JPH02730U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02730U JPH02730U JP7895188U JP7895188U JPH02730U JP H02730 U JPH02730 U JP H02730U JP 7895188 U JP7895188 U JP 7895188U JP 7895188 U JP7895188 U JP 7895188U JP H02730 U JPH02730 U JP H02730U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- wafer
- tweezers
- pipe
- wafer tweezers
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
Description
第１図及び第２図は本考案の一実施例の側面図
及び上面図、第３図は吸着部が半導体ウエハーを
吸着したところの図、第４図はウエハーピンセツ
トが半導体ウエハーをはさんだところの図、第５
図及び第６図は従来技術のウエハーピンセツトの
上面図及び側面図である。 １……本考案のウエハーピンセツト本体、２…
…吸着部、３……真空ポンプ、４……可動型パイ
プ接続部、５……真空ポンプのスイツチ、６……
真空ポンプへの配線、７……パイプ、８……半導
体ウエハー、９……プローバーのステージ、１０
……従来タイプのウエハーピンセツト、１１……
フオーク状の上部、１２……下部、１３……にぎ
り部分、１４……クランク状に折り曲げられた部
分。
及び上面図、第３図は吸着部が半導体ウエハーを
吸着したところの図、第４図はウエハーピンセツ
トが半導体ウエハーをはさんだところの図、第５
図及び第６図は従来技術のウエハーピンセツトの
上面図及び側面図である。 １……本考案のウエハーピンセツト本体、２…
…吸着部、３……真空ポンプ、４……可動型パイ
プ接続部、５……真空ポンプのスイツチ、６……
真空ポンプへの配線、７……パイプ、８……半導
体ウエハー、９……プローバーのステージ、１０
……従来タイプのウエハーピンセツト、１１……
フオーク状の上部、１２……下部、１３……にぎ
り部分、１４……クランク状に折り曲げられた部
分。
Claims (1)
- その先端に角度を変化する事のできる吸着具と
真空ポンプ及びそれらを接続するパイプを有する
ウエハーピンセツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7895188U JPH02730U (ja) | 1988-06-14 | 1988-06-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7895188U JPH02730U (ja) | 1988-06-14 | 1988-06-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02730U true JPH02730U (ja) | 1990-01-05 |
Family
ID=31303839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7895188U Pending JPH02730U (ja) | 1988-06-14 | 1988-06-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02730U (ja) |
-
1988
- 1988-06-14 JP JP7895188U patent/JPH02730U/ja active Pending