JPH0611465Y2 - プローブカード取付装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、混成集積回路基板の薄膜抵抗体の抵抗値を調
整する抵抗トリミング装置に、プローブカードを取り付
ける装置に関する。

［従来の技術］ 例えば、混成集積回路基板上に形成された厚膜抵抗体に
レーザを照射して、上記厚膜抵抗体をトリミングし、そ
の抵抗値を調整する抵抗トリミング装置が従来から使用
されている。このトリミング装置は、抵抗値の測定手
段、同手段での抵抗値測定のため、集積回路上の所定の
電極との接触をとる手段、及び上記測定手段で測定され
た抵抗値をもとに、厚膜抵抗体にレーザを照射する手段
を備える。そして、上記集積回路上の所定の電極との接
触をとる手段としては、一般にプローブカードと呼ばれ
る接点集合体が使用される。

このプローブカードは、第１図〜第４図に示されたよう
に、中央にレーザ通過用の開口部２を有する板状体１
と、上記開口部２の周囲から開口部２の中に突設された
プローブピン３、３…とからなる。図示されてはない
が、このプローブピン３、３…は、上記開口部２の周囲
に設けられた電極に接続され、この電極は板状体１に印
刷された配線導体を介して板状体１の一辺に配列された
電極端子に接続され、さらに、同辺に差し込まれたコネ
クタ４を介して図示されてない抵抗測定器に接続され
る。

従来、トリミング装置にこのプローブカード１０を取り
付けるため、第４図に示すようなプローブカード搭載マ
ウント５が用いられていた。この搭載マウント５は、プ
ローブカード１０のレーザ通過用の開口部２を塞がない
よう、先端側が二股状に開いており、その基端側には、
ネジ等の固定手段でトリミング装置に固着するための切
欠部６、６が設けられている。第４図では、搭載マウン
ト５にプローブカード１０を取り付けた状態の平面図が
示されており、このプローブカード１０は、Ｘ方向調整
ネジ７で第４図における左右の位置を、Ｙ方向調整ネジ
８で第４図における上下の位置を、Ｚ方向調整ネジ９で
第４図における紙面前後の位置を各々調整した後、ロッ
クネジ１４でその位置が固定される。

このプローブカード１０は、上記搭載マウント５を介し
て、一定の間隔を上下に往復するトリミング装置のプロ
ーブカード取付部に取り付けられる。そして、この状態
でプローブカード１０の真下に回路基板ｂを配置し、プ
ローブカード１０を降下させ、上記回路基板ｂの所定の
電極にプローブピン３、３…の先端を接触させる。これ
により、上記電極の間で抵抗値を測定しながら、その電
極の間に形成された厚膜抵抗体にレーザを照射してトリ
ミングし、その抵抗値を調整する。その後、プローブカ
ード１０を上昇させた後、調整済みの回路基板ｂをその
下から待避させ、次いで未調整の新たな回路基板をプロ
ーブカード１０の下に配置し、以下、上記の動作を繰り
返す。

このプローブカード１０におけるプローブピン３、３…
の配置は、厚膜抵抗体のトリミングを行なおうとする回
路基板特有のもので、トリミングしようとする回路基板
の種類を替えるときは、プローブカード１０もこれに応
じて交換する必要がある。

上記トリミング操作に際して、プローブピン３、３…
は、その先端が弾力的に電極に接触するが、このような
動作により、回路基板ｂ上の薄膜抵抗体の抵抗値の調整
を繰り返していると、上記プローブカード１０の取付位
置の上下へのずれや、プローブピン３、３…の僅かな変
形等により、プローブピンを常に同じ移動量で上下させ
ても、プローブピン３、３…の回路基板ｂの電極に対す
る接触圧が次第に違ってくる場合が多々ある。そうする
と、測定装置での抵抗測定値に誤差が生じ、これがトリ
ミング誤差を発生させる原因となる。

このようなトリミング誤差を防止するためには、プロー
ブカード１０のトリミング装置における上下の取付位置
を適宜調整し、回路基板へ向けてのストロークの原点位
置を若干変更することが必要である。従来では、この原
点位置の調整を上記搭載マウント５のＺ方向調整ネジ９
により行なっていた。また、この原点位置の調整は、プ
ローブカード１０を交換したときも同様にして行なわれ
る。

［考案が解決しようとする課題］ しかしながら、上記Ｚ位置調整ネジ９、９によるプロー
ブカード１０のストロークの原点位置の調整は、ロック
ネジ１４、１４を一旦緩めてからＺ位置調整ネジ９、９
により調整し、さらにロックネジ１４、１４を締め付け
て固定するという面倒な操作が必要であり、随時調整す
る訳にはいかない。さらに、ロックネジ１４、１４を緩
めた時と締め付けた時とで、プローブカード１０の取付
位置に微妙な変動が生じることがあり、上記Ｚ位置調整
ネジ９、９では、正確な調整が困難であった。

本考案は、上記従来のプローブカードの原点位置調整手
段の問題点に鑑み、プローブカードと回路基板との相対
的なストロークの原点位置の微調整が随時簡単に行える
プローブカードの取付装置を提供することを目的とす
る。

［課題を解決するための手段］ すなわち、上記目的を達成するため、本考案は、第一
に、中央にレーザ通過用の開口部が設けられた板状体の
上記開口部の周囲から開口部の中に向けて弾性を有する
プローブピンが突設されたプローブカードを、回路基板
に対して相対的に接近及び離間させるトリミング装置に
取り付ける装置において、プローブカードが、その回路
基板へ向けてのストロークの方向にスライド可能なスラ
イド機構を介してトリミング装置の取付部に取り付けら
れ、上記スライド機構に上記ストロークの方向の位置を
微調整可能にスライドさせる調整機構が設けられたこと
を特徴とするプローブカード取付装置を提供する。

さらに第二に、中央にレーザ通過用の開口部が設けられ
た板状体の上記開口部の周囲から開口部の中に向けて弾
性を有するプローブピンが突設されたプローブカード
を、回路基板に対して相対的に接近及び離間させるトリ
ミング装置に取り付ける装置において、プローブカード
が、その回路基板へ向けてのストロークの方向にスライ
ド可能なスライド機構を介してトリミング装置の取付部
に取り付けられ、上記スライド機構に上記ストロークの
方向の位置を微調整可能にスライドさせる調整機構と、
上記プローブカードの変位量を表示する手段とが設けら
れたことを特徴とするプローブカード取付装置を提供す
る。

［作用］ 上記プローブカード取付装置によれば、プローブカード
が、その回路基板へ向けてのストロークの方向にスライ
ド自在なスライド機構を介してトリミング装置の取付部
に取り付けられていることから、このスライド機能に設
けられた調整機構により、プローブカードのトリミング
装置への取付装置を若干移動させて、その回路基板との
相対的ストロークの起点となる原点位置を調整すること
ができる。

さらに、第二の手段のプローブカード取付装置によれ
ば、上記スライド機構によりスライドするプローブカー
ドの変位量を表示する手段が、プローブカードの取付位
置のずれや必要な調整量を示するため、プルーブカード
のストロークの起点となる原点位置の調整がより容易に
なる。

［実施例］ 以下、図面を参照しながら、本考案の実施例について具
体的に説明する。

まず、第１図と第２図に示す実施例について説明する
と、この実施例では、スライド機構として、トリミング
装置の取付部ａに固定された固定ブロック１１と、プロ
ーブカード１０を保持した移動ブロック１２とがスライ
ドする機構が採用されている。すなわち、トリミング装
置の取付部ａに上記固定ブロック１１が固定されると共
に、この固定ブロック１１の上下方向に形成された台形
の溝に、移動ブロック１２が嵌め込まれ、上下にスライ
ド自在となっている。さらに、この移動ブロック１２に
は、ネジ等の固着手段により、プローブカード１０を搭
載するマウント５が固定されている。上記移動ブロック
１２は、ロックハンドル２２の操作により、固定ブロッ
ク１１に対してロックし、あるいはそのロックの解除を
行なうことができる。

搭載マウント５は、先端が開いた二股状となっており、
この中央にネジ１３、１３…を用いてプローブカード１
０を搭載し、固定することにより、プローブカード１０
の開口部２を閉じることなく同カード１０を取り付ける
ことができる。

このプローブカード１０の上に搭載されたプローブカー
ド１０のプローブピン３、３…は、コネクタ４を介して
トリミング装置の図示されてない計測器に接続される。

上記固定ブロック１１から下方に第一の軸受１５が突設
され、さらにこの第一の軸受１５から水平に第二の軸受
１６が突設されている。上記第一の軸受には、両端にハ
ンドル１７と斜歯々車１８を各々固着した操作軸１９が
回転自在に支持され、上記第二の軸受１６には、下端に
斜歯々車２０が固着された昇降軸２１が回転自在に支持
されており、上記斜歯々車１８、２０は、互いに噛み合
っている。さらに、この昇降軸２１の上端側は、上記移
動ブロック１２にねじにより連結されている。

上記ロックハンドル２２により、移動ブロック１２のロ
ックを解除し、この状態でハンドル１７を回転させる
と、その回転が斜歯々車１８、２０を介して昇降軸２１
に伝達され、この回転により移動ブロック１２が固定ブ
ロック１１に対して上下に移動する。この移動ブロック
１２の移動は、昇降軸２１のネジのリードに従ってなさ
れ、昇降軸２１の１回転により、そのネジの１ピッチ分
昇降する。よって、ハンドル１７の操作により、移動ブ
ロック１２を上下に微調整できる。調整後、ロックハン
ドル２２により、移動ブロック１２をその位置でロック
することができる。

この移動ブロック１２の取付部ａに対する上下の取付位
置を微調整することにより、回路基板ｂとプローブカー
ド１０との相対的な接近及び離間のストロークの起点と
なるプローブカード１０のトリミング装置への取付位置
が調整される。従って、回路基板ｂとプローブカード１
０とをそれまでと同じストロークで接近及び離間させれ
ば、プローブピン３の先端の回路基板ｂへの接触圧が変
化する。これにより、プローブピン３の先端の回路基板
ｂへの接触圧が調整できる。

次に、第３図の実施例について説明すると、この実施例
では、トリミング装置の取付部ａに対する固定ブロック
１１の上下方向の取付位置の変位量を表示するため、ダ
イヤルゲージ２３を用いている。すなわち、固定ブロッ
ク１１から突設したブラケット２６にダイヤルゲージ２
３を固定すると共に、可動ブロック１２からその磐面と
平行に基準板２４を延設し、これに上記ダイアルゲージ
２３のスピンドル２５の先端測定子を当てている。な
お、上記固定ブロック１１のブラケット２６に固定され
たダイヤルゲージ２３は、その原点位置が適宜調整でき
るようにする。

これにより、上記ハンドル１７の操作により、搭載マウ
ント５に搭載されたプローブカード１０を上下させる
と、その上下量に応じてダイヤルゲージ２４の目盛りが
振れる。

この装置において、上記プローブカード１０の適当な取
付位置を調整し、そこでダイヤルゲージ２４の目盛りを
「０」に合わせて基準位置としておけば、プローブカー
ド１０と回路基板ｂとをを繰り返し接近及び離間させる
ストロークで生じたプローブカード１０の上下のズレ
を、ダイヤルゲージ２５の目盛りで数量的に読みとるこ
とができる。そして、この読みとった目盛りにより、例
えばダイヤルゲージ２５の目盛りが再び０になるよう
に、ハンドル１７の操作で調整すれば、上記ストローク
の起点となるプローブカード１０の取付位置を再び元の
位置に戻すことができる。

なお、以上の各実施例において、調整機構は、歯車とネ
ジ機構との組合せによらず、例えばラクピニオン機構、
カム機構、クロスローラーガイド機構、ボールブッシュ
機構、油圧シリンダ等によることも可能であり、何れの
場合も上記実施例と同等の作用、効果を奏する。上記第
二の実施例において用いたダイヤルゲージ２５について
も、これに代えて、ノギス等のスケール類やエンコーダ
等の電気的表示手段を用いてもやはり同様である。さら
に、上記各実施例において、プローブカード１０の搭載
マウント５には、第４図に比べて簡易な搭載機構が採用
されているが、第４図で示す搭載マウント５をそのまま
用いることができるのは言うまでもない。

［考案の効果］ 以上説明した通り、本考案によれば、トリミング装置の
取付部に取り付けて用いるプローブカードと回路基板と
の接近及び離間のストロークの原点となるトリミング装
置へのプローブカードの取付位置を簡便に調整できると
いう効果である。特に、第二の手段による場合は、調整
すべき量が数量的に把握でき、簡便なうえに正確な調整
が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の第一の実施例を示す斜視図、第２図
は、同実施例の一部分解斜視図、第３図は、本考案の第
二の実施例を示す斜視図、第４図は、プローブカードの
搭載マウントの一例を示す平面図である。 １…プローブカードの板状体、２…プローブカードの開
口部、３…プローブピン、５…プローブカードの搭載マ
ウント、１０…プローブカード

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】中央にレーザ通過用の開口部が設けられた
   板状体の上記開口部の周囲から開口部の中に向けて弾性
   を有するプローブピンが突設されたプローブカードを、
   回路基板に対して相対的に接近及び離間させるトリミン
   グ装置に取り付ける装置において、プローブカードが、
   その回路基板へ向けてのストロークの方向にスライド可
   能なスライド機構を介してトリミング装置の取付部に取
   り付けられ、上記スライド機構に上記ストロークの方向
   の位置を微調整可能にスライドさせる調整機構が設けら
   れたことを特徴とするプローブカード取付装置。
2. 【請求項２】中央にレーザ通過用の開口部が設けられた
   板状体の上記開口部の周囲から開口部の中に向けて弾性
   を有するプローブピンが突設されたプローブカードを、
   回路基板に対して相対的に接近及び離間させるトリミン
   グ装置に取り付ける装置において、プローブカードが、
   その回路基板へ向けてのストロークの方向にスライド可
   能なスライド機構を介してトリミング装置の取付部に取
   り付けられ、上記スライド機構に上記ストロークの方向
   の位置を微調整可能にスライドさせる調整機構と、上記
   プローブカードの変位量を表示する手段とが設けられた
   ことを特徴とするプローブカード取付装置。