JPH0481718A - 液晶基板の製造方法 - Google Patents
液晶基板の製造方法Info
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- JPH0481718A JPH0481718A JP2196627A JP19662790A JPH0481718A JP H0481718 A JPH0481718 A JP H0481718A JP 2196627 A JP2196627 A JP 2196627A JP 19662790 A JP19662790 A JP 19662790A JP H0481718 A JPH0481718 A JP H0481718A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は液晶表示装置に用いられる液晶基板の製造方法
に関するものであも 従来の技術 液晶表示素子に使用する硝子基板あるいはカラーフィル
タ基板は その表面が平滑でないと液晶表示素子として
組み立てた場合に基板間のギャップが不均一になり、表
示素子として表示品位が低下すも またカラーフィルタ
基板表面に凹凸があると、この上に薄膜で透明電極を形
成する場合に透明電極膜が断線しゃすくなム さらにカ
ラーフィルタ基板の着色膜表面の凹凸による光拡散現象
によって光透過性が損なわれも そこで従来のカラーフィルタ基板では着色膜上の凹凸や
着色膜間の段差を解消するため番ミ カラーフィルタ
基板上に紫外線硬化型の透明樹脂を塗布し この樹脂層
を平滑面を有する押圧基板でプレスして硬化させたのち
離型して、押圧基板の平滑面形状を転写した樹脂の平滑
層を基板上に得るようにしていた 以下図面を参照しなか収 従来の方法により形成された
カラーフィルタ基板の一例について説明すも 第５図はカラーフィルタ基板上に透明な平滑層を形成す
るための従来の装置の断面図を示すものであム 第５図での平滑層形成手順を説明すも カラーフィルタ
基板３の表面に紫外線硬化樹脂をロールコータなどによ
り塗布し 真空槽の下槽３１のベース４にセットすａ
続いて押圧基板２を支持爪１０によりカラーフィルタ基
板３上に中空の状態でセットすａ 真空槽の上槽３０を
ＩＴｏ ｒ ｒ以下に排気し 上槽３０と下槽３１を仕
切るゴムシート１６を上側に引き上げも 続いて下槽３
１を２Ｔｏｒｒ以下に排気した檄 上槽３０のリークを
行いゴムシート１６を介して押圧基板２を押圧し基板３
上の樹脂塗布面をプレスすａ その徽 爪１０を抜き下槽３１を大気圧に開放喪 両基
板２、３を取り出し紫外線照射により塗布した樹脂の硬
化を行った状態が第４図（ａ）であも この抵 押圧基
板２を離型して第４図（ｂ）のように平滑層４０が基板
３上に得られる。
に関するものであも 従来の技術 液晶表示素子に使用する硝子基板あるいはカラーフィル
タ基板は その表面が平滑でないと液晶表示素子として
組み立てた場合に基板間のギャップが不均一になり、表
示素子として表示品位が低下すも またカラーフィルタ
基板表面に凹凸があると、この上に薄膜で透明電極を形
成する場合に透明電極膜が断線しゃすくなム さらにカ
ラーフィルタ基板の着色膜表面の凹凸による光拡散現象
によって光透過性が損なわれも そこで従来のカラーフィルタ基板では着色膜上の凹凸や
着色膜間の段差を解消するため番ミ カラーフィルタ
基板上に紫外線硬化型の透明樹脂を塗布し この樹脂層
を平滑面を有する押圧基板でプレスして硬化させたのち
離型して、押圧基板の平滑面形状を転写した樹脂の平滑
層を基板上に得るようにしていた 以下図面を参照しなか収 従来の方法により形成された
カラーフィルタ基板の一例について説明すも 第５図はカラーフィルタ基板上に透明な平滑層を形成す
るための従来の装置の断面図を示すものであム 第５図での平滑層形成手順を説明すも カラーフィルタ
基板３の表面に紫外線硬化樹脂をロールコータなどによ
り塗布し 真空槽の下槽３１のベース４にセットすａ
続いて押圧基板２を支持爪１０によりカラーフィルタ基
板３上に中空の状態でセットすａ 真空槽の上槽３０を
ＩＴｏ ｒ ｒ以下に排気し 上槽３０と下槽３１を仕
切るゴムシート１６を上側に引き上げも 続いて下槽３
１を２Ｔｏｒｒ以下に排気した檄 上槽３０のリークを
行いゴムシート１６を介して押圧基板２を押圧し基板３
上の樹脂塗布面をプレスすａ その徽 爪１０を抜き下槽３１を大気圧に開放喪 両基
板２、３を取り出し紫外線照射により塗布した樹脂の硬
化を行った状態が第４図（ａ）であも この抵 押圧基
板２を離型して第４図（ｂ）のように平滑層４０が基板
３上に得られる。
このようにしてカラーフィルタ基板３上に 表面粗さが
Ｒｍａｘｏ、 １μｍ以下の平滑層か得られも 発明が解決しようとする課題 しかしながら上記のような製造方法では 第４図（ｂ）
に示すように押圧基板のプレスによって樹脂がカラーフ
ィルタ基板３の端面からはみ出しパリとなることが往々
にして発生しな この様に基板３の端面からはみ出したパリ（表後工程の
プロセスにおいて他の部品や装置と接触することにより
簡単に欠は落ちてごみとなり欠陥の発生の大きな要因と
なっていも 本発明は上記問題に鑑へ パリの発生がない樹脂の平滑
層を有する液晶基板の製造方法を提供するものであム 課題を解決するための手段 上記課題を解決するために本発明の液晶基板の製造方法
（よ 電子線または紫外線硬化樹脂を液晶基板表面に塗
布後、中央部がゴムシートにより上槽と下槽に仕切られ
た真空槽の下槽へ 液晶基板および液晶基板に対して中
空状態で保持した押圧基板をセラｈＬ 上層 下槽を
減圧状態にした後、上槽を３０〜５００Ｔｏｒｒの範囲
でリークすることにより中央部ゴムシートにて押圧基板
を４０〜６６０ｇ／ｃｍ”で加圧し 液晶基板の樹脂塗
布面を押圧基板でプレス徽 下槽を大気圧に開放して電
子線または紫外線により樹脂硬化機 押圧基板を離型し
て液晶基板表面に平滑層を形成するものであも 作用 上記の工程によって、液晶基板上に塗布された樹脂面を
押圧基板で加圧プレスするさいく 上槽のリーク量によ
り加圧力をコントロールすることによって液晶基板端部
での樹脂はみ出し量を抑制することができることとなも 実施例 以下本発明の一実施例の液晶基板の製造方法について、
図面を参照しながら説明すも 第１図は本発明の液晶基板の製造に使用する装置を示す
ものであも 第１図において、２１は真空槽のべ一人 ２゜は真空槽
の蓋であり、このベース２１と蓋２ｏとで形成される空
間（表 シリコンゴムシート１６で仕切られてシート１
６の上部が上槽３ｏ、下部が下槽３１の２槽構成になっ
てぃム そして上槽３０、下槽３１には各々排気用ポン
プＰ１、Ｐ２、真空ゲージＶＧＩ、ＶＧ２、Ｎ２リーク
配管が具備されており、上槽の真空ゲージとＮ２リーク
用配管のバルブ１５ｂは制御ユニット２５で連動されて
いも ２３（え 押圧基板２を液晶基板面がら１０ｍｍ程度浮
かした状態で保持する支持ピンで、押圧基板２が上層３
ｏ内の気圧によってシート１６を介して加圧されること
により沈み込むようになっていも 以上のように構成された製造装置を使った液晶基板の製
造方法について説明すも 第１図に示す液晶基板の製造装置のベース２１上に紫外
線硬化樹脂を塗布したカラーフィルタ基板３を所定の位
置にセットすも 紫外線樹脂はロールコータにより５μ
ｍの膜厚でカラーフィルタ基板３に塗布されていも 次いで押圧基板１６を支持ピン２３上に載せることによ
りζ カラーフィルタ基板３上１０ｍｍの位置に中空状
態でセットａ 真空槽上蓋２ｏを閉じも そして、バ
ルブ１５ａを開き上槽３ｏを１Ｔｏｒｒまで排気し ゴ
ムシート１６を上槽側に引き上げたのちバブル１５ａを
閉じバルブ１５ｃを開いて下槽３１を２Ｔｏｒｒ以下に
排気し その後にバブル１５ｃを閉じも 次いでバルブ１５ｂを開き上槽３ｏのＮ２ガスパージを
行う。バルブ１５ｂが真空ゲージＶＧＩの設定圧力２０
０Ｔｏｏｒになると制御ユニット２５によって、バルブ
１５ｂは自動的に閉じられる。
Ｒｍａｘｏ、 １μｍ以下の平滑層か得られも 発明が解決しようとする課題 しかしながら上記のような製造方法では 第４図（ｂ）
に示すように押圧基板のプレスによって樹脂がカラーフ
ィルタ基板３の端面からはみ出しパリとなることが往々
にして発生しな この様に基板３の端面からはみ出したパリ（表後工程の
プロセスにおいて他の部品や装置と接触することにより
簡単に欠は落ちてごみとなり欠陥の発生の大きな要因と
なっていも 本発明は上記問題に鑑へ パリの発生がない樹脂の平滑
層を有する液晶基板の製造方法を提供するものであム 課題を解決するための手段 上記課題を解決するために本発明の液晶基板の製造方法
（よ 電子線または紫外線硬化樹脂を液晶基板表面に塗
布後、中央部がゴムシートにより上槽と下槽に仕切られ
た真空槽の下槽へ 液晶基板および液晶基板に対して中
空状態で保持した押圧基板をセラｈＬ 上層 下槽を
減圧状態にした後、上槽を３０〜５００Ｔｏｒｒの範囲
でリークすることにより中央部ゴムシートにて押圧基板
を４０〜６６０ｇ／ｃｍ”で加圧し 液晶基板の樹脂塗
布面を押圧基板でプレス徽 下槽を大気圧に開放して電
子線または紫外線により樹脂硬化機 押圧基板を離型し
て液晶基板表面に平滑層を形成するものであも 作用 上記の工程によって、液晶基板上に塗布された樹脂面を
押圧基板で加圧プレスするさいく 上槽のリーク量によ
り加圧力をコントロールすることによって液晶基板端部
での樹脂はみ出し量を抑制することができることとなも 実施例 以下本発明の一実施例の液晶基板の製造方法について、
図面を参照しながら説明すも 第１図は本発明の液晶基板の製造に使用する装置を示す
ものであも 第１図において、２１は真空槽のべ一人 ２゜は真空槽
の蓋であり、このベース２１と蓋２ｏとで形成される空
間（表 シリコンゴムシート１６で仕切られてシート１
６の上部が上槽３ｏ、下部が下槽３１の２槽構成になっ
てぃム そして上槽３０、下槽３１には各々排気用ポン
プＰ１、Ｐ２、真空ゲージＶＧＩ、ＶＧ２、Ｎ２リーク
配管が具備されており、上槽の真空ゲージとＮ２リーク
用配管のバルブ１５ｂは制御ユニット２５で連動されて
いも ２３（え 押圧基板２を液晶基板面がら１０ｍｍ程度浮
かした状態で保持する支持ピンで、押圧基板２が上層３
ｏ内の気圧によってシート１６を介して加圧されること
により沈み込むようになっていも 以上のように構成された製造装置を使った液晶基板の製
造方法について説明すも 第１図に示す液晶基板の製造装置のベース２１上に紫外
線硬化樹脂を塗布したカラーフィルタ基板３を所定の位
置にセットすも 紫外線樹脂はロールコータにより５μ
ｍの膜厚でカラーフィルタ基板３に塗布されていも 次いで押圧基板１６を支持ピン２３上に載せることによ
りζ カラーフィルタ基板３上１０ｍｍの位置に中空状
態でセットａ 真空槽上蓋２ｏを閉じも そして、バ
ルブ１５ａを開き上槽３ｏを１Ｔｏｒｒまで排気し ゴ
ムシート１６を上槽側に引き上げたのちバブル１５ａを
閉じバルブ１５ｃを開いて下槽３１を２Ｔｏｒｒ以下に
排気し その後にバブル１５ｃを閉じも 次いでバルブ１５ｂを開き上槽３ｏのＮ２ガスパージを
行う。バルブ１５ｂが真空ゲージＶＧＩの設定圧力２０
０Ｔｏｏｒになると制御ユニット２５によって、バルブ
１５ｂは自動的に閉じられる。
上槽をリークすることで上槽と下槽の気圧差によりゴム
シート１６が下降し 押圧基板２を押し下げることによ
りカラーフィルタ基板３の樹脂塗布面を中央から端部に
向けて密着プレスしていく。
シート１６が下降し 押圧基板２を押し下げることによ
りカラーフィルタ基板３の樹脂塗布面を中央から端部に
向けて密着プレスしていく。
この隊 支持ピン２３は押圧基板２の加圧とともにばね
２４が圧縮されて下降す４ 基板２と樹脂塗布面との完
全密着徽 空気シリンダにより支持ピン２３を更に下降
させも 上槽３０の設定圧力２００Ｔｏ ｒ ｒの時、プレス圧
力は約２６０ｇ／ｃｍ”となっていも次いでバブル１５
ｄを開き下槽３１を大気圧に開放し真空槽上蓋２０を上
昇させプレスされた側基板２．３を取り出し 透明な基
板２を通して紫外線照射を行い塗布した樹脂を硬化させ
たのち押圧基板２を基板３より離型させ基板３上に樹脂
の平滑層を形成すも 以上のようにして得られたカラーフィルタ基板３を第２
図に示す。ここで平滑層４０の端部のパリは基板３より
はみ出すことはなく、完全に基板３の内側に収まってい
も 第３図は上記実施例におけるゴムシート１６を介した押
圧基板２への加圧力とパリの発生量との関係を示した図
である力（カラーフィルタ基板３の面取りがＣＯｏ ３
の場合、パリの発生量は基板端面からマイナス２００μ
ｍ（マイナスは 端面より内側であることを示す）とな
って０る。
２４が圧縮されて下降す４ 基板２と樹脂塗布面との完
全密着徽 空気シリンダにより支持ピン２３を更に下降
させも 上槽３０の設定圧力２００Ｔｏ ｒ ｒの時、プレス圧
力は約２６０ｇ／ｃｍ”となっていも次いでバブル１５
ｄを開き下槽３１を大気圧に開放し真空槽上蓋２０を上
昇させプレスされた側基板２．３を取り出し 透明な基
板２を通して紫外線照射を行い塗布した樹脂を硬化させ
たのち押圧基板２を基板３より離型させ基板３上に樹脂
の平滑層を形成すも 以上のようにして得られたカラーフィルタ基板３を第２
図に示す。ここで平滑層４０の端部のパリは基板３より
はみ出すことはなく、完全に基板３の内側に収まってい
も 第３図は上記実施例におけるゴムシート１６を介した押
圧基板２への加圧力とパリの発生量との関係を示した図
である力（カラーフィルタ基板３の面取りがＣＯｏ ３
の場合、パリの発生量は基板端面からマイナス２００μ
ｍ（マイナスは 端面より内側であることを示す）とな
って０る。
上記実施例での加圧力は２６０ ｇ／ａｍ” （Ａ槽２
００Ｔｏｒｒ）であった力丈 第□３図番こ示すように
パリが基板端面からはみ出な０加圧力の適正範囲は４０
〜６６０ ｇ／ ｃｍ” （Ａ槽３０〜５００Ｔｏｒｒ
）の範囲であ＆ ４０ｇ／ｃｍ２以下でζより口圧力
が不足となり基板２、３が完全密着しな１．％以上のよ
うに 本★施例において（よ 紫外線硬化樹脂を液晶基
板表面に塗布後、中央部力くゴムシートにより上槽と下
槽に仕切られた真空槽の下槽に 液晶基板および液晶基
板に対して中空状態で保持した押圧基板をセ・ソトシ
上槽 下槽を減圧状態にした喪 上槽を３０〜５００
Ｔｏｒｒの範囲でリークすることにより、押圧基板で液
晶基板の樹脂塗布面を４０〜６６０ｇ／ｃｍ”で加圧し
その紘 下槽を大気圧に゛開放して紫外線番こより樹脂
硬化喪 押圧基板を離型して液晶基板表面番こ平滑層を
形成することにより）くりの発生の少な０液晶基板が得
られ 従来の課題を解決すること力く出来も な抵 紫外線硬化型樹脂の替わりに電子線硬化型樹脂を
用いても同様な効果を得ることが出来る発明の効果 以上 詳細に説明した通り、本発明によれは樹脂層の押
圧状態並びに押圧力を良好にコントロールできるので、
常に樹脂層の外周部が基板の外にはみ出すことがない液
晶基板を得ることができ、後工程での基板収籠 基板位
置快眠 ハンドリングなどでパリ欠けによるごみの発生
がなく欠陥発生要因をなくした液晶基板を提供すること
かできも また 押圧基板の加圧力をコントロールすることができ
るた敢 低圧カブレスが可能となることで樹脂の加圧流
動を抑制することができることとなるた敷 従来発生し
ていた基板周辺部での膜厚不均一がなくなるという効果
も得ることができム
００Ｔｏｒｒ）であった力丈 第□３図番こ示すように
パリが基板端面からはみ出な０加圧力の適正範囲は４０
〜６６０ ｇ／ ｃｍ” （Ａ槽３０〜５００Ｔｏｒｒ
）の範囲であ＆ ４０ｇ／ｃｍ２以下でζより口圧力
が不足となり基板２、３が完全密着しな１．％以上のよ
うに 本★施例において（よ 紫外線硬化樹脂を液晶基
板表面に塗布後、中央部力くゴムシートにより上槽と下
槽に仕切られた真空槽の下槽に 液晶基板および液晶基
板に対して中空状態で保持した押圧基板をセ・ソトシ
上槽 下槽を減圧状態にした喪 上槽を３０〜５００
Ｔｏｒｒの範囲でリークすることにより、押圧基板で液
晶基板の樹脂塗布面を４０〜６６０ｇ／ｃｍ”で加圧し
その紘 下槽を大気圧に゛開放して紫外線番こより樹脂
硬化喪 押圧基板を離型して液晶基板表面番こ平滑層を
形成することにより）くりの発生の少な０液晶基板が得
られ 従来の課題を解決すること力く出来も な抵 紫外線硬化型樹脂の替わりに電子線硬化型樹脂を
用いても同様な効果を得ることが出来る発明の効果 以上 詳細に説明した通り、本発明によれは樹脂層の押
圧状態並びに押圧力を良好にコントロールできるので、
常に樹脂層の外周部が基板の外にはみ出すことがない液
晶基板を得ることができ、後工程での基板収籠 基板位
置快眠 ハンドリングなどでパリ欠けによるごみの発生
がなく欠陥発生要因をなくした液晶基板を提供すること
かできも また 押圧基板の加圧力をコントロールすることができ
るた敢 低圧カブレスが可能となることで樹脂の加圧流
動を抑制することができることとなるた敷 従来発生し
ていた基板周辺部での膜厚不均一がなくなるという効果
も得ることができム
第１図は本発明の実施例における液晶基板の製造装置の
要部断面医 第２図は同実施例により製造された液晶基
板の部分断面医 第３図は同実施例における製造条件と
平滑層のパリ発生量との関係云 第４図は従来の製造方
法で作成された液晶基板の部分断面医 第５図は従来の
液晶基板の製造方法を説明するための製造装置の概略図
である。 ２・・・押圧基板、 ３・・・カラーフィルタ基板、
３０・・・上棟 ３１・・・王権 １６・・・シリコン
ゴムシート、４０・・・平滑層 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか１名の一手遣層 ε ０１＃Ｉ） ′Ｗ三基板如疋力（ηｃｔｎａ’） 評圧茶扱 コムレーＦ ！空槽上Ｉ Ｘ空槽ヘース Ｏリンフ 押圧茶托支持ビン ハネ よ１ 下槽 上ネｔ ｔ９１：％用ホ゛／プ 下↑Ｖ羽ト気用ポツプ。 よ糟Ｘγグー シ 下槽Ｘ隻ケージ 有 ４ 図 有 ５ｒＩ！Ｉ ／７
要部断面医 第２図は同実施例により製造された液晶基
板の部分断面医 第３図は同実施例における製造条件と
平滑層のパリ発生量との関係云 第４図は従来の製造方
法で作成された液晶基板の部分断面医 第５図は従来の
液晶基板の製造方法を説明するための製造装置の概略図
である。 ２・・・押圧基板、 ３・・・カラーフィルタ基板、
３０・・・上棟 ３１・・・王権 １６・・・シリコン
ゴムシート、４０・・・平滑層 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか１名の一手遣層 ε ０１＃Ｉ） ′Ｗ三基板如疋力（ηｃｔｎａ’） 評圧茶扱 コムレーＦ ！空槽上Ｉ Ｘ空槽ヘース Ｏリンフ 押圧茶托支持ビン ハネ よ１ 下槽 上ネｔ ｔ９１：％用ホ゛／プ 下↑Ｖ羽ト気用ポツプ。 よ糟Ｘγグー シ 下槽Ｘ隻ケージ 有 ４ 図 有 ５ｒＩ！Ｉ ／７
Claims (2)
- （１）電子線または紫外線硬化樹脂を液晶基板表面に塗
布後、中央部がゴムシートにより上槽と下槽に仕切られ
た真空槽の下槽に、上記液晶基板および上記液晶基板に
対して中空状態で保持した押圧基板をセットし、上槽、
下槽を減圧状態にした後、上槽を３０〜５００Ｔｏｒｒ
の範囲でリークすることにより前記中央部のゴムシート
にて押圧基板を４０〜６６０ｇ／ｃｍ＾２で加圧し、前
記液晶基板の樹脂塗布面を前記押圧基板でプレス後、電
子線または紫外線により樹脂硬化後、押圧基板を離型し
て液晶基板表面に平滑層を形成するようになした液晶基
板の製造方法。 - （２）液晶基板がカラーフィルタ形成基板である請求項
（１）記載の液晶基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2196627A JPH0481718A (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | 液晶基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2196627A JPH0481718A (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | 液晶基板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0481718A true JPH0481718A (ja) | 1992-03-16 |
Family
ID=16360909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2196627A Pending JPH0481718A (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | 液晶基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0481718A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104347468A (zh) * | 2013-07-23 | 2015-02-11 | Ap系统股份有限公司 | 衬底固持模块和包含所述衬底固持模块的衬底处理设备 |
-
1990
- 1990-07-24 JP JP2196627A patent/JPH0481718A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104347468A (zh) * | 2013-07-23 | 2015-02-11 | Ap系统股份有限公司 | 衬底固持模块和包含所述衬底固持模块的衬底处理设备 |
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