JPH028289B2 - - Google Patents
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- JPH028289B2 JPH028289B2 JP18279485A JP18279485A JPH028289B2 JP H028289 B2 JPH028289 B2 JP H028289B2 JP 18279485 A JP18279485 A JP 18279485A JP 18279485 A JP18279485 A JP 18279485A JP H028289 B2 JPH028289 B2 JP H028289B2
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- crystal
- spatial light
- light modulation
- substrate
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Landscapes
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、真空容器中に光電面または電子銃等
の電子源と電気光学結晶を設けて構成した空間光
変調管に関する。
の電子源と電気光学結晶を設けて構成した空間光
変調管に関する。
（従来の技術）
前述した空間光変調管において、前記電気光学
結晶は、真空容器内に機械的に支持されていた。
解像度を向上させるためには前記結晶を薄く加工
する必要があり、例えば0.3mm以下の厚さにする
と、機械的固定では結晶が反つてしまうという不
都合がある。
結晶は、真空容器内に機械的に支持されていた。
解像度を向上させるためには前記結晶を薄く加工
する必要があり、例えば0.3mm以下の厚さにする
と、機械的固定では結晶が反つてしまうという不
都合がある。
そこで、本件発明等は結晶を基板に接着した
後、結晶を薄くし研磨し、それらを接着したまま
真空容器中に封入する構造（特願昭58−41180号
および特願昭59−171194号）を提案している。
後、結晶を薄くし研磨し、それらを接着したまま
真空容器中に封入する構造（特願昭58−41180号
および特願昭59−171194号）を提案している。
（発明が解決しようとする問題点）
前記提案によれば、結晶を薄くしても歪なく配
置することができ、空間光変調管の解像度を向上
させることができる。
置することができ、空間光変調管の解像度を向上
させることができる。
しかし、結晶の接着に用いられた接着剤が真空
容器中に入れることによりガスを放出し、このガ
スが光電面製作の障害になつたり、光電面作成
後、光電面感度を低下させる原因となつているこ
とがわかつた。
容器中に入れることによりガスを放出し、このガ
スが光電面製作の障害になつたり、光電面作成
後、光電面感度を低下させる原因となつているこ
とがわかつた。
電子源として光電面のかわりに電子銃を用いた
空間光変調管において、前記ガス放出により管の
寿命が短くさせられている。
空間光変調管において、前記ガス放出により管の
寿命が短くさせられている。
本発明の目的は前述した問題を解決することが
できる空間光変調管を提供することにある。
できる空間光変調管を提供することにある。
（問題を解決するための手段）
前記目的を達成するために、本発明による空間
光変調管は、真空容器中に形成された電子源から
の電子が表面に与えられることにより光学的変化
を生ずる結晶を用いた空間光変調管において、前
記結晶を透明導電膜を介して基板に接着剤で固定
し、少なくとも前記基板と前記結晶との周辺境界
部を、蒸気圧の低い物質でコーテイングして構成
されている。
光変調管は、真空容器中に形成された電子源から
の電子が表面に与えられることにより光学的変化
を生ずる結晶を用いた空間光変調管において、前
記結晶を透明導電膜を介して基板に接着剤で固定
し、少なくとも前記基板と前記結晶との周辺境界
部を、蒸気圧の低い物質でコーテイングして構成
されている。
（実施例）
以下、図面等を参照して本発明をさらに詳しく
説明する。
説明する。
第１図は本発明による空間光変調管の使用例を
示す略図である。まずこの図面により動作原理等
を簡単に説明する。
示す略図である。まずこの図面により動作原理等
を簡単に説明する。
インコヒーレント光像１は、レンズ２で空間光
変調管３の光電面４に投影される。
変調管３の光電面４に投影される。
光電面４からは像１に対応した光電子が放出さ
れ、マイクロチヤンネルプレート５によつて増倍
された後、電気光学結晶７の表面に電荷像として
蓄積される。
れ、マイクロチヤンネルプレート５によつて増倍
された後、電気光学結晶７の表面に電荷像として
蓄積される。
この電荷像により電気光学結晶７にその像に対
応する屈折率の変化が生じる。
応する屈折率の変化が生じる。
そこで、レーザ光１０を出力ガラス窓８を通し
て結晶に照射すると、電気光学結晶７の中でレー
ザ光は変調され、出力にコヒーレント像１１が得
られる。
て結晶に照射すると、電気光学結晶７の中でレー
ザ光は変調され、出力にコヒーレント像１１が得
られる。
このようなコヒーレント像はコヒーレント並列
光演算に使用される。
光演算に使用される。
第２図は前記電気光学結晶７と出力ガラス窓８
を取り出して示した断面図である。
を取り出して示した断面図である。
基板となる出力ガラス窓８に透明導電膜
（ITO）１０１を形成した後、電気光学結晶７の
素材を、接着剤（例えば紫外線硬化接着剤）１０
３で接着する。
（ITO）１０１を形成した後、電気光学結晶７の
素材を、接着剤（例えば紫外線硬化接着剤）１０
３で接着する。
そして固定された電気光学結晶７の素材の表面
を研磨して、厚さ100μｍ以下にし、表面を光学
平面とする。
を研磨して、厚さ100μｍ以下にし、表面を光学
平面とする。
その後、SiO2１０２を高周波スパツタで結晶
７と基板８の境界部の接着剤が外気と接触する部
分を封じる。
７と基板８の境界部の接着剤が外気と接触する部
分を封じる。
第３図は電気光学結晶と出力ガラス窓の他の結
合構造を示す断面図である。
合構造を示す断面図である。
前述と同様に基板となる出力ガラス面板８に透
明導電膜１０１を形成した後、電気光学結晶７の
素材を、接着剤１０３で接着する。
明導電膜１０１を形成した後、電気光学結晶７の
素材を、接着剤１０３で接着する。
そして同様に研磨した後に、結晶７の表面も含
めて誘電体ミラー（SiO2とZrO2の多層膜）１０
４をコーテイングする。
めて誘電体ミラー（SiO2とZrO2の多層膜）１０
４をコーテイングする。
なお前述した各実施例は、結晶を出力ガラス面
板に接着した例を示した。
板に接着した例を示した。
他の基板、例えば厚い結晶に結晶を接着した場
合も前記密封層による同様の効果を得ることがで
きる。
合も前記密封層による同様の効果を得ることがで
きる。
（発明の効果）
以上詳しく説明したように、本発明によれば、
接着剤と真空との界面を低蒸気圧物質で覆つてし
まうので、接着剤からのガスの放出を防止でき
る。そのため、光電面作製の困難さ、光電面の感
度低下を除去することができると共に、電子銃タ
イプのものについても寿命の低下を防止できる。
接着剤と真空との界面を低蒸気圧物質で覆つてし
まうので、接着剤からのガスの放出を防止でき
る。そのため、光電面作製の困難さ、光電面の感
度低下を除去することができると共に、電子銃タ
イプのものについても寿命の低下を防止できる。
第１図は本発明による空間光変調管の実施例の
使用例を示す略図である。第２図は電気光学結晶
部分と基板の固定構造の第１の実施例を示す断面
図である。第３図は電気光学結晶部分と基板の固
定構造の第２の実施例を示す断面図である。 １……インコヒーレント像、２……レンズ、３
……空間光変調管、４……光電面、５……マイク
ロチヤンネルプレート、６……メツシユ電極、７
……電気光学結晶、８……出力ガラス面板、９…
…ハーフミラー、１０……レーザ光、１０１……
透明導電膜（ITO）、１０２……SiO2膜、１０３
……接着剤層、１０４……誘導体ミラー、１１…
…コヒーレント像。
使用例を示す略図である。第２図は電気光学結晶
部分と基板の固定構造の第１の実施例を示す断面
図である。第３図は電気光学結晶部分と基板の固
定構造の第２の実施例を示す断面図である。 １……インコヒーレント像、２……レンズ、３
……空間光変調管、４……光電面、５……マイク
ロチヤンネルプレート、６……メツシユ電極、７
……電気光学結晶、８……出力ガラス面板、９…
…ハーフミラー、１０……レーザ光、１０１……
透明導電膜（ITO）、１０２……SiO2膜、１０３
……接着剤層、１０４……誘導体ミラー、１１…
…コヒーレント像。
Claims (1)
- １ 真空容器中に形成された電子源からの電子が
表面に与えられることにより光学的変化を生ずる
結晶を用いた空間光変調管において、前記結晶を
透明導電膜を介して基板に接着剤で固定し、少な
くとも前記基板と前記結晶との周辺境界部を、蒸
気圧の低い物質で覆い密封層を形成して構成した
ことを特徴とする空間光変調管。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18279485A JPS6242117A (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 | 空間光変調管 |
| US06/887,610 US4741602A (en) | 1985-08-20 | 1986-07-21 | Spatial light modulator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18279485A JPS6242117A (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 | 空間光変調管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6242117A JPS6242117A (ja) | 1987-02-24 |
| JPH028289B2 true JPH028289B2 (ja) | 1990-02-23 |
Family
ID=16124532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18279485A Granted JPS6242117A (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 | 空間光変調管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6242117A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2587958B2 (ja) * | 1987-10-16 | 1997-03-05 | 富士写真フイルム 株式会社 | 放射線画像情報読取装置 |
| US5064257A (en) * | 1990-04-06 | 1991-11-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical heterodyne scanning type holography device |
-
1985
- 1985-08-20 JP JP18279485A patent/JPS6242117A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6242117A (ja) | 1987-02-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |