JPH064302Y2 - 金属ダイアフラム - Google Patents
金属ダイアフラムInfo
- Publication number
- JPH064302Y2 JPH064302Y2 JP15530288U JP15530288U JPH064302Y2 JP H064302 Y2 JPH064302 Y2 JP H064302Y2 JP 15530288 U JP15530288 U JP 15530288U JP 15530288 U JP15530288 U JP 15530288U JP H064302 Y2 JPH064302 Y2 JP H064302Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- strain
- electrode
- metal diaphragm
- electrodes
- trimming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims description 36
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims description 36
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 46
- 238000009966 trimming Methods 0.000 claims description 46
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 25
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 23
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 23
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 (1)考案の目的 本考案は、金属ダイアフラムに関し、特に感歪部の外周
部に対し歪ゲージとトリミング抵抗とを配設しておきそ
のトリミング抵抗の外周に対し補助電極を弧状に配設し
併せて感歪部の中央部に配設した他の歪ゲージの電極を
その外周部まで延長してなることにより歪ゲージの電極
間をトリミング抵抗および補助電極を介して結ぶための
金ワイヤを全て感歪部の外周部に配置してなる金属ダイ
アフラムに関するものである。
部に対し歪ゲージとトリミング抵抗とを配設しておきそ
のトリミング抵抗の外周に対し補助電極を弧状に配設し
併せて感歪部の中央部に配設した他の歪ゲージの電極を
その外周部まで延長してなることにより歪ゲージの電極
間をトリミング抵抗および補助電極を介して結ぶための
金ワイヤを全て感歪部の外周部に配置してなる金属ダイ
アフラムに関するものである。
［従来の技術］ 従来、この種の金属ダイアフラムとしては、第３図に示
した金属ダイアフラム10のごとく、複数の歪ゲージ13
A，〜，13Dとトリミング抵抗14A1，14A2；14B1，14B2と
補助電極15A，15Bとを感歪部の周囲に同一円周そって等
角度を隔てて配設しておき、かつその中央部に複数の歪
ゲージ13E，〜，13Hを同一円周にそって等角度を隔てて
配設しておき、これらの歪ゲージ13A，〜，13Hおよびト
リミング抵抗14A1，14A2；14B1，14B2あるいは補助電極
15A，15B間を必要に応じ金ワイヤ16a，〜，16kによって
ブリッジ状に接続してなるものが提案されていた。
した金属ダイアフラム10のごとく、複数の歪ゲージ13
A，〜，13Dとトリミング抵抗14A1，14A2；14B1，14B2と
補助電極15A，15Bとを感歪部の周囲に同一円周そって等
角度を隔てて配設しておき、かつその中央部に複数の歪
ゲージ13E，〜，13Hを同一円周にそって等角度を隔てて
配設しておき、これらの歪ゲージ13A，〜，13Hおよびト
リミング抵抗14A1，14A2；14B1，14B2あるいは補助電極
15A，15B間を必要に応じ金ワイヤ16a，〜，16kによって
ブリッジ状に接続してなるものが提案されていた。
［解決すべき問題点］ しかしながら、従来の金属ダイアフラム10では、感歪部
の外周部に配設されたトリミング抵抗14A1，14A2；14
B1，14B2の電極と感歪部の中央部に配設された歪ゲージ
13E，13Gの電極との間を金ワイヤ16a，16fによって接続
し、かつ感歪部の外周部に配設された歪ゲージ13B，13D
の電極と感歪部の中央部に配設された歪ゲージ13E，13G
との間を金ワイヤ16d，16i，16jおよび補助電極15Bによ
って接続しており、併せて感歪部の外周部に配設した歪
ゲージ13B，13Dの電極をそれぞれ金ワイヤ16c，16hによ
って接続したトリミング抵抗14A1，14B1の電極に対し金
ワイヤ16b，16gを介してそれぞれ接続された感歪部の中
心部の補助電極（番号を付さず）から外部電極23c，23d
へ向けてそれぞれリード線17c，17dを引出し、かつ感歪
部の中央部に配設した歪ゲージ13G，13Eの電極に対し金
ワイヤ16e，16kを介してそれぞれ接続された感歪部の中
央部の補助電極（番号を付さず）から外部電極23a，23b
へ向けてそれぞれリード線17a，17bを引出していたの
で、(i)金ワイヤの配線数（ひいては溶接部の数）を削
減できない欠点があり、また(ii)金ワイヤが感歪部の外
周部と中央部との間を連絡するよう配設される欠点があ
り、併せて(iii)金ワイヤとリード線とが互いに交叉す
る欠点があり、ひいては(iv)金ワイヤが互いに接触しあ
るいは金ワイヤとリード線とが互いに接触するため信頼
性を損なう欠点があり、加えて(v)多大の製作時間を要
する欠点があった。
の外周部に配設されたトリミング抵抗14A1，14A2；14
B1，14B2の電極と感歪部の中央部に配設された歪ゲージ
13E，13Gの電極との間を金ワイヤ16a，16fによって接続
し、かつ感歪部の外周部に配設された歪ゲージ13B，13D
の電極と感歪部の中央部に配設された歪ゲージ13E，13G
との間を金ワイヤ16d，16i，16jおよび補助電極15Bによ
って接続しており、併せて感歪部の外周部に配設した歪
ゲージ13B，13Dの電極をそれぞれ金ワイヤ16c，16hによ
って接続したトリミング抵抗14A1，14B1の電極に対し金
ワイヤ16b，16gを介してそれぞれ接続された感歪部の中
心部の補助電極（番号を付さず）から外部電極23c，23d
へ向けてそれぞれリード線17c，17dを引出し、かつ感歪
部の中央部に配設した歪ゲージ13G，13Eの電極に対し金
ワイヤ16e，16kを介してそれぞれ接続された感歪部の中
央部の補助電極（番号を付さず）から外部電極23a，23b
へ向けてそれぞれリード線17a，17bを引出していたの
で、(i)金ワイヤの配線数（ひいては溶接部の数）を削
減できない欠点があり、また(ii)金ワイヤが感歪部の外
周部と中央部との間を連絡するよう配設される欠点があ
り、併せて(iii)金ワイヤとリード線とが互いに交叉す
る欠点があり、ひいては(iv)金ワイヤが互いに接触しあ
るいは金ワイヤとリード線とが互いに接触するため信頼
性を損なう欠点があり、加えて(v)多大の製作時間を要
する欠点があった。
そこで本考案は、これらの欠点を除去すべく、感歪部の
外周部に配設された歪ゲージ間のトリミング抵抗外周に
対し補助電極を配設しかつ感歪部の中央部に配設された
歪ゲージからその電極を感歪部の外周部まで延長するこ
とにより全ての金ワイヤを感歪部の外周部に配設してな
る金属ダイアフラムを提供せんとするものである。
外周部に配設された歪ゲージ間のトリミング抵抗外周に
対し補助電極を配設しかつ感歪部の中央部に配設された
歪ゲージからその電極を感歪部の外周部まで延長するこ
とにより全ての金ワイヤを感歪部の外周部に配設してな
る金属ダイアフラムを提供せんとするものである。
(2)考案の構成 ［問題点の解決手段］ 本考案により提供される問題点の解決手段は、 「圧力センサ装置のホルダ本体とホルダ蓋体との間に配
設されており金属ダイアフラム本体の表面に形成された
絶縁層の感歪部に複数の歪ゲージを複数のトリミング抵
抗を介して金ワイヤによりブリッジ状に接続してなる金
属ダイアフラムにおいて、感歪部の外周部にそって歪ゲ
ージとトリミング抵抗とを配設し、トリミング抵抗の外
周に対し補助電極を弧状に配設し、かつトリミング抵抗
によって包囲されるごとく感歪部の中央部に配設した他
の歪ゲージの電極を感歪部の外周部まで延長してなるこ
とにより、歪ゲージの電極および補助電極の間と補助電
極およびトリミング抵抗の電極の間とトリミング抵抗の
電極および他の歪ゲージの電極の間とをそれぞれ接続す
る金ワイヤを全て感歪部の外周部に配設してなることを
特徴とする金属ダイアフラム」 である。
設されており金属ダイアフラム本体の表面に形成された
絶縁層の感歪部に複数の歪ゲージを複数のトリミング抵
抗を介して金ワイヤによりブリッジ状に接続してなる金
属ダイアフラムにおいて、感歪部の外周部にそって歪ゲ
ージとトリミング抵抗とを配設し、トリミング抵抗の外
周に対し補助電極を弧状に配設し、かつトリミング抵抗
によって包囲されるごとく感歪部の中央部に配設した他
の歪ゲージの電極を感歪部の外周部まで延長してなるこ
とにより、歪ゲージの電極および補助電極の間と補助電
極およびトリミング抵抗の電極の間とトリミング抵抗の
電極および他の歪ゲージの電極の間とをそれぞれ接続す
る金ワイヤを全て感歪部の外周部に配設してなることを
特徴とする金属ダイアフラム」 である。
［作用］ 本考案にかかる金属ダイアフラムは、圧力センサ装置の
ホルダ本体とホルダ蓋体との間に配設されており金属ダ
イアフラム本体の表面に形成された絶縁層の感歪部に複
数の歪ゲージを複数のトリミング抵抗を介して金ワイヤ
によりブリッジ状に接続してなる金属ダイアフラムにお
いて、感歪部の外周部にそって歪ゲージとトリミング抵
抗とを配設し、トリミング抵抗の外周に対し補助電極を
弧状に配設し、かつトリミング抵抗によって包囲される
ごとく感歪部の中央部に配設した他の歪ゲージの電極を
感歪部の外周部まで延長してなることにより、歪ゲージ
の電極および補助電極の間と補助電極およびトリミング
抵抗の電極の間とトリミング抵抗の電極および他の歪ゲ
ージの電極の間とをそれぞれ接続する金ワイヤを全て感
歪部の外周部に配設してなることを特徴とするので、
(i)金ワイヤを感歪部の外周部に集合せしめる作用をな
し、ひいては(ii)金ワイヤの配線距離を短縮しかつ配線
数（ひいては溶接部の数）を削減する作用をなし、また
(iii)金ワイヤが互いに交叉しあるいは金ワイヤとリー
ド線とが互いに交叉することを回避する作用をなし、結
果的に(iv)金ワイヤが互いに接触しあるいは金ワイヤと
リード線とが互いに接触して信頼性を損なうことを回避
する作用をなし、併せて(v)製作時間を短縮する作用を
なす。
ホルダ本体とホルダ蓋体との間に配設されており金属ダ
イアフラム本体の表面に形成された絶縁層の感歪部に複
数の歪ゲージを複数のトリミング抵抗を介して金ワイヤ
によりブリッジ状に接続してなる金属ダイアフラムにお
いて、感歪部の外周部にそって歪ゲージとトリミング抵
抗とを配設し、トリミング抵抗の外周に対し補助電極を
弧状に配設し、かつトリミング抵抗によって包囲される
ごとく感歪部の中央部に配設した他の歪ゲージの電極を
感歪部の外周部まで延長してなることにより、歪ゲージ
の電極および補助電極の間と補助電極およびトリミング
抵抗の電極の間とトリミング抵抗の電極および他の歪ゲ
ージの電極の間とをそれぞれ接続する金ワイヤを全て感
歪部の外周部に配設してなることを特徴とするので、
(i)金ワイヤを感歪部の外周部に集合せしめる作用をな
し、ひいては(ii)金ワイヤの配線距離を短縮しかつ配線
数（ひいては溶接部の数）を削減する作用をなし、また
(iii)金ワイヤが互いに交叉しあるいは金ワイヤとリー
ド線とが互いに交叉することを回避する作用をなし、結
果的に(iv)金ワイヤが互いに接触しあるいは金ワイヤと
リード線とが互いに接触して信頼性を損なうことを回避
する作用をなし、併せて(v)製作時間を短縮する作用を
なす。
［実施例］ 次に本考案にかかる金属ダイアフラムの一実施例につい
て、その好ましい実施例を挙げ具体的に説明する。しか
しながら以下に説明する実施例は、本考案の理解を容易
化ないし促進化するために記載されるものであって、本
考案を限定するために記載されるものではない。換言す
れば、以下に説明される実施例において開示される各部
材は、本考案の精神ならびに技術的範囲に属する全ての
設計変更ならびに均等物置換を含むものである。
て、その好ましい実施例を挙げ具体的に説明する。しか
しながら以下に説明する実施例は、本考案の理解を容易
化ないし促進化するために記載されるものであって、本
考案を限定するために記載されるものではない。換言す
れば、以下に説明される実施例において開示される各部
材は、本考案の精神ならびに技術的範囲に属する全ての
設計変更ならびに均等物置換を含むものである。
第１図は、本考案にかかる金属ダイアフラムの一実施例
を示す平面図であって、絶縁膜12の一部が除去されてい
る。
を示す平面図であって、絶縁膜12の一部が除去されてい
る。
第２図は、第１図実施例の組込まれた圧力センサ装置を
示す断面図であって、図示の都合上、補助電極15A，15B
および歪ゲージ13Dの電極13d2を除き金属ダイアフラム1
0上の歪ゲージ13A，〜，13Dなどが省略されている。
示す断面図であって、図示の都合上、補助電極15A，15B
および歪ゲージ13Dの電極13d2を除き金属ダイアフラム1
0上の歪ゲージ13A，〜，13Dなどが省略されている。
まず第１図ないし第２図を参照しつつ、本考案にかかる
金属ダイアフラムの一実施例について、その構成を詳細
に説明する。10 は、本考案にかかる金属ダイアフラムであって、金属
ダイアフラム本体11の表面に対してＳｉＯ２，Ｓｉ３Ｎ
４，Ａｌ２Ｏ３などの絶縁材料を真空蒸着によって適宜
の肉厚（たとえば１μｍ程度の肉厚）に配設することに
より形成された絶縁膜12の表面のうち感歪部に相当する
部分に対して配設された複数（ここでは４つ）の歪ゲー
ジ13A，〜，13Dと、歪ゲージ13Aの近傍から歪ゲージ13C
の近傍に向けて歪ゲージ13B，13Dを包囲するよう弧状に
配設された２つのトリミング抵抗14A，14Bと、トリミン
グ抵抗14A，14Bの外周に対して弧状に配設された２つの
補助電極15A，15Bとを備えている。歪ゲージ13A，〜，1
3Dの電極13a1，13a2；13b1，13b2；13c1，13c2；13d1，
13d2は、絶縁膜12上に適宜の手段によって配設されてい
る。このとき少なくとも歪ゲージ13B，13Dの電極13b1，
13b2；13d1，13d2がそれぞれ感歪部の外周部まで延長さ
れており、特に補助電極15A，15Bののる円周上まで到達
しておれば好ましい。
金属ダイアフラムの一実施例について、その構成を詳細
に説明する。10 は、本考案にかかる金属ダイアフラムであって、金属
ダイアフラム本体11の表面に対してＳｉＯ２，Ｓｉ３Ｎ
４，Ａｌ２Ｏ３などの絶縁材料を真空蒸着によって適宜
の肉厚（たとえば１μｍ程度の肉厚）に配設することに
より形成された絶縁膜12の表面のうち感歪部に相当する
部分に対して配設された複数（ここでは４つ）の歪ゲー
ジ13A，〜，13Dと、歪ゲージ13Aの近傍から歪ゲージ13C
の近傍に向けて歪ゲージ13B，13Dを包囲するよう弧状に
配設された２つのトリミング抵抗14A，14Bと、トリミン
グ抵抗14A，14Bの外周に対して弧状に配設された２つの
補助電極15A，15Bとを備えている。歪ゲージ13A，〜，1
3Dの電極13a1，13a2；13b1，13b2；13c1，13c2；13d1，
13d2は、絶縁膜12上に適宜の手段によって配設されてい
る。このとき少なくとも歪ゲージ13B，13Dの電極13b1，
13b2；13d1，13d2がそれぞれ感歪部の外周部まで延長さ
れており、特に補助電極15A，15Bののる円周上まで到達
しておれば好ましい。
本考案にかかる金属ダイアフラム10は、また、歪ゲージ
13Aの一方の電極13a1と補助電極15Aとの間に配設された
第１の金ワイヤ16aと、補助電極15Aとトリミング抵抗14
Aに形成された１つの電極14aとの間に配設された第２の
金ワイヤ16bと、トリミング抵抗14Aに形成された他の１
つの電極14aと歪ゲージ13Bの一方の電極13b1の外周端部
との間に配設された第３の金ワイヤ16cと、歪ゲージ13C
の一方の電極13c2と補助電極15Bとの間に配設された第
４の金ワイヤ16dと、補助電極15Bとトリミング抵抗14B
に形成された１つの電極14bとの間に配設された第５の
金ワイヤ16eと、トリミング抵抗14Bに形成された他の１
つの電極14bと歪ゲージ13Dの一方の電極13d1の外周端と
の間に配設された第６の金ワイヤ16fとを包有してい
る。
13Aの一方の電極13a1と補助電極15Aとの間に配設された
第１の金ワイヤ16aと、補助電極15Aとトリミング抵抗14
Aに形成された１つの電極14aとの間に配設された第２の
金ワイヤ16bと、トリミング抵抗14Aに形成された他の１
つの電極14aと歪ゲージ13Bの一方の電極13b1の外周端部
との間に配設された第３の金ワイヤ16cと、歪ゲージ13C
の一方の電極13c2と補助電極15Bとの間に配設された第
４の金ワイヤ16dと、補助電極15Bとトリミング抵抗14B
に形成された１つの電極14bとの間に配設された第５の
金ワイヤ16eと、トリミング抵抗14Bに形成された他の１
つの電極14bと歪ゲージ13Dの一方の電極13d1の外周端と
の間に配設された第６の金ワイヤ16fとを包有してい
る。
本考案にかかる金属ダイアフラム10は、更に、歪ゲージ
13Aの電極13a2および歪ゲージ13Dの電極13d2と歪ゲージ
13Bの電極13b2および歪ゲージ13Cの電極13c1とをそれぞ
れ後述の外部電極23a，23cに接続するためのリード線17
a，17cと、補助電極15A，15Bをそれぞれ後述の外部電極
23b，23dに接続するための他のリード線17b，17dとを備
えている。20 は、本考案にかかる金属ダイアフラム10の組込まれた
圧力センサ装置であって、一端面21aから他端面21bに向
けて圧力媒体を案内するための貫通孔21Aが形成されて
なるホルダ本体21と、ホルダ本体21の外周面に形成され
たネジ部材21cに対して内周面に形成されたネジ部材22a
が螺合されることによってホルダ本体21に対し取付けら
れており底面に貫通孔22Aを有するホルダ蓋体22と、貫
通孔22Aの周囲に配設された外部電極23a，〜，23dと、
ホルダ本体21の他端面21bに形成された配設孔に配設さ
れており金属ダイアフラム10との当接面をシールするた
めのＯリング24とを備えている。
13Aの電極13a2および歪ゲージ13Dの電極13d2と歪ゲージ
13Bの電極13b2および歪ゲージ13Cの電極13c1とをそれぞ
れ後述の外部電極23a，23cに接続するためのリード線17
a，17cと、補助電極15A，15Bをそれぞれ後述の外部電極
23b，23dに接続するための他のリード線17b，17dとを備
えている。20 は、本考案にかかる金属ダイアフラム10の組込まれた
圧力センサ装置であって、一端面21aから他端面21bに向
けて圧力媒体を案内するための貫通孔21Aが形成されて
なるホルダ本体21と、ホルダ本体21の外周面に形成され
たネジ部材21cに対して内周面に形成されたネジ部材22a
が螺合されることによってホルダ本体21に対し取付けら
れており底面に貫通孔22Aを有するホルダ蓋体22と、貫
通孔22Aの周囲に配設された外部電極23a，〜，23dと、
ホルダ本体21の他端面21bに形成された配設孔に配設さ
れており金属ダイアフラム10との当接面をシールするた
めのＯリング24とを備えている。
更に第１図および第２図に参照しつつ、本考案にかかる
金属ダイアフラムの一実施例について、その作用を詳細
に説明する。
金属ダイアフラムの一実施例について、その作用を詳細
に説明する。
本考案にかかる金属ダイアフラム10では、２つの歪ゲー
ジ13A，13Cが金属ダイアフラム本体11の表面に対して形
成された絶縁膜12の表面のうち感歪部の外周部に配設さ
れかつ他の２つの歪ゲージ13B，13Dがその中心部に配設
されており、併せて歪ゲージ13A，13Cの間に歪ゲージ13
B，13Dを包囲するようトリミング抵抗14A，14Bが弧状に
配設されかつトリミング抵抗14A，14Bの外周に弧状の２
つの補助電極15A，15Bが配設されており、加えて歪ゲー
ジ13A，〜，13Dの電極13a1，13a2；13b1，13b2；13c1，
13c2；13d1，13d2がそれぞれ感歪部の外周部まで延長さ
れている。
ジ13A，13Cが金属ダイアフラム本体11の表面に対して形
成された絶縁膜12の表面のうち感歪部の外周部に配設さ
れかつ他の２つの歪ゲージ13B，13Dがその中心部に配設
されており、併せて歪ゲージ13A，13Cの間に歪ゲージ13
B，13Dを包囲するようトリミング抵抗14A，14Bが弧状に
配設されかつトリミング抵抗14A，14Bの外周に弧状の２
つの補助電極15A，15Bが配設されており、加えて歪ゲー
ジ13A，〜，13Dの電極13a1，13a2；13b1，13b2；13c1，
13c2；13d1，13d2がそれぞれ感歪部の外周部まで延長さ
れている。
このため本考案にかかる金属ダイアフラム10では、歪ゲ
ージ13Aの電極13a1および補助電極15Aの間と歪ゲージ13
Cの電極13c2および補助電極15Bの間とをそれぞれ金ワイ
ヤ16a，16dによって接続し、かつトリミング抵抗14Aの
電極14aおよび補助電極15Aの間とトリミング抵抗14Bの
電極14bおよび補助電極15Bの間とをそれぞれ金ワイヤ16
b，16eで接続し、かつトリミング抵抗14Aおよび歪ゲー
ジ13Bの電極13b1の間とトリミング抵抗14Bおよび歪ゲー
ジ13Dの電極13d1の間とをそれぞれ金ワイヤ16c，16fで
接続することにより、金ワイヤの配線距離を短縮、かつ
金ワイヤの配線数（ひいては溶接部の数）を削減してい
る。
ージ13Aの電極13a1および補助電極15Aの間と歪ゲージ13
Cの電極13c2および補助電極15Bの間とをそれぞれ金ワイ
ヤ16a，16dによって接続し、かつトリミング抵抗14Aの
電極14aおよび補助電極15Aの間とトリミング抵抗14Bの
電極14bおよび補助電極15Bの間とをそれぞれ金ワイヤ16
b，16eで接続し、かつトリミング抵抗14Aおよび歪ゲー
ジ13Bの電極13b1の間とトリミング抵抗14Bおよび歪ゲー
ジ13Dの電極13d1の間とをそれぞれ金ワイヤ16c，16fで
接続することにより、金ワイヤの配線距離を短縮、かつ
金ワイヤの配線数（ひいては溶接部の数）を削減してい
る。
また本考案にかかる金属ダイアフラム10では、外部電極
23a，〜，23dに接続されたリード線17a，〜，17dがそれ
ぞれ感歪部の外周部に位置する歪ゲージ13A，13Dの電極
13a2，13d2と補助電極15Aと歪ゲージ13B，13Cの電極13b
2，13c2と補助電極15Bとから外方へ引出されているの
で、リード線17a，〜，17dが金ワイヤ16a，〜，16fに交
叉することを回避している。
23a，〜，23dに接続されたリード線17a，〜，17dがそれ
ぞれ感歪部の外周部に位置する歪ゲージ13A，13Dの電極
13a2，13d2と補助電極15Aと歪ゲージ13B，13Cの電極13b
2，13c2と補助電極15Bとから外方へ引出されているの
で、リード線17a，〜，17dが金ワイヤ16a，〜，16fに交
叉することを回避している。
(3)考案の効果 上述より明らかなように、本考案にかかる金属ダイアフ
ラムは、圧力センサ装置のホルダ本体とホルダ蓋体との
間に配設されており金属ダイアフラム本体の表面に形成
された絶縁層の感歪部に複数の歪ゲージを複数のトリミ
ング抵抗を介して金ワイヤによりブリッジ状に接続して
なる金属ダイアフラムにおいて、 感歪部の外周部にそって歪ゲージとトリミング抵抗とを
配設し、トリミング抵抗の外周に対し補助電極を弧状に
配設し、かつトリミング抵抗によって包囲されるごとく
感歪部の中央部に配設した他の歪ゲージの電極を感歪部
の外周部まで延長してなることにより、歪ゲージの電極
および補助電極の間と補助電極およびトリミング抵抗の
電極の間とトリミング抵抗の電極および歪ゲージの電極
の間とをそれぞれ接続する金ワイヤを全て感歪部の外周
部に配設し てなることを特徴とするので、 (i)金ワイヤを感歪部の外周部に集合できる効果 を有し、ひいては (ii)金ワイヤの配線距離を短縮しかつ配線数（ひいては
接合部の数）を削減できる効果 を有し、また、 (iii)金ワイヤが互いに交叉しあるいは金ワイヤとリー
ド線とが互いに交叉することを回避できる効果 を有し、結果的に (iv)金ワイヤが互いに接触しあるいは金ワイヤとリード
線とが互いに接触して信頼性を損なうことを回避できる
効果 を有し、併せて (v)製作時間を短縮できる効果 を有する。
ラムは、圧力センサ装置のホルダ本体とホルダ蓋体との
間に配設されており金属ダイアフラム本体の表面に形成
された絶縁層の感歪部に複数の歪ゲージを複数のトリミ
ング抵抗を介して金ワイヤによりブリッジ状に接続して
なる金属ダイアフラムにおいて、 感歪部の外周部にそって歪ゲージとトリミング抵抗とを
配設し、トリミング抵抗の外周に対し補助電極を弧状に
配設し、かつトリミング抵抗によって包囲されるごとく
感歪部の中央部に配設した他の歪ゲージの電極を感歪部
の外周部まで延長してなることにより、歪ゲージの電極
および補助電極の間と補助電極およびトリミング抵抗の
電極の間とトリミング抵抗の電極および歪ゲージの電極
の間とをそれぞれ接続する金ワイヤを全て感歪部の外周
部に配設し てなることを特徴とするので、 (i)金ワイヤを感歪部の外周部に集合できる効果 を有し、ひいては (ii)金ワイヤの配線距離を短縮しかつ配線数（ひいては
接合部の数）を削減できる効果 を有し、また、 (iii)金ワイヤが互いに交叉しあるいは金ワイヤとリー
ド線とが互いに交叉することを回避できる効果 を有し、結果的に (iv)金ワイヤが互いに接触しあるいは金ワイヤとリード
線とが互いに接触して信頼性を損なうことを回避できる
効果 を有し、併せて (v)製作時間を短縮できる効果 を有する。
第１図は本考案にかかる金属ダイアフラムの一実施例を
示す平面図、第２図は第１図実施例の組込まれた圧力セ
ンサ装置を示す断面図、第３図は従来例を示す平面図で
ある。10 ……金属ダイアフラム 11……金属ダイアフラム本体 12……絶縁膜 13A，〜，13D……歪ゲージ 13a1，13a2；13b1，13b2；3c1，13c2；13d1，13d2……
電極 14A，14B……トリミング抵抗 15A，15B……補助電極 16a，〜，16f……金ワイヤ 17a，〜，17d……リード線20 ……圧力センサ装置 21……ホルダ本体 21A……貫通孔 21a……一端面 21b……他端面 21c……ネジ部 22……ホルダ蓋体 22A……貫通孔 22a……ネジ部 23a，〜，23d……外部電極 24……Ｏリング
示す平面図、第２図は第１図実施例の組込まれた圧力セ
ンサ装置を示す断面図、第３図は従来例を示す平面図で
ある。10 ……金属ダイアフラム 11……金属ダイアフラム本体 12……絶縁膜 13A，〜，13D……歪ゲージ 13a1，13a2；13b1，13b2；3c1，13c2；13d1，13d2……
電極 14A，14B……トリミング抵抗 15A，15B……補助電極 16a，〜，16f……金ワイヤ 17a，〜，17d……リード線20 ……圧力センサ装置 21……ホルダ本体 21A……貫通孔 21a……一端面 21b……他端面 21c……ネジ部 22……ホルダ蓋体 22A……貫通孔 22a……ネジ部 23a，〜，23d……外部電極 24……Ｏリング
Claims (1)
- 【請求項１】圧力センサ装置のホルダ本体とホルダ蓋体
との間に配設されており金属ダイアフラム本体の表面に
形成された絶縁層の感歪部に複数の歪ゲージを複数のト
リミング抵抗を介して金ワイヤによりブリッジ状に接続
してなる金属ダイアフラムにおいて、感歪部の外周部に
そって歪ゲージとトリミング抵抗とを配設し、トリミン
グ抵抗の外周に対し補助電極を弧状に配設し、かつトリ
ミング抵抗によって包囲されるごとく感歪部の中央部に
配設した他の歪ゲージの電極を感歪部の外周部まで延長
してなることにより、歪ゲージの電極および補助電極の
間と補助電極およびトリミング抵抗の電極の間とトリミ
ング抵抗の電極および他の歪ゲージの電極の間とをそれ
ぞれ接続する金ワイヤを全て感歪部の外周部に配設して
なることを特徴とする金属ダイアフラム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15530288U JPH064302Y2 (ja) | 1988-11-28 | 1988-11-28 | 金属ダイアフラム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15530288U JPH064302Y2 (ja) | 1988-11-28 | 1988-11-28 | 金属ダイアフラム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0275536U JPH0275536U (ja) | 1990-06-08 |
| JPH064302Y2 true JPH064302Y2 (ja) | 1994-02-02 |
Family
ID=31432811
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15530288U Expired - Lifetime JPH064302Y2 (ja) | 1988-11-28 | 1988-11-28 | 金属ダイアフラム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH064302Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002195901A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-10 | Minebea Co Ltd | 高精度維持サニタリー用圧力変換器 |
-
1988
- 1988-11-28 JP JP15530288U patent/JPH064302Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0275536U (ja) | 1990-06-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4773269A (en) | Media isolated differential pressure sensors | |
| US7444879B2 (en) | Displacement transducer | |
| JP2503290B2 (ja) | 半導体圧力・差圧測定ダイヤフラム | |
| WO1983000385A1 (en) | Improved capacitance pressure sensor | |
| JPH029704B2 (ja) | ||
| CN116576997A (zh) | 一种轴力传感器 | |
| JPH064302Y2 (ja) | 金属ダイアフラム | |
| JPS5952727A (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JPH07101747B2 (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JPS62235536A (ja) | 圧力センサ | |
| US4400682A (en) | Pressure sensor | |
| JP6714439B2 (ja) | 歪検出器及びその製造方法 | |
| CN219416508U (zh) | 一种轴力传感器 | |
| JP3967788B2 (ja) | 静電容量型圧力センサ | |
| JPH0758795B2 (ja) | 圧力センサ | |
| JPH02256278A (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JPS60253280A (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JPH0750788B2 (ja) | 圧力センサ | |
| JPS63226073A (ja) | 力検出装置 | |
| JPS5925393B2 (ja) | 半導体ひずみゲ−ジ形ダイアフラム | |
| JPH0138510Y2 (ja) | ||
| JPS6184803U (ja) | ||
| JPH02245631A (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JPH0545244A (ja) | 圧力検出素子 | |
| JPH0252230A (ja) | 半導体装置 |