JPH0277672U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0277672U JPH0277672U JP15612088U JP15612088U JPH0277672U JP H0277672 U JPH0277672 U JP H0277672U JP 15612088 U JP15612088 U JP 15612088U JP 15612088 U JP15612088 U JP 15612088U JP H0277672 U JPH0277672 U JP H0277672U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- opening
- trimming device
- probe
- slide mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 20
- 238000009966 trimming Methods 0.000 claims 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
第１図は、本考案の第一の実施例を示す斜視図
、第２図は、同実施例の一部分解斜視図、第３図
は、本考案の第二の実施例を示す斜視図、第４図
は、プローブカードの搭載マウントの一例を示す
平面図である。 １……プローブカードの板状体、２……プロー
ブカードの開口部、３……プローブピン、５……
プローブカードの搭載マウント、１０……プロー
ブカード。
、第２図は、同実施例の一部分解斜視図、第３図
は、本考案の第二の実施例を示す斜視図、第４図
は、プローブカードの搭載マウントの一例を示す
平面図である。 １……プローブカードの板状体、２……プロー
ブカードの開口部、３……プローブピン、５……
プローブカードの搭載マウント、１０……プロー
ブカード。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 中央にレーザ通過用の開口部が設けられた
板状体の上記開口部の周囲から開口部の中に向け
て弾性を有するプローブピンが突設されたプロー
ブカードを、トリミング装置に取り付ける装置に
おいて、プローブカードが、トリミング装置に対
してプローブカードの厚み方向にスライド自在な
スライド機構を介してトリミング装置に取り付け
られ、上記スライド機構にプローブカードを微調
整可能にスライドさせる調整機構が設けられたこ
とを特徴とするプローブカード取付装置。 (2) 中央にレーザ通過用の開口部が設けられた
板状体の上記開口部の周囲から開口部の中に向け
て弾性を有するプローブピンが突設されたプロー
ブカードを、トリミング装置に取り付ける装置に
おいて、プローブカードが、トリミング装置に対
してプローブカードの厚み方向にスライド自在な
スライド機構を介してトリミング装置に取り付け
られ、上記スライド機構にプローブカードを微調
整可能にスライドさせる調整機構と、上記トリミ
ング装置に対するプローブカードの変位量を表示
する手段とが設けられたことを特徴とするプロー
ブカード取付装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988156120U JPH0611465Y2 (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 | プローブカード取付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988156120U JPH0611465Y2 (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 | プローブカード取付装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0277672U true JPH0277672U (ja) | 1990-06-14 |
| JPH0611465Y2 JPH0611465Y2 (ja) | 1994-03-23 |
Family
ID=31434366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988156120U Expired - Lifetime JPH0611465Y2 (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 | プローブカード取付装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0611465Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6364036U (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-27 |
-
1988
- 1988-11-30 JP JP1988156120U patent/JPH0611465Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6364036U (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-27 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0611465Y2 (ja) | 1994-03-23 |
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