JPH0274923A - 液晶表示素子基板の製造方法 - Google Patents
液晶表示素子基板の製造方法Info
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- JPH0274923A JPH0274923A JP63228206A JP22820688A JPH0274923A JP H0274923 A JPH0274923 A JP H0274923A JP 63228206 A JP63228206 A JP 63228206A JP 22820688 A JP22820688 A JP 22820688A JP H0274923 A JPH0274923 A JP H0274923A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、液晶表示素子に用いられる基板の製造方法に
関するものである。
関するものである。
従来の技術
液晶表示素子に使用するガラス基板あるいはカラーフィ
ルタ基板は、その基板表面が平滑化されていないと、液
晶表示素子として組み立てた場合に２枚の基板間のギヤ
ツブが不均一になり表示素子としての表示品位が低下す
る。またカラーフィルタ基板表面に凹凸があると、この
上に薄膜で透明電極膜を形成する場合に透明電極膜が断
線しやすくなる。さらにカラーフィルタ基板の着色膜表
面の凹凸により光拡散現象によって光透過性が損なわれ
る。
ルタ基板は、その基板表面が平滑化されていないと、液
晶表示素子として組み立てた場合に２枚の基板間のギヤ
ツブが不均一になり表示素子としての表示品位が低下す
る。またカラーフィルタ基板表面に凹凸があると、この
上に薄膜で透明電極膜を形成する場合に透明電極膜が断
線しやすくなる。さらにカラーフィルタ基板の着色膜表
面の凹凸により光拡散現象によって光透過性が損なわれ
る。
従って、カラーフィルタ基板では、着色膜上の凹凸や着
色膜間の段差を解消するために、従来はカラーフィルタ
基板上に透明性樹脂を塗布することにより平滑性を得る
ようにしていた。
色膜間の段差を解消するために、従来はカラーフィルタ
基板上に透明性樹脂を塗布することにより平滑性を得る
ようにしていた。
以下図面を参照しながら従来の方法により形成されたカ
ラーフィルタ基板の一例について説明する。
ラーフィルタ基板の一例について説明する。
第４図は従来の方法でカラーフィルタ上に透明な平滑層
を形成した基板の断面図を示すものである。第４図での
カラーフィルタとしての着色膜２は凹版印刷法によりガ
ラス基板！上に約２．０μｍの膜厚で形成しており、こ
のカラーフィルタ上に変性シリコーン樹脂でなる溶剤を
含むフェスを塗布し、これを熱硬化させて膜厚約４μｍ
の平滑層３とさせたものである。
を形成した基板の断面図を示すものである。第４図での
カラーフィルタとしての着色膜２は凹版印刷法によりガ
ラス基板！上に約２．０μｍの膜厚で形成しており、こ
のカラーフィルタ上に変性シリコーン樹脂でなる溶剤を
含むフェスを塗布し、これを熱硬化させて膜厚約４μｍ
の平滑層３とさせたものである。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、カラーフィルタ基板において、上記のよ
うな透明樹脂を単に塗布して平滑層を形成する方法では
、平滑層にゆず乳状の凹凸が発生したり、カラーフィル
タの着色膜表面や着色膜間などのもともとの凹凸や段差
が残り、平滑層形成後においても０．８μｍの凹凸が発
生し高い平滑性を得られないという問題点があった。
うな透明樹脂を単に塗布して平滑層を形成する方法では
、平滑層にゆず乳状の凹凸が発生したり、カラーフィル
タの着色膜表面や着色膜間などのもともとの凹凸や段差
が残り、平滑層形成後においても０．８μｍの凹凸が発
生し高い平滑性を得られないという問題点があった。
本発明は上記問題点に鑑み、簡単な製造方法でガラス基
板やカラーフィルタ基板など液晶表示素子に使用される
基板において、表面の凹凸が小さく平坦性の高い基板の
製造方法を提供することを目的としている。
板やカラーフィルタ基板など液晶表示素子に使用される
基板において、表面の凹凸が小さく平坦性の高い基板の
製造方法を提供することを目的としている。
課題を解決するための手段
上記目的を達成するために、本発明は透明性基板あるい
は着色膜を形成したカラーフィルタ基板の表面に透明性
を有する紫外線硬化型樹脂、電子線硬化型樹脂のいずれ
かの溶剤を含まない樹脂を塗布し、この樹脂塗布面を透
明性押圧板で押圧したまま、次いで紫外線あるいは電子
線を照射して前記樹脂を硬化せしめた後、前記押圧板を
離型させるものである。
は着色膜を形成したカラーフィルタ基板の表面に透明性
を有する紫外線硬化型樹脂、電子線硬化型樹脂のいずれ
かの溶剤を含まない樹脂を塗布し、この樹脂塗布面を透
明性押圧板で押圧したまま、次いで紫外線あるいは電子
線を照射して前記樹脂を硬化せしめた後、前記押圧板を
離型させるものである。
上記においてガラス板あるいはカラーフィルタ基板の表
面に、塗布樹脂との接着性を向上させるカップリング剤
などをあらかじめ塗布しておくことは効果的である。
面に、塗布樹脂との接着性を向上させるカップリング剤
などをあらかじめ塗布しておくことは効果的である。
また透明性樹脂の被塗布基板への塗布は、被塗布基板の
周辺部にまで塗布せずに中央部にのみ塗布を行なうのが
、後記する理由により、より効果的である。
周辺部にまで塗布せずに中央部にのみ塗布を行なうのが
、後記する理由により、より効果的である。
さらに押圧仮に鏡面研磨したガラス板を用いること、塗
布した樹脂の押圧板での押圧は真空中で行なうこと、押
圧板での押圧を雰囲気の圧力差を利用して行なうことな
ども、後記する理由により、効果的である。
布した樹脂の押圧板での押圧は真空中で行なうこと、押
圧板での押圧を雰囲気の圧力差を利用して行なうことな
ども、後記する理由により、効果的である。
作用
上記した本発明の製造方法は、被塗布基板の表面に溶剤
を含まない樹脂を塗布し、この樹脂塗布面を押圧板で押
圧し、次いで押圧した状態で紫外線や電子線を照射して
樹脂を硬化させた後、押圧仮を離型させるものである。
を含まない樹脂を塗布し、この樹脂塗布面を押圧板で押
圧し、次いで押圧した状態で紫外線や電子線を照射して
樹脂を硬化させた後、押圧仮を離型させるものである。
従って、溶剤を含まない樹脂を用いていること、樹脂の
塗布後に押圧して平滑化させるので樹脂そのものにそれ
ほど流動性を必要としないので粘度の高い比較的に分子
量の大きい樹脂を用いることができること、などから樹
脂の硬化前後における体ａ減少の小さい樹脂を選択でき
る。これにより被塗布基板のもともとの凹凸や段差が残
るのが小さくなり、高い平坦性を得られるものである。
塗布後に押圧して平滑化させるので樹脂そのものにそれ
ほど流動性を必要としないので粘度の高い比較的に分子
量の大きい樹脂を用いることができること、などから樹
脂の硬化前後における体ａ減少の小さい樹脂を選択でき
る。これにより被塗布基板のもともとの凹凸や段差が残
るのが小さくなり、高い平坦性を得られるものである。
また樹脂に溶剤を含まないために、樹脂の硬化時のアウ
トガスによる発泡なども発生しにくいものである。
トガスによる発泡なども発生しにくいものである。
また樹脂の塗布を基板の中央部のみに行なうと、押圧時
に樹脂が基板よりはみ出してパリとなることがない。
に樹脂が基板よりはみ出してパリとなることがない。
次に、鏡面研磨を施したガラス板を押圧板に使用すると
、押圧面すなわち平滑層表面の平滑性が高まるだけでな
く、非極性の樹脂を用いた場合、押圧板の離型が容易と
なり効果的である。
、押圧面すなわち平滑層表面の平滑性が高まるだけでな
く、非極性の樹脂を用いた場合、押圧板の離型が容易と
なり効果的である。
さらに塗布樹脂の押圧を真空中で行なうと、押圧板によ
る空気のまき込みがないために、平滑層中に気泡が発生
しない。
る空気のまき込みがないために、平滑層中に気泡が発生
しない。
そして押圧板での押圧を雰囲気の圧力差を利用して行な
うことにより、機械的な押圧に比べて押圧時の圧力が均
一になる。これによって、平滑層の膜厚分布が均一にな
り、また平滑層面の平坦性が高まるものである。
うことにより、機械的な押圧に比べて押圧時の圧力が均
一になる。これによって、平滑層の膜厚分布が均一にな
り、また平滑層面の平坦性が高まるものである。
実施例
以下本発明の一実施例を図面を参照しながら説明する。
先ず第２図（ａ）に示すカラーフィルタ基板を用意する
。この第２図（ａ）のカラーフィルタ基板は、ガラス基
板１上凹版オフセフ）印刷方式により赤色（Ｒ）、緑色
（Ｇ）、青色（Ｂ）の各インクを印刷してカラーフィル
タとしての着色膜２ （２Ｒ，２Ｇ。
。この第２図（ａ）のカラーフィルタ基板は、ガラス基
板１上凹版オフセフ）印刷方式により赤色（Ｒ）、緑色
（Ｇ）、青色（Ｂ）の各インクを印刷してカラーフィル
タとしての着色膜２ （２Ｒ，２Ｇ。
２Ｂ）を幅２４０μｍ、膜厚約２．２μｍのストライプ
状に形成している。着色膜２の表面凹凸は最大段差で０
．８μｍ、着色膜２とガラス基板１との最大段差は２．
６７１ｍであった。
状に形成している。着色膜２の表面凹凸は最大段差で０
．８μｍ、着色膜２とガラス基板１との最大段差は２．
６７１ｍであった。
この第２図（ａ）に示すカラーフィルタ基板の表面に、
スビコート法でシランカップリング剤を塗布し、乾燥さ
せる。この目的は、後記する平滑層とカラーフィルタ基
板との接着力を高めるためである。このシランカップリ
ング剤を塗布した。
スビコート法でシランカップリング剤を塗布し、乾燥さ
せる。この目的は、後記する平滑層とカラーフィルタ基
板との接着力を高めるためである。このシランカップリ
ング剤を塗布した。
カラーフィルタ基板の中央部に溶剤を含んでいないアク
リル系の紫外線硬化樹脂をスクリーン印刷法で塗布し、
第２図（ｂｌに示すように平滑剤塗布膜４を４μｍの厚
みに設ける。次に、この平滑剤塗布膜４を形成した平滑
剤塗布カラーフィルタ基（反１０を、第３図に示す押圧
装置の真空室１１のステージＩ３上に設置する。そして
表面の凹凸を０．０２μｍ以下に研磨したガラス板で成
る透明な押圧板２０を、上記の平滑剤塗布カラーフィル
タ基板１０の平滑剤塗布膜４に触れない程度の距離を離
して、支持ツメ１４ａ、１．４ｂ上に設置する。
リル系の紫外線硬化樹脂をスクリーン印刷法で塗布し、
第２図（ｂｌに示すように平滑剤塗布膜４を４μｍの厚
みに設ける。次に、この平滑剤塗布膜４を形成した平滑
剤塗布カラーフィルタ基（反１０を、第３図に示す押圧
装置の真空室１１のステージＩ３上に設置する。そして
表面の凹凸を０．０２μｍ以下に研磨したガラス板で成
る透明な押圧板２０を、上記の平滑剤塗布カラーフィル
タ基板１０の平滑剤塗布膜４に触れない程度の距離を離
して、支持ツメ１４ａ、１．４ｂ上に設置する。
この時、平滑剤塗布膜４と押圧板２０とは対向するよう
にセットしている。この後、開閉バルブ１６ａ、＋６ｂ
を開き、真空室１１と真空室１２とを真空ポンプ１５を
始動させて１０ＩＴｏｒｒまで排気させ乞。なお真空室
１１と真空室Ｉ２とは弾性ゴム１８により独立した真空
室としている。
にセットしている。この後、開閉バルブ１６ａ、＋６ｂ
を開き、真空室１１と真空室１２とを真空ポンプ１５を
始動させて１０ＩＴｏｒｒまで排気させ乞。なお真空室
１１と真空室Ｉ２とは弾性ゴム１８により独立した真空
室としている。
次に、押し板１９で弾性ゴム１８を介して押圧板２０の
中央部を上記の平滑剤塗布カラーフィルタ基板ＩＯに軽
く押し当てる。次いで支持ツメ１４ａ、１４ｂを引き抜
いて、押圧（反２０を平滑剤塗布カラーフィルタ基板１
０の平滑剤塗布膜４の全面に軽く接触させる。この後押
し板１９を引き上げ、次いでリークバルブ＋７ｂを開い
て大気を導入して、真空室１２を大気圧にする。これに
より真空室１１と真空室１２との間には気圧差が生じて
いる。したがってこの気圧差で、押圧板１３はカラーフ
ィルタ基板の平滑剤塗布膜４を弾性ゴムエ８を介して押
圧する。この後、真空ポンプ１５を停止させリークバル
ブ１７ａを開いて真空室１１を大気圧に戻し、押圧板２
０で押圧された状態のカラーフィルタ基板を押圧装置か
ら取り出して、押圧板２０を介して紫外線を照射し、平
滑剤塗布膜４の樹脂を硬化させ第１図に示す平滑層３を
形成する。次に押圧板２０を離型させる。
中央部を上記の平滑剤塗布カラーフィルタ基板ＩＯに軽
く押し当てる。次いで支持ツメ１４ａ、１４ｂを引き抜
いて、押圧（反２０を平滑剤塗布カラーフィルタ基板１
０の平滑剤塗布膜４の全面に軽く接触させる。この後押
し板１９を引き上げ、次いでリークバルブ＋７ｂを開い
て大気を導入して、真空室１２を大気圧にする。これに
より真空室１１と真空室１２との間には気圧差が生じて
いる。したがってこの気圧差で、押圧板１３はカラーフ
ィルタ基板の平滑剤塗布膜４を弾性ゴムエ８を介して押
圧する。この後、真空ポンプ１５を停止させリークバル
ブ１７ａを開いて真空室１１を大気圧に戻し、押圧板２
０で押圧された状態のカラーフィルタ基板を押圧装置か
ら取り出して、押圧板２０を介して紫外線を照射し、平
滑剤塗布膜４の樹脂を硬化させ第１図に示す平滑層３を
形成する。次に押圧板２０を離型させる。
このようにして得たカラーフィルタ基板の断面図を第１
図に示す。この第１図に示すカラーフィルタ基板の着色
部２上の平滑７１３に気泡が見られなく、また表面の凹
凸は０．０５μＩｎであり、着色部２間の段差は０．１
３μｍであった。
図に示す。この第１図に示すカラーフィルタ基板の着色
部２上の平滑７１３に気泡が見られなく、また表面の凹
凸は０．０５μＩｎであり、着色部２間の段差は０．１
３μｍであった。
なお第３図に示す押圧装置において、真空槽は槽壁３２
と槽壁３１は開閉できるようになっている。また支持ツ
メ１４ａ、＋４ｂと、押し板１９とはスライド移動が行
なえるようにしている。
と槽壁３１は開閉できるようになっている。また支持ツ
メ１４ａ、＋４ｂと、押し板１９とはスライド移動が行
なえるようにしている。
発明の効果
以上述べてきたように本発明の方法によれば、以下に記
載される効果を有する。
載される効果を有する。
平滑層の材料に溶剤を含まない紫外線硬化性樹脂あるい
は電子線硬化性樹脂を用いることと、樹脂の塗布後に鏡
面な押圧板で押圧することから塗布樹脂に高い流動性が
不要となって粘性の高い樹脂を用いることができる事か
ら、樹脂の硬化前後のおける体積減少が小さくなり、こ
れにより被塗布基板のもともとの凹凸が残るのが小さく
なり、基板表面の平坦性を高めることができる。
は電子線硬化性樹脂を用いることと、樹脂の塗布後に鏡
面な押圧板で押圧することから塗布樹脂に高い流動性が
不要となって粘性の高い樹脂を用いることができる事か
ら、樹脂の硬化前後のおける体積減少が小さくなり、こ
れにより被塗布基板のもともとの凹凸が残るのが小さく
なり、基板表面の平坦性を高めることができる。
さらに、塗布樹脂面の押圧板による押圧を真空雰囲気中
で行なうので、空気などのまき込みにより発泡を防止で
きる。
で行なうので、空気などのまき込みにより発泡を防止で
きる。
また、塗布樹脂面の押圧仮による押圧部分をセフ）した
真空室を真空雰囲気とし、この前記真空室と弾性ゴムで
介した他のもう〜つの真空室を大気圧とすることによっ
て、これら二つの真空室の雰囲気の圧力差を利用して、
弾性ゴムを介して押圧板による樹脂塗布面の押圧をして
いるので、押圧時の圧力分布が均一になり、これにより
平滑層表面の平坦性が高まるとともに、膜厚の分布が均
一にすることができる。
真空室を真空雰囲気とし、この前記真空室と弾性ゴムで
介した他のもう〜つの真空室を大気圧とすることによっ
て、これら二つの真空室の雰囲気の圧力差を利用して、
弾性ゴムを介して押圧板による樹脂塗布面の押圧をして
いるので、押圧時の圧力分布が均一になり、これにより
平滑層表面の平坦性が高まるとともに、膜厚の分布が均
一にすることができる。
そして、平滑剤に光硬化性あるいは電子線硬化性の透明
性樹脂を用い、さらに透明な押圧板で押圧したままで紫
外線あるいは電子線を照射して塗布樹脂を硬化させるの
で、樹脂の硬化時には塗布樹脂がウェットな状態で雰囲
気にさらされないのでほこりなどの異物の付着を防止で
きるものである。
性樹脂を用い、さらに透明な押圧板で押圧したままで紫
外線あるいは電子線を照射して塗布樹脂を硬化させるの
で、樹脂の硬化時には塗布樹脂がウェットな状態で雰囲
気にさらされないのでほこりなどの異物の付着を防止で
きるものである。
第１図は本発明の一実施例における平滑層を形成したカ
ラーフィルタ基板の断面図、第２図（ａ）は第１図の本
発明の一実施例に用いた平滑層を形成する前のカラーフ
ィルタ基板の断面図、第２図の）は本発明の一実施例に
おける平滑剤塗布カラーフィルタ基板の断面図、第３図
は本発明の一実施例における押圧装置の構成を示す断面
図、第４図は本発明外の従来例における平滑層を形成し
たカラーフィルタ基板の断面図である。 １・・・・・・ガラス基板、２・・・・・・着色膜（２
Ｒ：赤色。 ２Ｇ：緑色、２Ｂ：青色）、３・・・・・・平滑層、４
・・・・・・平滑剤塗布膜、ＩＯ・・・・・・平滑剤塗
布カラーフィルタ基板、１１．１２・・・・・・真空室
、１５・・・・・・真空ポンプ、１８・・・・・・弾性
ゴム、２０・・・・・・押圧板。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか１名Ｉ−・−ガ
ラス基板 ？ ・・−１−色部 （２Ｒ：：ｆｒ、＠、 ２Ｇ 緑色、２Ｂ胃色）３−
平滑層 第１図 第２図 ？
ラーフィルタ基板の断面図、第２図（ａ）は第１図の本
発明の一実施例に用いた平滑層を形成する前のカラーフ
ィルタ基板の断面図、第２図の）は本発明の一実施例に
おける平滑剤塗布カラーフィルタ基板の断面図、第３図
は本発明の一実施例における押圧装置の構成を示す断面
図、第４図は本発明外の従来例における平滑層を形成し
たカラーフィルタ基板の断面図である。 １・・・・・・ガラス基板、２・・・・・・着色膜（２
Ｒ：赤色。 ２Ｇ：緑色、２Ｂ：青色）、３・・・・・・平滑層、４
・・・・・・平滑剤塗布膜、ＩＯ・・・・・・平滑剤塗
布カラーフィルタ基板、１１．１２・・・・・・真空室
、１５・・・・・・真空ポンプ、１８・・・・・・弾性
ゴム、２０・・・・・・押圧板。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか１名Ｉ−・−ガ
ラス基板 ？ ・・−１−色部 （２Ｒ：：ｆｒ、＠、 ２Ｇ 緑色、２Ｂ胃色）３−
平滑層 第１図 第２図 ？
Claims (6)
- （１）基板表面に透明な紫外性硬化型樹脂、電子線硬化
型樹脂のいずれかの溶剤を含まない樹脂を塗布後、前記
樹脂塗布面を透明性押圧板で押圧し、次いで紫外線ある
いは電子線を照射して前記樹脂を硬化させた後、前記透
明板を離型させることを特徴とする液晶表示素子基板の
製造方法。 - （２）基板が着色膜を形成したカラーフィルタ基板であ
る請求項（１）記載の液晶表示素子基板の製造方法。 - （３）樹脂を基板の中央部にのみ塗布することを特徴と
する請求項（１）記載の液晶表示素子基板の製造方法。 - （４）押圧板が鏡面研磨したガラス板である請求項（１
）記載の液晶表示素子基板の製造方法。 - （５）押圧板での押圧を真空中で行なうことを特徴とす
る請求項（１）記載の液晶表示素子基板の製造方法。 - （６）押圧板での押圧を雰囲気の圧力差を利用して行な
うことを特徴とする請求項（５）記載の液晶表示素子基
板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63228206A JPH0274923A (ja) | 1988-09-12 | 1988-09-12 | 液晶表示素子基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63228206A JPH0274923A (ja) | 1988-09-12 | 1988-09-12 | 液晶表示素子基板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0274923A true JPH0274923A (ja) | 1990-03-14 |
Family
ID=16872857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63228206A Pending JPH0274923A (ja) | 1988-09-12 | 1988-09-12 | 液晶表示素子基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0274923A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0443301A (ja) * | 1990-06-11 | 1992-02-13 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 光学部品の樹脂コーティグ方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62280803A (ja) * | 1986-05-30 | 1987-12-05 | Toppan Printing Co Ltd | カラ−フィルタ−製造方法 |
-
1988
- 1988-09-12 JP JP63228206A patent/JPH0274923A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62280803A (ja) * | 1986-05-30 | 1987-12-05 | Toppan Printing Co Ltd | カラ−フィルタ−製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0443301A (ja) * | 1990-06-11 | 1992-02-13 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 光学部品の樹脂コーティグ方法 |
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