JPH0282670A - 湯水混合装置 - Google Patents
湯水混合装置Info
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- JPH0282670A JPH0282670A JP63235712A JP23571288A JPH0282670A JP H0282670 A JPH0282670 A JP H0282670A JP 63235712 A JP63235712 A JP 63235712A JP 23571288 A JP23571288 A JP 23571288A JP H0282670 A JPH0282670 A JP H0282670A
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- JP
- Japan
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- piezoelectric
- plunger
- piezoelectric element
- correction
- motion distance
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(イ)産業上の利用分野
本発明は、各種装置を作動させるために用いる圧電アク
チュエータに関する。
チュエータに関する。
(ロ)従来の技術
従来、パルス状駆動電圧の印加により、多数の圧電板の
積層体からなる圧電素子に伸縮作動を繰り返させてプラ
ンジャを移動させるように構成した圧電アクチュエータ
がある。
積層体からなる圧電素子に伸縮作動を繰り返させてプラ
ンジャを移動させるように構成した圧電アクチュエータ
がある。
同圧電アクチュエータは、ストローク用の圧電素子の一
端を固定し、他端にクランプ用の圧電素子の一端を連設
して、クランプ用の圧電素子でプランジャをクランプし
、クランプされたプランジャをストローク用の圧電素子
で移動させ、次いで、クランプ用の圧電素子のクランプ
を解除してストローク用の圧電素子素子を復位させるこ
とを繰り返すことによって、プランジャを移動させるも
のである。
端を固定し、他端にクランプ用の圧電素子の一端を連設
して、クランプ用の圧電素子でプランジャをクランプし
、クランプされたプランジャをストローク用の圧電素子
で移動させ、次いで、クランプ用の圧電素子のクランプ
を解除してストローク用の圧電素子素子を復位させるこ
とを繰り返すことによって、プランジャを移動させるも
のである。
(ハ)発明が解決しようとする問題点
しかし、かかる圧電アクチュエータは、未だ、以下の問
題点を有していた。
題点を有していた。
即ち、第9図に示すように、ストローク用圧電素子50
は、多数のリング状圧電板51を導電ペーストで接着し
て形成しており、そして、各リング状圧電板51にリー
ド線52によって基板53に接続され、同基板53はリ
ード線54によって制御装置側の駆動回路と接続されて
いる。
は、多数のリング状圧電板51を導電ペーストで接着し
て形成しており、そして、各リング状圧電板51にリー
ド線52によって基板53に接続され、同基板53はリ
ード線54によって制御装置側の駆動回路と接続されて
いる。
しかるに、従来、かかる圧電素子50へのパルス状駆動
電圧の印加は、圧電素子50を構成する全ての圧電板5
1にパルス状駆動電圧を印加することによって行われて
いる。従って、電圧印加時に生じ得るプランジャの単位
移動距離は常時一定となっていた。
電圧の印加は、圧電素子50を構成する全ての圧電板5
1にパルス状駆動電圧を印加することによって行われて
いる。従って、電圧印加時に生じ得るプランジャの単位
移動距離は常時一定となっていた。
そのため、温度偏差が小さくて、プランジャの単位移動
距離の方が偏差修正に必要な移動距離よりも大である場
合は、かかる修正を行えないか、又は、行えたとしても
ハンチングを生して、磨耗を生ずる等、制御上不利であ
った。
距離の方が偏差修正に必要な移動距離よりも大である場
合は、かかる修正を行えないか、又は、行えたとしても
ハンチングを生して、磨耗を生ずる等、制御上不利であ
った。
さらに、例えば、出湯温度値と設定温度値との温度偏差
値に基づいて適温制御を行う湯水混合装置に用いた場合
等において、温度偏差値が著しく大きい場合であっても
、一定の速度でしかプランジャを移動することができず
、従って、制御応答性を不十分なものとしていた。
値に基づいて適温制御を行う湯水混合装置に用いた場合
等において、温度偏差値が著しく大きい場合であっても
、一定の速度でしかプランジャを移動することができず
、従って、制御応答性を不十分なものとしていた。
本発明は、上記問題点を解決することができる圧電アク
チュエータを提供することを目的とする。
チュエータを提供することを目的とする。
(ニ)問題点を解決するための手段
本発明は、パルス状駆動電圧を圧電素子に印加して、同
圧電素子に伸縮作動を繰り返させ、プランジャを移動さ
せるように構成した圧電アクチュエータにおいて、電圧
を印加する圧電板の数を可変となし、圧電素子の単位移
動距離を可変としたことを特徴とする圧電アクチュエー
タに係るものである。
圧電素子に伸縮作動を繰り返させ、プランジャを移動さ
せるように構成した圧電アクチュエータにおいて、電圧
を印加する圧電板の数を可変となし、圧電素子の単位移
動距離を可変としたことを特徴とする圧電アクチュエー
タに係るものである。
(ホ)作用及び効果
上記した構成により、本発明は以下の作用及び効果を奏
する。
する。
電圧を印加する圧電板の数を可変となし、圧電素子の単
位移動距離を可変としたので、分解能を向上することが
できる。
位移動距離を可変としたので、分解能を向上することが
できる。
即ち、例えば、湯水混合装置において、温度偏差が小さ
くて、圧電素子を構成する全圧電素子に電圧を印加した
場合のプランジャの単位移動距離の方が偏差修正に必要
な移動距離よりも大である場合であっても、圧電素子を
構成する圧電板の幾つかのみに電圧を印加することによ
って、プランジャの単位移動距離を偏差修正に必要な移
動距離よりも小さくすることができ、かかる修正を確実
かつ正確に行うことができ、プランジャの磨耗を防止す
ることができるとともに、ハンチング等を生じることな
く、精密なプランジャの移動が可能となる。
くて、圧電素子を構成する全圧電素子に電圧を印加した
場合のプランジャの単位移動距離の方が偏差修正に必要
な移動距離よりも大である場合であっても、圧電素子を
構成する圧電板の幾つかのみに電圧を印加することによ
って、プランジャの単位移動距離を偏差修正に必要な移
動距離よりも小さくすることができ、かかる修正を確実
かつ正確に行うことができ、プランジャの磨耗を防止す
ることができるとともに、ハンチング等を生じることな
く、精密なプランジャの移動が可能となる。
また、上記湯水混合装置において温度偏差値が著しく大
きい場合には、まず、圧電素子を構成する全ての圧電板
にパルス状駆動電圧を印加して単位移動距離を大きくし
てプランジャの進退量を大きくし、その後に、任意の数
の圧電板のみにパルス状駆動電圧を印加して単位移動距
離を小さくしてプランジャの進退量を微調整することが
できる。
きい場合には、まず、圧電素子を構成する全ての圧電板
にパルス状駆動電圧を印加して単位移動距離を大きくし
てプランジャの進退量を大きくし、その後に、任意の数
の圧電板のみにパルス状駆動電圧を印加して単位移動距
離を小さくしてプランジャの進退量を微調整することが
できる。
従って、温度偏差値が大きい場合であっても、制御応答
性を著しく向上することができる。
性を著しく向上することができる。
(へ)実施例
以下、添付図に示す実施例に基づいて、本発明を詳説す
る。
る。
第1図に本実施例に係わる圧電アクチエエータAの全体
構成を示す。
構成を示す。
図示するように、アクチュエータAは、前後壁a、bを
具備する筒状のアクチュエータケーシングC内に同心円
的に、かつ、軸線に沿って進退自在にプランジャdを取
付け、さらに、プランジャdの外周面上に、同心円的に
、それぞれクランプ部材に、1を具備する一対のクラン
プ用圧電素子e。
具備する筒状のアクチュエータケーシングC内に同心円
的に、かつ、軸線に沿って進退自在にプランジャdを取
付け、さらに、プランジャdの外周面上に、同心円的に
、それぞれクランプ部材に、1を具備する一対のクラン
プ用圧電素子e。
rと、ストローク用圧電素子gとを配設することによっ
て構成している。
て構成している。
即ち、図示の実施例において、クランプ用圧電素子eは
アクチュエータケーシングCの中央部に取付ボルトhに
よって取付けた保持具Hの左側に配設・支持されており
、一方、クランプ用圧電素子rとストローク用圧電素子
gとは保持具Hの右側に配設・支持されている。
アクチュエータケーシングCの中央部に取付ボルトhに
よって取付けた保持具Hの左側に配設・支持されており
、一方、クランプ用圧電素子rとストローク用圧電素子
gとは保持具Hの右側に配設・支持されている。
また、第1図に示すように、各圧電素子e、 fgは
、それぞれ、多数の圧電板Xを導電性ペーストで接着し
た積層体からなり、各圧電板Xは、図示しないリード線
→基板→リード線を介して、後述する駆動回路り、、
D、、 D、に接続されている。
、それぞれ、多数の圧電板Xを導電性ペーストで接着し
た積層体からなり、各圧電板Xは、図示しないリード線
→基板→リード線を介して、後述する駆動回路り、、
D、、 D、に接続されている。
なお、クランプ用圧電素子e、fには、それぞれ、クラ
ンプ部材に、lが取付けられている。
ンプ部材に、lが取付けられている。
次に、各圧電素子e、f、gの作用及び具体的構成につ
いて説明すると、以下のようになる。
いて説明すると、以下のようになる。
即ち、圧電素子e、fは、非通電状態では一定のクラン
プ力Fでプランジャdをクランプしており、正の電圧を
印加することによってクランプ力F十αでクランプする
ことになり、負の電圧を印加することによりクランプ力
F−αの力でクランプすることになる。なお、クランプ
力は、F−α〉0とする。即ち、負の電圧が印加されて
いる場合であっても、圧電素子C2fは、一定のクラン
プ力でプランジャdをクランプすることになる。
プ力Fでプランジャdをクランプしており、正の電圧を
印加することによってクランプ力F十αでクランプする
ことになり、負の電圧を印加することによりクランプ力
F−αの力でクランプすることになる。なお、クランプ
力は、F−α〉0とする。即ち、負の電圧が印加されて
いる場合であっても、圧電素子C2fは、一定のクラン
プ力でプランジャdをクランプすることになる。
一方、圧電素子gは通電状態ではプランジャd上を軸線
方向に伸びた状態にあり、非通電状態では、プランジャ
d上を縮み、その軸線方向の全長を短くすることになる
。
方向に伸びた状態にあり、非通電状態では、プランジャ
d上を縮み、その軸線方向の全長を短くすることになる
。
そして、プランジャdは、かかる3つの圧電素子e、
r、 gへの押圧印加手順を後述する制御装置Cに
よって制御することにより、軸線方向に移動することが
できる。
r、 gへの押圧印加手順を後述する制御装置Cに
よって制御することにより、軸線方向に移動することが
できる。
圧電素子e、f、gは、多数の圧電板Xをプランジャd
の軸芯方向に積層して形成した円筒状の素子で、円筒の
両端に電極が設けられており、この両端に電圧を印加す
ることにより、伸びるように構成されている。
の軸芯方向に積層して形成した円筒状の素子で、円筒の
両端に電極が設けられており、この両端に電圧を印加す
ることにより、伸びるように構成されている。
また、第1図において、rはアクチュエータAの水密性
を高めるために設けた摺動抵抗の小さいU字状又はY字
状パツキンである。
を高めるために設けた摺動抵抗の小さいU字状又はY字
状パツキンである。
また、第2図に上記構成を有する圧電アクチュエータA
を制御するための制御装置Cの構成を示している。図示
するように、制御装置Wcは、マイクロブロセ、すRと
、A/D 、 D/A変換器等よりなる人出力インター
フェース1.0と、上記圧電素子e、f、gの駆動順序
プログラムを記憶したメモリUとから構成され、人力イ
ンターフェースIを介して制御装置に入力されたセンサ
Sまたはボタンスイッチ紳等からの入力信号に基づき、
前記したプログラムにしたがって制御信号を発生し、出
力インターフェースOを介して、各圧電素子er1gと
接続する駆動回路り、、 o、、 oeに出力するよう
に構成している。
を制御するための制御装置Cの構成を示している。図示
するように、制御装置Wcは、マイクロブロセ、すRと
、A/D 、 D/A変換器等よりなる人出力インター
フェース1.0と、上記圧電素子e、f、gの駆動順序
プログラムを記憶したメモリUとから構成され、人力イ
ンターフェースIを介して制御装置に入力されたセンサ
Sまたはボタンスイッチ紳等からの入力信号に基づき、
前記したプログラムにしたがって制御信号を発生し、出
力インターフェースOを介して、各圧電素子er1gと
接続する駆動回路り、、 o、、 oeに出力するよう
に構成している。
また、各駆動回路り、、 D、、 D、は、駆動電源回
路Eと接続されている。
路Eと接続されている。
ついで、かかる構成を有する圧電アクチュエータAによ
るプランジャdの作動について、第3図〜第6図を参照
して説明する。
るプランジャdの作動について、第3図〜第6図を参照
して説明する。
第2図に示すアクチュエータ駆動用のボタンスイッチs
wを作動させると、制御装置Cが、メモリUから読み出
した駆動順序プログラムに従って、各駆動回路り、、
D、、 D、に制御信号を送り、第3図に示すように圧
電素子eに負のパルス状駆動電圧を印加してプランジャ
dへのクランプ力をFαに低減するとともに、圧電素子
fに正のパルス状駆動電圧を印加してクランプ力をF十
αに増加してプランジャdをクランプさせる。
wを作動させると、制御装置Cが、メモリUから読み出
した駆動順序プログラムに従って、各駆動回路り、、
D、、 D、に制御信号を送り、第3図に示すように圧
電素子eに負のパルス状駆動電圧を印加してプランジャ
dへのクランプ力をFαに低減するとともに、圧電素子
fに正のパルス状駆動電圧を印加してクランプ力をF十
αに増加してプランジャdをクランプさせる。
次に、第4図に示すように、圧電素子gへ負のパルス状
駆動電圧の印加して縮めると、圧電素子gは矢印の方向
に移動し、これに伴って圧電素子fがクランプ力F+α
でクランプするプランジャdも矢印方向に移動する。
駆動電圧の印加して縮めると、圧電素子gは矢印の方向
に移動し、これに伴って圧電素子fがクランプ力F+α
でクランプするプランジャdも矢印方向に移動する。
その後、第5図に示すように、圧電素子fに負のパルス
状駆動電圧を印加してクランプ力をFαに低減するとと
もに、圧電素子Cに正のパルス状駆動電圧を印加してク
ランプ力をF+αに増加してプランジャdをクランプさ
せる。
状駆動電圧を印加してクランプ力をFαに低減するとと
もに、圧電素子Cに正のパルス状駆動電圧を印加してク
ランプ力をF+αに増加してプランジャdをクランプさ
せる。
そして、第6図に示すように、圧電素子gに正のパルス
状駆動電圧を印加して伸ばすと圧電素子gは矢印方向に
移動する。
状駆動電圧を印加して伸ばすと圧電素子gは矢印方向に
移動する。
ついで、上記動作を繰り返すことにより、プランジャd
を、μmオーダ或いはサブμmオーダのストロークで尺
とり車状に移動することができる。
を、μmオーダ或いはサブμmオーダのストロークで尺
とり車状に移動することができる。
従って、かかる圧電アクチュエータAを後述する湯水混
合装置り等に装着した場合、混合弁を、その開度を微調
整しながら開閉することができ、適温制御を行わせるこ
とができる。
合装置り等に装着した場合、混合弁を、その開度を微調
整しながら開閉することができ、適温制御を行わせるこ
とができる。
しかして、本実施例は、上記構成において、パルス状駆
動電圧を印加する圧電素子gの圧電板Xの数を変えるこ
とによって、圧電素子gの単位移動距離を可変とし分解
能を向上した構成に特徴を有するものである。
動電圧を印加する圧電素子gの圧電板Xの数を変えるこ
とによって、圧電素子gの単位移動距離を可変とし分解
能を向上した構成に特徴を有するものである。
即ち、第2図に示すように、制御装WCと駆動回路り、
の間には圧電板選択手段Gを介設しており、同圧電板選
択手段Gによって、パルス状駆動電圧を印加するスl−
ローク用圧電素子gの圧電板Xの数を任意に変えること
ができる。
の間には圧電板選択手段Gを介設しており、同圧電板選
択手段Gによって、パルス状駆動電圧を印加するスl−
ローク用圧電素子gの圧電板Xの数を任意に変えること
ができる。
従って、例えば、後述する湯水混合装置りにおいて、設
定温度値Tsと出湯温度値1′0との温度偏差値ΔTが
著しく小さい場合であっても、温度偏差値判別手段J及
び圧電板選択手段Gを介して、パルス状駆動電圧を圧電
素子gを構成する任意の数の圧電板Xのみに電圧を印加
して単位移動距離を偏差修正に必要な移動距離よりも小
さくすることができるので、かかる修正を確実かつ正6
′合に行うことができ、プランジャdの磨耗を防止する
ごとができるとともに、ハンチング等を生しることなく
、精密なプランジャdの移動が可能となる。
定温度値Tsと出湯温度値1′0との温度偏差値ΔTが
著しく小さい場合であっても、温度偏差値判別手段J及
び圧電板選択手段Gを介して、パルス状駆動電圧を圧電
素子gを構成する任意の数の圧電板Xのみに電圧を印加
して単位移動距離を偏差修正に必要な移動距離よりも小
さくすることができるので、かかる修正を確実かつ正6
′合に行うことができ、プランジャdの磨耗を防止する
ごとができるとともに、ハンチング等を生しることなく
、精密なプランジャdの移動が可能となる。
また、湯水混合装置りにおいて、設定温度値Tsと出湯
温度値Toとの温度偏差値ΔTが著しく大きい場合には
、温度偏差値判別手段J及び圧電板選択手段Gを介して
、パルス状駆動電圧を圧電素子gを構成する全ての圧電
板Xに印加して単位移動距離を大きくしてプランジャd
の進退■を太き(し、その後に、パルス状駆動電圧を圧
電素子gを構成する任意の数の圧電板Xのみに印加して
単位移動距離を小さくしてプランジャdの進退量を微調
整することができる。
温度値Toとの温度偏差値ΔTが著しく大きい場合には
、温度偏差値判別手段J及び圧電板選択手段Gを介して
、パルス状駆動電圧を圧電素子gを構成する全ての圧電
板Xに印加して単位移動距離を大きくしてプランジャd
の進退■を太き(し、その後に、パルス状駆動電圧を圧
電素子gを構成する任意の数の圧電板Xのみに印加して
単位移動距離を小さくしてプランジャdの進退量を微調
整することができる。
従って、温度偏差値ΔTが大きい場合であっても、湯水
混合装置りの制御応答性を著しく向上することができ、
使用者は常時適温の混合湯水を得ることができる。
混合装置りの制御応答性を著しく向上することができ、
使用者は常時適温の混合湯水を得ることができる。
また、第7図に、本実施例にかかる圧電アクチュエータ
への適用例を示しており、湯水混合装置りに、かかる圧
電アクチュエータAを応用した例である。
への適用例を示しており、湯水混合装置りに、かかる圧
電アクチュエータAを応用した例である。
第7図において、10は円筒状の箱体をなすケーシング
であり、同ケーシング10は、その−側倒壁に、二つの
一側流路13.14を形成している。
であり、同ケーシング10は、その−側倒壁に、二つの
一側流路13.14を形成している。
そして、−側流路13.14は湯水混合栓の給水流路及
び給湯流路として機能するものであり、その外側開口端
は、それぞれ給水配管15と給湯配管16と連通してい
る。
び給湯流路として機能するものであり、その外側開口端
は、それぞれ給水配管15と給湯配管16と連通してい
る。
一方、−側流路13.14の内側開口端は、それぞれケ
ーシング10の両端に形成した隔壁17.18と連通し
ている。
ーシング10の両端に形成した隔壁17.18と連通し
ている。
また、ゲージング10の他側側壁には、両端開口のT字
状の他側流路20が形成されている。
状の他側流路20が形成されている。
そして、かかる他側流路20は、湯水混合栓の混合水流
路として機能するものであり、その外側開口端は、混合
水配管21と連通しており、一方、その内側二股間口端
は隔壁17.18と連通している。
路として機能するものであり、その外側開口端は、混合
水配管21と連通しており、一方、その内側二股間口端
は隔壁17.18と連通している。
さらに、T字状筒体19の内側二股開口部には、それぞ
れ便座22.23が設けられており、同便座2223に
は、ケーシングlO内を軸栓方向に進退して便座22.
23と接離し、内側二股状開口端を開閉するダイアフラ
ム弁からなる弁体24,25が配設されている。
れ便座22.23が設けられており、同便座2223に
は、ケーシングlO内を軸栓方向に進退して便座22.
23と接離し、内側二股状開口端を開閉するダイアフラ
ム弁からなる弁体24,25が配設されている。
さらに、ケーシングlOの両端には、それぞれ圧電アク
チエエータAが取付けられている。
チエエータAが取付けられている。
そして、各圧電アクチュエータAは、そのプランジャd
の先端を弁体24.25の後部と当接自在となし、弁体
24.25を開閉自在としている。
の先端を弁体24.25の後部と当接自在となし、弁体
24.25を開閉自在としている。
なお、第7図において、Sは他側流路20内に設けた温
度センサであり、混合水の温度を検出し、検出値を第5
図に示すような制御袋WCにフィードバンクして、制御
装置Cに検出値に基づいて自動開閉弁りの両アクチュエ
ータAをPID制御等によって作動させ、適温制御を行
うものである。
度センサであり、混合水の温度を検出し、検出値を第5
図に示すような制御袋WCにフィードバンクして、制御
装置Cに検出値に基づいて自動開閉弁りの両アクチュエ
ータAをPID制御等によって作動させ、適温制御を行
うものである。
また、第8図に他の実施例を示しており、本実施例は、
上記した圧電アクチュエータAを半水弁に適用した場合
を示しており、図中、40は流入口、41は流出口、4
2はダイヤフラム弁、43はパイロット孔43aを有す
るパイロット弁座、44はオリフィス、45はプランジ
ャ46の復座用スプリングを示す。
上記した圧電アクチュエータAを半水弁に適用した場合
を示しており、図中、40は流入口、41は流出口、4
2はダイヤフラム弁、43はパイロット孔43aを有す
るパイロット弁座、44はオリフィス、45はプランジ
ャ46の復座用スプリングを示す。
そして、同スプリング45により、停電等で制御機能が
失われた時、クランプ用の圧電素子C9fへの印加電圧
が消滅するので、復座用スプリング45で自動的に閉弁
することができる。
失われた時、クランプ用の圧電素子C9fへの印加電圧
が消滅するので、復座用スプリング45で自動的に閉弁
することができる。
第1図は、本発明に係る圧電アクチュエータの断面側面
図、第2図は制御装置の概念的構成説明図、第3図〜第
6図は圧電アクチュエータの作動状態説明図、第7図は
圧電アクチュエータを具備する湯水混合装置の全体構成
図、第8図は圧電アクチュエータを具備する重水弁の全
体構成説明図、第9図は従来の圧電アクチュエータの要
部拡大説明図である。 図中、 (^):圧電アクチュエータ (C):制御装置 (D):湯水混合装置 ([り :電源駆動回路 (D、):駆動回路 (or):駆動回路 (V、>:駆動回路 (G):圧電板選択手段
図、第2図は制御装置の概念的構成説明図、第3図〜第
6図は圧電アクチュエータの作動状態説明図、第7図は
圧電アクチュエータを具備する湯水混合装置の全体構成
図、第8図は圧電アクチュエータを具備する重水弁の全
体構成説明図、第9図は従来の圧電アクチュエータの要
部拡大説明図である。 図中、 (^):圧電アクチュエータ (C):制御装置 (D):湯水混合装置 ([り :電源駆動回路 (D、):駆動回路 (or):駆動回路 (V、>:駆動回路 (G):圧電板選択手段
Claims (1)
- 1.パルス状駆動電圧を多数の圧電板の積層体からなる
圧電素子に印加して、同圧電板に伸縮作動を繰り返させ
、プランジャを移動させるように構成した圧電アクチュ
エータにおいて、電圧を印加する圧電板の数を可変とな
し、圧電素子の単位移動距離を可変としたことを特徴と
する圧電アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63235712A JP2735578B2 (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | 湯水混合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63235712A JP2735578B2 (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | 湯水混合装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0282670A true JPH0282670A (ja) | 1990-03-23 |
| JP2735578B2 JP2735578B2 (ja) | 1998-04-02 |
Family
ID=16990114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63235712A Expired - Lifetime JP2735578B2 (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | 湯水混合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2735578B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10275018A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-10-13 | Hitachi Metals Ltd | マスフローコントローラ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6319480A (ja) * | 1986-07-11 | 1988-01-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 湯水混合制御装置 |
| JPS6381876A (ja) * | 1986-09-25 | 1988-04-12 | Nagao Saito | 積層圧電アクチユエ−タの駆動方法 |
| JPS63219972A (ja) * | 1987-03-10 | 1988-09-13 | Fujitsu General Ltd | 弁駆動装置 |
-
1988
- 1988-09-20 JP JP63235712A patent/JP2735578B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6319480A (ja) * | 1986-07-11 | 1988-01-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 湯水混合制御装置 |
| JPS6381876A (ja) * | 1986-09-25 | 1988-04-12 | Nagao Saito | 積層圧電アクチユエ−タの駆動方法 |
| JPS63219972A (ja) * | 1987-03-10 | 1988-09-13 | Fujitsu General Ltd | 弁駆動装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10275018A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-10-13 | Hitachi Metals Ltd | マスフローコントローラ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2735578B2 (ja) | 1998-04-02 |
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