JPH02810Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02810Y2 JPH02810Y2 JP1984158118U JP15811884U JPH02810Y2 JP H02810 Y2 JPH02810 Y2 JP H02810Y2 JP 1984158118 U JP1984158118 U JP 1984158118U JP 15811884 U JP15811884 U JP 15811884U JP H02810 Y2 JPH02810 Y2 JP H02810Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microwave
- metal mesh
- mesh plate
- source device
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この考案はマイクロ波放電を利用したマイクロ
波放電光源装置に関するものである。
波放電光源装置に関するものである。
第３，４図は例えば特開昭58−194242号公報に
示された従来のマイクロ波放電光源装置の断面図
および金属メツシユ板の拡大図であり、図におい
て、１はマイクロ波を発生するマグネトロン、２
はマグネトロンアンテナ、３はマイクロ波を伝送
する導波管、４は光反射面を兼ねたマイクロ波空
胴壁、５は光は透過するがマイクロ波は反射する
光透過性部材からなる金属メツシユ板で、固定リ
ング６とねじ７とで空胴壁４の開口部に取付けら
れ、上記空胴壁４と金属メツシユ板５とによりマ
イクロ波共振空胴８が形成される。９はこの空胴
８内に支持棒１０を介して配設された無電極放電
ランプ、１１は空胴壁４の一部にあけられたマイ
クロ波の給電口、１２は金属メツシユ板５より外
部へ放射される光を被照射面に集光させるレンズ
である。
示された従来のマイクロ波放電光源装置の断面図
および金属メツシユ板の拡大図であり、図におい
て、１はマイクロ波を発生するマグネトロン、２
はマグネトロンアンテナ、３はマイクロ波を伝送
する導波管、４は光反射面を兼ねたマイクロ波空
胴壁、５は光は透過するがマイクロ波は反射する
光透過性部材からなる金属メツシユ板で、固定リ
ング６とねじ７とで空胴壁４の開口部に取付けら
れ、上記空胴壁４と金属メツシユ板５とによりマ
イクロ波共振空胴８が形成される。９はこの空胴
８内に支持棒１０を介して配設された無電極放電
ランプ、１１は空胴壁４の一部にあけられたマイ
クロ波の給電口、１２は金属メツシユ板５より外
部へ放射される光を被照射面に集光させるレンズ
である。
従来のマイクロ波放電光源装置は上記のように
構成され、マグネトロン１から発振されたマイク
ロ波はアンテナ２より導波管３を経て給電口１１
からマイクロ波空胴８内に放射される。これによ
つて空胴８内にマイクロ波電磁界が生じ、無電極
放電ランプ９内に封入されたガスや金属蒸気が放
電し発光する。そしてこの光はランプ９から直接
あるいは空胴壁４で反射されて金属メツシユ板５
を通過して放射される。金属メツシユ板５は第４
図に示すように格子形状を有し、例えば開口率が
大きくなるとマイクロ波の洩れや損失が大きくな
つて空胴８の役目が低下し、逆に開口率が小さく
なると光の透過率が低くなるため開口率は60〜95
％に設定し、かつメツシユ板の厚みも比較的薄い
ものを使用している。また、メツシユ板５のピツ
チwpおよび素線幅wsは均一である。一方、第５
図は特願昭59−39980号明細書に示されたマイク
ロ波放電光源装置を示すもので、この場合はマイ
クロ波空胴８を形成する空胴壁４の大部分を金属
メツシユ板５で形成したもので、この装置の動作
は第３図の場合と同様であるが、ランプ９からの
光は光反射板１３によつて反射されて被照射面を
照明するようになる。
構成され、マグネトロン１から発振されたマイク
ロ波はアンテナ２より導波管３を経て給電口１１
からマイクロ波空胴８内に放射される。これによ
つて空胴８内にマイクロ波電磁界が生じ、無電極
放電ランプ９内に封入されたガスや金属蒸気が放
電し発光する。そしてこの光はランプ９から直接
あるいは空胴壁４で反射されて金属メツシユ板５
を通過して放射される。金属メツシユ板５は第４
図に示すように格子形状を有し、例えば開口率が
大きくなるとマイクロ波の洩れや損失が大きくな
つて空胴８の役目が低下し、逆に開口率が小さく
なると光の透過率が低くなるため開口率は60〜95
％に設定し、かつメツシユ板の厚みも比較的薄い
ものを使用している。また、メツシユ板５のピツ
チwpおよび素線幅wsは均一である。一方、第５
図は特願昭59−39980号明細書に示されたマイク
ロ波放電光源装置を示すもので、この場合はマイ
クロ波空胴８を形成する空胴壁４の大部分を金属
メツシユ板５で形成したもので、この装置の動作
は第３図の場合と同様であるが、ランプ９からの
光は光反射板１３によつて反射されて被照射面を
照明するようになる。
上記のような従来のマイクロ波放電光源装置で
は、特に第５図に示すような金属メツシユ板は素
線幅が細く、しかも肉厚が薄いために機械的強度
が弱く、外圧に対して変形しやすくマイクロ波空
胴としての役目を果たさなくなる問題点があつ
た。
は、特に第５図に示すような金属メツシユ板は素
線幅が細く、しかも肉厚が薄いために機械的強度
が弱く、外圧に対して変形しやすくマイクロ波空
胴としての役目を果たさなくなる問題点があつ
た。
この考案は、かかる問題点を解決するためにな
されたもので、光透過性を低下させることなく機
械的強度を向上させ、外圧に対して変形しないマ
イクロ波空胴壁を有するマイクロ波放電光源装置
を得ることを目的とする。
されたもので、光透過性を低下させることなく機
械的強度を向上させ、外圧に対して変形しないマ
イクロ波空胴壁を有するマイクロ波放電光源装置
を得ることを目的とする。
この考案に係るマイクロ波放電光源装置は、金
属メツシユ板が等間隔に入れられた太い素線を含
んで形成されていることを特徴とする。
属メツシユ板が等間隔に入れられた太い素線を含
んで形成されていることを特徴とする。
この考案においては、金属メツシユ板が等間隔
毎に太い素線を入れて形成されているので、マイ
クロ波の表層電流による細い素線の部分の熱的変
形が均一化され、メツシユに加わる応力が均等に
なる。
毎に太い素線を入れて形成されているので、マイ
クロ波の表層電流による細い素線の部分の熱的変
形が均一化され、メツシユに加わる応力が均等に
なる。
第１，２図はこの考案の一実施例を示すマイク
ロ波放電光源装置の空胴壁の斜視図および金属メ
ツシユ板の拡大図で、マイクロ波空胴壁４は側面
金属メツシユ板５ａ、天面金属メツシユ板５ｂか
らなり、１４は取付孔１４ａを有する反射板（図
示せず）への取付けフランジ、１５は空胴壁４の
製造の際の位置決めおよび機械的強度を補強する
金属リングであり、金属メツシユ板５ａ，５ｂの
端は縁取り代１６が設けてある。
ロ波放電光源装置の空胴壁の斜視図および金属メ
ツシユ板の拡大図で、マイクロ波空胴壁４は側面
金属メツシユ板５ａ、天面金属メツシユ板５ｂか
らなり、１４は取付孔１４ａを有する反射板（図
示せず）への取付けフランジ、１５は空胴壁４の
製造の際の位置決めおよび機械的強度を補強する
金属リングであり、金属メツシユ板５ａ，５ｂの
端は縁取り代１６が設けてある。
金属メツシユ板５は第２図に示すように素線５
１の等間隔毎（実施例では５本毎）に幅の広い素
線、言い換えれば太い素線５２を設けている。こ
れにより、マイクロ波空胴壁４は外圧に対して変
形することなく機械的強度を高めることができ
る。
１の等間隔毎（実施例では５本毎）に幅の広い素
線、言い換えれば太い素線５２を設けている。こ
れにより、マイクロ波空胴壁４は外圧に対して変
形することなく機械的強度を高めることができ
る。
上記のように構成したマイクロ波空胴壁４は第
５図に示すマイクロ波放電光源装置に装着し使用
するもので、動作については従来のものと同様で
あるが、ランプの点灯中にマイクロ波の電流がマ
イクロ波空胴を形成する金属メツシユ板に流れる
ことを言うマイクロ波の表層電流による細い素線
の部分の熱的変形が太い素線を等間隔に入れてあ
ることで均一化される。更に、この金属メツシユ
板５は等間隔に太い素線５２を入れて形成されて
いるため、メツシユに加わる応力も均等になり機
械的強度も変形に対し強くなる。なお、実施例で
は格子状の金属メツシユ板について示したが、格
子状に限定せずその他の形状のものでも幅の広い
素線部分を設けることによつて上記同様の作用が
得られる。さらに本実施例では幅の広い素線を他
の幅の狭い素線と平行および直交に設けたものに
ついて述べたが、例えば上記の幅の広い素線が他
の幅の狭い素線と例えば45゜の角度をなすように
し、単に素線の一部を幅広の素線とするのではな
く、金属メツシユ板の補強の目的に応じ、それぞ
れ異なつた角部に設けてよいのは当然である。
５図に示すマイクロ波放電光源装置に装着し使用
するもので、動作については従来のものと同様で
あるが、ランプの点灯中にマイクロ波の電流がマ
イクロ波空胴を形成する金属メツシユ板に流れる
ことを言うマイクロ波の表層電流による細い素線
の部分の熱的変形が太い素線を等間隔に入れてあ
ることで均一化される。更に、この金属メツシユ
板５は等間隔に太い素線５２を入れて形成されて
いるため、メツシユに加わる応力も均等になり機
械的強度も変形に対し強くなる。なお、実施例で
は格子状の金属メツシユ板について示したが、格
子状に限定せずその他の形状のものでも幅の広い
素線部分を設けることによつて上記同様の作用が
得られる。さらに本実施例では幅の広い素線を他
の幅の狭い素線と平行および直交に設けたものに
ついて述べたが、例えば上記の幅の広い素線が他
の幅の狭い素線と例えば45゜の角度をなすように
し、単に素線の一部を幅広の素線とするのではな
く、金属メツシユ板の補強の目的に応じ、それぞ
れ異なつた角部に設けてよいのは当然である。
この考案は以上説明したように、金属メツシユ
板が等間隔に入れられた太い素線を含んで形成さ
れていることにより、マイクロ波の表層電流によ
る細い素線の部分の熱的変形を均一化でき、しか
も曲げ、圧縮、引張等の外圧に対して機械的強度
も向上することから、マイクロ波空胴に及ぼされ
る種々の変形を防止することができ、その結果マ
イクロ波放電光源装置に対し所望の特性および性
能を維持させることができる。
板が等間隔に入れられた太い素線を含んで形成さ
れていることにより、マイクロ波の表層電流によ
る細い素線の部分の熱的変形を均一化でき、しか
も曲げ、圧縮、引張等の外圧に対して機械的強度
も向上することから、マイクロ波空胴に及ぼされ
る種々の変形を防止することができ、その結果マ
イクロ波放電光源装置に対し所望の特性および性
能を維持させることができる。
第１図はこの考案の一実施例を示すマイクロ波
放電光源装置のマイクロ波空胴壁の斜視図、第２
図は金属メツシユ板の拡大図、第３図および第４
図は従来のマイクロ波放電光源装置の断面図と金
属メツシユ板の拡大図、第５図は従来の他のマイ
クロ波放電光源装置の図である。 １……マグネトロン、４……マイクロ波空胴
壁、５……金属メツシユ板、５１……素線、５２
……幅の広い素線部分、９……無電極放電ラン
プ。なお、図中、同一符号は同一又は相当部分を
示す。
放電光源装置のマイクロ波空胴壁の斜視図、第２
図は金属メツシユ板の拡大図、第３図および第４
図は従来のマイクロ波放電光源装置の断面図と金
属メツシユ板の拡大図、第５図は従来の他のマイ
クロ波放電光源装置の図である。 １……マグネトロン、４……マイクロ波空胴
壁、５……金属メツシユ板、５１……素線、５２
……幅の広い素線部分、９……無電極放電ラン
プ。なお、図中、同一符号は同一又は相当部分を
示す。
Claims (1)
- 少なくとも壁面の一部が光透過性部材からなる
マイクロ波空胴内に無電極放電ランプを配設した
マイクロ波放電光源装置において、上記光透過性
部材が金属メツシユ板からなり、該金属メツシユ
板が等間隔に入れられた太い素線を含んで形成さ
れていることを特徴とするマイクロ波放電光源装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984158118U JPH02810Y2 (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984158118U JPH02810Y2 (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6174996U JPS6174996U (ja) | 1986-05-21 |
| JPH02810Y2 true JPH02810Y2 (ja) | 1990-01-10 |
Family
ID=30716102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984158118U Expired JPH02810Y2 (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02810Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58194242A (ja) * | 1982-05-07 | 1983-11-12 | Mitsubishi Electric Corp | マイクロ波放電光源装置 |
-
1984
- 1984-10-19 JP JP1984158118U patent/JPH02810Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6174996U (ja) | 1986-05-21 |
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