JPS6078564U - 電子顕微鏡等の排気装置 - Google Patents
電子顕微鏡等の排気装置Info
- Publication number
- JPS6078564U JPS6078564U JP17160783U JP17160783U JPS6078564U JP S6078564 U JPS6078564 U JP S6078564U JP 17160783 U JP17160783 U JP 17160783U JP 17160783 U JP17160783 U JP 17160783U JP S6078564 U JPS6078564 U JP S6078564U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power source
- ion pump
- electron microscopes
- exhaust equipment
- switching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来装置を説明するための構成図、第２図は本
考案の一実施例を説明するための構成図である。 １：被排気系、２，６：油回転ポンプ、３゜５．７：弁
、４：油拡散ポンプ、８：イオンポンプ、９：駆動電源
、１０：電流検出手段、１１：ビラ二ケージ、１２：ペ
ニングゲージ、１３：制御回路、１４：低電圧／高電圧
出力切り換え回路。 −
考案の一実施例を説明するための構成図である。 １：被排気系、２，６：油回転ポンプ、３゜５．７：弁
、４：油拡散ポンプ、８：イオンポンプ、９：駆動電源
、１０：電流検出手段、１１：ビラ二ケージ、１２：ペ
ニングゲージ、１３：制御回路、１４：低電圧／高電圧
出力切り換え回路。 −
Claims (1)
- 被排気系をイオンポンプを含む複数の真空ポンプ１こよ
り排気する装置において、該イオンポンプを駆動するた
めの駆動電源と、該駆動電源の出力を高電圧出力又は低
電圧出力に切り換えるための切り換え手段と、該駆動電
源よりイオンポンプに供給される電流を検出するための
電流検出手段と、被排気系に設けられた真空計と、該真
空計及び電流検出手段よりの信号によって前記切り換え
手段及び駆動電源を制御する制御手段を備えたことを特
徴とする電子顕微鏡等の排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17160783U JPS6078564U (ja) | 1983-11-05 | 1983-11-05 | 電子顕微鏡等の排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17160783U JPS6078564U (ja) | 1983-11-05 | 1983-11-05 | 電子顕微鏡等の排気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6078564U true JPS6078564U (ja) | 1985-05-31 |
| JPH0314773Y2 JPH0314773Y2 (ja) | 1991-04-02 |
Family
ID=30374307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17160783U Granted JPS6078564U (ja) | 1983-11-05 | 1983-11-05 | 電子顕微鏡等の排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6078564U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010086926A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-04-15 | Hitachi High-Technologies Corp | 真空排気方法、及び真空装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IL115567A0 (en) | 1994-10-25 | 1996-01-19 | Oea Inc | Compact hybrid inflator |
-
1983
- 1983-11-05 JP JP17160783U patent/JPS6078564U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010086926A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-04-15 | Hitachi High-Technologies Corp | 真空排気方法、及び真空装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0314773Y2 (ja) | 1991-04-02 |
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