JPH0281305A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH0281305A JPH0281305A JP23400488A JP23400488A JPH0281305A JP H0281305 A JPH0281305 A JP H0281305A JP 23400488 A JP23400488 A JP 23400488A JP 23400488 A JP23400488 A JP 23400488A JP H0281305 A JPH0281305 A JP H0281305A
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- JP
- Japan
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- magnetic
- head
- magnetic pole
- excitation coil
- film
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/17—Construction or disposition of windings
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野Ｊ
本発明は磁気記録用の磁気ヘッドの製造方法に関する。
従来の磁気ヘッドは一般に機械的加工により作られるバ
ルクヘッドと薄膜形成加工による薄膜ヘッドがある。
ルクヘッドと薄膜形成加工による薄膜ヘッドがある。
バルクヘッド、ＩＩＩＩＩヘッドはそれぞれ性能的利点
を多く有するが、加工工程が複雑で自動化が難しいため
、製造コストがかかる。
を多く有するが、加工工程が複雑で自動化が難しいため
、製造コストがかかる。
最近、情報高度化に伴いコンピユークーの出力機器であ
るプリンターに対する要求が高度化してきた０例えば、
高速印字、高速マルチコピー性、高品質印字、印字の安
定性等があげられる。
るプリンターに対する要求が高度化してきた０例えば、
高速印字、高速マルチコピー性、高品質印字、印字の安
定性等があげられる。
その状況の中注目を集めているのが磁気プリンターであ
る。磁気プリンターを高速化するためには磁気ヘッドを
複数用いることが考えられる。
る。磁気プリンターを高速化するためには磁気ヘッドを
複数用いることが考えられる。
しかしそれは磁気ヘッドの複数化により磁気プリンター
の大巾なコストアップにつながり市場に受は入られる商
品とはなりにくかった。
の大巾なコストアップにつながり市場に受は入られる商
品とはなりにくかった。
そこで、従来の磁気ブリンク−は磁気ヘッドの個数を極
力減らして磁気ドラムの回転数を上昇させることにより
高速化に対応してきた。
力減らして磁気ドラムの回転数を上昇させることにより
高速化に対応してきた。
［発明が解決しようとする課題）
しかし、上記のような磁気プリンターにおいては、フレ
ーム、シャーシ、モーター、電気等に負荷がかかるため
全体的にコスト、サイズ面でマイナス要因が上回り現在
、市場において成功はしていない、又、薄膜ヘッドにお
いてマルチヘッド化を試みてもギャップデプス等のギャ
ップ周辺部の寸法、位置精度出しが難しい。
ーム、シャーシ、モーター、電気等に負荷がかかるため
全体的にコスト、サイズ面でマイナス要因が上回り現在
、市場において成功はしていない、又、薄膜ヘッドにお
いてマルチヘッド化を試みてもギャップデプス等のギャ
ップ周辺部の寸法、位置精度出しが難しい。
そこで本発明はこのような間屈点を解決するためのもの
で、その目的とするところは、複数の磁気ヘッドを安価
に精度よく製造することを行なわせるものである。
で、その目的とするところは、複数の磁気ヘッドを安価
に精度よく製造することを行なわせるものである。
本発明の磁気ヘッドの製造方法は、記録媒体と垂直磁気
記録ヘッドの主磁極とを接触させて相対移動させること
により記録再生を行なう垂直磁気記録装置において、高
透磁率のバルク磁性体からなる主磁極に、主磁極とほぼ
同寸法に穴あけされた非磁性基板上の六回りに平面コイ
ルを形成して貼り合せたことを特徴とする。
記録ヘッドの主磁極とを接触させて相対移動させること
により記録再生を行なう垂直磁気記録装置において、高
透磁率のバルク磁性体からなる主磁極に、主磁極とほぼ
同寸法に穴あけされた非磁性基板上の六回りに平面コイ
ルを形成して貼り合せたことを特徴とする。
本発明の磁気ヘッドの製造方法は図−１〜図−３に示す
ように、磁性材料をダイシングによりカットして凹凸を
設ける。その凸部分を本ヘッドの垂直磁極部と呼ぶ。
ように、磁性材料をダイシングによりカットして凹凸を
設ける。その凸部分を本ヘッドの垂直磁極部と呼ぶ。
ここで用いられる磁性材料はアモルファス金属鉄、フェ
ライト等があげられる。
ライト等があげられる。
次に励磁コイルと絶縁体の形成を図−４〜図−５に示す
、これは、非磁性板（例λばフレキシブルフィルム）上
に所定の径（垂直磁極部の径より若干大きめの径）をプ
レスで穴あけし、その穴の回りに平面コイルを形成する
。
、これは、非磁性板（例λばフレキシブルフィルム）上
に所定の径（垂直磁極部の径より若干大きめの径）をプ
レスで穴あけし、その穴の回りに平面コイルを形成する
。
このコイル部とコイル支持体（磁性体と励磁コイルとの
絶縁体）を図−６のようにｍ性体と重ねた後、保護偵を
形成し、ヘッドを完成させる。
絶縁体）を図−６のようにｍ性体と重ねた後、保護偵を
形成し、ヘッドを完成させる。
上記のような方法によれば、バルク加工では負荷が大き
い励磁コイル部の組み上げが容易になりさらに、ｌｆｆ
！平面コイルを用いるためヘッドの小型化が可能となっ
た。さらにコイル支持体が絶縁体なのであらためて絶縁
層の形成を行なう必要がなく、低コストヘッドの製造が
可能となる利点を有する。
い励磁コイル部の組み上げが容易になりさらに、ｌｆｆ
！平面コイルを用いるためヘッドの小型化が可能となっ
た。さらにコイル支持体が絶縁体なのであらためて絶縁
層の形成を行なう必要がなく、低コストヘッドの製造が
可能となる利点を有する。
〔実施例１１
以下、本発明について実施例に基づいて詳細に説明する
。
。
フェライト材をダイシングにより所定の大きさ（厚み５
０ｕｍ）にした後、同装置で図−３に示すような形状に
カットして磁極形成をした。この時の磁極幅は５０μｍ
とした。
０ｕｍ）にした後、同装置で図−３に示すような形状に
カットして磁極形成をした。この時の磁極幅は５０μｍ
とした。
又、励磁コイル部の形成については、はじめに２５μｍ
厚のポリイミドフィルムに直径６０μｍの穴を、先に示
した磁極のピッチと同じにしてプレス打抜きした。そし
て、洗浄処理した後、Ｃｕ膿をスパッタ法で１５００Ａ
施し導電化膿とした。
厚のポリイミドフィルムに直径６０μｍの穴を、先に示
した磁極のピッチと同じにしてプレス打抜きした。そし
て、洗浄処理した後、Ｃｕ膿をスパッタ法で１５００Ａ
施し導電化膿とした。
次に図−６に示したようにフォトレジストを塗布し、仮
焼成後、選択露光、エツチング、本焼成しパターニング
した。そこに銅メツキを約５μｍ施し、逆スパツタによ
り導電化層をエツチングし励磁コイルを形成した。
焼成後、選択露光、エツチング、本焼成しパターニング
した。そこに銅メツキを約５μｍ施し、逆スパツタによ
り導電化層をエツチングし励磁コイルを形成した。
次に、図−６の通りフェライト磁極部と励磁コイルフィ
ルムを重ね、磁極をフィルムの穴に通し接着剤を流し込
みフェライトに励磁コイルフィルムを固定し、磁気ヘッ
ドを完成させた。
ルムを重ね、磁極をフィルムの穴に通し接着剤を流し込
みフェライトに励磁コイルフィルムを固定し、磁気ヘッ
ドを完成させた。
次に純鉄に非磁性ニッケルリンメツキを３０μｍ施した
後、Ｈｃ３５０エルステッド、Ｂｒ６０００ガウス、膜
厚５ｕｍのＣｏ、Ｎｉ、Ｐ強磁性体膜を形成した磁気記
録媒体により、上記磁気ヘッド書き込み評価を行なった
。書き込み評価については図−８参照、マグネットピュ
アーで潜像形成を確認した後、磁気トナーを磁気付着さ
せたところ、十分な密着性と選択性が得られることを確
認した。
後、Ｈｃ３５０エルステッド、Ｂｒ６０００ガウス、膜
厚５ｕｍのＣｏ、Ｎｉ、Ｐ強磁性体膜を形成した磁気記
録媒体により、上記磁気ヘッド書き込み評価を行なった
。書き込み評価については図−８参照、マグネットピュ
アーで潜像形成を確認した後、磁気トナーを磁気付着さ
せたところ、十分な密着性と選択性が得られることを確
認した。
【実施例２］
フェライト材をダイシングにより所定の大きさ（厚み５
０μｍ）にした後、同装置で図−３に示すような形状に
カットして磁極形成をした。この時の磁極幅は５０μｍ
とした。
０μｍ）にした後、同装置で図−３に示すような形状に
カットして磁極形成をした。この時の磁極幅は５０μｍ
とした。
又、励磁コイル部の形成については、はじめに１２．５
μｍ厚のポリイミドフィルムに１０ｕｍ厚の銅箔をラミ
ネートし、先に示した磁極のピッチと同じにしてプレス
打抜きした。
μｍ厚のポリイミドフィルムに１０ｕｍ厚の銅箔をラミ
ネートし、先に示した磁極のピッチと同じにしてプレス
打抜きした。
次に洗浄を十分行なった後、フォトレジストを塗布し、
仮焼成後、選択露光、エツチング、本焼成しバターニン
グした。
仮焼成後、選択露光、エツチング、本焼成しバターニン
グした。
次に塩化第二鉄溶液に浸漬して余分な銅箔をエツチング
して励磁コイルを形成した。
して励磁コイルを形成した。
次に、図−６の通りフェライト磁極部と励磁コイルフィ
ルムを重ね、磁極をフィルムの穴に通し接着剤を流し込
みフェライトに励磁コイルフィルムを固定し、磁気ヘッ
ドを完成させた。
ルムを重ね、磁極をフィルムの穴に通し接着剤を流し込
みフェライトに励磁コイルフィルムを固定し、磁気ヘッ
ドを完成させた。
次に純鉄に非磁性ニッケルリンメツキを３０μｍ施した
後、Ｈｃ３５０エルステッド、Ｂｒ６０００ガウス、膜
厚５ｕｍのＣｏ、Ｎｉ、Ｐ強ｍ性体膜を形成した磁気記
録媒体により、上記磁気ヘッド書き込み評価を行なった
。書き込み評価については図−８参照、マグネットピュ
アーで潜像形成を確認した後、磁気トナーを磁気付着さ
せたところ、十分な密着性と選択性が得られることを確
認した。
後、Ｈｃ３５０エルステッド、Ｂｒ６０００ガウス、膜
厚５ｕｍのＣｏ、Ｎｉ、Ｐ強ｍ性体膜を形成した磁気記
録媒体により、上記磁気ヘッド書き込み評価を行なった
。書き込み評価については図−８参照、マグネットピュ
アーで潜像形成を確認した後、磁気トナーを磁気付着さ
せたところ、十分な密着性と選択性が得られることを確
認した。
［発明の効果］
以上述べたように、本発明の磁気ヘッドの製造方法によ
り、捲線工程が不要となり、低コスト化が精度よく、安
価に製造できることも大きな特徴である。
り、捲線工程が不要となり、低コスト化が精度よく、安
価に製造できることも大きな特徴である。
第１図は、高透磁率のバルク磁性体の斜視図。
第２図はバルク磁性体を所定の厚みにカッティングした
概念図。 第３図は主磁極とリターン磁極を形成した概念図。 第４図は絶縁性基板に前記、主磁極が挿入できる大きさ
に穴明けを施した概念図。 第５図は穴の回りに励ｍコイルを形成した概念図。 第６図はバルク磁性体と励磁コイルを設けた基板を貼り
合せた概念図。 第７図は本発明の応用例でマルチヘッドの概念図。 ■・・・高透磁率のバルク６ｎ性体 ２・・・主磁極 ・リターン磁極 ・絶縁性基板 ・励磁コイル ・励磁コイル 以 上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴 木 喜三部（他１名）第４図 第７図
概念図。 第３図は主磁極とリターン磁極を形成した概念図。 第４図は絶縁性基板に前記、主磁極が挿入できる大きさ
に穴明けを施した概念図。 第５図は穴の回りに励ｍコイルを形成した概念図。 第６図はバルク磁性体と励磁コイルを設けた基板を貼り
合せた概念図。 第７図は本発明の応用例でマルチヘッドの概念図。 ■・・・高透磁率のバルク６ｎ性体 ２・・・主磁極 ・リターン磁極 ・絶縁性基板 ・励磁コイル ・励磁コイル 以 上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴 木 喜三部（他１名）第４図 第７図
Claims (1)
- 記録媒体と垂直磁気記録ヘッドの主磁極とを接触させて
相対移動させることにより記録再生を行なう垂直磁気記
録装置において、高透磁率のバルク磁性体からなる主磁
極に、主磁極とほぼ同寸法に穴あけされた非磁性基板上
の穴回りに平面コイルを形成して貼り合せたことを特徴
とする磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23400488A JPH0281305A (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23400488A JPH0281305A (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0281305A true JPH0281305A (ja) | 1990-03-22 |
Family
ID=16964048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23400488A Pending JPH0281305A (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0281305A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9298280B2 (en) | 2001-03-29 | 2016-03-29 | Xylon Llc | Method and apparatus for controlling a computing system |
-
1988
- 1988-09-19 JP JP23400488A patent/JPH0281305A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9298280B2 (en) | 2001-03-29 | 2016-03-29 | Xylon Llc | Method and apparatus for controlling a computing system |
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