JPH0275905A - 長さ測定走査子の直線運動前送り装置および工作物の表面の形状の走査検出方法 - Google Patents
長さ測定走査子の直線運動前送り装置および工作物の表面の形状の走査検出方法Info
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- JPH0275905A JPH0275905A JP19812189A JP19812189A JPH0275905A JP H0275905 A JPH0275905 A JP H0275905A JP 19812189 A JP19812189 A JP 19812189A JP 19812189 A JP19812189 A JP 19812189A JP H0275905 A JPH0275905 A JP H0275905A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims description 4
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract description 5
- 239000000945 filler Substances 0.000 abstract 2
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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- G01B5/0009—Guiding surfaces; Arrangements compensating for non-linearity there-of
-
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、請求項１の上位収金に記載の前送り装置並び
に請求項２の上位収金に記載の、走査線に沿って工作物
の表面の形状を走査検出する方法に関する。
に請求項２の上位収金に記載の、走査線に沿って工作物
の表面の形状を走査検出する方法に関する。
従来の技術
この形式の前送り装置では、長さ測定走査子を工作物の
表面に沿って案内する際の案内エラーが測定精度に作用
する。この理由から、工作物の表面形状を測定するため
に工作物の表面上を長さ測定走査子を運動させる前送り
装置の案内は高い精度で行われ、従って高価である。そ
の際案内エラーによる測定誤差は回避できず、高い精度
によって測定誤差を小さく抑えることができるにすぎな
い。
表面に沿って案内する際の案内エラーが測定精度に作用
する。この理由から、工作物の表面形状を測定するため
に工作物の表面上を長さ測定走査子を運動させる前送り
装置の案内は高い精度で行われ、従って高価である。そ
の際案内エラーによる測定誤差は回避できず、高い精度
によって測定誤差を小さく抑えることができるにすぎな
い。
発明が解決しようとする問題点
西独国特許第３５４３９０６号明細書によって、請求項
１の上位収金に記載の前送り装置を用いて走査線に沿っ
て表面の形状を測定する装置が公知である。その際前送
り装置は長さ測定走査子の値を距離に合わせて記録する
発生器を有している。案内エラーを取り除く手段は設け
られていない。
１の上位収金に記載の前送り装置を用いて走査線に沿っ
て表面の形状を測定する装置が公知である。その際前送
り装置は長さ測定走査子の値を距離に合わせて記録する
発生器を有している。案内エラーを取り除く手段は設け
られていない。
本発明の課題は、機械的な前送り装置の案内エラーによ
って生じる誤差に関連して測定された値を完全に補正す
ることができる、胃−頭に述べた形式の前送り装置を提
供する三七である。
って生じる誤差に関連して測定された値を完全に補正す
ることができる、胃−頭に述べた形式の前送り装置を提
供する三七である。
更に本発明の課題は、一般に案内工２−を考慮した補正
方法を提供することである。
方法を提供することである。
問題点を解決するための手段
この課題は、本発明によれば請求項１の特徴部分に記載
の構成によって解決される。もう１つの課題は、請求項
２の特徴部分に記載の構成によって解決される。
の構成によって解決される。もう１つの課題は、請求項
２の特徴部分に記載の構成によって解決される。
発明の作用
本発明の基本思想は、決して回避しえない案内エラーを
距離に依存して検出しかつ記憶して、後に工作物の表面
の測定の際に前記案内エラーを距離に合わせて測定電圧
に付は加えて、これにより案内により生じる測定誤差を
完全に取り除くようにした点にある。
距離に依存して検出しかつ記憶して、後に工作物の表面
の測定の際に前記案内エラーを距離に合わせて測定電圧
に付は加えて、これにより案内により生じる測定誤差を
完全に取り除くようにした点にある。
実施例
次に本発明を図示の実施例につき図面を用いて詳細に説
明する。
明する。
前送り装置ｌはロッド２を有している。ロッドは矢印３
によって示されているＸ方向を移動可能に案内されかつ
図示されていない駆動手段によって移動可能である。ロ
ッド２には前送り装置ｌ内において更に距離発生器が対
応して設けられている。距離発生器は線４を介して距離
に依存した信号を送出し、それは線５を介して補正値メ
モリ６、有利にはデジタル補正値メモリに供給される。
によって示されているＸ方向を移動可能に案内されかつ
図示されていない駆動手段によって移動可能である。ロ
ッド２には前送り装置ｌ内において更に距離発生器が対
応して設けられている。距離発生器は線４を介して距離
に依存した信号を送出し、それは線５を介して補正値メ
モリ６、有利にはデジタル補正値メモリに供給される。
ロッド２の外側の端部に、測定走査子８に対する保持体
７が設けられている。この保持体は回転支承体９を中心
に旋回可能ｉｉ測定アーム１０を有しており、この測定
アームの端部には、標準部材１３の理想的な表面１２、
有利には平坦なガラスから成る表面上に載置される尖端
を有するフイーラ１１を有している。
７が設けられている。この保持体は回転支承体９を中心
に旋回可能ｉｉ測定アーム１０を有しており、この測定
アームの端部には、標準部材１３の理想的な表面１２、
有利には平坦なガラスから成る表面上に載置される尖端
を有するフイーラ１１を有している。
測定走査子８は線１４を介して測定信号、通例は測定電
圧を送出する。測定信号はフィー２１１の運動に相応し
かつスイッチＩ５を介して、このスイッチが閉成されて
いるとき、補正値メモリ６に供給可能である。
圧を送出する。測定信号はフィー２１１の運動に相応し
かつスイッチＩ５を介して、このスイッチが閉成されて
いるとき、補正値メモリ６に供給可能である。
更に線１４は加算装置１７の加算入力側１６に導かれて
いる。加算装置の別の加算入力側１８には線１９を介し
て補正値メモリ１６から補正信号が距離に合わせて供給
される。
いる。加算装置の別の加算入力側１８には線１９を介し
て補正値メモリ１６から補正信号が距離に合わせて供給
される。
図示の装置の使用に際してまず図示のように、理想的な
表面を有する標準部材１３がフィーラ１１の下方に送ら
れかつそれからスイッチ１５が閉じられて測定シーケン
スが実行され、その結果補正値メモリ６に距離に合わせ
て、線１４に送出された、測定走査子８の測定電圧が記
憶される０表面１２が実際に理想的であるか、またはそ
れに非常に近いものであることから出発すれば、結果的
に補正値メモリ６に記憶された値はロッド２の案内エラ
ーにのみ基づいたものである。ところで実際の工作物の
表面を検査すべきときは、工作物の表面がフィーラ１１
の下方に送られかつ走査シーケンスが実行されるが、そ
の間はスイッチ１５は開放状態にする。
表面を有する標準部材１３がフィーラ１１の下方に送ら
れかつそれからスイッチ１５が閉じられて測定シーケン
スが実行され、その結果補正値メモリ６に距離に合わせ
て、線１４に送出された、測定走査子８の測定電圧が記
憶される０表面１２が実際に理想的であるか、またはそ
れに非常に近いものであることから出発すれば、結果的
に補正値メモリ６に記憶された値はロッド２の案内エラ
ーにのみ基づいたものである。ところで実際の工作物の
表面を検査すべきときは、工作物の表面がフィーラ１１
の下方に送られかつ走査シーケンスが実行されるが、そ
の間はスイッチ１５は開放状態にする。
この場合前送り装置ｌの距離発生器が線４および５を介
して、補正値メモリ６から補正値の距離に合わせた供給
を制御する。その際補正値は線１９を介して加算入力側
１８に供給され、別の加算入力側１６には、工作物の測
定された表面から到来する、測定走査子からの測定信号
が供給される。従って加算装置１７の出力線２０には、
ロッド２の機械的な案内エラーによって生じる電気的な
誤差が取り除かれた測定信号が現れる。
して、補正値メモリ６から補正値の距離に合わせた供給
を制御する。その際補正値は線１９を介して加算入力側
１８に供給され、別の加算入力側１６には、工作物の測
定された表面から到来する、測定走査子からの測定信号
が供給される。従って加算装置１７の出力線２０には、
ロッド２の機械的な案内エラーによって生じる電気的な
誤差が取り除かれた測定信号が現れる。
本発明でもそのように行われている、測定信号の距離に
合わせた処理および記憶は一般に知られた技術であり、
例えば冒頭に述べた西独国特許第３５４３９０６号明細
書に記載されている。
合わせた処理および記憶は一般に知られた技術であり、
例えば冒頭に述べた西独国特許第３５４３９０６号明細
書に記載されている。
発明の効果
本発明によれば、案内エラーが距離に依存して予め補正
値メモリに記憶されており、後の測定の際に測定信号に
補正がなされるように加えられて、案内エラーが原因で
生じる測定誤差が取り除かれるので、案内の精度に課せ
られる要求は低減されるという利点が生じる。
値メモリに記憶されており、後の測定の際に測定信号に
補正がなされるように加えられて、案内エラーが原因で
生じる測定誤差が取り除かれるので、案内の精度に課せ
られる要求は低減されるという利点が生じる。
第１図は本発明の長さ測定走査子の直線運動前送り装置
の実施例の概略図である。
の実施例の概略図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ガイド内を移動可能に保持されておりかつ駆動装置
に接続されておりかつ長さ測定走査子に対する保持体並
びに距離発生器を有しているロッドを備え、前記距離発
生器は前記ロッドの移動位置に依存した信号を送出する
、走査線に沿って表面の形状を走査検出するための長さ
測定走査子を直線運動するための前送り装置において、 前記距離発生器に接続されておりかつ長さ測定走査子（
８）に接続可能である補正値メモリ（６）を備え、該補
正値メモリは、前記保持体（７）、従って前記長さ測定
走査子（８）の軌道の、直線からのずれの値を前記保持
体（７）の移動位置に依存して記憶し、かつ前記距離発
生器に接続されている加算装置（１７）を備え、該加算
装置の一方の加算入力側（１８）に前記補正値メモリ（
６）が接続されているかまたは接続可能であり、他方の
加算入力側（１６）に前記保持体（７）によって保持さ
れた長さ測定走査子（８）が接続されているかまたは接
続可能でありかつ前記加算装置は、該加算装置の出力側
において前記長さ測定走査子（８）の前記ずれが取り除
かれた値が取り出し可能であるように、前記ずれの値を
、長さ測定走査子（８）の長さ値が補正される方向にお
いて極性正しく前記長さ測定値に位置に依存して付加す
ることを特徴とする長さ測定走査子の直線運動前送り装
置。 ２、前送り装置を用いて走査線に沿って工作物の表面の
形状を走査検出する方法において、まず理想的に平坦な
表面を有する工作物を 走査し、かつその際測定された表面値を距離に依存して
記憶し、かつそれから工作物の表面を走査しかつその際
測定された表面値を距離に合わせて、距離に依存して記
憶された値によって補正することを特徴とする工作物の
表面の形状を走査検出する方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3826195.2 | 1988-08-02 | ||
| DE19883826195 DE3826195A1 (de) | 1988-08-02 | 1988-08-02 | Vorschubgeraet zur linearen bewegung eines laengenmesstasters sowie verfahren zur abtastung der gestalt einer oberflaeche eines werkstuecks |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0275905A true JPH0275905A (ja) | 1990-03-15 |
Family
ID=6360066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19812189A Pending JPH0275905A (ja) | 1988-08-02 | 1989-08-01 | 長さ測定走査子の直線運動前送り装置および工作物の表面の形状の走査検出方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0365747B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0275905A (ja) |
| DE (1) | DE3826195A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6546640B2 (en) | 2000-01-18 | 2003-04-15 | Mitutoyo Corporation | Traverse linearity compensation method and rotational accuracy compensation method of measuring device |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4228904A1 (de) * | 1992-08-29 | 1994-03-03 | Heidelberger Druckmasch Ag | Verfahren zum Prüfen von Druckformen vor dem Druck |
| CZ306949B6 (cs) * | 2016-10-14 | 2017-10-04 | VOJTECHHOUSE s.r.o. | Zařízení pro kontrolu přesnosti tyčového materiálu |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5975112A (ja) * | 1982-10-22 | 1984-04-27 | Nippon Steel Corp | 産業用ロボツトによる寸法形状測定装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3555254A (en) * | 1967-04-17 | 1971-01-12 | Gerber Scientific Instr Co | Error correcting system and method for use with plotters, machine tools and the like |
| DE3150977A1 (de) * | 1981-12-23 | 1983-06-30 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Verfahren und einrichtung zur ermittlung und korrektur von fuehrungsfehlern |
| DE3205894A1 (de) * | 1982-02-18 | 1983-08-25 | Hydril Co., Los Angeles, Calif. | Messsystem und -verfahren |
| DE3543906A1 (de) * | 1985-12-12 | 1987-06-25 | Hommelwerke Gmbh | Einrichtung zur messung der gestalt einer oberflaeche entlang einer abtastlinie |
| US4831549A (en) * | 1987-07-28 | 1989-05-16 | Brigham Young University | Device and method for correction of robot inaccuracy |
-
1988
- 1988-08-02 DE DE19883826195 patent/DE3826195A1/de active Granted
-
1989
- 1989-06-30 EP EP19890111890 patent/EP0365747B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1989-08-01 JP JP19812189A patent/JPH0275905A/ja active Pending
Patent Citations (1)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0365747B1 (de) | 1991-10-16 |
| DE3826195C2 (ja) | 1993-04-01 |
| DE3826195A1 (de) | 1990-02-15 |
| EP0365747A1 (de) | 1990-05-02 |
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