JPH0272628A - 拡散炉装置 - Google Patents
拡散炉装置Info
- Publication number
- JPH0272628A JPH0272628A JP22538888A JP22538888A JPH0272628A JP H0272628 A JPH0272628 A JP H0272628A JP 22538888 A JP22538888 A JP 22538888A JP 22538888 A JP22538888 A JP 22538888A JP H0272628 A JPH0272628 A JP H0272628A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体基板に酸化拡散を施す拡散炉装置に関し
、特に拡散炉ヒーター部からの放熱をラジェターにより
冷却する機構を有する拡散炉装置に関する。
、特に拡散炉ヒーター部からの放熱をラジェターにより
冷却する機構を有する拡散炉装置に関する。
従来、この種の拡散炉装置は、ラジェターに流す冷却水
の流量は固定であった。従って、ラジェターには最も放
熱が多い時に対応する流量の冷却水を常に流していた。
の流量は固定であった。従って、ラジェターには最も放
熱が多い時に対応する流量の冷却水を常に流していた。
上述した従来の拡散炉装置は、ラジェターに流す冷却水
の流量は最も放熱が多い時に対応させて常に大流量流さ
なければならず、そのため無駄が多かった。又冷却水の
流量が少ないとラジェター通過後の空気温度が非常に高
くなり、室温が上昇してしまうという問題が生じていた
。
の流量は最も放熱が多い時に対応させて常に大流量流さ
なければならず、そのため無駄が多かった。又冷却水の
流量が少ないとラジェター通過後の空気温度が非常に高
くなり、室温が上昇してしまうという問題が生じていた
。
本発明の拡散炉装置は、拡散炉ヒーター部からの放熱を
ラジェターにより冷却する機構を持つ拡散炉装置におい
て、ヒーター部周辺の空気温度を測定して、その空気温
度に応じた最適なラジェター冷却水流量にコントロール
する機能を持つ事を特徴とする。
ラジェターにより冷却する機構を持つ拡散炉装置におい
て、ヒーター部周辺の空気温度を測定して、その空気温
度に応じた最適なラジェター冷却水流量にコントロール
する機能を持つ事を特徴とする。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の拡散炉装置の概略図である
。石英チューブ１内で半導体基板は酸化拡散されるが、
石英チューブ１０回りにはヒーター線２が巻かれている
。ヒーター線２からの放熱はファン３により強制的に水
冷式熱交換機（ラジェター）４により冷却され外部に排
出される。この際排出される温度を温度計（サーミスタ
等）５により測定し比較制御回路６により、あらかじめ
設定された温度と比較し、その温度に対応した冷却水流
量に流量コントロールバルブ７でコントロールする様に
なっている。従って設定値より測定温度が高い時には大
流量流し、設定値より低い時には冷却水流量が減少する
。
。石英チューブ１内で半導体基板は酸化拡散されるが、
石英チューブ１０回りにはヒーター線２が巻かれている
。ヒーター線２からの放熱はファン３により強制的に水
冷式熱交換機（ラジェター）４により冷却され外部に排
出される。この際排出される温度を温度計（サーミスタ
等）５により測定し比較制御回路６により、あらかじめ
設定された温度と比較し、その温度に対応した冷却水流
量に流量コントロールバルブ７でコントロールする様に
なっている。従って設定値より測定温度が高い時には大
流量流し、設定値より低い時には冷却水流量が減少する
。
第２図は本発明の他の実施例の拡散炉装置の概略図であ
る。この実施例では温度測定部が複数個あり、単にラジ
ェター通過後の温度を測定するだけでなくラジェター通
過前の温度も測定し、ラジェター通過前の温度も考慮し
た冷却水流量コントロールが出来る様になっている。こ
の実施例では、ラジェター通過前の温度が急速に上昇し
たり下降した際、ラジェター通過後の温度変化が起こる
前に流ｔコントロールが出来るため、よりコントロール
性がよくなっている。
る。この実施例では温度測定部が複数個あり、単にラジ
ェター通過後の温度を測定するだけでなくラジェター通
過前の温度も測定し、ラジェター通過前の温度も考慮し
た冷却水流量コントロールが出来る様になっている。こ
の実施例では、ラジェター通過前の温度が急速に上昇し
たり下降した際、ラジェター通過後の温度変化が起こる
前に流ｔコントロールが出来るため、よりコントロール
性がよくなっている。
以上説明したように本発明は、ヒーター部からの放熱を
ラジェターにより冷却する機能を持つ拡散炉装置におい
てラジェター通過後の空気温度を測定してその温度に応
じた最適なラジェター冷却水流量にコントロールする事
により、無駄のない冷却水流量で空気温度を一定範囲か
ら外れない様に調整出来るという効果がある。
ラジェターにより冷却する機能を持つ拡散炉装置におい
てラジェター通過後の空気温度を測定してその温度に応
じた最適なラジェター冷却水流量にコントロールする事
により、無駄のない冷却水流量で空気温度を一定範囲か
ら外れない様に調整出来るという効果がある。
第１図は本発明の一実施例の概略図、第２図は本発明の
他の実施例の概略図である。 １・・・・・・石英チューブ、２・・・・・・ヒーター
線、３・・・・・・ファン、４・・・・・・水冷式熱交
換器、５・・・・・・温度計（サーミスタ又は熱電対等
のセンサーを持つ）、６・・・・・・比較制御回路、７
・・・・・・流量コントロールバルブ。 代理人 弁理士 内 原 音
他の実施例の概略図である。 １・・・・・・石英チューブ、２・・・・・・ヒーター
線、３・・・・・・ファン、４・・・・・・水冷式熱交
換器、５・・・・・・温度計（サーミスタ又は熱電対等
のセンサーを持つ）、６・・・・・・比較制御回路、７
・・・・・・流量コントロールバルブ。 代理人 弁理士 内 原 音
Claims (1)
- 拡散炉ヒーター部からの放熱をラジエターにより冷却す
る機構を持つ拡散炉装置において、ヒーター部周辺の空
気温度を測定して、その空気温度に応じた最適なラジエ
ター冷却水流量にコントロールする機能を持つ事を特徴
とする拡散炉装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22538888A JP2752648B2 (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 | 拡散炉装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22538888A JP2752648B2 (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 | 拡散炉装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0272628A true JPH0272628A (ja) | 1990-03-12 |
| JP2752648B2 JP2752648B2 (ja) | 1998-05-18 |
Family
ID=16828580
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22538888A Expired - Lifetime JP2752648B2 (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 | 拡散炉装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2752648B2 (ja) |
-
1988
- 1988-09-07 JP JP22538888A patent/JP2752648B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2752648B2 (ja) | 1998-05-18 |
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