JPH0481717A - 液晶基板の製造方法及び製造装置 - Google Patents
液晶基板の製造方法及び製造装置Info
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- JPH0481717A JPH0481717A JP2196613A JP19661390A JPH0481717A JP H0481717 A JPH0481717 A JP H0481717A JP 2196613 A JP2196613 A JP 2196613A JP 19661390 A JP19661390 A JP 19661390A JP H0481717 A JPH0481717 A JP H0481717A
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- JP
- Japan
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- pressing
- substrate
- liquid crystal
- crystal substrate
- resin
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明（よ 液晶表示素子に用いられる基板の製造方法
と製造装置に関するものであａ 従来の技術 近鍛 液晶表示素子の表示特性を向上させるために ガ
ラス基板あるいはカラーフィルタ基板の表面を十分に平
滑にすることが必要となっている。
と製造装置に関するものであａ 従来の技術 近鍛 液晶表示素子の表示特性を向上させるために ガ
ラス基板あるいはカラーフィルタ基板の表面を十分に平
滑にすることが必要となっている。
これ（友 液晶基板表面の凹凸により液晶を挟む２枚の
液晶基板間の距離が不均一となり表示特性の低下にっな
がゑ 透明電極を形成する際には透明電極が断線しゃす
くなゑ またこれら表面凹凸によってパネルを透過する
光が散乱し 均一な表示特性が得られな（Ｘ、などの問
題が生じるからである。
液晶基板間の距離が不均一となり表示特性の低下にっな
がゑ 透明電極を形成する際には透明電極が断線しゃす
くなゑ またこれら表面凹凸によってパネルを透過する
光が散乱し 均一な表示特性が得られな（Ｘ、などの問
題が生じるからである。
従ってカラーフィルタ基板においては カラーフィルタ
基板の表面に電子線硬化型もしくは紫外線硬化型樹脂を
塗布し 研磨ガラス基板によって樹脂塗布面をプレスし
研磨ガラスの研磨面を樹脂表面に転写することによっ
て、カラーフィルタ基板表面に平滑層を形成していた 以下図面を参照しなか叡 上述した従来の液晶基板の製
造方法の一例について説明すも第３は 第４図は従来の
液晶基板の製造方法によってプレスされたカラーフィル
タ基板及びプレスを行なう製造装置の断面図であも 第
３図において３０はカラーフィルタ基板、 ２０ａ、
２０ｂ、２０ｃはそれぞれ赤 青、緑のカラーフィルタ
である。 ２２は平滑用樹脂であり、カラーフィルタ基
板上に塗布すム ２１は押圧用基板であり、平滑用樹脂
２２塗布面を押圧によってプレスする。
基板の表面に電子線硬化型もしくは紫外線硬化型樹脂を
塗布し 研磨ガラス基板によって樹脂塗布面をプレスし
研磨ガラスの研磨面を樹脂表面に転写することによっ
て、カラーフィルタ基板表面に平滑層を形成していた 以下図面を参照しなか叡 上述した従来の液晶基板の製
造方法の一例について説明すも第３は 第４図は従来の
液晶基板の製造方法によってプレスされたカラーフィル
タ基板及びプレスを行なう製造装置の断面図であも 第
３図において３０はカラーフィルタ基板、 ２０ａ、
２０ｂ、２０ｃはそれぞれ赤 青、緑のカラーフィルタ
である。 ２２は平滑用樹脂であり、カラーフィルタ基
板上に塗布すム ２１は押圧用基板であり、平滑用樹脂
２２塗布面を押圧によってプレスする。
押圧の工程については第４図に示す。第４図において、
１はプレス槽であり、カラーフィルタ基板３０及び押
圧用基板２１を設置する槽である。 ２は押圧槽であり
、 ３はテーブルである。４、６は押圧槽２への吸気孔
及び排気孔であり、 ５、７はプレス槽１への吸気孔
及び排気孔である。 ８は押圧用のゴムシート、 １
０は押圧用基板２１を支持する爪であも 以上のように構成された液晶基板の製造方法の一例につ
いて、以下その動作を説明すもまず、平滑用樹脂２２を
カラーフィルタ基板３０上に塗布し テーブル３上にセ
ットする。次に爪１０上に押圧用基板２１をセットする
。次にブレス槽重、押圧槽２を真空状態にした後、押圧
槽Ｉへの吸気孔４から吸気し プレス槽１と押圧槽２に
圧力差を与えることによって、押圧用のゴムシート８が
押圧用基板２１を押圧し 平滑用樹脂２２を順次プレス
していく。この除重１ｏは順次下降していき、押圧終了
後テーブル上面より下に下が４ プレス終了後、カラー
フィルタ基板３ｏと押圧用基板２Ｉが密着した状態で平
滑用樹脂２２を硬化させ、押圧用基板２１を離型し カ
ラーフィルタ基板３０上に平滑層を形成すも 発明が解決しようとする課題 しかしながら上記のような構成で（よ 第５図（ａ）に
示すように押圧槽２への吸気孔４からの吸気流入量が一
定になら咀 押圧用基板２１への押圧力となるプレス槽
１と押圧槽２の２槽間の圧力差が滑らかに増加せず、従
って第５図（ｂ）に示すように押圧用基板２１による平
滑用樹脂２２のプレスの進行が停止もしくは減速し 第
６図に示すようく ゆっくりと密着が行なわれた部分Ａ
と急に密着が行なわれた部分Ｂとの間にな平滑用樹脂２
２の押し広げが不均一な部分４ｏが生よりラーフィルタ
基板３０上に第７図に示すような魔鏡の原理を応用した
目視検査装置でみられる表面凹凸が生じるという課題を
有してい九本発明は上記課題を鑑み押圧用基板２Ｉによ
る平滑用樹脂２２のプレスを停止もしくは減速すること
なく滑らかに進行させ、魔鏡の原理を応用した目視検査
装置でみられるような表面凹凸かない平滑な樹脂層を形
成できる液晶基板の製造方法を提供するものである。
１はプレス槽であり、カラーフィルタ基板３０及び押
圧用基板２１を設置する槽である。 ２は押圧槽であり
、 ３はテーブルである。４、６は押圧槽２への吸気孔
及び排気孔であり、 ５、７はプレス槽１への吸気孔
及び排気孔である。 ８は押圧用のゴムシート、 １
０は押圧用基板２１を支持する爪であも 以上のように構成された液晶基板の製造方法の一例につ
いて、以下その動作を説明すもまず、平滑用樹脂２２を
カラーフィルタ基板３０上に塗布し テーブル３上にセ
ットする。次に爪１０上に押圧用基板２１をセットする
。次にブレス槽重、押圧槽２を真空状態にした後、押圧
槽Ｉへの吸気孔４から吸気し プレス槽１と押圧槽２に
圧力差を与えることによって、押圧用のゴムシート８が
押圧用基板２１を押圧し 平滑用樹脂２２を順次プレス
していく。この除重１ｏは順次下降していき、押圧終了
後テーブル上面より下に下が４ プレス終了後、カラー
フィルタ基板３ｏと押圧用基板２Ｉが密着した状態で平
滑用樹脂２２を硬化させ、押圧用基板２１を離型し カ
ラーフィルタ基板３０上に平滑層を形成すも 発明が解決しようとする課題 しかしながら上記のような構成で（よ 第５図（ａ）に
示すように押圧槽２への吸気孔４からの吸気流入量が一
定になら咀 押圧用基板２１への押圧力となるプレス槽
１と押圧槽２の２槽間の圧力差が滑らかに増加せず、従
って第５図（ｂ）に示すように押圧用基板２１による平
滑用樹脂２２のプレスの進行が停止もしくは減速し 第
６図に示すようく ゆっくりと密着が行なわれた部分Ａ
と急に密着が行なわれた部分Ｂとの間にな平滑用樹脂２
２の押し広げが不均一な部分４ｏが生よりラーフィルタ
基板３０上に第７図に示すような魔鏡の原理を応用した
目視検査装置でみられる表面凹凸が生じるという課題を
有してい九本発明は上記課題を鑑み押圧用基板２Ｉによ
る平滑用樹脂２２のプレスを停止もしくは減速すること
なく滑らかに進行させ、魔鏡の原理を応用した目視検査
装置でみられるような表面凹凸かない平滑な樹脂層を形
成できる液晶基板の製造方法を提供するものである。
課題を解決するための手段
上記課題を解決するために本発明の液晶基板の製造方法
は 平滑用樹脂２２のプレスの際に押圧槽２への吸気流
量を制御することにより、押圧用基板２１への押圧力と
なるプレス槽１と押圧槽２の２槽間の圧力差を滑らかに
増加させ、押圧用基板２１による平滑用樹脂２２のプレ
スを停止もしくは減速することなく滑らかに進行させる
ことにより、液晶基板上に平滑層を形成する構成を備え
たものであム 作用 本発明は上記した構成によって、平滑用樹脂２２のプレ
スの際へ 押圧力が滑らかに増加し 押圧用基板２１に
よる平滑用樹脂２２のプレスを停止もしくは減速するこ
となく滑らかに進行させることにより、魔鏡の原理を応
用した目視検査装置でみられるような表面凹凸のない平
滑層を形成できることになも 実施例 以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明すも 第１図は本発明の実施例における液晶基板の製造方法の
一工程を示すものであも 第１図において、 １１は真
空槽で隔壁としての８のゴムシートにより押圧槽２とブ
レス槽１の２槽に分割されていム ３はテーブルであり
平滑用樹脂２２を塗布したカラーフィルタ基板３０を設
置し その上部で押圧用基板２１を爪１０によって支持
すａ さらに１５は流量制御弁であり、押圧槽２に流入
する気体の量を制御できも 以上のように構成された液晶基板の製造方法について以
下第１図を用いてその動作を説明すもまず紫外線硬化型
の平滑用樹脂２２を塗布したカラーフィルタ基板３０を
テーブル３にセットし押圧槽２を排気することによりゴ
ムシート８が押圧槽２の側に膨らむ。押圧槽２の圧力が
０．５Ｔｏｒｒになると押圧槽２の排気を停止し 次に
プレス槽１の排気を行なう。この時、押圧槽２とブレス
槽ｌの圧力差の減少により、押圧槽２の側に膨らんでい
たゴムシート８はブレス槽１の側に膨ら仏 ブレス槽１
の気圧が１．０Ｔｏｒｒでブレス槽１の排気を停止し
流量制御弁１５を開き、１１００８ＣＣの一定流量の気
体を押圧槽２へ流入すム この時流入量は 第２図（ａ
）に示すように一定であるか社 押圧槽２とブレス槽１
の圧力差は滑らかに増加し 第２図（ｂ）に示すように
押圧用基板２１への押圧力は滑らかに増加すム従って押
圧用基板２１による平滑用樹脂２２のプレス１よ 第２
図（ｃ）に示すように停止もしくは減速することなく滑
らかに進行すａ ブレス終了機 押圧用基板２１と平滑
用樹脂２２が密着した状態で平滑用樹脂２２を硬化させ
た樵 押圧用基板２１を離型することにより、カラーフ
ィルタ３０上に平滑層を形成することができる。
は 平滑用樹脂２２のプレスの際に押圧槽２への吸気流
量を制御することにより、押圧用基板２１への押圧力と
なるプレス槽１と押圧槽２の２槽間の圧力差を滑らかに
増加させ、押圧用基板２１による平滑用樹脂２２のプレ
スを停止もしくは減速することなく滑らかに進行させる
ことにより、液晶基板上に平滑層を形成する構成を備え
たものであム 作用 本発明は上記した構成によって、平滑用樹脂２２のプレ
スの際へ 押圧力が滑らかに増加し 押圧用基板２１に
よる平滑用樹脂２２のプレスを停止もしくは減速するこ
となく滑らかに進行させることにより、魔鏡の原理を応
用した目視検査装置でみられるような表面凹凸のない平
滑層を形成できることになも 実施例 以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明すも 第１図は本発明の実施例における液晶基板の製造方法の
一工程を示すものであも 第１図において、 １１は真
空槽で隔壁としての８のゴムシートにより押圧槽２とブ
レス槽１の２槽に分割されていム ３はテーブルであり
平滑用樹脂２２を塗布したカラーフィルタ基板３０を設
置し その上部で押圧用基板２１を爪１０によって支持
すａ さらに１５は流量制御弁であり、押圧槽２に流入
する気体の量を制御できも 以上のように構成された液晶基板の製造方法について以
下第１図を用いてその動作を説明すもまず紫外線硬化型
の平滑用樹脂２２を塗布したカラーフィルタ基板３０を
テーブル３にセットし押圧槽２を排気することによりゴ
ムシート８が押圧槽２の側に膨らむ。押圧槽２の圧力が
０．５Ｔｏｒｒになると押圧槽２の排気を停止し 次に
プレス槽１の排気を行なう。この時、押圧槽２とブレス
槽ｌの圧力差の減少により、押圧槽２の側に膨らんでい
たゴムシート８はブレス槽１の側に膨ら仏 ブレス槽１
の気圧が１．０Ｔｏｒｒでブレス槽１の排気を停止し
流量制御弁１５を開き、１１００８ＣＣの一定流量の気
体を押圧槽２へ流入すム この時流入量は 第２図（ａ
）に示すように一定であるか社 押圧槽２とブレス槽１
の圧力差は滑らかに増加し 第２図（ｂ）に示すように
押圧用基板２１への押圧力は滑らかに増加すム従って押
圧用基板２１による平滑用樹脂２２のプレス１よ 第２
図（ｃ）に示すように停止もしくは減速することなく滑
らかに進行すａ ブレス終了機 押圧用基板２１と平滑
用樹脂２２が密着した状態で平滑用樹脂２２を硬化させ
た樵 押圧用基板２１を離型することにより、カラーフ
ィルタ３０上に平滑層を形成することができる。
発明の効果
以上のように本発明は滑らかに押圧力が増加する機構を
設けることにより、押圧用基板２Ｉによる平滑用樹脂２
２のプレスを停止もしくは減速することなく滑らかに進
行させることにより、魔鏡の原理を応用した目視検査装
置でみられるような表面凹凸がない平滑層を形成するこ
とができも
設けることにより、押圧用基板２Ｉによる平滑用樹脂２
２のプレスを停止もしくは減速することなく滑らかに進
行させることにより、魔鏡の原理を応用した目視検査装
置でみられるような表面凹凸がない平滑層を形成するこ
とができも
第１図は本発明の実施例における液晶基板の製造装置の
要部断面医 第２図（ａ）、 （ｂ）、 （Ｃ）はそれ
ぞれ同実施例における気体流入１ 押圧力 プレス進行
速度の特性医 第３図は従来例の製造方法で製造した液
晶基板の断面医 第４図は従来例の液晶基板の製造装置
の要部断面医 第５図（ａ）、第５図（ｂ）はそれぞれ
従来例における気体流入量 プレス進行速度の特性＠
第６図は従来例における表面凹凸の発生メカニズムを示
す基板の断面医 第７図は表面に凹凸が生じた従来例の
カラーフィルタ基板の正面図であムト・・ブレス恩 ２
・・・押圧槽 ３・・・テーブル ８・・・ゴムシート １０・・・爪 １１・・・真空層 １５・・・流量制御弁 ２０ａ、 ２０ｂ、 ２０ｃｍカラーフィルター２
１・・・押圧用基板 ２２・・・平滑用樹脂 ３０・・・カラーフィルタ基板 ４０・・・表面凹凸 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか１名第 図 第 図 第 図 （α） 第 ７ 図 （ｂン ４θ 表面凹凸
要部断面医 第２図（ａ）、 （ｂ）、 （Ｃ）はそれ
ぞれ同実施例における気体流入１ 押圧力 プレス進行
速度の特性医 第３図は従来例の製造方法で製造した液
晶基板の断面医 第４図は従来例の液晶基板の製造装置
の要部断面医 第５図（ａ）、第５図（ｂ）はそれぞれ
従来例における気体流入量 プレス進行速度の特性＠
第６図は従来例における表面凹凸の発生メカニズムを示
す基板の断面医 第７図は表面に凹凸が生じた従来例の
カラーフィルタ基板の正面図であムト・・ブレス恩 ２
・・・押圧槽 ３・・・テーブル ８・・・ゴムシート １０・・・爪 １１・・・真空層 １５・・・流量制御弁 ２０ａ、 ２０ｂ、 ２０ｃｍカラーフィルター２
１・・・押圧用基板 ２２・・・平滑用樹脂 ３０・・・カラーフィルタ基板 ４０・・・表面凹凸 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか１名第 図 第 図 第 図 （α） 第 ７ 図 （ｂン ４θ 表面凹凸
Claims (4)
- （１）液晶基板上に、平滑用樹脂となる電子線または紫
外線硬化樹脂を塗布した後、隔壁によって２槽に分離さ
せた真空槽内で、押圧用基板への押圧力となる前記２槽
間の圧力差を滑らかに増加させながら、前記押圧力によ
り押圧用基板を前記液晶基板の端部から対抗する端部も
しくは中央から両端部にかけて押圧し、前記押圧用基板
による樹脂塗布面のプレスを停止もしくは減速すること
なく滑らかに進行させた後、電子線もしくは紫外線照射
により前記平滑用樹脂を硬化後、前記押圧用基板を離型
することにより、前記液晶基板表面に前記平滑用樹脂か
らなる平滑層を形成することを特徴とする液晶基板の製
造方法。 - （２）液晶基板がカラーフィルタ基板であることを特徴
とする請求項（１）記載の液晶基板の製造方法。 - （３）液晶基板上に塗布された樹脂表面を押圧用基板で
押圧することにより、前記液晶基板上に前記塗布樹脂か
らなる平滑面を形成する液晶基板の製造装置であって、
前記押圧用基板を保持する機構と、前記押圧用基板を上
部から押圧する機構と、前記押圧用基板が押圧のために
下降する機構と、前記押圧用基板の押圧力が滑らかに増
加する機構を有する液晶基板の製造装置。 - （４）押圧用基板の押圧力が滑らかに増加する機構とし
て、前記押圧用基板への押圧面がゴムシートで構成され
た部屋を設け、前記部屋内に一定流量の気体を送ること
により、前記部屋の内外圧力差が滑らかに増加する機構
を有することを特徴とする請求項（３）記載の液晶基板
の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2196613A JPH0481717A (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | 液晶基板の製造方法及び製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2196613A JPH0481717A (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | 液晶基板の製造方法及び製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0481717A true JPH0481717A (ja) | 1992-03-16 |
Family
ID=16360672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2196613A Pending JPH0481717A (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | 液晶基板の製造方法及び製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0481717A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102029771A (zh) * | 2010-10-28 | 2011-04-27 | 苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司 | 一种对位平台 |
-
1990
- 1990-07-24 JP JP2196613A patent/JPH0481717A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102029771A (zh) * | 2010-10-28 | 2011-04-27 | 苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司 | 一种对位平台 |
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