ測定部１３．
１４の双方に与えられる。これにより、第１及び第２の
ＤＣ測定部１３．１４により夫々対応する所定のＤＵＴ
端子のＤＣ特性測定を並列的に行うことができる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、直流特性を測定
するときにリレー制御部から出力されるリレー制御信号
に対応する１つ又は２つ以上の直流測定部を指定する指
定部を有しているので、試験装置に内蔵される直流測定
部の台数を増加させてもこの台数増加以前に使用してい
た試験プログラムに手を加えることなく、この試験プロ
グラムを複数の直流測定部に共通して使用することがで
きる。このため、試験プログラムは個々の品種の被測定
論理集積回路について１種類で済むので、試験プログラ
ムの改訂作業に要する工程数の増大を有効に回避するこ
とかでき、しかも、試験プログラムの実行時間を短縮す
ることかできる。また、このように試験プログラムの種
類の増加を回避できることから、特に生産基地が各地に
分散しているような場合に、本発明を適用することは極
めて有益である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を２台のＤＣ測定部を内蔵したＤＣ測定
回路を有する論理集積回路の試験装置に適用した実施例
を示すブロック図、第２図は第１図の実施例装置におけ
るＤＣ指定部の構成を示すブロック図、第３図は従来装
置の構成を示すブロック図である。 ：ｌ−１、２］、　、制御部、１２，２２；リレー制御
部、１３．２３．第１のＤＣ測定部、１４，２４；第２
のＤＣ測定部、１５；ＤＣ指定部、１５ａ；　ＲＯＭ、
］、　６　；　Ｄ　Ｃ接続リレ一部、］７；テスタ端子
部、１８；コントロールバス、１９；データバス

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）直流特性を測定する複数個の直流測定部と、被測
   定論理集積回路の端子が接続された複数個のテスタ端子
   と、このテスタ端子といずれかの前記直流測定部との間
   に夫々接続された複数個の接続リレーと、この接続リレ
   ーをオン・オフ制御するリレー制御信号を出力するリレ
   ー制御部と、被測定論理集積回路の端子毎の直流特性に
   関する測定条件を記述した試験プログラムを記憶し、直
   流特性測定時に前記試験プログラムを解読して直流特性
   を測定すべき被測定論理集積回路に対応するテスタ端子
   を前記リレー制御部に設定すると共に、直流測定条件を
   前記直流測定部に設定する制御部と、を有する論理集積
   回路の試験装置において、前記リレー制御信号に基いて
   前記複数の直流測定部のうちオンにされた接続リレーに
   接続されたものを選択的に指定する指定信号を前記直流
   測定部に出力する指定部を備え、前記直流測定部は前記
   制御部から前記試験プログラムに測定値を取込むための
   取込み要求信号を入力すると、前記指定信号により指定
   されている場合に測定値に関する信号を前記制御部に出
   力することを特徴とする論理集積回路の試験装置。