JPH0282772U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0282772U JPH0282772U JP16013388U JP16013388U JPH0282772U JP H0282772 U JPH0282772 U JP H0282772U JP 16013388 U JP16013388 U JP 16013388U JP 16013388 U JP16013388 U JP 16013388U JP H0282772 U JPH0282772 U JP H0282772U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction chamber
- flange
- attached
- lid body
- rotary substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案による回転型基板処理装置の構
造の一例を示す一部切開説明図、第２図は前記回
転型基板処理装置における回転型基板保持具の概
略の構造を示す斜視図、第３図ａ〜ｄは従来の基
板処理装置の反応室の構造の一例を示す概略断面
図である。 １……反応室、２……加熱装置、３……フラン
ジ、４……反応室本体、５……蓋体、６……軸受
け、７……原料ガス供給用管、８……排気ガス用
管、９……シヤフト、１０……回転型基板保持具
、１１……基板挿着溝、１２……上板用中実円板
、１３……下板用中空円板、１４……支柱、１５
……基板、１６……基板保持部、２１……ヒータ
ー、２２……反応室、２３……ガス流、２４……
基板、２５……基板ホルダ。
造の一例を示す一部切開説明図、第２図は前記回
転型基板処理装置における回転型基板保持具の概
略の構造を示す斜視図、第３図ａ〜ｄは従来の基
板処理装置の反応室の構造の一例を示す概略断面
図である。 １……反応室、２……加熱装置、３……フラン
ジ、４……反応室本体、５……蓋体、６……軸受
け、７……原料ガス供給用管、８……排気ガス用
管、９……シヤフト、１０……回転型基板保持具
、１１……基板挿着溝、１２……上板用中実円板
、１３……下板用中空円板、１４……支柱、１５
……基板、１６……基板保持部、２１……ヒータ
ー、２２……反応室、２３……ガス流、２４……
基板、２５……基板ホルダ。
Claims (1)
- 底部の中央部と周辺部にそれぞれ反応室内に原
料ガスを供給する為の原料ガス供給用管及び反応
が終了したガスを排気する為の排気ガス用管が設
けられ、外周に加熱装置が装着されたフランジ付
きの反応室本体と、中央部に反応室の外側に突出
する様にして軸受けが取りつけられた、反応室本
体のフランジ部に着脱可能なフランジ付き蓋体と
、前記蓋体の前記軸受けによりシヤフトが軸支さ
れた、反応室内に装入保持される回転型基板保持
具とからなり、前記回転型基板保持具が、内面に
基板挿着溝を所望数設けた上板用中実円板と、該
上板用中実円板の基板挿着溝と対向する面に、前
記溝と対向する位置に基板挿着溝を設けた下板用
中空円板とが所定の間隔をもつて支柱により固定
されている基板保持部がシヤフトに装着されたも
のである事を特徴とする回転型基板処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16013388U JPH0282772U (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16013388U JPH0282772U (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0282772U true JPH0282772U (ja) | 1990-06-26 |
Family
ID=31441934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16013388U Pending JPH0282772U (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0282772U (ja) |
-
1988
- 1988-12-09 JP JP16013388U patent/JPH0282772U/ja active Pending
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