JPH0272531U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案装置の構成図、第２図は従来装
置の構成図である。 １…装置本体、２…電極、６…コントローラ、
７…第１の循環手段（チラー）、８…第２の循環
手段（チラー）、７ａ，８ａ…送出口、７ｂ，８
ｂ…吸入口、９…送出管、１０…導入管、１１ａ
，１１ｂ，１１ｃ…三方弁。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 平行平板型の電極を有し、被エツチング物をド
   ライエツチングする装置本体と、 上記電極に、異なる温度の冷却溶媒を夫々個別
   に循環させる第１の循環手段及び第２の循環手段
   と、 上記第１の循環手段より上記電極へ上記冷却溶
   媒を送出する送出管に内設された第１の弁と、 上記第２の循環手段より上記電極へ上記冷却溶
   媒を送出する送出管に内設された第２の弁と、 上記第１及び第２の弁を制御するコントローラ
   と、 上記冷却溶媒を、上記電極より上記第１及び第
   ２の循環手段に還流させるための導入管とを具備
   したことを特徴とするドライエツチング装置。