JPS6364036U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6364036U JPS6364036U JP15685386U JP15685386U JPS6364036U JP S6364036 U JPS6364036 U JP S6364036U JP 15685386 U JP15685386 U JP 15685386U JP 15685386 U JP15685386 U JP 15685386U JP S6364036 U JPS6364036 U JP S6364036U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- detection means
- wafer
- continuity
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案ウエハプロービングマシンの模
式図、第２図は本考案によるプローブ針のバラツ
キを見るときの模式図、第３図はプローブ針のバ
ラツキを表示したときの模式図、第４図はプロー
ブ針のバラツキを検出するときの流れ図、第５図
は従来のウエハプロービングマシンの動作を示す
模式図である。 １……ウエハプロービングマシン、２……マイ
クロコンピユータ、３……測定系、４……ステー
ジ、５……ウエハ、６……ステージ駆動系、７…
…プローブボード、８……プローブ針、９……モ
ータ駆動回路、１０……ステツプモータ。
式図、第２図は本考案によるプローブ針のバラツ
キを見るときの模式図、第３図はプローブ針のバ
ラツキを表示したときの模式図、第４図はプロー
ブ針のバラツキを検出するときの流れ図、第５図
は従来のウエハプロービングマシンの動作を示す
模式図である。 １……ウエハプロービングマシン、２……マイ
クロコンピユータ、３……測定系、４……ステー
ジ、５……ウエハ、６……ステージ駆動系、７…
…プローブボード、８……プローブ針、９……モ
ータ駆動回路、１０……ステツプモータ。
Claims (1)
- ステージ上に配置されたウエハ上にプローブボ
ードに取り付けられたプローブ針を接触させ、電
気信号を与えて種々の特性試験を行うウエハブロ
ービングマシンにおいて、プローブ針のバラツキ
検査時ステージ上に配置される導体薄板と、上記
プローブボード及びステージの間隔をステツプ毎
に調整する位置調整機構と、各プローブ針と導体
薄板との導通を検知する導通検知手段と、上記位
置調整手段及び導通検知手段からの信号によりプ
ローブ針のバラツキを検出するバラツキ検出手段
と、を有して成るウエハプロービングマシン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15685386U JPS6364036U (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15685386U JPS6364036U (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6364036U true JPS6364036U (ja) | 1988-04-27 |
Family
ID=31078863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15685386U Pending JPS6364036U (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6364036U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0277672U (ja) * | 1988-11-30 | 1990-06-14 |
-
1986
- 1986-10-14 JP JP15685386U patent/JPS6364036U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0277672U (ja) * | 1988-11-30 | 1990-06-14 |